JP2790164B2 - 真空チャンバ用移送装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、真空チャンバの側壁
を挿通して設けられたシャフトにより真空チャンバ内の
移送用ローラを駆動して真空処理物を移動させる真空チ
ャンバ用移送装置に関し、前記真空チャンバ内を排気す
る際にはシャフトに固定されたフランジを密閉部材に密
着させてチャンバの気密性を確保し、真空処理物を移動
させる際には前記フランジを前記密閉部材から離隔させ
ることにより、密閉部材の摩耗を防止してチャンバの気
密保持性能を維持するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばトレースガス式漏れ検出シ
ステムにおいては、真空チャンバ内への真空処理物（ワ
ーク）の搬入及び検査後の真空処理物の搬出に移送装置
が使用されている。

【０００３】図３は、トレースガス式漏れ検出システム
の一例を示す模式図である。真空チャンバ２１の前部及
び後部には上下方向に移動可能な扉２２ａ，２２ｂが設
けられており、これらの扉２２ａ，２２ｂを上昇させ
て、真空チャンバ２１内に真空処理物２３を搬入又は搬
出するようになっている。また、扉２２ａ，２２ｂを閉
めると、チャンバ２１が気密的に保持され、チャンバ２
１に連結された排気手段（図示せず）によりチャンバ２
１内の排気が可能になる。更に、このチャンバ２１はト
レースガス検出手段（図示せず）に接続されており、後
述するように、真空処理物２３からチャンバ２１に漏出
したガスを検出できるようになっている。チャンバ２１
の底部には移送用ローラ２４が所定のピッチで配設され
ており、これらの移送用ローラ２４は真空チャンバ２１
の外側に設けられた駆動手段（図示せず）により駆動さ
れて回転するようになっている。また、真空チャンバ２
１の前部及び後部には夫々コンベア２５ａ，２５ｂが配
設されている。

【０００４】このようなトレースガス検出システムの動
作について説明する。先ず、漏れ検査すべき真空処理物
２３の内部にヘリウム等のトレースガスを封入し、これ
をコンベア２５ａにより真空チャンバ２１へ向けて移送
する。この場合に、真空チャンバ２１の扉２２ａ，２２
ｂを上昇させてチャンバ２１の搬入口及び搬出口を開け
ておく。真空処理物２３がチャンバ２１の搬入口まで到
達すると、駆動手段により移送用ローラ２４が回転し、
真空処理物２３全体をチャンバ２１内に移送する。真空
処理物２３がチャンバ２１内の所定位置まで移動する
と、移送用ローラ２４は回転を停止する。その後、扉２
２ａ，２２ｂが下降して投入口及び排出口を閉じた後、
排気手段により真空チャンバ２１内を排気する。

【０００５】次に、真空チャンバ２１内の圧力が所定値
に到達したら、真空処理物２３から真空チャンバ２１内
へ漏出するトレースガスの有無又は漏出量を前記トレー
スガス検出手段により検出する。

【０００６】次に、漏れ検出試験が終了した後、真空チ
ャンバ２１内を大気圧にする。そして、扉２２ａ，２２
ｂを開き、移送用ローラ２４を駆動して、真空処理物２
３をコンベア２５に向けて移送する。真空処理物２３
は、移送用ローラ２４からコンベア２５に移動し、更
に、このコンベア２５により次工程に搬送される。ま
た、このとき同時に、次の真空処理物２３がコンベア２
５ａにより真空チャンバ２１内に搬入される。このよう
にして、複数の真空処理物に対し連続して漏れ検出試験
を実施することができる。

【０００７】図４は、上述したトレースガス式漏れ検出
システムに使用される従来の真空チャンバ用移送装置の
一例を示す模式図である。真空チャンバ２１の外側には
例えばチャンバ内の各移送用ローラに対応して複数の駆
動用モータ３０が配設されている。駆動用モータ３０の
駆動軸３０ａはカップリング２９を介してローラ軸２６
の一端側に連結されている。このローラ軸２６は真空チ
ャンバ２１の側壁２１ａに設けられた孔２７を挿通して
おり、ローラ軸２６の他端部はチャンバ２１の内部に設
けられた軸受け（図示せず）に軸支されている。また、
このローラ軸２６に移送用ローラ２４が固定されてい
る。

【０００８】側壁２１ａに設けられた孔２７の中間部分
には、周方向に延びる溝２７ａが設けられており、この
溝２７ａにはＯリング２８が配置されている。このＯリ
ング２８はローラ軸２６に嵌合しており、ローラ軸２６
及び溝２７ａの面に気密的に接触して、チャンバ２１内
の気密性を保持している。

