JP3203520B2 - 漏洩検査装置における多目的気密装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は多目的気密装置に係り、
特にヘリウム等の検査流体による漏洩検査、真空乾燥及
びパージ等に使用する、新規な多目的気密装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の気密装置１としては、例
えば、図４に示されているような構成のものが知られて
いる。図示されているように、リング状に形成された基
台２上には、複数の密閉容器３が載置されている。各密
閉容器３は、例えば上下に分割可能に形成され、それぞ
れの内部にワークを収納するようになっている。また、
上記リング状の基台２の中心位置には、ロータリーバル
ブ４が設けられており、各密閉容器３には該ロータリー
バルブ４に臨むように、それぞれノズル５が取り付けら
れている。各ノズル５は、上記ロータリーバルブ４から
放射線状に延出されたスプールパイプ６とそれぞれ接続
され、これらの系は各接続部においてシールされ気密的
に保持されている。

【０００３】上記ロータリーバルブ４は、例えば図５に
示されているように、固定フランジ７と回転フランジ８
とを当接させ、該回転フランジ８を回転させて、これに
形成された弧状溝９を、上記固定フランジ７に形成され
た弧状溝１０と連通させることにより、流体を給排する
ようになっている。

【０００４】従って、一台のロータリーバルブ４の周り
に複数の密閉容器３を配置し、各密閉容器３に流体を給
排するため、上記固定フランジ７及び回転フランジ８
に、上記密閉容器３の数に相当する複数の弧状溝（図示
せず）が同芯円状に多重に形成されている。

【０００５】このように構成された気密装置１を使用し
て例えばワークの漏洩検査を行う場合、各密閉容器３内
にヘリウム等の検査流体を充填したワークを収納してお
き、上記ロータリーバルブ４の固定フランジ７或いは回
転フランジ８に排気装置１１を接続して、該ロータリー
バルブ４を介して各密閉容器３内を高真空にし、該ロー
タリーバルブ４に接続したディテクタ（図示せず）で、
上記ワークに充填された検査流体の漏洩の有無を検出し
ていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の気密
装置１にあっては、一台のロータリーバルブ４を介して
複数の密閉容器３に流体を給排しているため、ヘリウム
等の検査流体によりワークの漏洩検査を行う際、装置全
体を漏洩検査装置として使用しなければならず、一部の
密閉容器３をワークの真空乾燥及びパージ等の他の目的
に使用することはできなかった。

【０００７】また、一台のロータリーバルブ４によって
複数の密閉容器３に流体を給排するには、上記固定フラ
ンジ７及び回転フランジ８に、複数の弧状溝を同芯円状
に多重に形成しなければならないので、ロータリーバル
ブ４及びその周りの配管の構造が複雑になるという問題
があった。

【０００８】本発明の目的は、上記課題に鑑み、複雑な
構造のロータリーバルブを使用することなく、簡単な操
作で、ヘリウム等の検査流体による漏洩検査、真空乾燥
及びパージ等に、多目的に使用することができる気密装
置を提供するにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明に係
る漏洩検査装置における多目的気密装置によれば、ワー
クを収納するための分割可能な密閉容器と、この密閉容
器に進退自在に設けられ、外部に進出したときに開放し
内部に後退したときに閉成する少なくとも一つの弁体
と、弁体を覆うように上記密閉容器に気密的に当接され
る連通ノズルを備えた密閉中継ユニットと、中継ユニッ
ト内から連通ノズル内へ進退自在に設けられ、弁体を密
閉容器の外部へ引き出すことにより該弁体を開放させる
ための開放手段と、密閉中継ユニットの連通ノズルに接
続された給排ノズルとからなり、該給排ノズルに、密閉
容器に収納した例えばワーク内に充填した検査流体の漏
洩を検出するためのリークディテクタ、密閉容器及び中
継ユニット内を真空引きするための排気装置及び密閉容
器と中継ユニット内をパージするためのパージラインを
接続することにより、達成される。

【００１０】

【作用】上記構成によれば、密閉容器を分割して、その
内部にワークを収納し、この密閉容器に、これに取り付
けられた弁体を覆うように密閉中継ユニットの連通ノズ
ルを気密的に当接させる。この状態で、上記中継ユニッ
ト内から連通ノズル内へチャッキング装置を進出させ、
このチャッキング装置を上記弁体に係合して、これを進
出させ開放させる。これにより、密閉容器の内部と中継
ユニットの内部とは連通される。

