JPS63104696A

JPS63104696A - 水のコンデイシヨニングを行なうための装置及び方法

Info

Publication number: JPS63104696A
Application number: JP62015895A
Authority: JP
Inventors: トーマス・ベローズ
Original assignee: Aquafine Corp
Current assignee: Aquafine Corp
Priority date: 1986-10-22
Filing date: 1987-01-26
Publication date: 1988-05-10
Also published as: FI871765A0; EP0265031A1; KR880005038A; EP0265031B1; AU7672287A; NO874343D0; ATE60310T1; DE3767647D1; FI871765A; HK63591A; NO874343L

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は水のコンディショニングを行なうための装置及
び方法に係わる０本発明は非限定的−例として特にイオ
ン交換樹゛脂カラム内の有機物を減少させるた場合に使
用される。

実験室での実験及び多くの工業的プロセス、例えは電子
コンポーネント及びコンピュータチップの製造、原子炉
の冷却等に使用される水はできるだけ高い純度を有する
か、又は少なくともこれら実験及び工業的プロセスに悪
影響を及ぼすような不純物を含まないことが要求される
。好ましくない粒子を除去するためには種々の効果を持
つ種々のフィルタが開発された。水からイオンを除去す
るためには様々なタイプのイオン交換樹脂が使用されて
きた。水中に含まれるバクテリアの減少又は破壊には種
々の添加物及びプロセスが使用され炭素（Ｔｏｔａｌ　
Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｃａｒｂｏｎ、“ＴＯＣ”）又は全酸
化可能炭素（Ｔｏｔａｌ　０ｘｉｄｉｚａｂｌｅ　（’
ａｒｂｏｎ）と称される有機不純物は、腐敗植物、工業
用媒質、石油、イオン交換システム等様々な由来を有し
得る。多くのプロセスではある程度のＴＯＣレベルは許
容し得るが、場合によっては有害であるか又は許容し得
ないことさえある。また、高レベルのＴＱＣが存在する
と別の水コンディショニングプロセスに支障が生じ得る
。

本発明の有用な用途の１つは、これから説明するように
、水の精製システムで使用されるイオン交換樹脂のコン
ディショニング又は再コンディショニングにある。イオ
ン交換体は水のイオン除去処理、特に好ましくない陰イ
オン及び陽イオンを水から除去する処理で使用される。

所望のイオン除去効果を得るために様々なタイプの合成
樹脂（ポリマー）を使用する種々のイオン交換樹脂が存
在している。これらの樹脂は容器内で「プラスデックの
砂」からなる層を構成し、この層に処理すべき水が通さ
れる。このような形態に起因してイオン交換体はしばし
ば「樹脂カラム」と称される。樹脂は樹脂カラムをある
程度の期間使用した後で再生する必要があり、あるいは
効果的な再生が不可能な場合には廃棄しなければならな
い、いずれにしろ再生を数回繰り返した後では交換の必
要がある。再生の場合には適当な薬品を樹脂カラムに通
して、イオン除去を生起させた化学的プロセスを反転さ
せ、それによって樹脂を所望のイオン交換を再び行ない
得るような組成物に戻す、普通に使用しているうちに、
樹脂カラムには有機不純物も蓄債する。これらの不純物
は樹脂に付着し易く、水のイオン除去処理における樹脂
の効果を減少させる。イオン除去効果を回復すべく樹脂
の再生に使用される薬品は、通常、樹脂上に蓄積した有
機物を大幅に減少させることはない、場合によっては有
機不純物を樹脂カラムから洗い流すべく比較的純度の高
い水を樹脂カラムに通すこともあるが、この操作は火星
の水を必要とする。

本発明は、特定波長の紫外線で水を強く照射して有機不
純物を二酸化炭素及び池の無害な酸化生成物に変換する
ことにより、全有機炭素ＴＯＣを実質的に減少又は除去
する装置及び方法を提供する。

