JPS6283374A - 窒化珪素の焼結助剤及びそれを用いた窒化珪素焼結体の製法 - Google Patents
窒化珪素の焼結助剤及びそれを用いた窒化珪素焼結体の製法Info
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- JPS6283374A JPS6283374A JP60220255A JP22025585A JPS6283374A JP S6283374 A JPS6283374 A JP S6283374A JP 60220255 A JP60220255 A JP 60220255A JP 22025585 A JP22025585 A JP 22025585A JP S6283374 A JPS6283374 A JP S6283374A
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- silicon nitride
- sintering aid
- nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、窒化珪素の焼結助剤とその焼結助剤を用いた
窒化珪素焼結体の製法に関し、詳しくは、アルミン酸コ
バルトスピネル(CoAA!go4)とLa族酸酸化物
混合物を焼結助剤とし、緻密でかつ高強度な窒化珪素焼
結体を製造する方法に関する。
窒化珪素焼結体の製法に関し、詳しくは、アルミン酸コ
バルトスピネル(CoAA!go4)とLa族酸酸化物
混合物を焼結助剤とし、緻密でかつ高強度な窒化珪素焼
結体を製造する方法に関する。
鼠化珪素現結体は、耐熱性、耐食性、its耗性、耐熱
衝撃性に優れた特性を有するため、軸受、ノズル、ベア
リング、タービン部材などの構造材に用いられている。
衝撃性に優れた特性を有するため、軸受、ノズル、ベア
リング、タービン部材などの構造材に用いられている。
窒化珪素は、それ自身では焼結させることが困難なため
、一般的には、”go 、AA’20i 、Y2O3な
どを焼結助剤として添加している。
、一般的には、”go 、AA’20i 、Y2O3な
どを焼結助剤として添加している。
しかし、常圧焼結法で焼結させる場合に於いては、焼結
助剤の添加量を多くしないと、例えば気孔率2%以下の
緻密な焼結体が得られに<<、一方、多く添加すると、
緻密ではあるが窒化珪素本来の特質例えば高強度が損な
われるという欠点がある。
助剤の添加量を多くしないと、例えば気孔率2%以下の
緻密な焼結体が得られに<<、一方、多く添加すると、
緻密ではあるが窒化珪素本来の特質例えば高強度が損な
われるという欠点がある。
また、上記欠点を補う焼結法としては、例えばホットプ
レス(Hp )など圧力を加えながら焼結させる方法(
%公昭52−3415号公報)があるが、複雑な形状の
焼結体が得られにくいなどの産業上の欠点を有する。
レス(Hp )など圧力を加えながら焼結させる方法(
%公昭52−3415号公報)があるが、複雑な形状の
焼結体が得られにくいなどの産業上の欠点を有する。
本発明者は、以上の欠点を解決し、常圧焼結法によって
、緻密、でかつ高強度の窒化珪素焼結体を製造する方法
について種々検討した結果、焼結助剤として、アルミン
酸コバルトスピネル(CoAlzOa)とLa族酸化物
とを併用すればよいことを見い出し、本発明d完成させ
た。
、緻密、でかつ高強度の窒化珪素焼結体を製造する方法
について種々検討した結果、焼結助剤として、アルミン
酸コバルトスピネル(CoAlzOa)とLa族酸化物
とを併用すればよいことを見い出し、本発明d完成させ
た。
すなわち、本発明は、次を要旨とするものである0
1、 アルミン酸コバルトスピネル(CoAJaO4)
トLa族酸化物とを含有してなる窒化珪素の・rJ8
結助剤。
トLa族酸化物とを含有してなる窒化珪素の・rJ8
結助剤。
2、窒化珪素粉末80重量%以上とアルミン酸コバルト
スピネル(CoA1204) 0.5〜15重駄7Qと
La族酸化物0.5〜18重盪%とを含有してなる混合
粉末を成形した後、非酸化性雰囲気下で焼成することを
特徴とする緻密な窒化珪素焼結体の製法O 以下、さらに詳しく本発明について説明する。
スピネル(CoA1204) 0.5〜15重駄7Qと
La族酸化物0.5〜18重盪%とを含有してなる混合
粉末を成形した後、非酸化性雰囲気下で焼成することを
特徴とする緻密な窒化珪素焼結体の製法O 以下、さらに詳しく本発明について説明する。
焼結助剤成分であるアルミン酸コバルトスピネル(Co
