JPS6288302A - 抵抗材料 - Google Patents
抵抗材料Info
- Publication number
- JPS6288302A JPS6288302A JP60229173A JP22917385A JPS6288302A JP S6288302 A JPS6288302 A JP S6288302A JP 60229173 A JP60229173 A JP 60229173A JP 22917385 A JP22917385 A JP 22917385A JP S6288302 A JPS6288302 A JP S6288302A
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- JP
- Japan
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- glass
- resistor
- parts
- weight
- resistance
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、非酸化雰囲気中での焼成によって厚膜抵抗体
又はこれに類似の抵抗体を形成することができ、且つ耐
温性の高い抵抗体を提供することができるペースト状抵
抗材料に関する。
又はこれに類似の抵抗体を形成することができ、且つ耐
温性の高い抵抗体を提供することができるペースト状抵
抗材料に関する。
未焼成セラミックシート即ちグリーンシートにニッケル
等の卑金属の導体ペーストラ塗布し、且つ炭化モリブデ
ンと弗化合株とガラスとを含有する抵抗体ペーストラ塗
布したものを非酸化雰囲気中で焼成し、厚膜導体と厚膜
抵抗体との両方を有すル多層セラミック回路基82を作
成する方法は、本件出願人に係わる特願昭59−197
656号明細書に開示されている。この方法においては
、厚膜導体及び厚膜抵抗の形成に貴金属が使用されない
ので、多層セラミック回路基板のコストの低減ができる
。
等の卑金属の導体ペーストラ塗布し、且つ炭化モリブデ
ンと弗化合株とガラスとを含有する抵抗体ペーストラ塗
布したものを非酸化雰囲気中で焼成し、厚膜導体と厚膜
抵抗体との両方を有すル多層セラミック回路基82を作
成する方法は、本件出願人に係わる特願昭59−197
656号明細書に開示されている。この方法においては
、厚膜導体及び厚膜抵抗の形成に貴金属が使用されない
ので、多層セラミック回路基板のコストの低減ができる
。
しかし、上記出願に係わる抵抗材料で形成された厚膜抵
抗は十分な耐湿特性ン有さない。例えば、湯度60℃、
相対湿度95%の環境下に1000時間放置した場合の
抵抗変化率は+5%〜+10%程度になる。
抗は十分な耐湿特性ン有さない。例えば、湯度60℃、
相対湿度95%の環境下に1000時間放置した場合の
抵抗変化率は+5%〜+10%程度になる。
そこで、本発明の目的は、非酸化雰囲気中での焼成で抵
抗体を形成することができ、且つ耐湿試験における抵抗
変化率が二2%以内の抵抗体を得ることができる抵抗材
料を提供することにある。
抗体を形成することができ、且つ耐湿試験における抵抗
変化率が二2%以内の抵抗体を得ることができる抵抗材
料を提供することにある。
c問題点な解決するための手段〕
上記目的を達成するための本発明に係わる抵抗材料は、
モリブデン25〜85重量部と、ガラス5〜65重量部
と、炭酸カルシウム(CaC05) 、炭酸ストロンチ
ウム(Sr co、)、炭酸バリウム(BaC03)の
内の少なくとも1種の炭酸塩10〜70重量部と、適白
量の有機結合剤及び溶剤(ビヒクル)とから成る。
モリブデン25〜85重量部と、ガラス5〜65重量部
と、炭酸カルシウム(CaC05) 、炭酸ストロンチ
ウム(Sr co、)、炭酸バリウム(BaC03)の