【０００９】このように構成された移送装置において、
チャンバ２１内を排気する際にはＯリング２８によりチ
ャンバ２１内の気密性が保持される。また、真空処理物
を移動する際には、Ｏリング２８に対してローラ軸２６
が摺動し、モータ３０の駆動力が移送用ローラ２４に伝
達される。

【００１０】図５は、トレースガス式漏れ検出システム
の他の例を示す模式図である。真空チャンバ３１は、前
部及び後部に夫々上下方向に移動可能な扉３２ａ，３２
ｂが設けられており、これらの扉３２ａ，３２ｂが閉じ
ると、チャンバ３１内は気密的に密閉されるようになっ
ている。また、このチャンバ３１は、排気手段及びトレ
ースガス検出手段（いずれも図示せず）に連結されてい
る。更に、チャンバ３１内には、回転自在の複数のロー
ラ３７がチャンバの前部から後部までの間に所定のピッ
チで配列して設けられている。

【００１１】チャンバ３１の前部には、真空処理物搬送
装置３５が配設されている。この搬送装置３５は上下方
向に移動可能であると共に、水平方向に移動可能のアー
ム３４を有している。また、アーム３４の先端部には、
真空処理物３３を載置可能の真空処理物搭載部３４ａが
設けられている。

【００１２】このようなトレースガス検出システムにお
いては、先ず、トレースガスを充填した真空処理物３３
を真空処理物移送装置３５の搭載部３４ａ上に載置し、
アーム３４を動作させて真空処理物３３をチャンバ３１
内に搬入する。そして、真空処理物３３をチャンバ３１
の内部に配置した後、アーム３４はチャンバ３１の外側
に退避する。その後、チャンバ３１の扉３２ａ，３２ｂ
が下降しチャンバ３１を気密的に保持して、チャンバ３
１内部の排気を開始する。

【００１３】その後、前述したトレースガス検出システ
ムと同様にして真空処理物３３に対し漏れ検出試験を行
う。この試験が終了した後、チャンバ３１の内部の圧力
を大気圧に戻し、チャンバ３１の扉３２ａ，３２ｂを開
く。次いで、移送装置３５により次の真空処理物３３を
真空チャンバ３１内に装入する。このとき、チャンバ３
１内の真空処理物３３は、搭載部３４ａの先端部により
チャンバ３１から押し出される。チャンバ３１から押し
出された真空処理物３３はコンベア３６により次工程に
移動する。このようにして、複数の真空処理物に対して
連続して漏れ検出試験を実施する。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の真空チャンバ用移送装置には、以下に示す問題
点がある。即ち、図４に示す移送装置においては、真空
処理物３３を移送する際にローラ軸２６がＯリング２８
に摺動して回転するため、ローラ軸２６及びＯリング２
８が摩耗する。これらの部材の摩耗が進行すると、真空
チャンバの気密性を保持することができなくなる。

【００１５】一方、図５に示す移送装置においては、移
送装置自体が大掛かりであるため、装置のコストが高い
という問題点がある。また、チャンバ内へ真空処理物を
搬入したアームが真空チャンバ外へ退避する時間が必要
であり、真空チャンバ内への真空処理物の搬入及び搬出
に要するサイクルタイムが長くなるという問題点があ
る。

【００１６】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、密閉部材等の摩耗を抑制できて、真空チャ
ンバの気密保持性能の低下を回避できると共に、移送装
置の大型化を回避でき、更に真空処理物の搬入及び搬出
に要するサイクルタイムが短い真空チャンバ用移送装置
を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明に係る真空チャン
バ用移送装置は、真空チャンバ内に設けられた移送用ロ
ーラと、前記真空チャンバの側壁を挿通して設けられて
前記移送用ローラを駆動するシャフトと、前記シャフト
に固定されたフランジと、前記シャフトを駆動するため
のシャフト駆動手段と、前記真空チャンバの側壁に設け
られ前記側壁とフランジとの間に挟まれて前記真空チャ
ンバを気密的に保持する密閉部材と、前記シャフトをそ
の軸方向に移動させる軸移動手段とを有することを特徴
とする。

【００１８】

【作用】本発明に係る真空チャンバ用移送装置において
は、真空チャンバ内で真空処理物を移送する場合は、真
空チャンバ内の圧力を大気圧にした後、軸移動手段によ
り、シャフトを移動させてフランジを密閉部材から離隔
させる。そして、シャフト駆動手段によりシャフトを回
転させて移送用ローラを回転させ、真空処理物を移送す
る。

【００１９】一方、真空処理する場合は、軸移動手段に
よりシャフトを移動させてフランジを密閉部材に押し付
け、真空チャンバ内を気密的に保持する。次いで、真空
チャンバ内を排気し、真空処理する。