前記酸化生成物は水中に溶解する６本発明はより特定的
には、水中の有機不純物を主に二酸化炭素に変換すべく
水をほぼ１８５ｎｍ（ナノメータ）の波長の紫外線で照
射する方法及び装置を提供することを目口勺とする。

本発明の別の目的は、有機不純物がほぼ完全に樹脂から
洗い落とされ且つ二酸化炭素に変換されるまで、樹脂カ
ラムと、はぼ１８５ｎｍの紫外線による水の強い照射に
よって有機不純物を後で樹脂により除去されることにな
る主として二酸化炭素に変換する装置とを通して、水を
閏須ループ状に凋環させることにより水中の有機不純物
を除去するような、イオン交換樹脂カラムの再コンディ
ショニングに使用される方法及び装置を提供することに
ある６本発明の別の目的は、有機不純物を減少させるべ
く水を主に１８５ｎｍ紫外線で照射すると、その水がＴ
ＯＣレベルが最小であることを要件とする実験又は工業
的プロセスに直接使用できるようになるという方法及び
装置を提供することにある。

本発明の更に別の目的は、工業的プロセスで回収された
水を有機物の除去によって再使用できるようにすべく、
本発明の装置を通して繰り返し循環させるような水処理
システムを提供することにある。

本発明の他の目的及び利点は当業者には添付図面に基づ
く以下の非限定的説明から明らかであろう。

昌」Ｌ泗− 第１図及び第２図に示した本発明の装置の好ましい具体
例では、全体が符号１０で示されるＴＯＣ減少減少ユニ
ット相長い円筒体１１を有し、この円筒体の一端に該円
筒体の側面から側方に突出する管１２が固定され、且つ
他端に第２の管１３が側方に突出するように固定されて
いる。管１２及び１３は円筒体１１内部と連通して夫々
円筒体への入口及び円筒体からの出口を構成する。各管
１２及び１３にはその管を水循環システムに接続する手
段が具備される。

この手段は通常タイプのフランジ１４で構成し１．る。

各管１２，１３はまた、ユニット１０に出入りする水の
特性をモニターずべくメータ、サンプリング装置等を接
続するか、又は酸素もしくは他の酸化促進添加物を円筒
体１１に流入する水に加えるための装置を接続するのに
適した分岐管１５を備え・る。

細長い円筒体１１の各先端には軸方向に延びるネジ山付
部分が具備され、この部分に圧縮ナツト１６がネジ止め
され得る０円筒体１１の中には１８５ｎｓ＋光を透過す
る性質を持つ石英の管又はスリーブ１７が配置され、こ
れが両端から突出して圧縮ナツト１６と係合する。この
ナツトは該石英スリーブを従来の方法で円筒体１１に気
密的に接続する。この従来の構成法によって石英スリー
ブ１７と円筒体１１との間には環状流体チャンバ１８が
形成され、このチャンバを介して水が入口管１２から出
口管１３へと円筒体１１の全長にわたって流れる０円筒
体１１の各先端で圧縮ナラＩ・１６によって石英スリー
ブ１７を固定すると、ユニット１０の長さにわたり管状
通路が形成されることになる。この通路は両端が開放さ
れている１石英スリーブ１７により形成された前記管状
通路の中には紫外線ランプ１９が配置され、このランプ
の各端に電気ランプソケット２０が接続されるようにな
っている。この構造に類似した構造での紫外線ランプ先
端の従来形接続法は多数あるが、ランプソケット２０は
ランプ１９を各端で支持し且つランプ１９を石英スリー
ブ１７に対して実π的に調心するような大きさ、形状及
び材料からなるのが好ましい、各ランプソケット２０に
接続された電線２１を介して適切な電力を送れば紫外線
ランプ１９が点灯し得る。