内の少なくとも1種の炭酸塩10〜70重量部と、適白
量の有機結合剤及び溶剤(ビヒクル)とから成る。
上記組成のペースト状抵抗材料をグリーンシート上に印
刷し、非酸化雰囲気で焼成すれば、耐湿試験における抵
抗変化率が二2%以内の厚膜抵抗体が得られる。従って
、ニッケル等の卑金属の導体ペーストによる厚膜導体の
形成と同時に卑金楕厚膜抵抗な形成することが出来る。
刷し、非酸化雰囲気で焼成すれば、耐湿試験における抵
抗変化率が二2%以内の厚膜抵抗体が得られる。従って
、ニッケル等の卑金属の導体ペーストによる厚膜導体の
形成と同時に卑金楕厚膜抵抗な形成することが出来る。
〔実施例1〕
次に、本発明の実施例に係わる抵抗材料及びこれを使用
した多層セラミック回路基板の形成方法について述べる
。
した多層セラミック回路基板の形成方法について述べる
。
if、二酸化珪HA (5sOt ) 78.OI’m
部、酸化亜鉛(ZnO)5.5重量部、酸化ジルコニウ
ム(ZrOt)12.0重量部、炭酸カルシウム(Ca
CO,) 3.0重量部、及び酸化アルミニ’) A
(All0I) 1.5 lr Ji @ Y混合し、
アルミナルツボ中、1400’Cで30分間溶融し、こ
の溶融液を水中に投入し、急冷させた。
部、酸化亜鉛(ZnO)5.5重量部、酸化ジルコニウ
ム(ZrOt)12.0重量部、炭酸カルシウム(Ca
CO,) 3.0重量部、及び酸化アルミニ’) A
(All0I) 1.5 lr Ji @ Y混合し、
アルミナルツボ中、1400’Cで30分間溶融し、こ
の溶融液を水中に投入し、急冷させた。
この急冷物′?!l−取り出してアルミナ乳鉢に入rL
5約50μm程度になるまで粉砕し、更にこれをエタノ
ールと共にポリエチレン製ポットミルの中に入れ、アル
ミナボールで150時間粉砕し、粒径がlOμmJ−1
下の粉末状のガラスを得た。
5約50μm程度になるまで粉砕し、更にこれをエタノ
ールと共にポリエチレン製ポットミルの中に入れ、アル
ミナボールで150時間粉砕し、粒径がlOμmJ−1
下の粉末状のガラスを得た。
次に、上記ガラスと、モリブデン(No)とを表に示す
割合に秤量し、ボールミルに入れて梢拌した。次いで、
こt【Zアルゴンガス雰囲気中1200℃で1時間熱処
理し、しかる後、エタノールと共にポリエチレン展のボ
ットミル中に入れ、アルミナボールで24時間粉砕し、
10μml、f下のモIJブデンとガラスとの混合物の
粉末を得た。即ち、表の試料A1〜23に示されている
種々の割合のガラスとモリブデンの混合粉末を得た。
割合に秤量し、ボールミルに入れて梢拌した。次いで、
こt【Zアルゴンガス雰囲気中1200℃で1時間熱処
理し、しかる後、エタノールと共にポリエチレン展のボ
ットミル中に入れ、アルミナボールで24時間粉砕し、
10μml、f下のモIJブデンとガラスとの混合物の
粉末を得た。即ち、表の試料A1〜23に示されている
種々の割合のガラスとモリブデンの混合粉末を得た。
次に、ガラスとモリブデンと炭酸塩(CaC0m、Sr
CO,、Ba COlの1種以上)との重量割合が表
の試料Al〜23の組成の欄に示すようになるように、
上述のガラスとモリブデンの混合粉末に対して炭酸塩馨
添加し、混合することによって本発明に係わる抵抗材料
の粉末ン得た。即ち、試料A1においては、抵抗材料の
組成をガラス5重量部、Mo251rJt部、CaC0
,10重量部とし、Filの試料A2〜23においても
組成の欄に示す重量割合の組成とした。
CO,、Ba COlの1種以上)との重量割合が表
の試料Al〜23の組成の欄に示すようになるように、
上述のガラスとモリブデンの混合粉末に対して炭酸塩馨
添加し、混合することによって本発明に係わる抵抗材料
の粉末ン得た。即ち、試料A1においては、抵抗材料の
組成をガラス5重量部、Mo251rJt部、CaC0