A/zo4) k家、窒化珪素焼結体の緻密化と高強度
化に寄与するものであり、酸化コパル)(Coo)と酸
化アルミニウム(AA!go3)との高温反応によって
得られるスピネル構造を有する化合物である。
A/zo4) k家、窒化珪素焼結体の緻密化と高強度
化に寄与するものであり、酸化コパル)(Coo)と酸
化アルミニウム(AA!go3)との高温反応によって
得られるスピネル構造を有する化合物である。
このスピネルのかわりに、酸化コバルトと酸化アルミニ
ウムの混合物を用いても本発明のような緻密化かつ高強
度化の効果は得られない。
ウムの混合物を用いても本発明のような緻密化かつ高強
度化の効果は得られない。
他方の焼結助剤成分であるLa族酸化物は、1種又は2
種以上が使用される。La族酸化物としては、どのよう
なものでもよいが、特に好ましいものは、酸化セリウム
、酸化プラセオジム、酸化サマリウム、酸化ガドリニウ
ムである。
種以上が使用される。La族酸化物としては、どのよう
なものでもよいが、特に好ましいものは、酸化セリウム
、酸化プラセオジム、酸化サマリウム、酸化ガドリニウ
ムである。
以上のアルミン酸コバルトスピネルとLa族酸化物は単
独で用いても緻密化と高強度化の効果は得られないので
両者を併用する必要がある。それらの割合は、両者の合
計として、窒化珪素粉末80重量%以上に対し20重量
%以下である。焼結助剤の割合がこれよりも多くなると
、窒化珪素本来の特性が著しく損なわれる。好ましい配
合割合は、電化珪素粉末80重量%以上、アルミン酸コ
バルトスピネル0.5〜15重址%特に好ましくあり、
α相が50重量%未満であると焼結過程で生じるα相か
らβ相への長柱状結晶の焼結体に占める割合が少なくな
り高強度化にとって不利となる。
独で用いても緻密化と高強度化の効果は得られないので
両者を併用する必要がある。それらの割合は、両者の合
計として、窒化珪素粉末80重量%以上に対し20重量
%以下である。焼結助剤の割合がこれよりも多くなると
、窒化珪素本来の特性が著しく損なわれる。好ましい配
合割合は、電化珪素粉末80重量%以上、アルミン酸コ
バルトスピネル0.5〜15重址%特に好ましくあり、
α相が50重量%未満であると焼結過程で生じるα相か
らβ相への長柱状結晶の焼結体に占める割合が少なくな
り高強度化にとって不利となる。
電化珪素粉末と焼結助剤との混合方法については、特に
限定しない。成形方法としては、泥漿鋳込成形、射出成
形、金型プレス成形、押出し成形等、通常の成形方法を
、目的とする形状などによって適宜選択する。
限定しない。成形方法としては、泥漿鋳込成形、射出成
形、金型プレス成形、押出し成形等、通常の成形方法を
、目的とする形状などによって適宜選択する。
また、焼結雰囲気は、窒化珪素の分解を抑制するために
、非酸比性雰囲気が好ましく、特に好ましくは、窒素ガ
ス雰囲気であるが、他の非酸化性雰囲気として作用する
ガスと混合しても何ら差しつかえない。なお、焼結方法
は、特に常圧焼結に限定するものではなく、焼結体の形
状、目的物性に応じて、ホットプレス(HP)、熱間静
水圧プレス(Hrp )などを採用することもできる。
、非酸比性雰囲気が好ましく、特に好ましくは、窒素ガ
ス雰囲気であるが、他の非酸化性雰囲気として作用する
ガスと混合しても何ら差しつかえない。なお、焼結方法
は、特に常圧焼結に限定するものではなく、焼結体の形
状、目的物性に応じて、ホットプレス(HP)、熱間静
水圧プレス(Hrp )などを採用することもできる。
以下、本発明の実施例と比較例をあげてさらに具体的に
説明する。
説明する。
実施例
平均粒径肌76μm(粒度分析計〔商品名:マイクロト
ラック、NAL社製社製側定)のα相90%Si3N、
粉末90重量%、平均粒径1.0μnのC0AJ204
(市販品)5重量%及び平均粒径0.8μmのCeO
2(市販品)5重量%からなる混合粉末に、1,1.1
−)リクロルエタンを加え4時間ボールミル湿式混合し
、乾燥後100罹/α2の成形圧で6X 10X601
11の形状に金型成形後、2000kl!/c!IL2
(Q成形IE テCIP成形シタ。
ラック、NAL社製社製側定)のα相90%Si3N、
粉末90重量%、平均粒径1.0μnのC0AJ204
(市販品)5重量%及び平均粒径0.8μmのCeO
2(市販品)5重量%からなる混合粉末に、1,1.1
−)リクロルエタンを加え4時間ボールミル湿式混合し
、乾燥後100罹/α2の成形圧で6X 10X601
11の形状に金型成形後、2000kl!/c!IL2
(Q成形IE テCIP成形シタ。
