JPS629259A - 浸透法によるパ−ツの漏れ検査用機械 - Google Patents
浸透法によるパ−ツの漏れ検査用機械Info
- Publication number
- JPS629259A JPS629259A JP61157745A JP15774586A JPS629259A JP S629259 A JPS629259 A JP S629259A JP 61157745 A JP61157745 A JP 61157745A JP 15774586 A JP15774586 A JP 15774586A JP S629259 A JPS629259 A JP S629259A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- piston
- horizontal
- open end
- cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
- G01M3/229—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B07—SEPARATING SOLIDS FROM SOLIDS; SORTING
- B07C—POSTAL SORTING; SORTING INDIVIDUAL ARTICLES, OR BULK MATERIAL FIT TO BE SORTED PIECE-MEAL, e.g. BY PICKING
- B07C5/00—Sorting according to a characteristic or feature of the articles or material being sorted, e.g. by control effected by devices which detect or measure such characteristic or feature; Sorting by manually actuated devices, e.g. switches
- B07C5/34—Sorting according to other particular properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Saccharide Compounds (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
- Medicines Containing Material From Animals Or Micro-Organisms (AREA)
- Automobile Manufacture Line, Endless Track Vehicle, Trailer (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、パーツの漏れを“浸透”法によって検査する
のに用いられる機械に係わる。
のに用いられる機械に係わる。
ノ♀−ツの漏れ検査には幾つかの方法が用いられている
。成る公知方法では、検査するノ耐−ツの内部を真空に
し、真空にした前記内部をリークデテクタと連絡させて
からパーツの外側をトレーサガスに晒す。パーツに割れ
目が生じているとトレーサガスがパーツ内へ浸透し、リ
ークデテクタによって検出される。しかし、検査される
べきパーツは、真空を創出するべく該ノq−ツ内部にア
プローチすることを可能にする開口部を必ず有するとは
限らない。このことは、例えば電子集積回路パッケージ
の場合に該当する。そこで、′浸透”法が用いられる。
。成る公知方法では、検査するノ耐−ツの内部を真空に
し、真空にした前記内部をリークデテクタと連絡させて
からパーツの外側をトレーサガスに晒す。パーツに割れ
目が生じているとトレーサガスがパーツ内へ浸透し、リ
ークデテクタによって検出される。しかし、検査される
べきパーツは、真空を創出するべく該ノq−ツ内部にア
プローチすることを可能にする開口部を必ず有するとは
限らない。このことは、例えば電子集積回路パッケージ
の場合に該当する。そこで、′浸透”法が用いられる。
この方法ではまず、検査するパーツを数気圧の圧力下に
トレーサガス(通常はヘリウム)の雰囲気に晒す。次い
でパーツを”外気に当て”、即ち大気圧下に暫時空気に
晒す。その後、真空ポンプ及びリークデテクタと接続さ
れた密閉可能容器に上記/耐−ツを収容する。パーツに
割れ目が、生じていた場合、/e−ツが加圧下にヘリウ
ムに晒されていた間に前記割れ目に浸透したヘリウムが
今や割れ目から逃れ出て検出される。
トレーサガス(通常はヘリウム)の雰囲気に晒す。次い
でパーツを”外気に当て”、即ち大気圧下に暫時空気に
晒す。その後、真空ポンプ及びリークデテクタと接続さ
れた密閉可能容器に上記/耐−ツを収容する。パーツに
割れ目が、生じていた場合、/e−ツが加圧下にヘリウ
ムに晒されていた間に前記割れ目に浸透したヘリウムが
今や割れ目から逃れ出て検出される。
即ち本発明は、ノq−ツ内部へのアプローチを可能にす