【００１１】従って、上記中継ユニットの給排ノズル
に、ワーク内に充填した検査流体の漏洩を検出するため
のリークディテクタ、密閉容器及び中継ユニット内を真
空引するための排気装置、及び密閉容器及び中継ユニッ
ト内をパージするためのパージライン等を接続すれば、
上記中継ユニットの連通ノズルを密閉容器に気密的に当
接させ、上記チャッキング装置で弁体を開放するだけの
簡単な操作で、それぞれの目的に応じた作業を行うこと
ができることになる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明に係る多目的気密装置の好適な
一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。

【００１３】図１は本発明に係る多目的気密装置の系統
図を示すものであり、図２はその要部を示す平面図であ
る。図示されているように、無端状の基台２０上には、
複数の密閉容器２１が載置されており、この無端状の基
台２０はこれら密閉容器２１を載置したまま回転移動す
るように駆動手段（図示せず）を備えている。各密閉容
器２１は両端が閉塞された円筒体を呈しており、ワーク
Ｗを収納すべく、上部容器２１ａと下部容器２１ｂとに
分割可能に形成されている。これら上部容器２１ａと下
部容器２１ｂとの接続部には、シールパッキン２２が介
設されており、これらが一体化されたときに密閉される
ようになっている。本実施例にあっては、上記密閉容器
２１を両端が閉塞された円筒体にて形成されているが、
これに限らず、例えば中空直方体等の他の形状に形成し
ても良い。また、密閉容器２１は必ずしも上下方向に分
割可能に形成する必要はなく、一体化したときに密閉さ
れれば横方向に分割可能に形成しても良い。

【００１４】さらに、各上部容器２１ａには、上記密閉
容器２１を分割あるいは一体化させるための昇降手段２
３がそれぞれ備えられており、この昇降手段２３は上記
無端状の基台２０の回転移動と共回りするように、これ
に支持されている。この昇降手段２３は、本実施例にあ
っては、例えば、油圧あるいは空気圧等の圧力流体によ
り駆動される第１のシリンダ装置２４によって構成され
ている。このシリンダ装置２４は、第１の流体給排ライ
ン２５ａ，２５ｂを介して圧力ポンプ２６に接続されて
いる。この第１の流体給排ライン２５ａ，２５ｂには、
圧力流体の給排を切り換えるための第１の切換弁２７が
介設されており、該第１の切換弁２７には流体貯留タン
ク６４が接続されている。本実施例にあっては、上記昇
降手段２３をシリンダ装置２４にて形成したが、これに
限らず、例えば、ボールネジとナット等の機構を採用し
ても良く、また上記密閉容器２１に昇降手段２４を備え
ないで、作業性は劣るが天井クレーン等を使用しても良
い。

【００１５】また、各下部容器２１ｂの側壁には、二つ
の弁体２８が進退自在にそれぞれ取り付けられている。
弁体２８は一端が閉塞された円筒体にて形成され、その
閉塞部２８ａは円板状を呈し、円筒部２８ｂからその径
方向外方に張り出しており、その中心部にはノブ部２８
ｃがその軸方向外方に突き出して形成されている。ま
た、上記弁体２８の円筒部２８ｂには、その軸方向に沿
って数条のスリット（図示せず）が切り込まれている。
そして、この弁体２８は上記下部容器２１ｂに形成され
た弁体取付ノズル２９内に挿入され、該弁体２８の円筒
部２８ｂにはコイルスプリング３０が外装されている。
このコイルスプリング３０は上記弁体２８の開口端部２
８ｄと弁体取付ノズル２９との間に圧縮状態で介設され
ている。さらに、上記弁体２８の閉塞部２８ｂの上記弁
体取付ノズル２９と当接する部分にはＯリング等のシー
ルパッキン３１が設けられており、上記コイルスプリン
グ３０の伸長により上記弁体取付ノズル２９の平面部２
９ａに付勢され、上記密閉容器２１内をシールするよう
になっている。即ち、上記弁体２８はコイルスプリング
３０により進退自在に取り付けられ、これが弁体取付ノ
ズル２９から外部へ進出したときに、その円筒部２８ｂ
に切り込まれたスリットにより上記密閉容器２１の内部
が外部と連通されて開放され、該弁体２８が弁体取付ノ
ズル２９の内部に後退したときに、その閉塞部２８ｂに
設けられたシールパッキン３１が弁体取付ノズル２９の
平面部２９ａに付勢されて閉成されるようになってい
る。本実施例にあっては、上記弁体２８を下部容器２１
ｂの側壁に取り付けたが、上記上部容器２１ａに取り付
けても良い。また、上記密閉容器２１には、必ずしも二
つの弁体２８を取り付ける必要はなく、少なくとも一つ
の弁体２８が取り付けられていれば良い。

