JPS6284291A - 熱間静水圧成形装置 - Google Patents

熱間静水圧成形装置

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JPS6284291A
JPS6284291A JP60225607A JP22560785A JPS6284291A JP S6284291 A JPS6284291 A JP S6284291A JP 60225607 A JP60225607 A JP 60225607A JP 22560785 A JP22560785 A JP 22560785A JP S6284291 A JPS6284291 A JP S6284291A
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pressure
airtight chamber
hot isostatic
isostatic pressing
pressing apparatus
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小船 恵生
隆男 藤川
剛 神田
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B30PRESSES
    • B30BPRESSES IN GENERAL
    • B30B11/00Presses specially adapted for forming shaped articles from material in particulate or plastic state, e.g. briquetting presses, tabletting presses
    • B30B11/001Presses specially adapted for forming shaped articles from material in particulate or plastic state, e.g. briquetting presses, tabletting presses using a flexible element, e.g. diaphragm, urged by fluid pressure; Isostatic presses
    • B30B11/002Isostatic press chambers; Press stands therefor
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64Burning or sintering processes
    • C04B35/645Pressure sintering
    • C04B35/6455Hot isostatic pressing

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、構造部材のほか燃料電池の隔壁板、半導体の
拡散熱処理用のサセプターなどの用途とされる炭素材料
を高温高圧下で焼成する熱間静水圧成形装置に関する。
(従来の技術) 炭素材料は、不活性雰囲気中における優れた耐熱性、化
学薬品に対する化学的安定性、軽量であることなど、他
の材料にはない特長をもつことから、近年その利用分野
は拡大の一途を辿っている。
とくに、高強度、高弾性のカーボン繊維の出現によるカ
ーボン繊維複合材料の普及には目覚ましいものがある。
また、炭素材料には、カーボン繊維の他、不定形炭素や
黒鉛など種々の形態のものがあり、各々が特異な性質を
有していることも、他の材料には見られない特長である
このような特長を有する炭素材料に対し、近年、高密度
化の要求が強くなっている。
すなわち、強度やガス不透過性や機械加工による鏡面仕
上げ性の改善のため高密度化に対する要求が強くなりつ
つある。
斯る要望を目指して本件出願人も次のような出願をなし
ている。
■特公昭57−31550号公報 ■特願昭59−46076号 これらはいずれもカプセルを用いて炭素材料の高密度化
を図ろうとするものであり、−回の処理ごとにカプセル
を使い捨てにしなければならないことから、必ずしも経
済的とはいえない。
(発明が解決しようとする問題点) これに対して、タール、ピッチ、フェノール樹脂など炭
化材料もしくは炭素との混合物をある程度炭化させての
ち、カプセルを使用することなく高温高圧処理を行なっ
て緻密化を促進することが考えられる。
しかし、従来のFzpW置を用いて処理すると、処理中
に発生する水素、メタン、水などが装置を構成する部材
に損傷をもたらす危険性がある。
すなわち、水素ガスは高圧容器の水素脆化或いは水素侵
食による破壊をもたらす危険性があり、また、炭化水素
系のガスはカーボンに分解して加熱要素に付着し、絶縁
破壊などを引き起す危険性がある。
本発明は、カプセルフリー法によるH I P処理時に
、水素、メタンなどHIP装置構成部材に有害なガスを
発生する被処理体を安定的に処理可能な装置の提供を目
的とする。
(問題点を解決するための手段) 本発明が前述の目的を達成するために講じる技術的手段