る開口部を有しないパーツの漏れ検査に適用され得、ま
た本発明は特に漏れ検査ステップそれ自体の実施用の機
械、即ち既に加圧下にトレーサガスに晒された後”外気
に当てられた”パーツを受取る機械に係わる。
る開口部を有しないパーツの漏れ検査に適用され得、ま
た本発明は特に漏れ検査ステップそれ自体の実施用の機
械、即ち既に加圧下にトレーサガスに晒された後”外気
に当てられた”パーツを受取る機械に係わる。
に回動可能な検査チャンバと、検査チャン/々にノq−
ツを装填する装填シュートと、回動する検査チャンバの
開放端部とリークデテクタとの密閉状態での連絡を制御
に従って実現し得るドツキング装置と、切替手段によっ
て選択され得る第一及び第二の通路を有する放出シュー
トと、回動する検査チャンバを傾斜させて三つの異なる
位置を占有させる手段とからなシ、回動する検査チャン
バは前記三つの異なる位置のうち、第一の位置では水平
面に対して上向きに角度αだけ傾いて装填シュートと整
列し、第二の位置では水平となってドツキング装置と整
列し、更に第三の位置では水平面に対して下向きに角度
βだけ傾いて放出シュートと整列し、角度α及びβは検
査されるべき、Q−ツが重力の作用のみによって検査チ
ャンバ沿いに移動することを十分保証する大きさである
機械を提供する。
ツを装填する装填シュートと、回動する検査チャンバの
開放端部とリークデテクタとの密閉状態での連絡を制御
に従って実現し得るドツキング装置と、切替手段によっ
て選択され得る第一及び第二の通路を有する放出シュー
トと、回動する検査チャンバを傾斜させて三つの異なる
位置を占有させる手段とからなシ、回動する検査チャン
バは前記三つの異なる位置のうち、第一の位置では水平
面に対して上向きに角度αだけ傾いて装填シュートと整
列し、第二の位置では水平となってドツキング装置と整
列し、更に第三の位置では水平面に対して下向きに角度
βだけ傾いて放出シュートと整列し、角度α及びβは検
査されるべき、Q−ツが重力の作用のみによって検査チ
ャンバ沿いに移動することを十分保証する大きさである
機械を提供する。
本発明の好ましい具体例において、ドツキング装置は可
撓性連結部によってリークデテクタと接続された中空ピ
ストンを含み、このピストンは固定されたシリンダ内に
滑動可能に設置されており、前記ピストン及びシリンダ
は該ピストンが骸シリンダに関して二つの相反する方向
の何れか一方へ変位することを可能にする制御手段と協
働し、回動する検査チャンバの開放端部並びに前記ピス
トンのリークデテクタと接続される端部とは反対の側の
端部は、ピストンが回動チャンバの開放端部に対してド
ツキング位置を取るとピストンと回動チャンバの開放端
部との接合部を密閉する手段を含む。
撓性連結部によってリークデテクタと接続された中空ピ
ストンを含み、このピストンは固定されたシリンダ内に
滑動可能に設置されており、前記ピストン及びシリンダ
は該ピストンが骸シリンダに関して二つの相反する方向
の何れか一方へ変位することを可能にする制御手段と協
働し、回動する検査チャンバの開放端部並びに前記ピス
トンのリークデテクタと接続される端部とは反対の側の
端部は、ピストンが回動チャンバの開放端部に対してド
ツキング位置を取るとピストンと回動チャンバの開放端
部との接合部を密閉する手段を含む。
(以下余白)
本発明の一具体例を、添付図面を参照しつつ以下に詳述
する。
する。
、ゾL
回動チャンバ1けその閉塞端部3近傍に、該チャンバ1
の回動を可能にする回転シャフト4を有する。チャンノ
セ1の回動はジヤツキ5によって制御される。
の回動を可能にする回転シャフト4を有する。チャンノ
セ1の回動はジヤツキ5によって制御される。
第3図はチャンバlの横断面を、検査のため該チャンバ
l内に配置された集積回路6と共に示す。
l内に配置された集積回路6と共に示す。
本発明による機械はまた、装填シュート7、ドツキング
装ff8、並びlζ2個の放出路1o及び11を有する
放出シュート9をも含み、前記放出路10及び11の手
前には連接ジヤツキ13によって位置を制御される切替
シュート12が配置されている。装填シュート7以下こ
れらの諸要素は、フレーム14に取付けられている。
装ff8、並びlζ2個の放出路1o及び11を有する
放出シュート9をも含み、前記放出路10及び11の手
前には連接ジヤツキ13によって位置を制御される切替
シュート12が配置されている。装填シュート7以下こ
れらの諸要素は、フレーム14に取付けられている。
回動チャンバlは三つの異なる位置を取り得る。
第1図に一点鎖線15と該線15末端で回動チャンバ端
部を表わす細い実線とによって示した第一の位置におい
て回動チャンバ1は水平面に対して上方に角度αを成し
、装填シュート7と整列する。
部を表わす細い実線とによって示した第一の位置におい
て回動チャンバ1は水平面に対して上方に角度αを成し
、装填シュート7と整列する。
第1図及び第2図に示した水平な第二の位置では、チャ
ンバ1はドツキング装置8と整列する。水平面に対して
下方に角度βを成す第三の位置では、回動チャンバ1は
放出シュート9と整列する。
