JPS6288301A - 抵抗材料 - Google Patents
抵抗材料Info
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- JPS6288301A JPS6288301A JP60229172A JP22917285A JPS6288301A JP S6288301 A JPS6288301 A JP S6288301A JP 60229172 A JP60229172 A JP 60229172A JP 22917285 A JP22917285 A JP 22917285A JP S6288301 A JPS6288301 A JP S6288301A
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- Japan
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- parts
- weight
- glass
- resistance
- resistor
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、非酸化雰囲気中での焼成によって厚膜抵抗体
又はこれに類φの抵抗体を形成することができ、月つ耐
湿性の高い抵抗体を提供することができるペースト状抵
抗材料に関する。
又はこれに類φの抵抗体を形成することができ、月つ耐
湿性の高い抵抗体を提供することができるペースト状抵
抗材料に関する。
未焼成セラミックシート即ちグIJ−ンシ一トにニッケ
ル等の卑金属の導体ペーストを塗布し、且つ硼化モリブ
デンと弗化金属とガラスとを含准する抵抗体ペーストを
塗布したものを非酸化雰囲気中で焼成し、厚膜導体と厚
膜抵抗体との両方を有する多層セラミック回路基板を作
成する方法は、本件出願人に係わる特願昭59−197
655号明a%、に開示されている。この方法において
は、厚膜導体及び厚膜抵抗の形成に貴金属が使用されな
いので、多層セラミック回路基数のコストの低減ができ
る。
ル等の卑金属の導体ペーストを塗布し、且つ硼化モリブ
デンと弗化金属とガラスとを含准する抵抗体ペーストを
塗布したものを非酸化雰囲気中で焼成し、厚膜導体と厚
膜抵抗体との両方を有する多層セラミック回路基板を作
成する方法は、本件出願人に係わる特願昭59−197
655号明a%、に開示されている。この方法において
は、厚膜導体及び厚膜抵抗の形成に貴金属が使用されな
いので、多層セラミック回路基数のコストの低減ができ
る。
しかし、上記出願に係わる抵抗材料で形成された厚膜抵
抗は十分な耐湿特性を有さない。例えば、温度60℃、
相対湿度95%の環境下K 1000時間放置した場合
の抵抗変化率は+5%〜+10%程度になる。
抗は十分な耐湿特性を有さない。例えば、温度60℃、
相対湿度95%の環境下K 1000時間放置した場合
の抵抗変化率は+5%〜+10%程度になる。
そこで、本発明の目的は、非酸化雰囲気中での焼成で抵
抗体を形成することができ、且つ耐湿試験VCおげろ抵
抗変化率が二2%以内の抵抗体を得ることができる抵抗
材料を提供することにある。
抗体を形成することができ、且つ耐湿試験VCおげろ抵
抗変化率が二2%以内の抵抗体を得ることができる抵抗
材料を提供することにある。
上記目的を達成するための本発明に係わる抵抗材料は、
硼化モリブデン20″−80g374部と、ガラス10
〜70重i1と、炭酸カルシウム(CaCO。
硼化モリブデン20″−80g374部と、ガラス10
〜70重i1と、炭酸カルシウム(CaCO。
ン、炭酸ストロンチウム(Sr CO+ ) 、炭酸バ
リウム(BaCO,)の内の少なくとも1種の炭酸塩1
0〜70重1部と、適当量の有機結合剤及び溶剤(ビヒ
クルノとから成る。
リウム(BaCO,)の内の少なくとも1種の炭酸塩1
0〜70重1部と、適当量の有機結合剤及び溶剤(ビヒ
クルノとから成る。
〔作 用〕
上記組成のペースト状抵抗材相なグリーンシート上に印
刷し、非酸化雰囲気で焼成すれば、耐湿試験における抵
抗変化率が+2%以内の厚膜抵抗体が得られる。従って
、ニッケル等の卑金属の導体ペーストによる厚膜導体の
形成と同時に卑金属厚膜抵抗を形成することが出来る。
刷し、非酸化雰囲気で焼成すれば、耐湿試験における抵