の特徴とする処は、高圧円筒1の上下開口部に上蓋2と
下蓋3とが嵌合されて処理室5を内部に有する高圧容器
が構成され、処理室5に断熱層8と、該断熱層8の内側
に発熱体6,6゛と、を有して被処理体12が圧媒ガス
を介して等方的に加圧成形される熱間静水圧成形装置に
おいて、発熱体6..6’の内側における処理室9内に
、気体不滲透性の隔壁13で仕切られた気密室15が設
けられ、該気密室15内に被処理体12が挿脱自在とさ
れており、 気密室15の外部から内部への圧媒ガスの流入を゛ 可
能にするとともに内部から外部への流出を阻止する逆止
弁16が設けられ、 更に、気密室15から高圧容器の外部へ連通ずる圧媒ガ
ス用の管路系17.18.19が設けられ、該管路系に
開閉弁20.20’が設けられ、前記開閉弁20.20
“を、気密室15の内部圧力及び外部圧力を検出して開
閉制御する弁制御手段21゜22、23.25が設けら
れている点にある。
(実施例と作用) 第1図において、高圧容器は高圧円筒1およびその上下
開口部を塞ぐ上蓋2と下蓋3とによって区画構成され、
各々の嵌合部はシール材4.4゛によって気密に保持さ
れて内部に処理室5を有する。
蓋部に作用するガス圧力はプレス枠体(図示せず)によ
って支持され、そして高圧容器内部には被処理体12を
加熱昇温するための電気加熱抵抗線よりなる円筒ホルダ
7を含む発熱体6,6゛およびこれら発熱体6,6゛か
ら−の熱により高圧円筒1や上蓋2、下蓋3への熱の散
逸を抑制する断熱層8が組み込まれている。
発熱体6,6”の内側処理室9内には、不滲透性の隔壁
13で仕切られた気密室15が形成されている。
第1図の場合、気密室15は下蓋3にシール材14によ
って気密に接続されて立設された逆コツプ形状の筒によ
って形成されている。
この筒隔壁13は、−a的にはステンレス、インコネル
、モリブデン、タングステンなど金属材料を使用するこ
とが、気体不滲透性を確保する上で好ましいが、温度条
件によっては不滲透性黒鉛など無機系の材料を使用する
ことも可能である。
筒隔壁13内の気密室15には炉床11を介して被処理
体12が挿脱自在であり、更に、隔壁13(以下筒とい
う)には気密室15の内外を連通し、外部から内部への
ガスの流入を可能とし内部から外部へのガス流出を阻止
する逆止弁16が設けられている。
逆止弁16については弁機能を確実なものとするために
、弁部に0リングなどシール材を使用することがあり、
また、逆止用バネの耐熱性の観点からも、気密室15の
比較的低温部である下方に配置することが望ましい。
場合によっては、隔壁の一部を構成する下蓋3の内部に
、内外を連通ずる管路を設けてこの管路系に逆止弁16
を設置することも可能である。
気密室15からは、さらに高圧容器外へ連通する管路系
17.18.19が本例では下蓋3内に設けられ、該管
路系17.18.19の本例では管路18に開閉弁2゜
が設けられているとともに、上蓋2の管路1oには圧力
計21が、下蓋3の管路I9には圧力計22が設けられ
、ここに、気密室15の内部圧力及び外部圧力を計測可
能とされ、その差圧を検出器23で検出せしめ、電気的
信号によって開閉弁20を開閉する弁制御手段を構成し
ている。
次に、処理方法及び処理に係る各部材の機能について説
明する。
高圧容器の処理室5を、真空ポンプ(図示せず)によっ
て、例えば、上M2の管路10から排気し、しかるのち
同じく管路10を通じてアルゴン等の不活性ガスによる
ガス置換を行なう。
この場合、気密室15の外部については真空排気が可能
であるけれども、内部については逆止弁16の存在によ
って不可能であることから、内部の真空排気は下蓋3内
の管路17.1Bを利用する。
また、ガス置換操作についても、上蓋2の管路10から
ガスを送気し、下蓋3の管路17.18を利用して排気
するのが、気密室15内のガスffl喚を完全に行なう
上で有利となる。
以上の真空排気、ガス置換操作によって、装置構成部材
あるいは被処理体12によって有害な水分あるいは酸素
の除去を行って後、管路10を通じて所定の圧力までア
ルゴンガスの送気が行なわれる。
圧媒ガスの充填後に、発熱体6.6°に電力を投入して
被処理体12の加熱操作に入るが、温度上昇に伴う圧力
上昇は、気密室15内部の方が外部より大きいため、こ
の場合には内部圧力の過上昇骨を開閉弁20を開にする
ことにより高圧容器外へ放出する。
この開閉弁20の操作は第1図に示す実施例では、気密
室15の外圧及び内圧を夫々別個の圧力計21゜22に
よって計測し、それらの差圧を検出器23で検出せしめ
、それが所定値に達したときに検出器23の電気的信号
により開閉弁20を開にすることになりなされる。
また、第2図の第2実施例(第1図と共通する部分には
共通符号を付している)では、下蓋3内に、処理室5に
通じる管路24を設けておき、この管路24と下蓋3内
の管路19とに接続された差圧検出器25の電気的信号
により開閉弁20が開とされる。
更に、第3図に示す第3実施例(これも第1実施例と共
通する部分は共通符号を付している)では下蓋3内に管
路26.27を形成せしめて同管路26゜27を通じて
の気密室15の内部圧力及び外部圧力をそれぞれバイロ