【００２０】本発明においては、移送時は、密閉部材が
回転するフランジから離隔しているので密閉部材が摩耗
することはない。また、シャフトを軸方向に移動させる
だけでよいので装置が大型化することもない。

【００２１】

【実施例】次に、本発明の実施例について添付の図面を
参照して具体的に説明する。図１及び図２は、本発明の
実施例に係る真空チャンバ用移送装置の夫々真空処理物
移送時及び排気時の状態を示す模式図である。真空チャ
ンバ１の側壁１ａには貫通孔１ｂが設けられている。こ
の貫通孔１ｂの真空チャンバ内部側には、円筒状の軸受
け４が嵌入されている。ローラ軸３はその一端側が軸受
け４に嵌合し、他端側が真空チャンバ１内に設けられた
軸受け（図示せず）により軸支されてチャンバ１内に配
設されている。このローラ軸３の一端部には直径方向に
延びる凹部３ａが設けられている。また、ローラ軸３に
は移送用ローラ２が嵌合して固定されており、この移送
用ローラ２の回転により真空処理物１１が移送される。

【００２２】真空チャンバ１の外側には駆動用モータ８
がその駆動軸８ａをチャンバ１に向け、支持部材（図示
せず）により駆動軸８ａの中心軸方向に移動可能に支持
されて配設されている。また、モータ８の駆動軸８ａ
は、カップリング７を介してフランジ付きシャフト５に
連結されている。このフランジ付きシャフト５は、カッ
プリング７に固定されたシャフト部５ｄと、このシャフ
ト部５ｄに固定された円板状のフランジ部５ｃと、孔１
６内に挿入されるシャフト部５ａと、このシャフト部５
ａの先端部に設けられた凸部５ｂとにより構成されてお
り、凸部５ｂはローラ軸３の凹部３ａに嵌合するように
なっている。また、真空チャンバ１の側壁１ａには、フ
ランジ部５ｃの縁部に対応してリング状に溝１ｃが設け
られており、この溝１ｃにはＯリング６が嵌め込まれて
配設されている。なお、本実施例においては、１本のロ
ーラ軸３に対し１台のモータ８が設けられており、従っ
て、モータ８はチャンバ１内のローラ軸３の数だけ設け
られている。

【００２３】これらのモータ８は、連結部材８ｂを介し
て１台のエアシリンダ９のシリンダ軸９ａに連結されて
いる。このエアシリンダ９により、各モータ８はその駆
動軸８ａの軸方向に移動する。なお、シリンダ軸９ａ
は、後退端ストッパ１０により移動範囲が規制されてお
り、これによりモータ８は真空チャンバ１から一定距離
以上は離れないようになっている。

【００２４】次に、このように構成された真空チャンバ
用移送装置の動作について説明する。先ず、真空チャン
バ１内に真空処理物１１を移送する場合に、真空チャン
バ１内の圧力を大気圧にする。そして、図１に示すよう
に、エアシリンダ９を動作させて、モータ８を真空チャ
ンバ１から離隔する方向へ後退端ストッパ１０により決
定される位置まで移動させる。そうすると、フランジ付
きシャフト５のフランジ部５ｃは、真空チャンバ１の側
壁１ａのＯリング６から離隔する。この場合に、フラン
ジ付きシャフト５のシャフト部５ａに設けられた凸部５
ｂはローラ軸３の凹部３ａと嵌合したままである。

【００２５】この状態でモータ８を動作させると、モー
タ８の駆動力はカップリング７及びフランジ付きシャフ
ト５を介しローラ軸３に伝達され、移送用ローラ２が回
転して、真空処理物１１を移送することができる。この
場合に、フランジ部５ｃはＯリング６から離隔している
ため、フランジ付きシャフト５が回転しても、Ｏリング
６が摩耗することはない。

【００２６】真空チャンバ１内を排気して真空処理する
場合には、図２に示すように、エアシリンダ９のシリン
ダ軸９ａを真空チャンバ１に接近する方向へ移動させ
る。これにより、モータ８、カップリング７及びフラン
ジ付きシャフト５が真空チャンバ１に近づく方向に移動
し、フランジ部５ｃが側壁１ａの外面に設けられたＯリ
ング６を押圧し、Ｏリング６はフランジ部５ｃと側壁１
ａの外面に設けられた溝１ｃとにより挟まれる。これに
より、真空チャンバ１内が気密的に保持される。その
後、真空チャンバ１内を排気する。この場合に、真空チ
ャンバ１内の圧力が低下するのに伴って、真空チャンバ
１外の大気圧と真空チャンバ１内の圧力との差によりフ
ランジ部５ｃはより一層強くＯリング６に押し付けら
れ、より確実に真空チャンバ内の気密性が保持される。

