JPS6293941A - エツチング終点判定装置 - Google Patents
エツチング終点判定装置Info
- Publication number
- JPS6293941A JPS6293941A JP23320985A JP23320985A JPS6293941A JP S6293941 A JPS6293941 A JP S6293941A JP 23320985 A JP23320985 A JP 23320985A JP 23320985 A JP23320985 A JP 23320985A JP S6293941 A JPS6293941 A JP S6293941A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- end point
- amplifier
- detector
- emission spectrum
- Prior art date
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- Pending
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、エツチング終点ｒ］定装置に関するものであ
る。
る。
従来の装置は１例えば、特開昭５７−５９３３２号公報
に記載のように、発光スペクトル強度を検出する検出器
から得られる信号を微分することを特徴とする終点判定
検出方法で終点判定を行っている。
に記載のように、発光スペクトル強度を検出する検出器
から得られる信号を微分することを特徴とする終点判定
検出方法で終点判定を行っている。
しかし、この装置では、ドライエツチング中に、電極回
転や篩周波電諒の昼周波漏洩等が原因となり検出器から
の信＋ｉｌｉに交流成分がのるため、この信号を微分し
た場合、交流成分の影響を受けやすい構成となっていた
。
転や篩周波電諒の昼周波漏洩等が原因となり検出器から
の信＋ｉｌｉに交流成分がのるため、この信号を微分し
た場合、交流成分の影響を受けやすい構成となっていた
。
本発明の目的は、発光スペクトル強度を検出する検出器
から得られる信号に含まれる交流成分を取り除き、エッ
チノブ終点１１定の信頼性を向上できるエツチング終点
判定装置を提供する二とにある。
から得られる信号に含まれる交流成分を取り除き、エッ
チノブ終点１１定の信頼性を向上できるエツチング終点
判定装置を提供する二とにある。
本うこ明は、ドライエツチング中にｙｌと生する特定の
発光スペクトル強度を検出する検出器から得らねた信号
の増幅手段と、前記検出器から得られる信号に含まれる
交流成分を取り出す交流増幅手段と、検出器から得らｒ
ｔた信号を増幅する増幅器から得られる信号の交流成分
を除去する演算手段とを具備したことで、検出器から得
られる信号に含まｎる交流成分を取り除き、エツチング
終点判定の信頼性を同上させるようにしたものである。
発光スペクトル強度を検出する検出器から得らねた信号
の増幅手段と、前記検出器から得られる信号に含まれる
交流成分を取り出す交流増幅手段と、検出器から得らｒ
ｔた信号を増幅する増幅器から得られる信号の交流成分
を除去する演算手段とを具備したことで、検出器から得
られる信号に含まｎる交流成分を取り除き、エツチング
終点判定の信頼性を同上させるようにしたものである。
以下、本発明の一実施例を第１図〜７！Ｓ５図により説
明する。
明する。
第１図で、プラズマドライエツチングは、エツチングチ
ャ／バー１０内にエツチングガスを導入し、該エツチン
グガスをプラズマ化し該プラズマにより被エツチング材
美のエツチングを行うものである。そのエツチング中に
発生する特定のイオン又はラジカルの発光スペクトルを
チャンバー１０の側壁に設けられた採光窓１１を介して
分光器間で選択し、フォトマル３１で電子を増加して電
流を発生させ電流電圧変換器羽で電圧に変換し、増幅器
おで増幅させて、終点検出器調で、発光スペクトルの強
度変化を調べて、終点検出を行っている。しかし、実際
は、エツチング中に、電極回転、高周波漏洩等により、
信頼性の高い終点判定が行なえないＯ 第２図は、第１図の増幅器おの基本構成図であり、直流
成分をカットするコンデンサ、］３ａと減算回路３３ｂ
とアンプ３３Ｃ，アンプ３３ｄで構成されている。
ャ／バー１０内にエツチングガスを導入し、該エツチン
グガスをプラズマ化し該プラズマにより被エツチング材
美のエツチングを行うものである。そのエツチング中に
発生する特定のイオン又はラジカルの発光スペクトルを
チャンバー１０の側壁に設けられた採光窓１１を介して
分光器間で選択し、フォトマル３１で電子を増加して電
流を発生させ電流電圧変換器羽で電圧に変換し、増幅器
おで増幅させて、終点検出器調で、発光スペクトルの強
度変化を調べて、終点検出を行っている。しかし、実際
は、エツチング中に、電極回転、高周波漏洩等により、
信頼性の高い終点判定が行なえないＯ 第２図は、第１図の増幅器おの基本構成図であり、直流
成分をカットするコンデンサ、］３ａと減算回路３３ｂ
とアンプ３３Ｃ，アンプ３３ｄで構成されている。
第３図は、■２図Ａ点の電圧波形関を示し、男４図は、
Ｔ２図Ｂ点の電圧波形５１．６点の電圧波形５２を示し
、第５図は、第２図り点の電圧波形部である。
Ｔ２図Ｂ点の電圧波形５１．６点の電圧波形５２を示し
、第５図は、第２図り点の電圧波形部である。
検出器あにより得られた信号は、直流成分と前記ノイズ
により７５３図のような、交流成分を含んだ波形となっ
ている。前記波形をアンプ３３ｃで増幅した１４圧波形