フト圧として機械的に開閉弁20゛を開としてもよい。
なお、第1図〜第3図に示されている開閉弁20゜20
゛ の閉操作は、気密室15の内部圧力と外部圧力とが
丁度バランスしたときに行なうのが望ましいが、気密室
15を区画する筒13が耐圧性を有する場合には、内部
圧力が一外部圧力に比して高い状態で閉とすることもで
きる。
また、仮りに、開閉弁20.20”の特性によって、閉
となったときの内部圧力が外部圧力よりも低下したとし
ても、この場合には逆止弁16によって即時に内外圧の
バランスが回復するので問題はない。
以上の動作によって被処理体12の加熱加圧処理、すな
わち、圧媒ガスの昇温昇圧に伴う等方的加圧が、気密室
15の内外圧の均衡を保ちつつ行なわれることになる。
この間の加圧処理中において、被処理体12から発生す
るH2.CH4などの装置部材に有害なガス成分は、気
密室15の外部の高圧容器内空間へ流出することがない
ので、極めて安定かつ安全に処理が行なわれることにな
る。
また、有害なガス成分の発生に伴ない気密室15内部圧
力の外部圧力に対する過上昇が起りうるが、これは前述
したと同様の開閉弁20.20’ の動作により、発生
ガスを含む気密室15内ガスの高圧容器外への排出が行
なわれ、内外圧のバランスが保たれる。
第4図は下蓋の構造を改善した例を示しており、その他
の構成は前述した構成と同じであることから共通部分は
共通符号で示している。
すなわち、第4図の下蓋は外下蓋3°と内下蓋3”とに
分割せしめて、外下蓋3゛にシール材14を介して筒1
3を立設せしめ、内下蓋3”上に炉床11を介して被処
理体12を載置したもので、これは、被処理体12の気
密室15に対する挿脱が容易となる。
なお、この場合、ガス排出用の管路17.18及び開閉
弁20゛抛作用のパイロット圧管路26.27を下外蓋
3゛に設けることが有利となる。
下外蓋3゛は被処理体12の挿脱のさいに動かされるこ
とはなく円筒1に嵌合固定されているからである。
第5図の例は管路17に連通された管路28を気密室1
5内の上方へ突出せしめ、その先端29を気密室15の
上部に位置させた実施例であり、これは、被処理体12
の処理に際して発生する有害ガス成分を管路28を介し
て優先的に排出する点で、逆止弁16を気密室15下方
へ配置したことと相まって有利となる。
その余の構成は第1〜第4図示のものと同じな部分は同
じ符号で示している。
第6図、第7図は排出管路系の高圧容器内下方の低温部
もしくは下蓋内にドレン溜り30を設けたものであり、
その余の構成は第1図〜第5図と共通し、共通する部分
は共通符号で示している。
この第6図、第7図の例にあっては、ガス排出管路を通
じての被処理体12からの発生有害ガスの排出に際して
、低温域で液化し易い成分、例えばクレゾール、フェノ
ール、水、タール等が排出ガス成分中に含まれ、これが
管路或いは弁部につまりを引起す可能性があることから
、これらをドレン溜り30で捕集して装置を安定かつ安
全に動作させる上で有利とされる。
(発明の効果) 以上詳述したように、本発明によれば、高温高圧処理に
際して、水素、メタンなどの装置構成部材、部品にとっ
て有害なガス成分を発生する被処理体の処理を、装置構
成部材、部品に損傷をもたらすことなく安定かつ安全に
実施可能とする。
従って、炭素材料の処理を可能ならしめ、もって、新規
な素材の開発を可能ならしめることができる。
なお、本発明装置で処理できる材料は、炭素材料の他に
有害ガス成分例えば302などを発生する被処理体の処
理などにも適用可能なことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の実施例を示しており、第1図は第1実施
例、第2図は第2実施例、第3図は第3実施例、第4図
は第4実施例、第5図は第5実施例、第6図は第6実施
例、第7図は第7実施例をそれぞれ示す各縦断側面図で
ある。 1・・・高圧円筒、2・・・上蓋、3・・・下蓋、6,
6゛・・・発熱体、8・・・耐熱層、12・・・被処理
体、13・・・筒隔壁、15・・・気密室、16・・・
逆止弁、17.18.19・・・排出管路系、20.2
0’ ・・・開閉弁、21.22・・・圧力計、23・
・・検出器。 特 許 出 願 人  株式会社神戸製鋼所1−主一〇 第7図 手続有11正書(自発) 昭和60年11月22日 昭和60年特 許 願第225607号2、発明の名称 熱間静水圧成形装置 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 (119)株式会社 神戸製鋼所 4、代理人 ■577 大阪府東大阪市御厨1013番地 昭和 年月 日 6、補正の対象 7、補正の内容 (1)明細書の特許請求の範囲は別紙の通り補正する。 (2)明細書第6頁第17行目、第18行目および第1
0頁第1行目並びに第11頁第11行目の「処理室5」
は、「高圧室5Jとそれぞれ補正する。 (3)明細書第7頁第9行目から第14行目の[更に、
−・−・・・−・−・点にある。」は、次の通り補正す
る。 記 「更に、気密室15から高圧容器の外部へ連通ずる圧媒
ガス用の管路系17.18が設けられ、液管路系17.