ンバ1はドツキング装置8と整列する。水平面に対して
下方に角度βを成す第三の位置では、回動チャンバ1は
放出シュート9と整列する。
上記第三の位置は第一の位置同様、第1図に一点鎖線1
5Aと該線15A末端で回動チャンバ端部を表わす細い
実線とによって示す。角度αとβとは等しい方が有利で
あるが、必ずしも等しくなくともよい。ま九、これらの
角度α及びβけ、検査デバイス6が重力の作用のみによ
って回動チャンバ1内外へ滑動し得ることを十分保証す
る大きさである。
5Aと該線15A末端で回動チャンバ端部を表わす細い
実線とによって示す。角度αとβとは等しい方が有利で
あるが、必ずしも等しくなくともよい。ま九、これらの
角度α及びβけ、検査デバイス6が重力の作用のみによ
って回動チャンバ1内外へ滑動し得ることを十分保証す
る大きさである。
装填シュート7は、集積回路(即ち検査されるべき・♀
−ツ)が回動チャンバ内に供給される際該回路を計数す
る光電子工学カウンタ16−17を具備している。電磁
石19によって制御される引込式ストツ/e1gが、集
積回路の停止に使用される。装填シュート7内に違した
回路21は、ゴム製のシ二一を有する駆動ホイール20
によって任プ手段を含むリークデテクタ(図示せず)と
密閉式に接続するドツキング装置8を比較的大きい比率
で示す。上記リークデテクタは、回動チャンバ91に収
容された6のような1個以上の集積回路に対して漏れ検
査を実施し得る。ドツキング装置8けリークデテクタと
、可撓性連結部22を介して接続されてhる。
−ツ)が回動チャンバ内に供給される際該回路を計数す
る光電子工学カウンタ16−17を具備している。電磁
石19によって制御される引込式ストツ/e1gが、集
積回路の停止に使用される。装填シュート7内に違した
回路21は、ゴム製のシ二一を有する駆動ホイール20
によって任プ手段を含むリークデテクタ(図示せず)と
密閉式に接続するドツキング装置8を比較的大きい比率
で示す。上記リークデテクタは、回動チャンバ91に収
容された6のような1個以上の集積回路に対して漏れ検
査を実施し得る。ドツキング装置8けリークデテクタと
、可撓性連結部22を介して接続されてhる。
Pツキング装flf8は、締結カラー24Jこよって中
空の上記連結部22と密閉式に接続された中空ピストン
23を含み、上記カラー24は2個の端部7ランジ25
及び26を共に密閉リング27に対して締付け、その際
密閉リング27の圧縮はリング28によって制限される
。中空ピストン23は固定され九シリンダ29内で自由
に滑動し、前記シリンダ29は32のようなねじによっ
て相互接続された2個の部分30及び31から成り、3
3及び34のようなボルト及びナツトによってフレーム
14−ζ固定されている。密閉リング35が、組合され
た部分30及び31間を密閉する。シリンダ29はその
両端が開いておシ、その結果ピストン23はシリンダ2
9を貫通する。更に、シリンダ29内側には環形スペー
ス36が設けられている。気送ダクト37及び38がそ
れぞれ環形スペース36の反対の側に達しており、これ
らのダクト37及び38は、中空ピストン23の周囲に
位置してスペース36を部分する環状カラー39の倒れ
か一方の側に圧力を加えて中空ピストン23を矢印50
及び60で示した方向の何れか一方に駆動するのに有用
であり、その際カラー39によって分割されるスペース
36の二つの部分はカラー39に配置された密閉リング
40によって互いに対して密閉され、かつそれぞれシリ
ンダ29に設けられた1143及び44内に配管された
密閉リング41及び42によって外部に対して密閉され
ている。中空ピストン23の回動チャンバ1に対向する
端部(即ち図中左手の端部)は密閉リング45を具備し
、この密閉リング45は回動チャンバ1が第1図及び第
2図に示した検査位置を取ると、#チャンバ1の開放端
部2に固定されたスラスト7ランジ46に対して押当て
られる。
空の上記連結部22と密閉式に接続された中空ピストン
23を含み、上記カラー24は2個の端部7ランジ25
及び26を共に密閉リング27に対して締付け、その際
密閉リング27の圧縮はリング28によって制限される
。中空ピストン23は固定され九シリンダ29内で自由
に滑動し、前記シリンダ29は32のようなねじによっ
て相互接続された2個の部分30及び31から成り、3
3及び34のようなボルト及びナツトによってフレーム
14−ζ固定されている。密閉リング35が、組合され
た部分30及び31間を密閉する。シリンダ29はその
両端が開いておシ、その結果ピストン23はシリンダ2
9を貫通する。更に、シリンダ29内側には環形スペー
ス36が設けられている。気送ダクト37及び38がそ
れぞれ環形スペース36の反対の側に達しており、これ
らのダクト37及び38は、中空ピストン23の周囲に
位置してスペース36を部分する環状カラー39の倒れ
か一方の側に圧力を加えて中空ピストン23を矢印50
及び60で示した方向の何れか一方に駆動するのに有用
であり、その際カラー39によって分割されるスペース
36の二つの部分はカラー39に配置された密閉リング