抗変化率が+2%以内の厚膜抵抗体が得られる。従って
、ニッケル等の卑金属の導体ペーストによる厚膜導体の
形成と同時に卑金属厚膜抵抗を形成することが出来る。
〔実施例1〕
次に、本発明の実施例に係わる抵抗材料及びこれを使用
した多層セラミック回路基板の形成方法について述べる
。
した多層セラミック回路基板の形成方法について述べる
。
まず、二酸化珪素(Sin、) 78.01Ji匍部、
酸化亜鉛(ZnO) 5.5 M ftl H(l 、
酸化ジルコニウム(ZrOt)12、O88部、炭酸力
、/I/シウム(Ca(”01) 3.Off!!部、
及び酸化アルミニウム(八1yes) 1.571”
(3部を混合し、アルミナルツボ中、1400℃テ30
分子lJ+溶融し、この溶融液を水中に投入し、急冷さ
せた。
酸化亜鉛(ZnO) 5.5 M ftl H(l 、
酸化ジルコニウム(ZrOt)12、O88部、炭酸力
、/I/シウム(Ca(”01) 3.Off!!部、
及び酸化アルミニウム(八1yes) 1.571”
(3部を混合し、アルミナルツボ中、1400℃テ30
分子lJ+溶融し、この溶融液を水中に投入し、急冷さ
せた。
この急冷物を取り出してアルミナ乳鉢に入れ、約50μ
m程度になるまで粉砕し、更にこれをエタノールと共に
ポリエチレン製ボットミルの中に入jL、アルミナボー
ルで150時間粉砕し、粒径が10μm以下の粉末状の
ガラスを得た。
m程度になるまで粉砕し、更にこれをエタノールと共に
ポリエチレン製ボットミルの中に入jL、アルミナボー
ルで150時間粉砕し、粒径が10μm以下の粉末状の
ガラスを得た。
次に、上記ガラスと、研1化モリブデン(RJotB。
Mo2B、 、 MoB 、 NoB、の]種J−J
、、L−、)とを表に示す割合に秤匍し、ボールミルに
入れて攪拌し5た。次いで、これをアルゴンガス雰囲気
中1200℃で1時間熱処理し、しかる後、エタノール
と共にポリエチレン製のボットミル中に入t1アルミナ
ボールで24時mJ粉砕し、10μmJ−1下の硼化モ
ljブデンとガラスとの混合物の粉末を得た。即ち、表
の試料&1〜40に示されている種々の割合のガラスと
硼化モリブデンの混合粉末を得た。
、、L−、)とを表に示す割合に秤匍し、ボールミルに
入れて攪拌し5た。次いで、これをアルゴンガス雰囲気
中1200℃で1時間熱処理し、しかる後、エタノール
と共にポリエチレン製のボットミル中に入t1アルミナ
ボールで24時mJ粉砕し、10μmJ−1下の硼化モ
ljブデンとガラスとの混合物の粉末を得た。即ち、表
の試料&1〜40に示されている種々の割合のガラスと
硼化モリブデンの混合粉末を得た。
次に、ガラスと硼化モリブデンと炭酸塩(CaCoj%
Sr CO,2Ba CO,の1種以上)との割合が表
の試料Al〜40の組成の欄に示すようになるように、
上述のガラスと硼化モリブデンの混合粉末に対して炭酸
塩を添加し、混合することによって本発明に係わる抵抗
材料の粉末を得た。即ち、試料ALLおいては、抵抗材
料の組成をガラス10hit部、Mo、880 重量部
、CaCO510it部とし、残りの試料A2〜40に
おいても組成の欄に示す重量割合のM欣とした。
Sr CO,2Ba CO,の1種以上)との割合が表
の試料Al〜40の組成の欄に示すようになるように、
上述のガラスと硼化モリブデンの混合粉末に対して炭酸
塩を添加し、混合することによって本発明に係わる抵抗
材料の粉末を得た。即ち、試料ALLおいては、抵抗材
料の組成をガラス10hit部、Mo、880 重量部
、CaCO510it部とし、残りの試料A2〜40に
おいても組成の欄に示す重量割合のM欣とした。
次に、各試料の抵抗材料の粉末100重量部に、有機結
合剤としてのエチルセルロースエ・0重量部を溶剤とし
てのブチルカルピトール90重量部に溶かしたものから
成る有機バインダ溶液ff1lちビヒクル25重量部を
加えて3本ロールミルで混練して約800ボイズの抵抗
体ペーストを得た。
合剤としてのエチルセルロースエ・0重量部を溶剤とし
てのブチルカルピトール90重量部に溶かしたものから
成る有機バインダ溶液ff1lちビヒクル25重量部を
加えて3本ロールミルで混練して約800ボイズの抵抗
体ペーストを得た。
一方、上記抵抗体ペーストを印刷するだめのグリーンシ