前述のｆｉ造は、水及び他の流体を紫外線処理する従来
形装置の多くに類似しているが、本発明のＴ　ＯＣ減少
ユニット１０にとって好ましい構造上の詳細部分はいく
つか存在する。特に、現用の低圧タイプ紫外線ランプを
使用する場合には、流体チャンバ１８が比較的小さい径
方向幅、例えば０．５インチ以下の幅を有するのが好ま
しい、このようにすればランプ１９から送出される紫外
線がチャンバ１８を介して流れる水の中でかなり集中し
、円筒体１１がより大きい場合に生じるであろうように
、前記紫外線が拡散して周囲の円筒体１１に到達する前
に水をより長い距離にわたって通過しなければならない
ということがなくなる０例えば、このタイプの多くの従
来形紫外線式水精製装置では環状水チャンバの径方向幅
はほぼ１インチである。環状酸化チャンバ１８の径方向
寸法を小さくすれば、１８５ｎｍ光の強さが水チヤンバ
内の水の径方向深さを通して実質的レベルに維持され、
従って水による１８５ｎｍ光の吸収にも拘わらず有機物
が実質的に酸化される。

紫外線ランプ１９は水中の有機物を光分解するのに特に
適したほぼ１８５ｎｍの波長を大量に発生させるタイプ
のランプであるのが好ましいが、本発明はこれには限定
されず、水中の有機物を適切に光分解し得る種々の波長
の紫外線をその範囲内で使用し得ると理解されたい、複
雑なテスト装置で水中のＴＱＣを分析するのに前記範囲
の紫外線を使用することは、米国特許第３，９５８，９
４１号で良く知られている。前述のごとく、紫外線を使
用して水中の有ｉ物の光化学的酸化を行なうと、多くの
実験及び工業プロセスに無害な二酸化炭素が主に形成さ
れる。

第１図及び第２図に示した装置は約３０インチの標準的
長さの紫外線ランプを使用するが、これとは異なる長さ
及び形状のランプを使用するか、又はまり大きい直径を
持つ単一容器内で複数のランプを使用することもできる
。また、より速い即ちより効率的な水の処理を行なうべ
く、単一システム内で２つ以上のユニッＩ・を直列に接
続して使用してもよい、また、実験で使用した３０イン
チランプ１９は、約１３，８紫外線ワットを発生させ且
つわずか約５％の１８５ｎｍと９５％の２５４ｎｍ光と
を送出するとされている出力４０ワットの低圧形成ラン
プであるが、１８５ｎｍ光はより大きい割合で送出され
るのが好ましく、このようなランプは開発可能であると
考えられる。また、ｌ１ａｎｏｖｉａ　Ｌｔｄ、（ホン
コン）、Ｐｈ１ｌｉｐｓ　Ｂ、Ｖ、（オランダ）、Ｂｒ
ｏｕ＋ｎ　ｆｌｏｖａｒｉ　Ｓ、Ａ、（スイス）その他
の′！Ａ３ｍによる高圧及び中圧紫外線ランプもあり、
これらのランプは現在ヨーロッパ及びイギリスでバクテ
リアの抑制に使用されている。

これらのランプは例えば１８５０ワット程度のかなり大
きなワット数を使用し、本発明で有用であり得るかなり
高い紫外線出力を発生させる０本出願人はまだテストし
ていないが、１８５ｎｍ紫外線の出力レベルがより高け
れば、処理チャンバ内の許容し得る水の深さは本発明を
効果的に実施する上で望ましい強さを犠牲にすることな
く、前述の０．５インチよりかなり大きくすることがで
きると考えられる。

水中に溶解した酸素の存在は、本発明によって実施され
るプロセスにおける有機炭素から二酸化炭素への実質的
酸化に作用する０■遊離基及び他の種々の高反応性化学
基種の発生に影響を及ぼすと考えられる。従って、この
ような反応性化学基種の発生に有利に作用し得る１作ス
テップはいずれも本発明のプロセスに有利な影響を与え
ると考えられる。

また、酸化プロセスの間に水と接触する特定物質の存在
も有機炭素酸化プロセスを実質的に促進し得ることが判
明した。このような物質の１つはチタンであり、従って
円筒体１１をチタンで形成するかチタンでライニングす
ると有機炭素からの主に二酸化炭素への酸化が促進され
ることが判明した。