【００１６】そして、上記無端状の基台２０の周りに
は、複数の中継ユニット３２が設けられている。この中
継ユニット３２のユニット本体３２ａは直方体状のケー
シングによって形成されており、その密閉容器２１に臨
んだ側壁には中継ユニット３２と密閉容器２１とを接続
するための連通ノズル３３が備えられている。この連通
ノズル３３の先端部側の内径は、上記密閉容器２１に取
り付けた弁体２８の閉塞部２８ｂの外径よりも大きく形
成されている。さらに、上記連通ノズル３３の平面部３
３ａには、Ｏリング等のシールパッキン３４が設けられ
ており、上記弁体取付ノズル２９の平面部２９ａに気密
的に当接するようになっている。

【００１７】また、この中継ユニット３２内には、弁体
２８に係合してこれを開放させるためのチャッキング装
置３５が設けられている。このチャッキング装置３５
は、上記ユニット本体３２ａに支持された円筒状のロッ
ドガイド３６内に設けられており、該ロッドガイド３６
は上記連通ノズル３３と同軸上で気密的に接続されてい
る。即ち、連通ノズル３３及びロッドガイド３６は上記
ユニット本体３２ａを直状に貫通しており、これらのユ
ニット本体３２ａへの取り付けはシールパッキン３７，
３８を介してなされている。

【００１８】チャッキング装置３５は、上記ロッドガイ
ド３６内に挿通されるチャックロッド３９と、該チャッ
クロッド３９の上記連通ノズル３３側の端部に取り付け
られたチャック４０と、他端部に取り付けられた第２の
シリンダ装置４１とから主になっている。このシリンダ
装置４１は、例えば油圧あるいは空気圧等の圧力流体に
より駆動されるようになっており、上記ユニット本体３
２ａにフレーム４１ａによって支持固定されている。こ
のシリンダ装置４１は、第２の流体給排ライン４２ａ，
４２ｂを介して前記圧力ポンプ２６に接続されている。
この第２の流体給排ライン４２ａ，４２ｂには、圧力流
体の給排を切り換えるための第２の切換弁４３が介設さ
れており、該第２の切換弁４３は前記流体貯留タンク６
４に接続されている。

【００１９】第２のシリンダ装置４１への圧力流体の給
排により上記チャックロッド３９が上記ロッドガイド３
６内を進退して、これにより上記チャック４０の爪４０
ａが開閉するようになっている。具体的には、チャック
４０の爪４０ａ同士の間には、コイルスプリング４４が
介設されており、このコイルスプリング４４により爪４
０ａが開く方向に付勢されている。また、各爪４０ａの
外側にはテーパ部４０ｂが形成され、上記チャックロッ
ド３９が上記ロッドガイド３６内を進出したときに、上
記爪４０ａがそのテーパ部４０ｂに案内されて上記連通
ノズル３３の拡径部３３ｂまで達すると、チャック４０
が開くようになっている。一方、チャックロッド３９が
ロッドガイド３６内に後退すると、上記爪４０ａがその
テーパ部４０ｂに案内されて連通ノズル３３の縮径部３
３ｃまで達することにより、コイルスプリング４４を圧
縮して、上記チャック４０が閉じるようになっている。
尚、ロッドガイド３６にはシールパッキン４５が二重に
設けられ、上記チャックロッド３９を気密的に支承する
ようになっている。