ート上次の方法で炸裂した。AI、0.粉末50 ]f
f1s、 Sin、粉末20i[部、SrO粉末25重
量部、Ij、0粉床11豫部、及びMgO粉末4重量部
からなるセラミック罪科粉末と、アクリル酸エステルポ
リマーの水溶液からなるバインダーと、グリセリンと、
カルボン酸塩及び水と、をそれぞれボールミルに入れて
混合して、スリップを作製し、脱泡処理した後にドクタ
ーブレード法にヨク厚ざ200μmの長尺のグリーンシ
ートを作與した。そして、このグリーンシートZ+>う
、9mmX9 mmと6 mm X 9 mmの2種類
のグリーンシート片ケ切り抜いた。
ート上次の方法で炸裂した。AI、0.粉末50 ]f
f1s、 Sin、粉末20i[部、SrO粉末25重
量部、Ij、0粉床11豫部、及びMgO粉末4重量部
からなるセラミック罪科粉末と、アクリル酸エステルポ
リマーの水溶液からなるバインダーと、グリセリンと、
カルボン酸塩及び水と、をそれぞれボールミルに入れて
混合して、スリップを作製し、脱泡処理した後にドクタ
ーブレード法にヨク厚ざ200μmの長尺のグリーンシ
ートを作與した。そして、このグリーンシートZ+>う
、9mmX9 mmと6 mm X 9 mmの2種類
のグリーンシート片ケ切り抜いた。
次に、第1図に示す如く、前者のグリーンシート片(1
)上に、ニッケル(Ni )粉末と有機バインダ溶液(
エチルセルロース10 W 柘ffb kテレピン油9
01i翔部に浴かしたもの)とY3:1の比で混練した
導体ペーストを200メツシユのスクリーンを用いて印
刷し、125℃、10分間乾燥することによって第1図
に示す如<Nj堺体膜(2)馨形成した。
)上に、ニッケル(Ni )粉末と有機バインダ溶液(
エチルセルロース10 W 柘ffb kテレピン油9
01i翔部に浴かしたもの)とY3:1の比で混練した
導体ペーストを200メツシユのスクリーンを用いて印
刷し、125℃、10分間乾燥することによって第1図
に示す如<Nj堺体膜(2)馨形成した。
次に、本発明に係わる抵抗体ペーストラ導体ペーストと
同様にスクリーン印刷し、乾燥することによって、第1
図に示す如く抵抗体膜(3)を形成した。
同様にスクリーン印刷し、乾燥することによって、第1
図に示す如く抵抗体膜(3)を形成した。
次に、グリーンシート片(1)の上に鎖線で示す大きざ
のもう一方のグリーンシー)片(41’&積層し、10
0℃、150 kg/cm’で熱圧着し、こn’r酸化
雰囲気中500℃で熱処理して?J機機台合剤び溶剤(
有機ビヒクル)を飛散及び分解し、N、 (98,5容
積%) 十He (1,5容積%)の還元雰囲気中で1
100℃、2時間焼成し、第2図に示す如く、磁器層(
la)(4a)の中に、厚膜導体(2a)と厚膜抵抗体
(3a)とを有する混成集積回路用の多層セラミック回
路基板を完成させた。なお、抵抗体(3m)の導体(2
a)にかからない部分の大きさは、3mm X 3 m
mであり、膜厚は18μmである。また、抵抗体(3a
)の組成は、焼成前の抵抗材料の無機質のM4成にほぼ
一致している。
のもう一方のグリーンシー)片(41’&積層し、10
0℃、150 kg/cm’で熱圧着し、こn’r酸化
雰囲気中500℃で熱処理して?J機機台合剤び溶剤(
有機ビヒクル)を飛散及び分解し、N、 (98,5容
積%) 十He (1,5容積%)の還元雰囲気中で1
100℃、2時間焼成し、第2図に示す如く、磁器層(
la)(4a)の中に、厚膜導体(2a)と厚膜抵抗体
(3a)とを有する混成集積回路用の多層セラミック回
路基板を完成させた。なお、抵抗体(3m)の導体(2
a)にかからない部分の大きさは、3mm X 3 m
mであり、膜厚は18μmである。また、抵抗体(3a
)の組成は、焼成前の抵抗材料の無機質のM4成にほぼ
一致している。
次に、この抵抗体(3a)の25℃におけるシート抵抗
R8(Ω/口)ンデイジタルマルチメータで測定した。
R8(Ω/口)ンデイジタルマルチメータで測定した。
次いで、各試料(多層セラミック回路基板)を温度60
℃、相対湿度95%の環境下に1000時m」放置し、
その後、ディジタルマルチメータで再びシート抵抗R+
(Ω/口)を測定し、この耐湿試験による厚膜導体(
2a)の抵抗変化率△Rを(Rz Ro/ Ro)