40によって互いに対して密閉され、かつそれぞれシリ
ンダ29に設けられた1143及び44内に配管された
密閉リング41及び42によって外部に対して密閉され
ている。中空ピストン23の回動チャンバ1に対向する
端部(即ち図中左手の端部)は密閉リング45を具備し
、この密閉リング45は回動チャンバ1が第1図及び第
2図に示した検査位置を取ると、#チャンバ1の開放端
部2に固定されたスラスト7ランジ46に対して押当て
られる。
上述の機械は、次のように作動する。
回動チャンバ1がまず、第1図に一点鎖線15で示した
上方位置を取る。
上方位置を取る。
ドツキング装置8のピストン23はその引込位置を占め
、即ちピストン2jはダクト37からの空気圧によって
矢印60の方向へ移動されて、自身の行程の端部に達す
る。
、即ちピストン2jはダクト37からの空気圧によって
矢印60の方向へ移動されて、自身の行程の端部に達す
る。
次に、所望個数の集積回路が、ストン/e18を引込め
ることによって回動チャンバ1内に導入される。チャン
バ1内に進入する回路は計数システム16−17によっ
て計数される。続いて回動チャンバlがその水平位置ま
で回動してドツキング装置8と整列すると、中空ピスト
ン23を矢印50の方向へ変位さ娘て回動チャンバlの
端部2と密閉式に接触させるべくダクト38が圧力をも
たらす。
ることによって回動チャンバ1内に導入される。チャン
バ1内に進入する回路は計数システム16−17によっ
て計数される。続いて回動チャンバlがその水平位置ま
で回動してドツキング装置8と整列すると、中空ピスト
ン23を矢印50の方向へ変位さ娘て回動チャンバlの
端部2と密閉式に接触させるべくダクト38が圧力をも
たらす。
その後、漏れ検査が通常のよう一ζ実施され、検査が完
了すると回動チャンバ1は下方へ回動し、該チャンバ1
内に収容された回路は検査結果が良好であり九か否かに
よって通路11かまたは10へと送られる。検査結果が
良好であった回路を集めるために、通路11の下方端部
にチ二−ゾ47が接続されている。
了すると回動チャンバ1は下方へ回動し、該チャンバ1
内に収容された回路は検査結果が良好であり九か否かに
よって通路11かまたは10へと送られる。検査結果が
良好であった回路を集めるために、通路11の下方端部
にチ二−ゾ47が接続されている。
第1図は本発明による機械の一部断面を示す説明図、第
2図は回動チャンバ及びドツキング装置を比較的大きい
比率で示す断面図、第3図は第2図の回動チャンバの線
I−璽における横断面図、第4図は二通路型放出シュー
トを比較的大きい比率で示す説明図である。 1・・・回動チャンバ、4・・・回転シャフト、5.1
3・・・ジヤツキ、6.21・・・集積回路、7・・・
装填シュート、8・・・ドツキング装置、9・・・放出
シュート、10.11・・・放 出 路、12・・・切
替シュー)、14・・・フレーム、16−17・・・カ
ウンタ、18・・・ストツノ背、19・・・電磁石、
20・・・駆動ホイール、22・・・連 結 部、
23・・・中空ピストン、24・・・締結カラー、2
5.26・・・端部フランジ、27、35.40〜42
.45・・・密閉リング、28・・・リ ン グ、29
・・・シリンダ、32・・・ね じ、33・・・ボ ル
ト、34・・・す ッ ト、36・・・環形スペース
、37.38・・・気送ダクト、39・・・環状カラー
、43.44・・・溝、46・・・スラスト7う/ジ、
47・・・チューブ。
2図は回動チャンバ及びドツキング装置を比較的大きい
比率で示す断面図、第3図は第2図の回動チャンバの線
I−璽における横断面図、第4図は二通路型放出シュー
トを比較的大きい比率で示す説明図である。 1・・・回動チャンバ、4・・・回転シャフト、5.1
3・・・ジヤツキ、6.21・・・集積回路、7・・・
装填シュート、8・・・ドツキング装置、9・・・放出
シュート、10.11・・・放 出 路、12・・・切
替シュー)、14・・・フレーム、16−17・・・カ
ウンタ、18・・・ストツノ背、19・・・電磁石、
20・・・駆動ホイール、22・・・連 結 部、
23・・・中空ピストン、24・・・締結カラー、2
5.26・・・端部フランジ、27、35.40〜42
.45・・・密閉リング、28・・・リ ン グ、29
・・・シリンダ、32・・・ね じ、33・・・ボ ル
ト、34・・・す ッ ト、36・・・環形スペース
、37.38・・・気送ダクト、39・・・環状カラー
、43.44・・・溝、46・・・スラスト7う/ジ、
47・・・チューブ。
Claims (2)
- (1)パーツの漏れを浸透法によつて検査するのに用い
られる機械であつて、開放した第一の端部並びに該端部
とは反対側に閉塞した第二の端部を有する、水平軸周囲
に回動可能な検査チャンバと、検査チャンバにパーツを
装填する装填シュートと、回動する検査チャンバの開放
端部とリークデテクタとの密閉状態での連絡を制御に従
つて実現し得るドッキング装置と、切替手段によつて選
択され得る第一及び第二の通路を有する放出シュートと
、回動する検査チャンバを傾斜させて三つの異なる位置