18に開閉弁20又は20゛ が設けられている点にあ
る。」 (4)明細書第7頁第19行目の「処理室5」は、「高
圧室5」と補正する。 (5)明細書第8頁第7行目の「不滲透性の」は、「気
体不滲透性の」と補正する。 (6)明細書第9頁第10行目から第18行目の「気密
室15−・−・−・・・している。」は、次の通り補正
する。 記 「気密室15からは、さらに高圧容器外へ連通する管路
系17.18が本例では下蓋3内に設けられ、該管路系
17.18の本例では管路18に開閉弁20が設けられ
ているとともに、上蓋2の管路10には圧力計21が、
又下蓋3に形成した別の管路19には圧力計22が設け
られ、ここに、気密室15の内部圧力及び外部圧力が計
測可能とされ、その差圧を検出器23で電気的に検出せ
しめ、電気的信号によって開閉弁20を開閉する弁制御
手段を構成している。J (7)  明細書第1O頁第14行目の「被処理体12
によって」は、r被処理体12にとって」と補正する。 (8)明細書第11頁第5行目から第8行目の「それら
の−・−−−−−・される、」は、次の通り補正する。 記 「それらの差圧を検出器23で電気的に検出せしめ、そ
れが所定値に達したときに検出器23の電気信号により
開閉弁20を開にすることによりなされる。」 (9)明細書第13頁第8行目、第9行目の「外下蓋」
は、「下外蓋」とそれぞれ補正する。 00)明細書第13頁第8行目、第10行目の「内下蓋
」は、「下向蓋」とそれぞれ補正する。 0υ 明細書第16頁第1行目のr17,1B、 19
.−」は、r17,18−・」と補正する。 叩 添付図面中、第6図と第7図は別紙の通り補正する
。 2、特許請求の範囲 (1)  高圧円筒1の上下開口部に上蓋2と下蓋3と
が嵌合されて血圧室5を内部に有する高圧容器が構成さ
れ、血圧室5に断熱層8と、該断熱層8の内側に発熱体
6.6゛と、を有して被処理体12が圧媒ガスを介して
等方的に加圧成形される熱間静水圧成形装置において、 発熱体6,6゛の内側における処理室9内に、気体不滲
透性の隔壁13で仕切られた気密室15が設けられ、該
気密室15内に被処理体12が挿脱自在とされており、 気密室15の外部から内部への圧媒ガスの流入を可能に
するとともに内部から外部への流出を阻止する逆止弁1
6が設けられ、 更に、気密室15から高圧容器の外部へ連通ずる圧媒ガ
ス用の管路系17.18fJ<設けられ、該管路系に開
閉弁20又見20′ が設けられてい旦とを特徴とする
熱間静水圧成形装置。 (2)開閉弁20(7)弁制御手段が、気密室15の内
部圧力及び外部圧力又は内外圧力差を電気的に検出する
検出器23からの電気的信号により行わしめることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の熱間静水圧成形装
置。 (3)開閉弁20゛ の弁制御手段が、気密室15の内
部圧力及び外部圧力をバイロフト圧として機械的に行わ
しめることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の熱
間静水圧成形装置。 (4)  気密室15が下蓋3に気密に接続されて立設
されている逆コツプ形状の筒隔壁13で構成されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第3項のい
ずれか埜点2皇玉に記載の熱間静水圧成形装置。 (5)下蓋3が下外蓋3°と下向蓋3”とに分割され、
逆コツプ状の筒隔壁13が下外蓋3”に気密に接続され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の熱
間静水圧成形装置。 (6)  開閉弁毅又見並と麦下蓋3に附属又は内蔵さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第
3項のいずれか−ひ(こWに記載の熱間静水圧成形装置
。 (7)  開閉弁20゛ のパイロット圧用ガス等通路
[互が下蓋3に設けられていることを特徴とする特許請
求の範囲第3項記載の熱間静水圧成形装置。 (8)逆止弁16が気密室15を構成する隔壁13の下
方部に設けられていることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の熱間静水圧成形装置。 (9)  気密室15から高圧容器の外部へ連通する管
路系の気密室15側先端部が気密室15の上部に位置す
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の熱間静
水圧成形装置。 (至)気密室15から高圧容器の外部へ連通する管路系