【００２７】本実施例においては、チャンバ１内を排気
するときにはフランジ部５ｃがＯリング６に密着して、
チャンバ１内の気密性を確実に保持することができると
共に、真空処理物を移送するときにはフランジ部５ｃが
Ｏリング６から離れて回転するため、Ｏリング６の摩耗
を回避することができる。これにより、真空チャンバ１
の気密保持性能の低下を回避できるという効果を得るこ
とができる。また、本実施例においては、移送用ローラ
２により真空処理物を移送する方式であるので、図５に
示すアーム方式の移送装置と異なり、サイクルタイムを
短かくすることができると共に、装置の大型化を回避で
きる。

【００２８】なお、チャンバの側壁にフランジに対応す
る凹部を設け、この凹部内にＯリングを配置してもよ
い。この場合には、真空チャンバ内への粉塵の侵入を抑
制できると共に、Ｏリングへの粉塵の付着を抑制でき、
Ｏリングの耐久性が向上するという利点がある。また、
上述の実施例においては、１台のモータで１本のローラ
軸を回転させる場合について説明したが、１台のモータ
で複数のローラ軸を回転させるようにしてもよい。更
に、上述の実施例においては、フランジ付きシャフト５
の凸部５ｂとローラ軸３の凹部３ａとの嵌合による連結
部を介してモータ８からローラ軸３に駆動力が伝達され
る場合について説明したが、シャフトとローラ軸との連
結機構はこれに限定されるものではなく、シャフト及び
シャフトに固定されたフランジがその軸方向に移動可能
であって、移送用ローラの回転時には回転駆動力を移送
用ローラに伝達できるものならば他の機構であってもよ
い。このような機構としては、例えばスプライン機構
（スプライン軸及びボス）又はキーとキー溝との組合せ
等がある。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る真空
チャンバ用移送装置は、チャンバ側壁を挿通するシャフ
トに固定されたフランジと、前記シャフトをその軸方向
に移動させる軸移動手段とを有し、チャンバ内を排気す
るときには、前記フランジと密閉部材とを密着させ、移
送時には前記フランジと前記密閉部材とを離隔させるの
で、密閉部材の摩耗を回避できて、真空チャンバの気密
性の低下を回避できる。また、シャフトを軸方向に移動
させるだけでよいので、装置の大型化を防止できると共
に、真空処理物の真空チャンバ内への搬入及び搬出に要
するサイクルタイムの長期化を回避できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施例に係る真空チャンバ用移送装
置の真空処理物移送時の状態を示す模式図である。

【図２】 同じくその排気時の状態を示す模式図であ
る。

【図３】 トレースガス式漏れ検出システムの一例を示
す模式図である。

【図４】 従来の真空チャンバ用移送装置を示す模式図
である。

【図５】 トレースガス検出システムの他の例を示す模
式図である。

【符号の説明】

１，２１，３１…真空チャンバ、１ａ…側壁、１ｂ…貫
通孔、２…移送用ローラ、３，２６…ローラ軸、３ａ…
凹部、４…軸受け、５…フランジ付きシャフト、５ａ，
５ｄ…シャフト部、５ｂ…凸部、５ｃ…フランジ部、
６，２８…Ｏリング、７，２９…カップリング、８，３
０…モータ、８ａ，３０ａ…駆動軸、８ｂ…連結部材、
９…エアシリンダ、９ａ…シリンダ軸、１０…後退端ス
トッパ、１１，２３，３３…真空処理物、２２ａ，２２
ｂ，３２ａ，３２ｂ…扉、２４…移送用ローラ、２５
ａ，２５ｂ，３６…コンベア、２７…孔、２７ａ…溝、
３４…アーム、３５…真空処理物移送装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−182532（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−109234（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−283970（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−329834（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−119643（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−79533（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B01J 3/03 B01J 3/02 B65G 39/09 F16J 15/50 G01M 3/32

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空チャンバ内に設けられた移送用ロー
   ラと、前記真空チャンバの側壁を挿通して設けられて前
   記移送用ローラを駆動するシャフトと、前記シャフトに
   固定されたフランジと、前記シャフトを駆動するための
   シャフト駆動手段と、前記真空チャンバの側壁に設けら
   れ前記側壁とフランジとの間に挟まれて前記真空チャン
   バを気密的に保持する密閉部材と、前記シャフトをその
   軸方向に移動させる軸移動手段とを有することを特徴と
   する真空チャンバ用移送装置。
2. 【請求項２】 前記密閉部材は前記真空チャンバの側壁
   の外面に設けられたＯリングであり、前記フランジは前
   記真空チャンバ外に配置されていることを特徴とする請
   求項１に記載の真空チャンバ用移送装置。