【００２０】ユニット本体３２ａは、上記密閉容器２１
に臨んで中継ユニット３２を往復移動させるための移動
基台４６上に載置されている。この移動基台４６には、
第３のシリンダ装置４７が備えられており、このシリン
ダ装置４７は、例えば、油圧あるいは空気圧等の圧力流
体により駆動されるようになっている。このシリンダ装
置４７は、第３の流体給排ライン４８ａ，４８ｂを介し
て前記圧力ポンプ２６に接続されている。この第３の流
体給排ライン４８ａ，４８ｂには、圧力流体の給排を切
り換えるための第３の切換弁４９が介設されており、該
第３の切換弁４９は前記流体貯留タンク６４に接続され
ている。この第３のシリンダ装置４７への圧力流体の給
排により上記移動基台４６が中継ユニット３２を載置し
て往復移動し、往動したときに、上記中継ユニット３２
に備えられた連通ノズル３３の平面部３３ａが上記密閉
容器２１に備えられた弁体取付ノズル２９の平面部２９
ａと当接し、上記連通ノズル３３の平面部３３ａに設け
られたシールパッキン３４によりこれらの間の気密性が
維持されるようになっている。

【００２１】さらに、中継ユニット３２のユニット本体
３２ａには、給排ノズル５０が取り付けられ、この給排
ノズル５０は上記ロッドガイド３６に気密的に接続され
ている。この給排ノズル５０には、ティーズ等の配管フ
ィッティング（図示せず）を介して、漏洩検査ライン５
１、真空引ライン５２及びパージライン５３が接続され
ている。

【００２２】漏洩検査ライン５１には、第４の切換弁５
４を介してリークディテクタ５５が接続されており、予
め前記ワークＷ内に充填した検査流体の漏洩を検出する
ようになっている。また、上記真空引ライン５２の給排
ノズル５０側の接続部には、ゲートバルブ５６が介設さ
れ、該真空引ライン５２は上記密閉容器２１及び中継ユ
ニット３２内を真空引するための排気装置５７に接続さ
れている。さらに、この真空引ライン５２は、上記排気
装置５７の手前で分岐され、第５の切換弁５８を介設し
た補助パージライン５２ａが接続されている。そして、
上記ゲートバルブ５６には、第４の流体給排ライン５９
ａ，５９ｂを介して前記圧力ポンプ２６に接続されてい
る。この第５の流体給排ライン５９ａ，５９ｂには、圧
力流体の給排を切り換えるための第６の切換弁６０が介
設されており、該第６の切換弁６０は前記流体貯留タン
ク６４に接続されている。尚、上記ゲートバルブ５６に
は、その内部圧力を検出するための検出ゲージ６１が備
えられている。さらに、上記パージライン５３は、上記
密閉容器２１及び中継ユニット３２内をパージするため
のラインであり、第７の切換弁６２が介設されている。
上記第４の切換弁５４、ゲートバルブ５６及び第７の切
換弁６２を開閉動作させることにより、ヘリウム等の検
査流体による漏洩検査、真空乾燥又はパージのいずれか
の操作が選択できるものである。本実施例にあっては、
一つの給排ノズル５０に配管フィッティングを介して、
漏洩検査ライン５１、真空引ライン５２及びパージライ
ン５３を接続したが、上記中継ユニット３２に三つの給
排ノズル５０を取り付けて、それぞれに漏洩検査ライン
５１、真空引ライン５２及びパージライン５３を接続し
ても良い。そして、その他の目的に使用するラインを給
排ノズル５０に接続する場合も同様である。

【００２３】尚、本実施例にあっては、図２に示すよう
に密閉容器２１を載置して回転移動する無端状の基台２
０の周りに適宜数のマニュプレータ６３が設けられてい
る。このマニュプレータ６３は、密閉容器２１に二つの
弁体２８が進退自在に取り付けられているので、いずれ
か一方の弁体２８のノブ部２８ｃを把持して引っ張るこ
とにより、該密閉容器２１内をパージするときなどに使
用するものである。

【００２４】次に、上記第１の実施例における作用を述
べる。上述したように、回転移動する無端状の基台２０
上には複数の密閉容器２１が載置されており、その周り
には所定数の中継ユニット３２が備えられている。上記
密閉容器２１は回転移動されることにより、順次、中継
ユニット３２に近接あるいは離間されることになる。一
方、中継ユニット３２は、上記密閉容器２１に臨んで往
復移動する移動基台４６上に載置されており、この密閉
容器２１に近接あるいは離間されることになる。即ち、
作業対象となる密閉容器２１が回転移動して上記中継ユ
ニット３２の前に位置されたときに、上記無端状の基台
２０を一時停止させる。

