JPS6311274A - ワイヤソ−用ワイヤ - Google Patents
ワイヤソ−用ワイヤInfo
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- JPS6311274A JPS6311274A JP15547886A JP15547886A JPS6311274A JP S6311274 A JPS6311274 A JP S6311274A JP 15547886 A JP15547886 A JP 15547886A JP 15547886 A JP15547886 A JP 15547886A JP S6311274 A JPS6311274 A JP S6311274A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D61/00—Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
- B23D61/18—Sawing tools of special type, e.g. wire saw strands, saw blades or saw wire equipped with diamonds or other abrasive particles in selected individual positions
- B23D61/185—Saw wires; Saw cables; Twisted saw strips
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、半導体単結晶の塊からウェハ状に切出すた
め使用されるワイヤソーに用いられるワイヤに関するも
のである。
め使用されるワイヤソーに用いられるワイヤに関するも
のである。
［従来の技術および発明が解決しようとする問題点］
従来、ワイヤソー用ワイヤとしては、高い引張強さと靭
性を有する鋼線などが用いられており、１ことえばピア
ノ線等が用いられている。
性を有する鋼線などが用いられており、１ことえばピア
ノ線等が用いられている。
しかしながら、これらの！？４線では、硬度が未だ不十
分であり、切断速度などのり所持性の改善されたワイヤ
ソー用ワイヤが従来より望まれていた。
分であり、切断速度などのり所持性の改善されたワイヤ
ソー用ワイヤが従来より望まれていた。
切断速度を速め、切断の際生じる摩擦熱を除去するため
、アルミナ懸濁液をかけながらピアノ線等を被加工物に
擦りつけて切断するなどの方法が、従来より試みられて
いるが、このような方法によつても十分に満足でさる切
断特性は得られていない。
、アルミナ懸濁液をかけながらピアノ線等を被加工物に
擦りつけて切断するなどの方法が、従来より試みられて
いるが、このような方法によつても十分に満足でさる切
断特性は得られていない。
それゆえに、この発明の目的は、切ｆ！１ｉ３１度が速
く、またより硬い材質に対しでも切断を容易にするワイ
ヤソー用ワイヤを提供することにある。
く、またより硬い材質に対しでも切断を容易にするワイ
ヤソー用ワイヤを提供することにある。
［問題点を解決するだめの手段］
この発明のワイヤソー用ワイヤは、第１図に示づ゛よう
に、高抗張力を有する金属線の周囲に、ダイ〜７１１−
ンド被膜またはＣを主成分としダイヤモンドに近似した
硬度を有する炭素質被膜を設けている。第１図において
、１は金属線、２はダイヤモンド被膜または炭素質被膜
を示している。炭素質被膜は、Ｃを主成分としダイヤモ
ンドに近似した硬度を有するもので、たとえば１−カー
ボンと称されるアモルファス構造の炭素質の被膜が挙げ
られる。
に、高抗張力を有する金属線の周囲に、ダイ〜７１１−
ンド被膜またはＣを主成分としダイヤモンドに近似した
硬度を有する炭素質被膜を設けている。第１図において
、１は金属線、２はダイヤモンド被膜または炭素質被膜
を示している。炭素質被膜は、Ｃを主成分としダイヤモ
ンドに近似した硬度を有するもので、たとえば１−カー
ボンと称されるアモルファス構造の炭素質の被膜が挙げ
られる。
この発明における高抗張力を有する金Ｂｔｉｌとしては
、たとえばピアノ線、硬鋼線等のｌ”ａ系や、いわゆる
インコネル（Ｎｉ −０ｒ−Ｆｅ合金）などのＮｉ系の
らのが挙げられる。
、たとえばピアノ線、硬鋼線等のｌ”ａ系や、いわゆる
インコネル（Ｎｉ −０ｒ−Ｆｅ合金）などのＮｉ系の
らのが挙げられる。
金属線とダイヤモンド被膜または炭素Ｔ１被膜との密着
性が良くない場合には、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｚｒ、［・１ｆお
よびＴａからなる群より選ばれた１種らしくは２８以上
の金属を主成分とする中間層をその間に設けて、第２図
に示すような断面構造のものに°す゛ることができる。
性が良くない場合には、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｚｒ、［・１ｆお
よびＴａからなる群より選ばれた１種らしくは２８以上
の金属を主成分とする中間層をその間に設けて、第２図
に示すような断面構造のものに°す゛ることができる。
第２図において、３は中間層を示している。
［作用］
この発明のワイヤソー用ワイヤは、ダイヤモンド被膜ま
たは炭素買被膜が周囲に設けられているため、その表面
の硬度が高められ、切断特性が著しく改善される。また
、これらの被膜は熱伝導性が良好で、連続した被膜であ
るため、切断の際生じるＩｇ隙熱は、これらの被膜によ
って効果的に伝達され除去される。このことから、ワイ
ヤソー用ワイヤの長寿命化を図ることができる。
たは炭素買被膜が周囲に設けられているため、その表面
の硬度が高められ、切断特性が著しく改善される。また
、これらの被膜は熱伝導性が良好で、連続した被膜であ
るため、切断の際生じるＩｇ隙熱は、これらの被膜によ
って効果的に伝達され除去される。このことから、ワイ