第３図に示したシステムでは第１図及び第２図のＴＯＣ
減少減少ユニー１０の使用によりイオン交ｍ樹脂カラム
のコンディショニング又は再コンディショニングを行な
う、この図では２つのイオン交換樹脂カラム３０及び３
１が入口管３２と出口管３３との間に並列に接続されて
いるが、このシステムは単一の樹脂カラムもしくは２つ
以上の樹脂カラムを使用する場合、又はカラムを管３２
と３３との間で直列に接続する場合にも使用できる。ポ
ンプ３４は水を出口管３３からユニット１０への入口管
１２へと流すために具備され、入口管３２はユニット１
０の出口管１３と樹脂カラム３０及び３１との間に接続
される。給水管３５は、総ての管の接続が完了した後で
樹脂カラム３０及び３１のコンディショニング又は再コ
ンディショニングを開始できるようにイオン除去した水
を供給すべく、好ましくは圧力調整器３６を介して管３
２に接続する。紫外線ランプ１９を点灯し、水を樹脂カ
ラム３０．３１及びＴＯＣ減少ユニット１０を通して連
続的に且つ繰り返し循環させて有機物を樹脂カラム３０
．３１から洗い落とし、この有機物をユニット１ｏに通
して光化学的に主に二酸化炭素に酸化する。この二酸化
炭素は水に溶解し樹脂カラム３０．３１に戻され、そこ
で樹脂により除去される。光化学的酸化は二酸化炭素以
外の他の生成物も発生させる。

これら他の生成物はやはり樹脂カラム３０．３１内でイ
オン交換樹脂により除去される。この水の循環は樹脂カ
ラムのＴＯＣレベルが十分に小さくなるまで繰り返す、
有機物質は新しい樹脂カラムでも少量存在するが、この
システムを使用すれば実質的に減少又は除去することが
できる。使用後の樹脂カラムには有機不純物（ＴＯＣ）
が樹脂に悪影響を及ぼし従ってイオン除去を阻止するほ
ど極めて大量に存在し得るが、この紫外線画コンディシ
ョニングシステムを使用すればＴＯＣをがなり減少させ
実質的に除去することができる。

一例として、第１図及び第２図に示した構造を持つユニ
ット１０を、新たに再生した５つのイオン除去樹脂カラ
ムを並列に接続して使用する第３図のごときシステムで
使用してテストを行なった。

水の流量を樹脂１立方フイート当たり１．５ガロン／分
にして行なったテストでは、ＴＯＣＩＪ（Ｍ初の１時間
にわたる水の循環の間に約７００ｐｐｂ　（ｐａｒｔｓ
　ｐｅｒｂｉｌｌｉｏｎ）の初期レベルから約４００ｐ
ｐｂまで減少し、これに続く１時間の間に約３００ｐｐ
ｂになり、次の１４時間ｆ）　間ニ約１５　ｐ　ｐ　ｂ
　ニ’−Ｃす３８時ｒｍ　ｆ＆　ニ！ｔ　１．５ｐｐｂ
　）ニーいう極めて小さいレベルに減少した。水の流量
を樹脂１立方フイート当たり１ガロン／分に落として、
このシステムの５つの並列接続されたイオン除去タンク
の再コンディショニングに関する同様のテストを行なっ
たところ類似の結果が得られ、有機物が最初の１時間で
約７５０ｐｐｂがら４００ｐｐｂに低下し、次の２時間
で２５０ｐｐｂに減少し、合計１６時間後には約１４ｐ
ｐｂに減少し、合計４０時間後には約２．７ｐｐｂに低
下した。