【００２５】この状態で、本実施例の多目的気密装置の
運転は、例えば、図３に示すフローチャートに従ってな
される。先ず、上記昇降手段２３としての第１のシリン
ダ装置２４に第１の切換弁２７を操作して上記第１の流
体供給ライン２５ａ，２５ｂから圧力流体を給排し、上
部容器２１ａを上昇させて密閉容器２１を上下に分割
し、その内部にワークＷを収納する。そして、上記第１
の切換弁２７を切り換えて上記第１の流体供給ライン２
５ａ，２５ｂから圧力流体を逆給排し、上部容器２１ａ
を下降させて密閉容器２１を一体化する（図中、ステッ
プＡ）。

【００２６】次に、上記第３のシリンダ装置４７に第３
の切換弁４９を操作して上記第３の流体給排ライン４８
ａ，４８ｂから圧力流体を給排し、移動基台４６を往動
移動させ、これに載置された中継ユニット３２を作業対
象となる密閉容器２１に近接させる。そして、中継ユニ
ット３２に備えられた連通ノズル３３の平面部３３ａ
を、上記密閉容器２１に備えられた弁体取付ノズル２９
の平面部２９ａに当接させる。このとき、連通ノズル３
３は上記弁体取付ノズル２９内に挿通された弁体２８を
覆うように、該弁体取付ノズル２９に当接されている。
上記連通ノズル３３の平面部３３ａにはシールパッキン
３４が設けられているので、これにより上記連通ノズル
３３と弁体取付ノズル２９との間の気密性が維持される
ものである（図中ステップＢ）。

【００２７】この状態で、上記チャッキング装置３５の
第２のシリンダ装置４１に第２の切換弁４３を操作して
上記第２の流体供給ライン４２ａ，４２ｂから圧力流体
を給排し、上記ロッドガイド３６内からチャックロッド
３９を進出させ、これにより上記チャック４０の爪４０
ａを上記密閉容器２１の弁体２８に向かって進出させる
と共に、コイルスプリング４４の付勢力でこれを開かせ
る。そして、上記第２の切換弁４３を切り換えて、第２
のシリンダ装置４１に上記第２の流体供給ライン４２
ａ，４２ｂから圧力流体を逆に給排し、上記ロッドガイ
ド３６内にチャックロッド３９を後退させ、これにより
上記チャック４０の爪４０ａで弁体２８を係合して引っ
張り、これを開放させる。このとき、弁体２８の円筒部
２８ｂに外装されたコイルスプリング３０は圧縮状態に
なっている。この弁体２８の円筒部２８ｂにはスリット
が形成されているので、上記密閉容器２１の内部と中継
容器３２の内部とは連通されることになる。

【００２８】次に、上記パージライン５３の第７の切換
弁６２を開放して、該パージライン５３により上記中継
ユニット３２を介して上記密閉容器２１内を洗浄する
（図中ステップＣ）。このとき、上記漏洩検査ライン５
１の第４の切換弁５４と、上記真空引ライン５２のゲー
トバルブ５６とは閉成されている。

【００２９】または、上記真空引ライン５２のゲートバ
ルブ５６を開放して、該真空引ライン５２の排気装置５
７により上記中継ユニット３２を介して上記密閉容器２
１内に収納されたワークＷの真空乾燥を行う（図中、ス
テップＤ）。このとき、上記パージライン５３の第７の
切換弁６２と上記漏洩検査ライン５１の第４の切換弁５
４とは閉成されている。そして、ワークＷの真空乾燥の
完了後、真空引ライン５２から分岐された補助パージラ
イン５２ａの第５の切換弁５８を開放して、上記密閉容
器２１内をパージする。

