JPS6278124A - 高純度石英パイプの製造方法 - Google Patents
高純度石英パイプの製造方法Info
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- JPS6278124A JPS6278124A JP21446585A JP21446585A JPS6278124A JP S6278124 A JPS6278124 A JP S6278124A JP 21446585 A JP21446585 A JP 21446585A JP 21446585 A JP21446585 A JP 21446585A JP S6278124 A JPS6278124 A JP S6278124A
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、高純度な石英ガラスパイプの製造方法に関す
る。特に、本発明は、石英系光ファイバの母材製造時に
利用される、ＯＨ基含有量の極めて低い高純度石英ガラ
スパイプの製造方法に関する。
る。特に、本発明は、石英系光ファイバの母材製造時に
利用される、ＯＨ基含有量の極めて低い高純度石英ガラ
スパイプの製造方法に関する。
石英系の光ファイバの母材製造方法の１つとして、従来
よりロッド・イン・チューブ法がある。この方法は、ク
ラッド部に相当する溶融石英ガラスパイプ内に、該溶融
石英ガラスパイプより屈折率の高い溶融石英ガラス棒を
挿入し加熱、一体化する、という非常に簡単な方法であ
る。ところで、単一モード光ファイバの場合には、クラ
ッド部への光のパワーの拡がりが大きい為、クラッド部
に相当する溶融石英ガラスパイプ中にＯＨ基が存在する
と、光がＯＨ基により吸収され、伝送損失特性が劣化す
る。この為長距離の光通信用線路としてロッド・イン・
チューブ法を用いて作製した単一モード光ファイバを利
用する為には、用いる溶融石英ガラスパイプ内の残留Ｏ
Ｈ基をＩＱ〜数ｔ ｏ ｐｐｂ以下の水準にまで低下さ
せる必要がある。しかしながら、現在市販されている石
英ガラスパイプ内には、１〜数１００ ｐｐｍ程度のＯ
Ｈ基が含まれており、市販の石英パイプを用いて高品質
な光フアイバ用母材を得ることはできない。
よりロッド・イン・チューブ法がある。この方法は、ク
ラッド部に相当する溶融石英ガラスパイプ内に、該溶融
石英ガラスパイプより屈折率の高い溶融石英ガラス棒を
挿入し加熱、一体化する、という非常に簡単な方法であ
る。ところで、単一モード光ファイバの場合には、クラ
ッド部への光のパワーの拡がりが大きい為、クラッド部
に相当する溶融石英ガラスパイプ中にＯＨ基が存在する
と、光がＯＨ基により吸収され、伝送損失特性が劣化す
る。この為長距離の光通信用線路としてロッド・イン・
チューブ法を用いて作製した単一モード光ファイバを利
用する為には、用いる溶融石英ガラスパイプ内の残留Ｏ
Ｈ基をＩＱ〜数ｔ ｏ ｐｐｂ以下の水準にまで低下さ
せる必要がある。しかしながら、現在市販されている石
英ガラスパイプ内には、１〜数１００ ｐｐｍ程度のＯ
Ｈ基が含まれており、市販の石英パイプを用いて高品質
な光フアイバ用母材を得ることはできない。
一方、ＯＨ基含有量の極めて低い透明ガラス母材を作製
する方法として、’ＶＡＤ法が知られている。ＷＡＤ法
では、８１（：！／、などの石英ガラス原料を気体状に
て、１１１ｔ、ｏ２．不活性ガス等と共にガラス微粒子
合成用バーナーに供給し、火炎加水分解反応によりガラ
ス微粒子を発生させ、該ガラス微粒子を鉛直に垂らした
棒状の出発材の下端部近傍に堆積させていくとともに、
該出発材を回転させつつ上方に引き上げていくことによ
り、ガラス微粒子の堆積体である多孔質ガラス母材を軸
方向忙成長せしめていき、しかるのちに咳多孔質ガラス
母材を塩素などの脱水作用のあるガスを含む雰囲蝋中に
て加熱し脱水、即ち十分に該母材中のＯＨ基を低減せし
めたのち、焼結し透明ガラス母材とする。このような’
ＶＡＤ法を応用して高純度な溶融石英ガラスパイプを作
製する方法としてＷＡＤ法により作製した透明な石英ガ
ラス棒に機械的に穴あけ加工を行い内面研磨を施しパイ
プ状にする方法がある。しかしながらこの方法では、穴