を占有させる手段とからなり、回動する検査チャンバは
前記三つの異なる位置のうち、第一の位置では水平面に
対して上向きに角度αだけ傾いて装填シュートと整列し
、第二の位置では水平となつてドッキング装置と整列し
、更に第三の位置では水平面に対して下向きに角度βだ
け傾いて放出シュートと整列し、角度α及びβは検査さ
れるべきパーツが重力の作用のみによつて検査チャンバ
沿いに移動することを十分保証する大きさである機械。 - (2)ドッキング装置が可撓性連結部によつてリークデ
テクタと接続された中空ピストンを含み、このピストン
は固定されたシリンダ内に滑動可能に設置されており、
前記ピストン及びシリンダは該ピストンが該シリンダに
関して二つの相反する方向の何れか一方へ変位すること
を可能にする制御手段と協働し、回動する検査チャンバ
の開放端部と前記ピストンのリークデテクタと接続され
る端部とは反対側の端部とは、ピストンが回動チャンバ
の開放端部に対してドッキング位置を取るとピストンと
回動チャンバの開放端部との接合部を密閉する手段を含
むことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の機械
。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8510241A FR2584495B1 (fr) | 1985-07-04 | 1985-07-04 | Machine pour controler l'etancheite de pieces par la methode dite de ressuage. |
FR8510241 | 1985-07-04 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS629259A true JPS629259A (ja) | 1987-01-17 |
JPH0447254B2 JPH0447254B2 (ja) | 1992-08-03 |
Family
ID=9320974
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61157745A Granted JPS629259A (ja) | 1985-07-04 | 1986-07-04 | 浸透法によるパ−ツの漏れ検査用機械 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4663963A (ja) |
EP (1) | EP0208232B1 (ja) |
JP (1) | JPS629259A (ja) |
AT (1) | ATE44097T1 (ja) |
DE (1) | DE3664002D1 (ja) |
FI (1) | FI82552C (ja) |
FR (1) | FR2584495B1 (ja) |
IN (1) | IN167893B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2327766A (en) * | 1997-07-28 | 1999-02-03 | Geoffrey Poulson | Leak detection apparatus |
US10031041B2 (en) * | 2016-06-17 | 2018-07-24 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Rope leak sensor holder |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3126734A (en) * | 1964-03-31 | High speed high sensitivity leak detector | ||
US3486365A (en) * | 1967-11-16 | 1969-12-30 | Nat Res Corp | Leak detector and vacuum pumping station for high production rates |
US4184362A (en) * | 1978-07-24 | 1980-01-22 | Abbott Laboratories | Bottle leak tester |
JPS57137835A (en) * | 1981-02-20 | 1982-08-25 | Hitachi Ltd | Leakage detector |
US4608866A (en) * | 1985-03-13 | 1986-09-02 | Martin Marietta Corporation | Small component helium leak detector |
-
1985
- 1985-07-04 FR FR8510241A patent/FR2584495B1/fr not_active Expired
-
1986
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