,10重量部とし、Filの試料A2〜23においても
組成の欄に示す重量割合の組成とした。
次に、各試料の抵抗材料の粉末100重量部に、有機結
合剤としてのエチルセルロース10iiri1部を溶剤
としてのブチルカルピトール90重量部に溶かしたもの
から成る有機バインダ溶液即ちビヒクル25重蓋部ケ加
えて3本ロールばルで混練して約800ボイズの抵抗体
ペースト’a−得た。
合剤としてのエチルセルロース10iiri1部を溶剤
としてのブチルカルピトール90重量部に溶かしたもの
から成る有機バインダ溶液即ちビヒクル25重蓋部ケ加
えて3本ロールばルで混練して約800ボイズの抵抗体
ペースト’a−得た。
一方、上記抵抗体ペーストを印刷するためのグリーンシ
ートY次の方法で作製した。^1,0.粉末501!i
l1部、SiO,粉末20重置部、SrO粉床25N量
部、L輸0粉末1重量部、及びMgO粉宋粉末量部から
なるセラミック原料粉末と、アクリル酸エステルポリマ
ーの水溶液からなるバインダーと、グリセリンと、カル
ボン酸塩及び水と、をそれぞtボールミルに入れて混合
して、スリップを作製し、脱泡処理した後にドクターブ
レード法により淳さ200μmの長尺のグリーンシート
ケ作製した。そして、このグリーンシー) Pう、9
mm X9mmと5 mm X 9 mmの2種類のグ
リーンシート片を切り抜いた。
ートY次の方法で作製した。^1,0.粉末501!i
l1部、SiO,粉末20重置部、SrO粉床25N量
部、L輸0粉末1重量部、及びMgO粉宋粉末量部から
なるセラミック原料粉末と、アクリル酸エステルポリマ
ーの水溶液からなるバインダーと、グリセリンと、カル
ボン酸塩及び水と、をそれぞtボールミルに入れて混合
して、スリップを作製し、脱泡処理した後にドクターブ
レード法により淳さ200μmの長尺のグリーンシート
ケ作製した。そして、このグリーンシー) Pう、9
mm X9mmと5 mm X 9 mmの2種類のグ
リーンシート片を切り抜いた。
次に、第1図に示す如く、前者のグリーンシート片(1
)上九、ニッケル(Ni)粉末と翁機バインダ溶液(エ
チルセルロース10重量部をテレピン油90重量部に溶
かしたもの)とを3:1の比で混練した導体ペースト’
Y2O0メツシュのスクリーン印刷いて印刷し、125
℃、10分間乾燥することによって1lc1図に示す如
<Ni導体膜(2)ン形成した。
)上九、ニッケル(Ni)粉末と翁機バインダ溶液(エ
チルセルロース10重量部をテレピン油90重量部に溶
かしたもの)とを3:1の比で混練した導体ペースト’
Y2O0メツシュのスクリーン印刷いて印刷し、125
℃、10分間乾燥することによって1lc1図に示す如
<Ni導体膜(2)ン形成した。
次に、本発明に係わる抵抗体ペーストを導体ペーストと
同様にスクリーン印刷し、乾燥することによって、第1
図に示す如く抵抗体膜(3)を形成した。
同様にスクリーン印刷し、乾燥することによって、第1
図に示す如く抵抗体膜(3)を形成した。
次に、グ11−ンシート片+I+の上に鎖線で示す大き
さのもう一方のグツノーンシート片(4)を積層し、1
00℃、150 kg/cm’ テ熱圧着し5.l’L
’Y酸化雰囲気中500℃で熱処理して有機結合剤及び
溶剤(有機ビヒクル)を飛散及び分解し、N、(98,
5容積%)+)if(1,5容積%〕の還元雰囲気中で
1100℃、2時間焼成し、第2図W示す如く、磁器層
(la)(4a)の中に、厚膜導体(2a)と厚膜抵抗
体(3a)とを有する混成集積回路用の多層セラミック
回路基鈑を完成′:!せた。なお、抵抗体(3a)の導
体(2a)にかからない部分の大きさは、3mm X
3 mmであり、膜厚は18μmである。また、抵抗体
(3a)の組成は、焼成前の抵抗材料の無機質の組成に
ほぼ一致している。
さのもう一方のグツノーンシート片(4)を積層し、1