ヤソー用ワイヤの長寿命化を図ることができる。
また、金属線表面と被膜との間に、中間層を設けた場合
には、金属線と被膜との密着性が向上し、被膜の強度が
さらに高められる。
には、金属線と被膜との密着性が向上し、被膜の強度が
さらに高められる。
［実施例１
実施例１
ピアノ線にスパッタリング法でＴ１を０．２μｍの厚み
でコーティングして中間層を形成し、その後にエキシマ
レーザ光ＣＶＤ法により、Ｃ）−１。
でコーティングして中間層を形成し、その後にエキシマ
レーザ光ＣＶＤ法により、Ｃ）−１。
を原料ガスとしてダイヤモンド被膜を約１μＩの厚みで
コーティングし、第２図に示ずような構造のワイレを！
Ｉ造した。
コーティングし、第２図に示ずような構造のワイレを！
Ｉ造した。
実施例２
ピアノ線にスパッタリング法でＺｒとＨｆの混合体を０
．３μｍの厚みでコーティングして中間層を形成し、次
にこの中間層の表面をダイＶＴ：ンド微粉末を使用して
研磨した後、エキシマレーザ光ＣＶＤ法により、ＣＨ，
を原料ガスとしてダイヤモンド被膜を約１．２μｍの厚
みでコーティングして、第２図に示づ゛ようへ構造のワ
イヤを製造した。
．３μｍの厚みでコーティングして中間層を形成し、次
にこの中間層の表面をダイＶＴ：ンド微粉末を使用して
研磨した後、エキシマレーザ光ＣＶＤ法により、ＣＨ，
を原料ガスとしてダイヤモンド被膜を約１．２μｍの厚
みでコーティングして、第２図に示づ゛ようへ構造のワ
イヤを製造した。
実施例３
インコネル線にスパッタリング法でＴａを０゜１μｍの
厚みでコーティングして中間層を形成し、マイクロ波（
２４５０ＭＨｚ）ブラズ？ＣＶＤ法により、Ｃｌ−１，
、ｌ−１２を原料ガスとして、ダイヤモンド被膜を約０
．８μ講の厚みでコーティングし、第２図に示すような
８１１造のワイＡ７を製造した。
厚みでコーティングして中間層を形成し、マイクロ波（
２４５０ＭＨｚ）ブラズ？ＣＶＤ法により、Ｃｌ−１，
、ｌ−１２を原料ガスとして、ダイヤモンド被膜を約０
．８μ講の厚みでコーティングし、第２図に示すような
８１１造のワイＡ７を製造した。
え１１上
ピアノ線にイオンブレーティング法でＣｒを０゜１μｍ
の厚みでコーティングして中間層を形成し、次に高周波
（１３，５６Ｍｆ−１ｚ ）イオンブレーティング法に
よりＣ２Ｈ４を原料にして、一般にｉ−カーボンと称さ
れる炭素質被膜を１μｍの厚みでコーティングし、第２
図に示すような構造のワイヤを製造した。
の厚みでコーティングして中間層を形成し、次に高周波
（１３，５６Ｍｆ−１ｚ ）イオンブレーティング法に
よりＣ２Ｈ４を原料にして、一般にｉ−カーボンと称さ
れる炭素質被膜を１μｍの厚みでコーティングし、第２
図に示すような構造のワイヤを製造した。
且１」ＬＬ
ピアノ線に、直接エキシマレーザ光ＣＶＤ法により、Ｃ
Ｈ，を原料ガスとして、ダイヤモンド被膜を約１μｍの
厚みでコーティングし、第１図に示すような構造のワイ
ヤを！Ｉ造した。
Ｈ，を原料ガスとして、ダイヤモンド被膜を約１μｍの
厚みでコーティングし、第１図に示すような構造のワイ
ヤを！Ｉ造した。
以上の実施例１〜５で得られたワイヤを、ワイヤソーと
して、Ｇａ Ａｓ単結晶を切断し、使用テストを行なっ
た。なお、比較としてピアノ線のままのちのをワイレソ
ーとして用い、使用テストを行なった（比較例）。使用
テストの結果を第１表に示す。
して、Ｇａ Ａｓ単結晶を切断し、使用テストを行なっ
た。なお、比較としてピアノ線のままのちのをワイレソ
ーとして用い、使用テストを行なった（比較例）。使用
テストの結果を第１表に示す。
＊）比較例を１．０とした相対比
第１表の結果から明らかなように、この発明の実施例１
〜５をワイヤソーとして用いると、比較例に比べて、切
断速度が速く、まｌζ使用の寿命が長くなることが確認
された。
〜５をワイヤソーとして用いると、比較例に比べて、切
断速度が速く、まｌζ使用の寿命が長くなることが確認
された。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明のワイヤソー用ワイＮ７
には、高い硬度を有するダイヤモンド被膜または炭素質
被膜が設けられているため、従来のワイヤソー用ワイヤ
に比べ、耐摩耗性に優れている。したがっ゛て、切断速
度を汎しく速くすることができ、また被加工物への機械
的な歪の導入を抑制することができる。さらに、この発
明において金属線の表面に設けられるダイヤモンド被膜
および炭素質被膜は、熱伝導性が優れているため、切断
の除土じるＩ！Ｊ擦熱が該被膜によって速やかに除去さ
れる。これにより、ワイヤ自身の長スｆ命化を図ること
ができ、さらに被加工物への熱的な影響を抑制すること
ができる。
には、高い硬度を有するダイヤモンド被膜または炭素質
被膜が設けられているため、従来のワイヤソー用ワイヤ
に比べ、耐摩耗性に優れている。したがっ゛て、切断速
度を汎しく速くすることができ、また被加工物への機械
的な歪の導入を抑制することができる。さらに、この発
明において金属線の表面に設けられるダイヤモンド被膜
および炭素質被膜は、熱伝導性が優れているため、切断
の除土じるＩ！Ｊ擦熱が該被膜によって速やかに除去さ
れる。これにより、ワイヤ自身の長スｆ命化を図ること
ができ、さらに被加工物への熱的な影響を抑制すること
ができる。
実施例のようにエキシマレーザ光ＣＶＤ法を用いてダイ
ヤモンド被膜または炭素質被膜を形成すると、被膜の生
成温度を低くすることができるため、基材となる高抗張
力金属線の強度を下げることなく被膜を形成させること
ができる。さらに、このようにしてＩＦＪ造されｌ〔ワ
イヤは切断の際高い張力で使用することができるため、
切断加工の精度を一段と高めることができる。
ヤモンド被膜または炭素質被膜を形成すると、被膜の生
成温度を低くすることができるため、基材となる高抗張
力金属線の強度を下げることなく被膜を形成させること
ができる。さらに、このようにしてＩＦＪ造されｌ〔ワ