【００３０】または、密閉容器２１内のワークＷにヘリ
ウム等の検査流体を充填し（図中、ステップＥ）、上記
真空引ライン５２のゲートバルブ５６を開放して、該真
空引ライン５２の排気装置５７により上記中継ユニット
３２を介して密閉容器２１内を真空雰囲気にした後（図
中、ステップＦ）、上記漏洩検査ライン５１の第４の切
換弁５４を開放して、密閉容器２１内の漏れ試料をチャ
ージする（図中、ステップＧ）。次に、上記漏洩検査ラ
イン５１のリークディテクタ５５により、上記ワークＷ
の漏洩検査の合否を判定する（図中、ステップＨ）。そ
の後、上記パージライン５３の第７の切換弁６２を開放
して、上記密閉容器２１及び中継ユニット３２内のガス
排気を行うか（図中、ステップＩ）、或いは送気クリー
ニングを行った後（図中、ステップＪ）、上記ワークＷ
の合否判定に基づき選別搬出を行うものである（図中、
ステップＫ）。

【００３１】このように、上記第４の切換弁５４、ゲー
トバルブ５６及び第７の切換弁６２を開閉動作させるこ
とにより、ヘリウム等の検査流体による漏洩検査、真空
乾燥又はパージのいずれかの操作が選択できるものであ
る。

【００３２】従って、上記中継ユニット３２の給排ノズ
ル５０に、上記ワークＷ内に充填した検査流体の漏洩を
検出するためのリークディテクタ５５、上記密閉容器２
１及び中継ユニット３２内を真空引するための排気装置
５７、及び密閉容器２１と中継ユニット３２内をパージ
するためのパージライン５３等を接続すれば、上記中継
ユニット３２の連通ノズル３３を密閉容器２１の弁体取
付ノズル２９に気密的に当接させ、上記チャッキング装
置３５で弁体２８のノブ部２８ｃを引っ張り、これを開
放するだけの簡単な操作で、それぞれの目的に応じた作
業を行うことができることになる。

【００３３】このように本実施例にあっては、中継ユニ
ット３２を組み込むことにより、多種、多量生産に対応
することができ、単一工程が単純化されるため、装置の
トラブルが少なく、装置のメンテナンスが容易であるの
で、仮にトラブルが生じても短時間の停止で復旧でき、
稼動時間を向上させることができる。

【００３４】尚、本実施例にあっては、密閉容器２１及
び中継ユニット３２をそれぞれ複数個備えているが、基
本的にはそれぞれが少なくとも一つあれば、多目的気密
装置として成立することは言うまでもない。

【００３５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の多目的気密
装置によれば、複雑な構造のロータリーバルブを使用す
ることなく、簡単な操作で、ヘリウム等の検査流体によ
る漏洩検査、真空乾燥及びパージ等の、多目的に使用す
ることができる、という優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る多目的気密装置の一実施例を示す
系統図である。

【図２】本発明に係る多目的気密装置の要部を示す平面
図である。

【図３】本発明に係る多目的気密装置の運転の一例を示
すフローチャートである。

【図４】従来の気密装置を示す平面図である。

【図５】従来の気密装置に使用しているロータリーバル
ブを示す断面図である。

【符号の説明】

２０・・・無端状の基台、 ２１・・・密閉容器、 Ｗ・・・ワーク、 ２１ａ・・・上部容器、 ２１ｂ・・・下部容器、 ２２・・・シールパッキン、 ２３・・・昇降手段、 ２４・・・第１のシリンダ装置、 ２５ａ，２５ｂ・・・第１の流体給排ライン、 ２６・・・圧力ポンプ、 ２７・・・第１の切換弁、 ６４・・・流体貯留タンク、 ２８・・・弁体、 ２８ａ・・・弁体の閉塞部、 ２８ｂ・・・弁体の円筒部、 ２８ｃ・・・弁体のノブ部、 ２９・・・弁体取付ノズル、 ２９ａ・・・弁体取付ノズルの平面部、 ３０・・・コイルスプリング、 ３１・・・シールパッキン、 ３２・・・中継ユニット、 ３２ａ・・・ユニット本体、 ３３・・・連通ノズル、 ３３ａ・・・連通ノズルの平面部、 ３４・・・シールパッキン、 ３５・・・チャッキング装置、 ３６・・・ロッドガイド、 ３７，３８・・・シールパッキン、 ３９・・・チャックロッド、 ４０・・・チャック、 ４１・・・第２のシリンダ装置、 ４２ａ，４２ｂ・・・第２の流体給排ライン、 ４３・・・第２の切換弁、 ４０ａ・・・チャックの爪、 ４０ｂ・・・爪のテーパ部、 ４４・・・コイルスプリング、 ４５・・・シールパッキン、 ４６・・・移動基台、 ４７・・・第３のシリンダ装置、 ４８ａ，４８ｂ・・・第３の流体給排ライン、 ４９・・・第３の切換弁、 ５０・・・給排ノズル、 ５１・・・漏洩検査ライン、 ５２・・・真空引ライン、 ５３・・・パージライン、 ５４・・・第４の切換弁、 ５５・・・リークディテクタ、 ５６・・・ゲートバルブ、 ５７・・・排気装置、 ５８・・・第５の切換弁、 ５９ａ，５９ｂ・・・第４の流体給排ライン、 ６０・・・第６の切換弁、 ６１・・・検出ゲージ、 ６２・・・第７の切換弁、 ６３・・・マニュプレータ。