00℃、150 kg/cm’ テ熱圧着し5.l’L
’Y酸化雰囲気中500℃で熱処理して有機結合剤及び
溶剤(有機ビヒクル)を飛散及び分解し、N、(98,
5容積%)+)if(1,5容積%〕の還元雰囲気中で
1100℃、2時間焼成し、第2図W示す如く、磁器層
(la)(4a)の中に、厚膜導体(2a)と厚膜抵抗
体(3a)とを有する混成集積回路用の多層セラミック
回路基鈑を完成′:!せた。なお、抵抗体(3a)の導
体(2a)にかからない部分の大きさは、3mm X
3 mmであり、膜厚は18μmである。また、抵抗体
(3a)の組成は、焼成前の抵抗材料の無機質の組成に
ほぼ一致している。
次に、この抵抗体(3a)の25℃におけるシート抵抗
R6(Ω/口)をディジタルマルチメータで測定した。
R6(Ω/口)をディジタルマルチメータで測定した。
次いで、各試料(多層セラミック回路基板)を温度60
℃、相対湿度95%の環境下に1000時間放置し、そ
の後、ディジタルマルチメータで再びシート抵抗FLr
(Ω/口)を測定し、この耐湿試験による厚膜導体(
2a)の抵抗変化率ΔRを(RニーR0/Ft、) x
100%で求めた。表の特性の欄には、上記の島とΔ
Rとが示さtている。なお、川の値の欄のkは×10ケ
意味する。
℃、相対湿度95%の環境下に1000時間放置し、そ
の後、ディジタルマルチメータで再びシート抵抗FLr
(Ω/口)を測定し、この耐湿試験による厚膜導体(
2a)の抵抗変化率ΔRを(RニーR0/Ft、) x
100%で求めた。表の特性の欄には、上記の島とΔ
Rとが示さtている。なお、川の値の欄のkは×10ケ
意味する。
表の試料A1〜23から明らかな如く、抵抗材料の組成
を、 ガラス 5−651(置部、 モリブデン(MO)25〜85i11部、炭酸塩(Ca
C0,,5rco、、BaC0jの1種以上)10〜7
0重量部、 適伯普の有機結合剤及び溶剤、 とすることにより、還元雰囲気中の焼成であるにも拘ら
ず、シート抵抗が20.18Ω/口〜42.11×10
Ω/口、耐湿試験による抵抗変化率ΔRが−2,0%〜
+2.0%の範囲内の厚膜抵抗体ヶ提供することができ
る。
を、 ガラス 5−651(置部、 モリブデン(MO)25〜85i11部、炭酸塩(Ca
C0,,5rco、、BaC0jの1種以上)10〜7
0重量部、 適伯普の有機結合剤及び溶剤、 とすることにより、還元雰囲気中の焼成であるにも拘ら
ず、シート抵抗が20.18Ω/口〜42.11×10
Ω/口、耐湿試験による抵抗変化率ΔRが−2,0%〜
+2.0%の範囲内の厚膜抵抗体ヶ提供することができ
る。
なお、表に示されていない本発明の範囲外の試料により
次のことが確認されている。
次のことが確認されている。
山 モリブデンのi’Y 2511(’JFt部よりも
少なくすると、抵抗値が高くなり過ぎる。
少なくすると、抵抗値が高くなり過ぎる。
+21 モリブデンの量を85車量部よりも多くする
と、焼結が困難になる。
と、焼結が困難になる。
(3) ガラスの量を5重量部よりも少なくすると、
焼結が困難になる。
焼結が困難になる。
(4) ガラスのiヶ65@@部よりも多くすると、
抵抗値が高くなり過ぎる。
抵抗値が高くなり過ぎる。
(5) 炭酸塩の量710重量部よりも少なくすると
、抵抗変化率ΔRを22%の範囲に収ぬることが困難に
なる。
、抵抗変化率ΔRを22%の範囲に収ぬることが困難に
なる。
(6)炭酸塩の量を70″#量部よりも多くすると、抵
抗変化率ΔR火二2%の範囲に収めることが困難になる
。
抗変化率ΔR火二2%の範囲に収めることが困難になる
。
〔実施例2〕
ガラスの組成が変化しても、笑施例工と同様な作用効果
が得らfることな確〃1めるたぬに、次の如くガラス粉
末を作製した。二酸化珪素(SiOm)75.011r
ii部、三酸化ニホウ素(Btus) 13.0重i