X 100%で求めた。表の特性の欄には上記のR6と
△Rとが示されている。なお、ゐの値の欄のkは×10
を意1111i1:jる。
℃、相対湿度95%の環境下に1000時m」放置し、
その後、ディジタルマルチメータで再びシート抵抗R+
(Ω/口)を測定し、この耐湿試験による厚膜導体(
2a)の抵抗変化率△Rを(Rz Ro/ Ro)
X 100%で求めた。表の特性の欄には上記のR6と
△Rとが示されている。なお、ゐの値の欄のkは×10
を意1111i1:jる。
表の試料A1〜40から明らかな如く、抵抗材料の組成
を、 ガラス 10〜7Oilrt部、 硼化モリブデン(Mo2B%MoりBi、MoB、 M
oB。
を、 ガラス 10〜7Oilrt部、 硼化モリブデン(Mo2B%MoりBi、MoB、 M
oB。
の1種以上〕 20〜80重量部、
炭酸塩(CaC0a、Sr CO,,8a COsの1
種以上)10〜70重量部、 適当量の有機結合剤及び溶剤、 とすることにより、環元雰囲気中の焼成であるにも拘ら
ず、シート抵抗が10.17Ω/ロ〜428.7×10
Ω/口、耐湿試験による抵抗変化率△Rが−2,0%〜
+2.0%の範四内の厚膜抵抗体を提供することができ
る。
種以上)10〜70重量部、 適当量の有機結合剤及び溶剤、 とすることにより、環元雰囲気中の焼成であるにも拘ら
ず、シート抵抗が10.17Ω/ロ〜428.7×10
Ω/口、耐湿試験による抵抗変化率△Rが−2,0%〜
+2.0%の範四内の厚膜抵抗体を提供することができ
る。
なお、表に示されていない本発明の範囲外の試料により
次のことが確認されている。
次のことが確認されている。
+11 硼化モリブデンの量を20重量部よりも少な
くすると、抵抗値が高くなり過ぎる。
くすると、抵抗値が高くなり過ぎる。
(2) 硼化モリブデンの量を80重量部よりも多く
すると、焼結が困難になる。
すると、焼結が困難になる。
(31ガラスの量を1ON量部よりも少なくすると、焼
結が困難になる。
結が困難になる。
(4) ガラスの量を70重量部よりも多くすると、
抵抗値が高くなり過ぎる。
抵抗値が高くなり過ぎる。
(5) 炭酸塩の景ン10重量部よりも少なくすると
、抵抗変化率△Rケニ2%の範囲に収ぬることが困難に
なる。
、抵抗変化率△Rケニ2%の範囲に収ぬることが困難に
なる。
(6) 炭酸塩の借を701童部よりも多くてると、
抵抗変化率△Rを22%の範囲に収めることが困難にな
る。
抵抗変化率△Rを22%の範囲に収めることが困難にな
る。
ガラスの組成が変化しても、実施例1と同様な作用効果
が得られることン確かめるたぬに、次の如くガラス粉末
を作製した。二酸化珪素lid、)75.0 l−置部
、三酸化ニホウ素(Ext’s) 13−0重量部、炭
酸カルシウム(CaCO,) 10.0重量部、及び酸
化アルミニウム(Al*0□) 2.0 重量sw混合
し、実施例1と同様の手法にて粉末状のガラスを得た。
が得られることン確かめるたぬに、次の如くガラス粉末
を作製した。二酸化珪素lid、)75.0 l−置部
、三酸化ニホウ素(Ext’s) 13−0重量部、炭
酸カルシウム(CaCO,) 10.0重量部、及び酸
化アルミニウム(Al*0□) 2.0 重量sw混合
し、実施例1と同様の手法にて粉末状のガラスを得た。
次に、このガラスケ使用して実施例1の試料A36と同
−組成の抵抗材料を実施例1と同一の方法で得、これを
使用して実施例1と同一の方法で同−a造の多層セラミ
ック回路基板を形成し、実施例1と同様に電気的特性を
測定したところ、シート抵抗値は7.24 X 10’
Ω/口、抵抗変化率ΔRは+0.9%であった。
−組成の抵抗材料を実施例1と同一の方法で得、これを
使用して実施例1と同一の方法で同−a造の多層セラミ
ック回路基板を形成し、実施例1と同様に電気的特性を
測定したところ、シート抵抗値は7.24 X 10’
Ω/口、抵抗変化率ΔRは+0.9%であった。
この実施例2から明らかなように、ガラスの組成ヲ変え
ても抵抗特性に大きな相違は見られない。
ても抵抗特性に大きな相違は見られない。
つまり、本発明において使用されるガラスは必ずしも%
定された1つの組成に限られるものではない。なお、実
施例1におけるS iO,−ZnO−ZrO,−CaO
−AI、Oj系ガラス、実施例2の840.−8,0.