５１と、前記波形の１頁流成分をコンデンサ３３ａでカ
ットし交流成分のみをアシプオｄで増幅した電圧波形５
２の両波形を減算回路３３ ｂ ｌこよって交流成分を
取り除き第５図のような直流成分のみの波形田によって
、信頼性の晶い終点判定を行うことができる。
により７５３図のような、交流成分を含んだ波形となっ
ている。前記波形をアンプ３３ｃで増幅した１４圧波形
５１と、前記波形の１頁流成分をコンデンサ３３ａでカ
ットし交流成分のみをアシプオｄで増幅した電圧波形５
２の両波形を減算回路３３ ｂ ｌこよって交流成分を
取り除き第５図のような直流成分のみの波形田によって
、信頼性の晶い終点判定を行うことができる。
なお、第２図の構成の増幅器あを用いる場合において、
特に高い周波数において、アンプ３３ｃとアンプ３３ｄ
に位相差が生じ正常な動作が得られない場合がある。こ
の場合（こは、増幅器おより前の回路においてフィルタ
回路を通すようにすればよい。このフィルタ回路は比較
的高い周波数をカットするだめのものであｎばよいから
、小型で構成できるし、信相の遅れも少な（ですむ。
特に高い周波数において、アンプ３３ｃとアンプ３３ｄ
に位相差が生じ正常な動作が得られない場合がある。こ
の場合（こは、増幅器おより前の回路においてフィルタ
回路を通すようにすればよい。このフィルタ回路は比較
的高い周波数をカットするだめのものであｎばよいから
、小型で構成できるし、信相の遅れも少な（ですむ。
本５ｆｉ明は、以上説明したように発光スペクトル強度
を検出する検出器から出られる信号に含まれる交流成分
を取り除くことで、エツチング終点判定の信頼性を向上
できる効果がある。
を検出する検出器から出られる信号に含まれる交流成分
を取り除くことで、エツチング終点判定の信頼性を向上
できる効果がある。
第１図は、本発明によるエツチング終点量定装置の一実
施例を示すブロック構成図、ＪＴ ２文は、第１図１こ
示す増幅器の回路図、第３図〜第５図は、第２図のＡ点
〜Ｄ点での電圧波形の模式図である。
施例を示すブロック構成図、ＪＴ ２文は、第１図１こ
示す増幅器の回路図、第３図〜第５図は、第２図のＡ点
〜Ｄ点での電圧波形の模式図である。
Claims (1)
- １、ドライエッチング反応中に発生する特定のイオンお
よびラジカルの発光スペクトル強度を検出する検出器と
、前記検出器から得られた信号を増幅する増幅器と、前
記増幅器から得られた信号の変化によりドライエッチン
グの終点判定を行う終点判定手段とから成る終点判定装
置において、前記検出器から得られた信号の増幅手段と
、前記検出器から得られる信号に含まれるある周波数以
上の交流成分を取り出す交流増幅手段と、前記増幅器か
ら得られる信号の交流成分を除去する演算手段とを具備
したことを特徴とするエッチング終点判定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23320985A JPS6293941A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | エツチング終点判定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23320985A JPS6293941A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | エツチング終点判定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6293941A true JPS6293941A (ja) | 1987-04-30 |
Family
ID=16951465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23320985A Pending JPS6293941A (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | エツチング終点判定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6293941A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01226154A (ja) * | 1988-03-07 | 1989-09-08 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
| KR100363333B1 (ko) * | 2000-12-04 | 2002-12-05 | 삼성전자 주식회사 | 반도체 웨이퍼 공정 시스템의 고전압 챔버의 파라미터를 모니터링하기 위한 장치 |
-
1985
- 1985-10-21 JP JP23320985A patent/JPS6293941A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01226154A (ja) * | 1988-03-07 | 1989-09-08 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
| KR100363333B1 (ko) * | 2000-12-04 | 2002-12-05 | 삼성전자 주식회사 | 반도체 웨이퍼 공정 시스템의 고전압 챔버의 파라미터를 모니터링하기 위한 장치 |
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