にドレン溜め30が設けられていることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の熱間静水圧成形装置。 OTJ  ドレン溜め30が高圧容器の下方側又は下蓋
3内に設けられていることを特徴とする特許請求の範囲
第10項に記載の熱間静水圧成形装置。 57 @ 有6 Z

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、高圧円筒1の上下開口部に上蓋2と下蓋3とが嵌合
    されて処理室5を内部に有する高圧容器が構成され、処
    理室5に断熱層8と、該断熱層8の内側に発熱体6、6
    ′と、を有して被処理体12が圧媒ガスを介して等方的
    に加圧成形される熱間静水圧成形装置において、 発熱体6、6′の内側における処理室9内に、気体不滲
    透性の隔壁13で仕切られた気密室15が設けられ、該
    気密室15内に被処理体12が挿脱自在とされており、 気密室15の外部から内部への圧媒ガスの流入を可能に
    するとともに内部から外部への流出を阻止する逆止弁1
    6が設けられ、 更に、気密室15から高圧容器の外部へ連通する圧媒ガ
    ス用の管路系17、18、19が設けられ、該管路系に
    開閉弁20、20′が設けられ、前記開閉弁20、20
    ′を、気密室15の内部圧力及び外部圧力を検出して開
    閉制御する弁制御手段21、22、23、25が設けら
    れていることを特徴とする熱間静水圧成形装置。 2、開閉弁20、20′の弁制御手段が、気密室15の
    内部圧力及び外部圧力又は内外圧力差を電気的に検出す
    る検出器23からの電気的信号により行わしめることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の熱間静水圧成形
    装置。 3、開閉弁20、20′の弁制御手段が、気密室15の
    内部圧力及び外部圧力をパイロット圧として機械的に行
    わしめることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
    熱間静水圧成形装置。 4、気密室15が下蓋3に気密に接続されて立設されて
    いる逆コップ形状の筒隔壁13で構成されていることを
    特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第3項のいずれか
    に記載の熱間静水圧成形装置。 5、下蓋3が下外蓋3′と下内蓋3″とに分割され、逆
    コップ状の筒隔壁13が下外蓋3′に気密に接続されて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第4項記載の熱間
    静水圧成形装置。 6、開閉弁20、20′が下蓋3に附属又は内蔵されて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第3項
    のいずれかに記載の熱間静水圧成形装置。 7、開閉弁20、20′のパイロット圧用ガス等通路2
    6が下蓋3に設けられていることを特徴とする特許請求
    の範囲第3項記載の熱間静水圧成形装置。 8、逆止弁16が気密室15を構成する隔壁13の下方
    部に設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の熱間静水圧成形装置。 9、気密室15から高圧容器の外部へ連通する管路系の
    気密室15側先端部が気密室15の上部に位置すること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の熱間静水圧成
    形装置。 10、気密室15から高圧容器の外部へ連通する管路系
    にドレン溜め30が設けられていることを特徴とする特
    許請求の範囲第1項記載の熱間静水圧成形装置。 11、ドレン溜め30が高圧容器の下方側又は下蓋3内
    に設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第1
    0項に記載の熱間静水圧成形装置。
JP60225607A 1985-10-08 1985-10-08 熱間静水圧成形装置 Granted JPS6284291A (ja)

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JP60225607A JPS6284291A (ja) 1985-10-08 1985-10-08 熱間静水圧成形装置

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