−CaO−AI、01系ガラスはいずr(も作業、5(
ixio’ホイズとなる8度)が900〜1200℃の
ガラスである。本発明に係わるガラスは、実施例1及び
2の組成のガラスに限ることなく、900〜1200℃
の作業点を有し、且つ還元雰囲気で焼成する際処金縞化
されや丁い金属酸化物(PbO,5nC1t、BitO
a 4! ) ’l含まないものであれば、とのよ5な
ものでもよい。
定された1つの組成に限られるものではない。なお、実
施例1におけるS iO,−ZnO−ZrO,−CaO
−AI、Oj系ガラス、実施例2の840.−8,0.
−CaO−AI、01系ガラスはいずr(も作業、5(
ixio’ホイズとなる8度)が900〜1200℃の
ガラスである。本発明に係わるガラスは、実施例1及び
2の組成のガラスに限ることなく、900〜1200℃
の作業点を有し、且つ還元雰囲気で焼成する際処金縞化
されや丁い金属酸化物(PbO,5nC1t、BitO
a 4! ) ’l含まないものであれば、とのよ5な
ものでもよい。
本発明は上述の実施例に限定されるものでなく、例えば
次の変形例が可能なものである。
次の変形例が可能なものである。
(at Bl化モリブデンとガラスと炭酸塩とン含む
抵抗体ペーストン塗布したグリーンシートの焼成温度y
z1000℃〜1200℃の範囲で変化させても、抵抗
値R6及び抵抗変化率ΔRが殆んど変化しないことが確
認されている。例えば、実施例1の試料A 36と同一
組成で焼成流度のみY 1000℃、1050℃、11
50℃、1200℃に変化させた時の抵抗値ゐは7.2
39X10Ω/口、7.243×10jΩ/口、 7.
208 X 10 Ω/口、7.227 X10Ω/
口であり、また抵抗変化率△Rは+0.8%、+1.1
%、+1.2%、+0.9%であった。他の組成におい
てもほぼ同様な結果が得られた。。
抵抗体ペーストン塗布したグリーンシートの焼成温度y
z1000℃〜1200℃の範囲で変化させても、抵抗
値R6及び抵抗変化率ΔRが殆んど変化しないことが確
認されている。例えば、実施例1の試料A 36と同一
組成で焼成流度のみY 1000℃、1050℃、11
50℃、1200℃に変化させた時の抵抗値ゐは7.2
39X10Ω/口、7.243×10jΩ/口、 7.