第３図のシステムでは、ＴＯＣが所望の目的に適う程Ｆ
分小さいレベルになった時を検知すべく、このシステム
の動作をモニターするための適切な手段も具備し得る。

ユニット１０の入口管１２には抵抗計３７を重連の分岐
管１５上に配置し得る。同様にして出口管１３の上にも
第２の抵抗計３８を配置し得る。このようにすれば、水
の抵抗率の変化をモニターすべくユニット１０の入口及
び出口で前記抵抗率を測定することができる。この抵抗
率はＴＯＣに関連し得る溶解二酸化炭素を示すが、直接
的なものではない、また、管３２には実際のＴＯＣ＠モ
ニターするためのＴＯＣモニター３９を具備し得る。抵
抗率の測定より実際のＴＯＣをモニターするほうが好ま
しいが、この種の計測器は抵抗計よりがなり高価である
。従って通常のシステムでは、より安価な抵抗計３７及
び３８によるモニターで十分と思われる。

第３図のＴＯＣ減少ユニット１ｏは樹脂カラムの再生又
はコンディショニングでの使用の他に、実験及び工業的
プロセス用の給水システムでも有利に使用し得る。この
場合は供給用水のＴＯＣを実質的に減少させるべく、ユ
ニット１ｏを給水ライン内で給水ラインに接続された入
口管１２と水分配ラインに接続された出口管１３とに直
列接続する０例えば、高純度水を供給するためのシステ
ムでは、粒子を除去するための濾過ユニットと、水のイ
オン除去処理を行うイオン交換カラムとを使用するが、
これらのシステムではＴＯＣを最低にすることによって
水質を更に改良すべく　、ＴＯＣ減少ユニット１ｏを上
流または下流で前記濾過ユニット又はイオン除去ユニッ
トと直列に接続し得る。このようにして得られる水は有
機物の光化学的分解による二酸化酸素をある程度含むが
、この二酸化炭素は水の用途の多くに関して無害である
。

第４図は工業的プロセス用の典型的給水システｌ、を本
発明の装置と共に示している。ここでは本発明の装置は
この給水システムを有利に改良すべく２つの異なる位置
に配置されている。水は先ず任意の従来形の源４０から
前濾過ユニット４１に導入されて粒子除去処理にかけら
れ、次いで従来形の紫外線段重ユニツｈ　４２　（２５
４ｎｍ紫外線使用）を通して逆浸透式精製ユニット４３
に送られる。その後水は通常イオン除去ユニットを通っ
て貯蔵タンク４４に送られ、そこに貯蔵されて使用され
る０本発明のシステムでは２つの同等イオン除去ユニッ
ト４５及び４６を互いに並列に接続し、水が一度にいず
れか一方のユニット４５又は４６を介して流れるように
適切な弁を備える０本発明のＴＯＣ減少ユニッＩ・１０
ａはイオン除去ユニット４５及び４６に接続され、水が
ＴＯＣＪ少ユニツユニット１０ａのイオン除去ユニット
４５又は４６とを介して循環するようにポンプ４７が具
備される０例えば、弁４８及び５２を開放し且つ弁５０
及び５４を閉鎖すれば、逆浸透ユニット４３がらの水は
イオン除去ユニット４５のみを通って貯蔵タンク４４内
に流入する。また、弁４９及び５３を閉鎖し且つ弁５１
及び５５を開放すれば水はポンプ４７によりＴＯＣ減少
ユニツ１４０ａとイオン除去ユニット４６とを通って循
環し、第３図のシステムと同様のユニット４６で有機物
が減少し得る。このようにして、弁４８〜５５の位置を
前述の位置に定期的にスイッチすれば一方のイオン除去
ユニットで水のイオン除去を行っている間に、他方のイ
オン除去ユニットで有機物減少処理を行うことができる
。