イヤは切断の際高い張力で使用することができるため、
切断加工の精度を一段と高めることができる。
第１図は、この発明の一実施例を示づ断面図である。第
２図は、この発明の他の実施例を示す断面図である。 図において、１は金属線、２はダイヤモンド被膜または
炭素質被膜、３は中間層を示す。 第１図 第２図
２図は、この発明の他の実施例を示す断面図である。 図において、１は金属線、２はダイヤモンド被膜または
炭素質被膜、３は中間層を示す。 第１図 第２図
Claims (4)
- （１）高抗張力を有する金属線の周囲に、ダイヤモンド
被膜またはＣを主成分としダイヤモンドに近似した硬度
を有する炭素質被膜が設けられていることを特徴とする
、ワイヤソー用ワイヤ。 - （２）前記金属線がＦｅまたはＮｉを主成分とし、該金
属線の表面と前記ダイヤモンド被膜または炭素質被膜と
の間に、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｚｒ、ＨｆおよびＴａからなる群
より選ばれた１種もしくは２種以上の金属を主成分とす
る中間層が設けられていることを特徴とする、特許請求
の範囲第１項記載のワイヤソー用ワイヤ。 - （３）前記中間層の厚みが０．０５〜１μｍであること
を特徴とする、特許請求の範囲第２項記載のワイヤソー
用ワイヤ。 - （４）前記ダイヤモンド被膜または炭素質被膜が、エキ
シマレーザによる光ＣＶＤ法により形成されたものであ
ることを特徴とする、特許請求の範囲第１、２または３
項に記載のワイヤソー用ワイヤ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15547886A JPH0696222B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | ワイヤソ−用ワイヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15547886A JPH0696222B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | ワイヤソ−用ワイヤ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6311274A true JPS6311274A (ja) | 1988-01-18 |
| JPH0696222B2 JPH0696222B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=15606927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15547886A Expired - Lifetime JPH0696222B2 (ja) | 1986-07-01 | 1986-07-01 | ワイヤソ−用ワイヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0696222B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITMI20081835A1 (it) * | 2008-10-16 | 2010-04-17 | Noor S R L | Filo diamantato perfezionato |
| EP2586557A1 (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-01 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Saw and sawing element with diamond coating and method for producing the same |
| WO2022259927A1 (ja) * | 2021-06-11 | 2022-12-15 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ソーワイヤ用電着線及び金属線、並びに、ソーワイヤ用電着線の製造方法 |
-
1986
- 1986-07-01 JP JP15547886A patent/JPH0696222B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITMI20081835A1 (it) * | 2008-10-16 | 2010-04-17 | Noor S R L | Filo diamantato perfezionato |
| EP2586557A1 (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-01 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Saw and sawing element with diamond coating and method for producing the same |
| CN103072210A (zh) * | 2011-10-26 | 2013-05-01 | 应用材料瑞士有限责任公司 | 锯和具有金刚石涂层的锯切元件及其制造方法 |
| WO2022259927A1 (ja) * | 2021-06-11 | 2022-12-15 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ソーワイヤ用電着線及び金属線、並びに、ソーワイヤ用電着線の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0696222B2 (ja) | 1994-11-30 |
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