208 X 10 Ω/口、7.227 X10Ω/
口であり、また抵抗変化率△Rは+0.8%、+1.1
%、+1.2%、+0.9%であった。他の組成におい
てもほぼ同様な結果が得られた。。
fbl グリーンジ−トン焼成する時の雰囲気を中性
雰囲気(不活性雰囲気〕としてもよい。また、グリーン
シートな焼成する前の有機物ケ分解及び飛散させるだめ
の酸化性雰囲気の熱処理湛I#を例え1l−1’400
℃〜600℃で変化させてもよい。
雰囲気(不活性雰囲気〕としてもよい。また、グリーン
シートな焼成する前の有機物ケ分解及び飛散させるだめ
の酸化性雰囲気の熱処理湛I#を例え1l−1’400
℃〜600℃で変化させてもよい。
(cl ガラスと硼化モリブデンとの混合物のアルゴ
ン雰囲気中での焼成温度を、例えは900〜1200℃
の範囲で変化させてもよい。またこの焼成をアルゴンガ
ス以外の不活性雰囲気、又は真空中、又は中性雰囲気、
又は還元性雰囲気で行ってもよい。
ン雰囲気中での焼成温度を、例えは900〜1200℃
の範囲で変化させてもよい。またこの焼成をアルゴンガ
ス以外の不活性雰囲気、又は真空中、又は中性雰囲気、
又は還元性雰囲気で行ってもよい。
(dl 抵抗体ペーストを作るための有機バインダ溶
液(ビヒクル)は、ニトロセルロース等の樹脂を、テレ
ピン油、ブチルカルピトールアセテート等の高沸点溶剤
に溶かしたものでもよい。また、この有機バインダ溶液
の量は15〜35重量部程度置部ましい。
液(ビヒクル)は、ニトロセルロース等の樹脂を、テレ
ピン油、ブチルカルピトールアセテート等の高沸点溶剤
に溶かしたものでもよい。また、この有機バインダ溶液
の量は15〜35重量部程度置部ましい。
上述から明らかな如く、本発明のペースト状抵抗材料と
ニッケル等の卑金属の導体ペーストとを非酸化雰囲気で
同時焼成することができ、且つ本発明の抵抗材料には貴
金楕が含まれていない。従って、多層セラミック回路基
板、又はこれ九類似の電気回路部品の小型化及び低コス
ト化に寄与することができる。また、本発明の抵抗材料
は前述の特許出願の抵抗材料に比較し、it湿性の良い
抵抗体を提供することができる。
ニッケル等の卑金属の導体ペーストとを非酸化雰囲気で
同時焼成することができ、且つ本発明の抵抗材料には貴
金楕が含まれていない。従って、多層セラミック回路基
板、又はこれ九類似の電気回路部品の小型化及び低コス
ト化に寄与することができる。また、本発明の抵抗材料
は前述の特許出願の抵抗材料に比較し、it湿性の良い
抵抗体を提供することができる。
第1図は本発明の実施例に係わる多層セラミック回路基
板を作製する際のグリーンシートと導体膜及び抵抗体膜
のパターンを示す平面図、第2図は第1図のn−U線に
相些する部分の焼成後の多層セラミック回路基82ン示
す断面図である。 (1)・・・グリーンシート片、(2)・・・導体膜、
(3)・・・抵抗体1i1141・・・グリーンシート
片。
板を作製する際のグリーンシートと導体膜及び抵抗体膜
のパターンを示す平面図、第2図は第1図のn−U線に
相些する部分の焼成後の多層セラミック回路基82ン示
す断面図である。 (1)・・・グリーンシート片、(2)・・・導体膜、
(3)・・・抵抗体1i1141・・・グリーンシート
片。
Claims (3)
- (1)硼化モリブデン20〜80重量部、 ガラス10〜70重量部、 炭酸カルシウム、炭酸ストロンチウム、及び炭酸バリウ
ムの内の少なくとも1種の炭酸塩10〜70重量部、 適当量の有機結合剤及び溶剤 から成るペースト状抵抗材料。 - (2)前記硼化モリブデンは、1硼化2モリブデン(M
o_2B)、5硼化2モリブデン(Mo_2B_5)、
1硼化1モリブデン(MoB)、及び2硼化1モリブデ
ン(MoB_2)の内の少なくとも1種である特許請求
の範囲第1項記載の抵抗材料。 - (3)前記ガラスは、作業点が900〜1200℃の範
囲のものである特許請求の範囲第1項又は第2項記載の
抵抗材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60229172A JPS6288301A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | 抵抗材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60229172A JPS6288301A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | 抵抗材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6288301A true JPS6288301A (ja) | 1987-04-22 |
JPH0362281B2 JPH0362281B2 (ja) | 1991-09-25 |
Family
ID=16887914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60229172A Granted JPS6288301A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | 抵抗材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6288301A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01181401A (ja) * | 1988-01-11 | 1989-07-19 | Hitachi Ltd | ハイブリットic用基板とそれを用いたハイブリットic及びその装置 |
-
1985
- 1985-10-15 JP JP60229172A patent/JPS6288301A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01181401A (ja) * | 1988-01-11 | 1989-07-19 | Hitachi Ltd | ハイブリットic用基板とそれを用いたハイブリットic及びその装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0362281B2 (ja) | 1991-09-25 |
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