第４図の装置ではその後清浄水が貯蔵タンク４４から複
カラム式イオン除去ユニット５６と、別の２５４ｎｍ紫
外線殺菌ユニット５７と、サブミクロンフィルタ５８と
を介して、例えばコンピュータチップの洗浄のような工
業的プロセスでの使用点５９に供給される。使用後の水
は回収タンク６ｏに送られ、そこで再処理又は再使用で
きるほど十分に清浄が又は廃棄すべきがを調べるべく純
度検査にがけられ、モニターされる。使用後の水が再使
用できるほど十分に清浄である場合には、これを炭；ｉ
ｐ過ユニット６１と、イオン除去ユニット６２と、別の
殺菌ユニット６３とを介して貯蔵タンク４４に送る。タ
ンク６ｏ内の水の質を再使用可能なように最大限に改良
するためには、イオン除去ユニット６４と、ＴＯＣ減少
ユニッ１司Ｏｂと、ポンプ６５とを含む再循環システム
を具備し、それによって水をユニット６４内で連続的に
イオン除去処理し、ユニット６４内及び水中の有Ｒ物を
本発明のｒｏｃｋ少ユニットｔａｂにより低レベルに維
持する。このシステムを使用すれば水を最大限に使用、
再使用することができる。

以上本発明をＴＯＣＩ少ユニツユニットしい具体例と、
このユニッ■・を使用するシステムの２つの好ましい具
体例とを挙げて説明してきたが、当業者には明らがなよ
うに本発明はこれら具体例には回定されずその範囲内で
様々な変形が可能であり且つ種々のシステムに使用し得
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の紫外線装置の好ましい具体例の斜視図
、第２図は！２−２による第１図の装置の拡大断面図、
第３Ｉ２Ｉはイオン交換樹脂カラムのＴＯＣを減少させ
るために第１図及び第２図の装置を使用したシステムの
簡略説明図、第４図は工業的プロセスで使用した水を再
使用できるようにＴＯＣ減少処理すべく第１図及び第２
図の装置を使用したシステムの簡略説明図である。１０　、１０ａ　、　１０ｂ・・・・・・ＴＯＣ減少ユ
ニット、１１・・・・・・円筒体、１２・・・・・・入
口管、１３・・・・・・出口管、１７・・・・・・石英
スリーブ、１９・・・・・・紫外線ランプ、３０，３１
，４５．４Ｇ、５８，６２．６４・・・・・・イオン交
換樹脂カラム、３７．３８・・・・・・抵抗計、３９・
・・・・・ＴＯＣモニター。図面の浄３（内容に変更なし）ｆ尼、４゜手続補正口昭和６２年３月２０日１、事件の表示　　　昭和６２年特許願第１５８９５号
２、発明の名称　　　水のコンディショニングを行なう
ための装置及び方法３、補正をする者 °事件との関係　　特許出願人名　称　　　　アクアファイン・コーポレイション４、
代　理　人　　　東京都新宿区新宿１丁目１番１４号　
山田ピル（ばか１名）−・″ ８、補正の内容