Claims (8)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークを収納するための分割可能な密閉
   容器と、 該密閉容器に進退自在に設けられ、外部に進出したとき
   に開放し内部に後退したときに閉成する少なくとも一つ
   の弁体と、 該弁体を覆うように上記密閉容器に気密的に当接される
   連通ノズルを備えた密閉中継ユニットと、 該密閉中継ユニット内から上記連通ノズル内へ進退自在
   に設けられ、上記弁体を密閉容器の外部へ引き出すこと
   により該弁体を開放させるための開放手段と、 上記密閉中継ユニットの連通ノズルに接続された給排ノ
   ズルと、からなることを特徴とする、漏洩検査装置にお
   ける多目的気密装置。
2. 【請求項２】 前記密閉容器が、前記中継ユニットに近
   接あるいは離間される移動基台上に載置されていること
   を特徴とする、請求項１に記載の漏洩検査装置における
   多目的気密装置。
3. 【請求項３】 前記中継ユニットが、前記密閉容器に近
   接あるいは離間される移動基台上に載置されていること
   を特徴とする、請求項１または請求項２に記載の漏洩検
   査装置における多目的気密装置。
4. 【請求項４】 前記密閉容器に、これを分割あるいは一
   体化させるための昇降手段が備えられていることを特徴
   とする、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の漏洩
   検査装置における多目的気密装置。
5. 【請求項５】 前記給排ノズルに、前記ワーク内に充填
   した検査流体の漏洩を検出するためのリークディテクタ
   が接続されることを特徴とする、請求項１乃至請求項４
   のいずれかに記載の漏洩検査装置における多目的気密装
   置。
6. 【請求項６】 前記給排ノズルに、前記密閉容器及び中
   継ユニット内を真空引するための排気装置が接続される
   ことを特徴とする、請求項１乃至請求項５のいずれかに
   記載の漏洩検査装置における多目的気密装置。
7. 【請求項７】 前記給排ノズルに、前記密閉容器及び中
   継ユニット内をパージするためのパージラインが接続さ
   れることを特徴とする、請求項１乃至請求項６のいずれ
   かに記載の漏洩検査装置における多目的気密装置。
8. 【請求項８】 ワークを収納するための分割可能な複数
   の密閉容器と、 これら複数の密閉容器を載置して回転移動させるための
   無端状の基台と、 各密閉容器に備えられこれを分割あるいは一体化させる
   ための昇降手段と、 各密閉容器に進退自在に設けられ、外部に進出したとき
   に開放し内部に後退したときに閉成する、少なくとも一
   つの弁体と、 該弁体を覆うように上記密閉容器に気密的に当接される
   連通ノズルを備えた所定数の密閉中継ユニットと、 該中継ユニットを載置してこれを上記密閉容器に臨んで
   往復移動させるための進退基台と、 上記中継ユニット内から上記連通ノズル内へ進退自在に
   設けられ、上記弁体を密閉容器の外部へ引き出すことに
   より該弁体を開放させるためのチャッキング装置と、 上記中継ユニットの連通ノズルに接続された給排ノズル
   と、 該給排ノズルを介して接続された、上記ワーク内に充填
   した検査流体の漏洩を検出するためのリークディテクタ
   と、 上記密閉容器及び中継ユニット内を真空引するための排
   気装置及び上記密閉容器と中継ユニット内をパージする
   ためのパージラインと、 からなることを特徴とする、漏洩検査装置における多目
   的気密装置。