is、炭酸カルシfy A (CaCOl) 10.0
1B預fm、及び酸化アルミニウム(AI、0.、l
2.0曹isを混合し、実施例1と同様の手@にて粉末
状のガラスを得た。
が得らfることな確〃1めるたぬに、次の如くガラス粉
末を作製した。二酸化珪素(SiOm)75.011r
ii部、三酸化ニホウ素(Btus) 13.0重i
is、炭酸カルシfy A (CaCOl) 10.0
1B預fm、及び酸化アルミニウム(AI、0.、l
2.0曹isを混合し、実施例1と同様の手@にて粉末
状のガラスを得た。
次に、このガラス乞使用して実施例1の試料点15と同
一組成の抵抗材料を実施例1と同一の方法で得、これン
使用して実施例1と同一の方法で同一構造の多層セラミ
ック回路基鈑を形放し、実施例1と同様に電気的特性を
測定したところ、シート抵抗値は7.795X10Ω/
口、抵抗変化率ΔRは+0.6%であった。
一組成の抵抗材料を実施例1と同一の方法で得、これン
使用して実施例1と同一の方法で同一構造の多層セラミ
ック回路基鈑を形放し、実施例1と同様に電気的特性を
測定したところ、シート抵抗値は7.795X10Ω/
口、抵抗変化率ΔRは+0.6%であった。
この実施例2から明らかなように、ガラスの組成を変え
ても抵抗特性に大きな相違は見られない。
ても抵抗特性に大きな相違は見られない。
つまり1本発明において使用されるガラスは必ずしも特
定された1つの組成に限られるものではなイ。なお、実
施例1におけるS 40.−ZnO−ZrO,−CaO
aLtoj系ガラス、実施例2の5i01 Btus
−CaO−Al、0.糸ガラスはいずr(も作業A(I
XIO’ホイズとなる温度)が900〜1200℃のガ
ラスである。本発明に係わるガラスは、実施例1及び2
のm成のガラスに限ることなく、900〜1200℃の
作業Aを有し、且つ還元雰囲気で焼成する際に金槙化ざ
わや丁い金属酸(1i物(pbo s SnO,、Bi
、0.等)ン含まないものであれば、どのようなもので
もよい。
定された1つの組成に限られるものではなイ。なお、実
施例1におけるS 40.−ZnO−ZrO,−CaO
aLtoj系ガラス、実施例2の5i01 Btus
−CaO−Al、0.糸ガラスはいずr(も作業A(I
XIO’ホイズとなる温度)が900〜1200℃のガ
ラスである。本発明に係わるガラスは、実施例1及び2
のm成のガラスに限ることなく、900〜1200℃の
作業Aを有し、且つ還元雰囲気で焼成する際に金槙化ざ
わや丁い金属酸(1i物(pbo s SnO,、Bi
、0.等)ン含まないものであれば、どのようなもので
もよい。
本発明は上述の実施例紀限定さするものでなく、例えば
次の変形例が可能なものである。
次の変形例が可能なものである。
(at モリブデンとガラスと炭酸塩とt含む抵抗体
ペーストラ塗布したグリーンシートの焼成温度’に10
00℃〜1200’Cの範囲で変化させても、抵抗値R
8及び抵抗変化率△Rが殆んど変化しないことが確認さ
れている。例えば、実施例1の試料A5と同一組成で焼
成温度の21を1000”C11050℃、1150℃
、1200 ’Cに変化させた時Oi抗値Ft、!’!
27.45 X 10”、Q/口、27.47 X1
01Ω/口、27.53 X 10’Ω/口、27.5
0X10’Ω/口であり、また抵抗変化率△Rは、+1
.2%、十1.6%、+1.5%、+1.5%であった
。他の組成においてもほぼ同様な結果が得らtた。
ペーストラ塗布したグリーンシートの焼成温度’に10
00℃〜1200’Cの範囲で変化させても、抵抗値R
8及び抵抗変化率△Rが殆んど変化しないことが確認さ
れている。例えば、実施例1の試料A5と同一組成で焼
成温度の21を1000”C11050℃、1150℃
、1200 ’Cに変化させた時Oi抗値Ft、!’!