Claims

【特許請求の範囲】

（１）有機物質含有水のコンディショニングを行なうた
めの有機物減少装置であって、１８５ｎｍ紫外線を発生
させる紫外線ランプを備えた酸化チャンバを含み、この
酸化チャンバが、前記有機物質を光化学的に酸化して主
に二酸化炭素を形成すべく水を紫外線で強く照射するた
めに、水の層を前記紫外線ランプの前を通るように誘導
する手段を備える装置。
（２）前記酸化チャンバが細長い円筒体とその中に同心
的に配置された石英スリーブとからなり、これら円筒体
とスリーブとの間に水を通すための狭い環状通路が形成
され、前記スリーブの中に前記紫外線ランプが配置され
る特許請求の範囲第１項に記載の装置。
（３）前記の強い紫外線照射状態が得られるように、ス
リーブと円筒体との間の前記環状通路の径方向の幅が約
０．５インチ以下である特許請求の範囲第２項に記載の
装置。
（４）前記紫外線ランプの長さが３０インチであり、出
力が約１３．８紫外線ワットである特許請求の範囲第３
項に記載の装置。
（５）前記紫外線の強さが、長さ３０インチ、出力１３
．８紫外線ワットの紫外線ランプを円筒チャンバの中央
に配置し、このランプを深さ０．５インチの水の層で包
囲した時に生じる強さと同じかそれより大きい特許請求
の範囲第１項に記載の装置。
（６）前記酸化チャンバがチタンからなる相当広い表面
領域を有し、この領域が前記水と接触する特許請求の範
囲第１項に記載の装置。
（７）入口と出口とを備えた容器内のイオン交換樹脂の
コンディショニングを行なうための有機物減少装置であ
って、１８５ｎｍ紫外線を発生させる紫外線ランプを備
えた酸化チャンバと、この酸化チャンバを前記容器の入
口と出口との間に接続すると共に水が容器の出口から酸
化チャンバ内に流れ、このチャンバを通りながら紫外線
で照射され、その後容器の入口に戻るように循環させる
手段とを有する装置。
（８）水中の有機物質レベルを測定すべく循環水の特性
を測定し且つモニターするための手段を備える特許請求
の範囲第７項に記載の装置。
（９）前記酸化チャンバが透明スリーブを内部に備えた
円筒体からなり、これら円筒体とスリーブとの間に水を
通すための環状通路が形成され、前記スリーブの中に前
記紫外線ランプが配置される特許請求の範囲第７項に記
載の装置。
（１０）前記の強い紫外線照射状態が得られるように、
スリーブと円筒体との間の前記環状通路の径方向の幅が
約０．５インチ以下である特許請求の範囲第９項に記載
の装置。
（１１）前記紫外線ランプの長さが３０インチであり、
出力が約１３．８紫外線ワットである特許請求の範囲第
１０項に記載の装置。
（１２）前記紫外線の強さが、長さ３０インチ、出力１
３．８ワットの紫外線ランプを円筒チャンバの中央に配
置し、このランプを深さ０．５インチの水の層で包囲し
た時に生じる強さと同じかそれより大きい特許請求の範
囲第７項に記載の装置。
（１３）前記酸化チャンバがチタンからなる相当広い表
面領域を有し、この領域が前記水と接触する特許請求の
範囲第７項に記載の装置。
（１４）入口と出口とを有する容器内の有機炭素で汚染
されたイオン交換樹脂のコンディショニングを行なう装
置であって、円筒状ボディと、このボディ内で該ボディ
の長さにわたって同心的に配置された石英スリーブと、
１８５ｎｍ紫外線を発生させる紫外線ランプと、前記容
器の出口を前記円筒ボディの入口に接続し且つ前記円筒
ボディの出口を前記容器の入口に接続する手段とを備え
、前記石英スリーブの外側と前記円筒ボディの内側との
間に狭い環状通路が形成され、前記円筒ボディの入口が
一方の先端の外側表面に位置し且つ出口が他方の先端に
位置し、これら入口及び出口が水を前記一端から前記他
端まで前記環状通路を介して誘導すべく前記環状通路に
連通し、前記紫外線ランプが前記石英スリーブの中に配
置され且つ前記円筒ボディの長さにわたって延びて前記
環状通路内の水を紫外線で照射し、前記接続手段が水を
容器から管状通路を通して容器に戻るまで繰り返し循環
させるためのポンプ手段を有し、この循環によって水と
樹脂から除去された有機炭素汚染物とが紫外線で繰り返
し照射され、その結果有機炭素汚染物が酸化されて主に
二酸化炭素になり、この二酸化炭素が樹脂によって循環
水から除去されるように構成された装置。
（１５）石英スリーブの外側と円筒ボディの内側との間