比較のため、C0AJ204のかわりにCoo (市販
品)とAA’gOs (市販品)の混合物を用いた他は
上記と同一条件で成形し成形体を得た。
品)とAA’gOs (市販品)の混合物を用いた他は
上記と同一条件で成形し成形体を得た。
これら成形体をカーボンルツボにセットし、N2ガス雰
囲気中で1650°Cにて12時間焼成して焼結体を製
造した。これら焼結体の気孔率と常温6点曲げ強度(J
IS R1601に準拠)を測定したところ、本実施例
の場合が、気孔率1.2%、常温曲げ強度909/i露
2が得られたのに対して、比較例の場合は、気孔率6.
9%、常温6点曲げ強度75にg / III”であっ
た。
囲気中で1650°Cにて12時間焼成して焼結体を製
造した。これら焼結体の気孔率と常温6点曲げ強度(J
IS R1601に準拠)を測定したところ、本実施例
の場合が、気孔率1.2%、常温曲げ強度909/i露
2が得られたのに対して、比較例の場合は、気孔率6.
9%、常温6点曲げ強度75にg / III”であっ
た。
なお、気孔率はアルキメデス法(JIS 2205に準
拠)で測定したかさ比重を原料配合基準の理論密度で除
し1から減じ100を掛げることによって求めた。
拠)で測定したかさ比重を原料配合基準の理論密度で除
し1から減じ100を掛げることによって求めた。
次に、α相90%のSi3N4粉末、coA1204粉
末及びLatill化物としてCe0g 、Pr6O1
1、Sm2O3、Gd2O3粉末(いずれも市販品)を
原料とし、比較例も含めて18種類の原料粉について上
記と同じ条件で成形体を作り、焼成後、気孔率と常温6
点曲げ強度を測定した。
末及びLatill化物としてCe0g 、Pr6O1
1、Sm2O3、Gd2O3粉末(いずれも市販品)を
原料とし、比較例も含めて18種類の原料粉について上
記と同じ条件で成形体を作り、焼成後、気孔率と常温6
点曲げ強度を測定した。
それらの結果を表に示す。
本発明によれば、緻密で高強度な窒化珪素焼結体を製造
することができる。
することができる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、アルミン酸コバルトスピネル(CoAl_2O_4
)とLa族酸化物とを含有してなる窒化珪素の焼結助剤
。 2、窒化珪素粉末80重量%以上とアルミン酸コバルト
スピネル(CoAl_2O_4)0.5〜15重量%と
La族酸化物0.5〜18重量%とを含有してなる混合
粉末を成形した後、非酸化性雰囲気下で焼成することを
特徴とする緻密でかつ高強度な窒化珪素焼結体の製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60220255A JPS6283374A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 窒化珪素の焼結助剤及びそれを用いた窒化珪素焼結体の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60220255A JPS6283374A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 窒化珪素の焼結助剤及びそれを用いた窒化珪素焼結体の製法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6283374A true JPS6283374A (ja) | 1987-04-16 |
JPH0510295B2 JPH0510295B2 (ja) | 1993-02-09 |
Family
ID=16748318
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60220255A Granted JPS6283374A (ja) | 1985-10-04 | 1985-10-04 | 窒化珪素の焼結助剤及びそれを用いた窒化珪素焼結体の製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6283374A (ja) |
-
1985
- 1985-10-04 JP JP60220255A patent/JPS6283374A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0510295B2 (ja) | 1993-02-09 |
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