27.45 X 10”、Q/口、27.47 X1
01Ω/口、27.53 X 10’Ω/口、27.5
0X10’Ω/口であり、また抵抗変化率△Rは、+1
.2%、十1.6%、+1.5%、+1.5%であった
。他の組成においてもほぼ同様な結果が得らtた。
(bl グリーンシートを焼成する時の雰囲気を中性
雰囲気(不活性雰囲気〕としてもよい。また、クリーン
シートを焼成する前の有機物ケ分解及び飛散させるため
の酸化性雰囲気の熱処理温度を例えば400℃〜600
℃で変化させてもよい。
雰囲気(不活性雰囲気〕としてもよい。また、クリーン
シートを焼成する前の有機物ケ分解及び飛散させるため
の酸化性雰囲気の熱処理温度を例えば400℃〜600
℃で変化させてもよい。
(cl ガ5スとモリブデンとの混合物のアルゴン雰
囲気中での焼成温度を、例えば900〜1200℃の範
囲で変化させてもよい。またこの焼成をアルゴンガス以
外の不活性雰囲気、又は真空中、又は中性雰囲気、又は
還元性雰囲気で行ってもよい。
囲気中での焼成温度を、例えば900〜1200℃の範
囲で変化させてもよい。またこの焼成をアルゴンガス以
外の不活性雰囲気、又は真空中、又は中性雰囲気、又は
還元性雰囲気で行ってもよい。
(dl 抵抗体ペーストラ作るための有機バインダ溶
液(ビヒクル)は、ニトロセルロース等の樹脂を、テレ
ピン油、ブチルカルピトールアセテート等の高沸虞溶剤
に溶かしたものでもよい。また、この有機バインダ溶液
の童は15〜35重焉部程度が望ましい。
液(ビヒクル)は、ニトロセルロース等の樹脂を、テレ
ピン油、ブチルカルピトールアセテート等の高沸虞溶剤
に溶かしたものでもよい。また、この有機バインダ溶液
の童は15〜35重焉部程度が望ましい。
上述から明らかな如く、本発明のペースト状抵抗材料と
ニッケル等の卑金践の導体ペーストとを非酸化雰囲気で
同時焼#、することができ、且つ本発明の抵抗材料には
貴金属が含まれていない。従って、多層セラミック回路
基鈑、又はこれに類但の電気回路部品の小型化及び低コ
スト化に寄与することができる。また、本発明の抵抗材
料は前述の特許出願の抵抗材料に比較し、耐湿性の良い
抵抗体を提供することができる。
ニッケル等の卑金践の導体ペーストとを非酸化雰囲気で
同時焼#、することができ、且つ本発明の抵抗材料には
貴金属が含まれていない。従って、多層セラミック回路
基鈑、又はこれに類但の電気回路部品の小型化及び低コ
スト化に寄与することができる。また、本発明の抵抗材
料は前述の特許出願の抵抗材料に比較し、耐湿性の良い
抵抗体を提供することができる。
第1図は本発明の実施例に係わる多層セラミック回路基
板を作製する際のグリーンシートと導体膜及び抵抗体膜
のパターンケ示す平面図、第2図は第1図のローn線に
相当する部分の焼成後の多層セラミック回路基gl乞示
す断面図である。 (11・・・グリ−ンシート片、(2)・・・導体膜、
(3)・・・抵抗体膜、(4)・・・グリーンシート片
。
板を作製する際のグリーンシートと導体膜及び抵抗体膜
のパターンケ示す平面図、第2図は第1図のローn線に
相当する部分の焼成後の多層セラミック回路基gl乞示
す断面図である。 (11・・・グリ−ンシート片、(2)・・・導体膜、
(3)・・・抵抗体膜、(4)・・・グリーンシート片
。
Claims (2)
- (1)モリブデン 25〜85重量部、 ガラス 5〜65重量部、 炭酸カルシウム、炭酸ストロンチウム、及び炭酸バリウ
ムの内の少なくとも1種の炭酸塩 10〜70重量部、 適当量の有機結合剤及び溶剤、 から成るペースト状抵抗材料。 - (2)前記ガラスは、作業点が900〜1200℃の範
囲のものである特許請求の範囲第1項記載の抵抗材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60229173A JPS6288302A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | 抵抗材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60229173A JPS6288302A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | 抵抗材料 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6288302A true JPS6288302A (ja) | 1987-04-22 |
JPH0362282B2 JPH0362282B2 (ja) | 1991-09-25 |
Family
ID=16887930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60229173A Granted JPS6288302A (ja) | 1985-10-15 | 1985-10-15 | 抵抗材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6288302A (ja) |
-
1985
- 1985-10-15 JP JP60229173A patent/JPS6288302A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0362282B2 (ja) | 1991-09-25 |
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