の狭い管状通路の径方向の幅が０．５インチ以下であり
、紫外線ランプの長さが３０インチであって紫外線ワッ
トを発生させる特許請求の範囲第１４項に記載の装置。
（１６）有機炭素で汚染された水のコンディショニング
を行なうための方法であって、汚染水を繰り返し循環さ
せて１８５ｎｍの強さの紫外線で照射し、有機炭素を主
に二酸化炭素に酸化させるステップからなる方法。
（１７）水を紫外線で照射するステップにおいて、水を
チタンからなる相当広い表面領域に接触させる特許請求
の範囲第１６項に記載の方法。
（１８）容器内の有機炭素で汚染されたイオン交換樹脂
のコンディショニングを行なうための方法であって、水
を前記容器内の樹脂に通して有機炭素をこの水で洗い落
とし、水と洗い落とした有機炭素とを循環させて１８５
ｎｍの強さの紫外線で照射し、それによって有機炭素を
主に二酸化炭素に酸化し、水と二酸化炭素とを容器に送
り返して有機炭素を更に水に洗い落とす諸ステップから
なり、この容器から出て容器に戻る水の循環を、水と共
に容器から流出する有機炭素のレベルが所望の所定レベ
ルに達するまで続けることからなる方法。
（１９）樹脂による吸着によって容器内の二酸化炭素を
除去するステップを含む特許請求の範囲第１８項に記載
の方法。
（２０）所望の所定ＴＯＣレベルが得られた時点を検知
すべく水のＴＯＣレベルをモニターする操作を含む特許
請求の範囲第１８項に記載の方法。
（２１）前記所望の所定レベルが得られた時点を検知す
べく水の抵抗率をモニターする操作を含む特許請求の範
囲第１８項に記載の方法。
（２２）水を紫外線で照射するステップにおいて、かな
りの広さのチタン表面に水を接触させるステップを含む
特許請求の範囲第１８項に記載の方法。
（２３）水システムの複数の容器内の有機炭素で汚染さ
れたイオン交換樹脂のコンディショニングを行なうため
のシステムであつて、第１イオン交換樹脂容器を給水シ
ステムから選択的に隔離する一方で第２イオン交換樹脂
容器を給水システムで作動させておき、第１イオン交換
樹脂容器を水を循環させるための再循環システムに接続
し且つその水を１８５ｎｍ紫外線で照射して有機炭素を
酸化し、次いで今度は第２イオン交換樹脂容器を給水シ
ステムから選択的に隔離する一方で第１イオン交換樹脂
容器を給水システムで作動させ、第２イオン交換樹脂容
器を前記再循環システムに接続することからなるシステ
ム。
（２４）前記再循環システムが水と接触する相当な広さ
のチタン表面を含む特許請求の範囲第２３項に記載のシ
ステム。
（２５）水システムの複数の容器内の有機炭素で汚染さ
れたイオン交換樹脂のコンディショニングを行なうため
のシステムであって、イオン交換樹脂を収容した第１及
び第２容器と、これら第１及び第２容器を給水システム
で並列に接続する手段と、前記第１及び第２容器に接続
され且つ水循環用ポンプの他に有機炭素の酸化を行なう
べく循環水を１８５ｎｍ紫外線で照射するための手段を
備えた再循環システムと、前記第１及び第２容器のいず
れか一方を給水システムから選択的に隔離してその隔離
した容器を前記再循環システムに接続し且つ他方の容器
を給水システムに接続させておく弁手段とを含むシステ
ム。
（２６）前記再循環システムが水と接触する相当な広さ
のチタン表面を含む特許請求の範囲第２５項に記載のシ
ステム。
（２７）水システムのタンク内に回収された水のコンデ
ィショニングを行なうためのシステムであって、水を前
記タンクから取り出し且つタンクに戻す水再循環システ
ムと、この再循環システム内のイオン除去手段とを含み
、この再循環システムが更に、これを通して循環する水
を１８５ｎｍ紫外線で照射して水中の有機炭素を酸化さ
せるための手段を備えるシステム。
（２８）再循環システムが先ず水をタンクから取り出し
てイオン除去手段に通し、次いでこの水を１８５ｎｍ紫
外線による照射を行なう手段に通す特許請求の範囲第２
７項に記載のシステム。
（２９）前記再循環システムが水と接触する相当な広さ
のチタン表面を含む特許請求の範囲第２７項に記載のシ
ステム。
（３０）容器内のイオン交換樹脂を供給用水中の有機炭
素に起因する汚染から保護するためのシステムであって
、供給用水が容器に到達する前にこの水を総て受容すべ
く容器の上流に接続された手段を含み、この手段が水を
１８５ｎｍ紫外線で照射するための手段を備えるシステ
ム。