あけ加工やその後の内面研磨できるパイプの長さに制限
があり、長大なパイプを作製することが難しい。例えば
穴あけ加工に超音波穿孔機を用いた場合、精度よく穴を
あけることができる長さは３０〜５０５程度、また内面
を研磨剤を用いて平滑化できる長さは２０ｃＩｎ程度で
ある。このような方法を用いて作製したパイプをクラッ
ド用材料として光フアイバ用プリフォームを作製する場
合、１本のプリフォームから得られるファイバ長が短か
くなる為生産性の点で問題がある。
する方法として、’ＶＡＤ法が知られている。ＷＡＤ法
では、８１（：！／、などの石英ガラス原料を気体状に
て、１１１ｔ、ｏ２．不活性ガス等と共にガラス微粒子
合成用バーナーに供給し、火炎加水分解反応によりガラ
ス微粒子を発生させ、該ガラス微粒子を鉛直に垂らした
棒状の出発材の下端部近傍に堆積させていくとともに、
該出発材を回転させつつ上方に引き上げていくことによ
り、ガラス微粒子の堆積体である多孔質ガラス母材を軸
方向忙成長せしめていき、しかるのちに咳多孔質ガラス
母材を塩素などの脱水作用のあるガスを含む雰囲蝋中に
て加熱し脱水、即ち十分に該母材中のＯＨ基を低減せし
めたのち、焼結し透明ガラス母材とする。このような’
ＶＡＤ法を応用して高純度な溶融石英ガラスパイプを作
製する方法としてＷＡＤ法により作製した透明な石英ガ
ラス棒に機械的に穴あけ加工を行い内面研磨を施しパイ
プ状にする方法がある。しかしながらこの方法では、穴
あけ加工やその後の内面研磨できるパイプの長さに制限
があり、長大なパイプを作製することが難しい。例えば
穴あけ加工に超音波穿孔機を用いた場合、精度よく穴を
あけることができる長さは３０〜５０５程度、また内面
を研磨剤を用いて平滑化できる長さは２０ｃＩｎ程度で
ある。このような方法を用いて作製したパイプをクラッ
ド用材料として光フアイバ用プリフォームを作製する場
合、１本のプリフォームから得られるファイバ長が短か
くなる為生産性の点で問題がある。
本発明の目的は、高品質な単一モード光ファイバ用母材
を製造する際にも用い得るＯ１ｉ基含有量を充分低減せ
しめた高純度石英ガラスパイプを、上述の諸欠点を解決
して製造する方法を確立することにある。
を製造する際にも用い得るＯ１ｉ基含有量を充分低減せ
しめた高純度石英ガラスパイプを、上述の諸欠点を解決
して製造する方法を確立することにある。
本発明者等は鋭意研究の結果、上記の目的を達成する手
段として、 （１）内表面と外表面に平滑化処理を施した高純度な出
発石英ガラスパイプの外表面上に、石英ガラス微粒子を
堆積させることにより、該出発石英ガラスパイプとこれ
を取り囲んでなる多孔質石英ガラス体の複合体（Ａ′）
を形成し、咳複合体（Ａ′）を高温炉内にて加熱処理す
ることにより、多孔質石英ガラス体の部分を透明ガラス
化し出発石英ガラスパイプとこれを取り囲んでなる石英
ガラス体の複合体（ム）を形成することを特徴とする高
純度石英パイプの製造方法。
段として、 （１）内表面と外表面に平滑化処理を施した高純度な出
発石英ガラスパイプの外表面上に、石英ガラス微粒子を
堆積させることにより、該出発石英ガラスパイプとこれ
を取り囲んでなる多孔質石英ガラス体の複合体（Ａ′）
を形成し、咳複合体（Ａ′）を高温炉内にて加熱処理す
ることにより、多孔質石英ガラス体の部分を透明ガラス
化し出発石英ガラスパイプとこれを取り囲んでなる石英
ガラス体の複合体（ム）を形成することを特徴とする高
純度石英パイプの製造方法。
（２）特許請求範囲第１項記載の方法において、出発石
英ガラスパイプの材質を１を添加した石英ガラスとし、
加熱処理の際の雰囲気ガスに：ＩＦを含有する化合物ガ
スを混合することにより、アを複合体Ａ′の多孔質ガラ
ス体部分に含有させることを特徴とする高純度石英ガラ
スパイプの製造方法。
英ガラスパイプの材質を１を添加した石英ガラスとし、
加熱処理の際の雰囲気ガスに：ＩＦを含有する化合物ガ
スを混合することにより、アを複合体Ａ′の多孔質ガラ
ス体部分に含有させることを特徴とする高純度石英ガラ
スパイプの製造方法。
（３）特許請求範囲第１項又は第２項記載の方法におい
て、出発石英パイプの゛内表面平滑化を、アを含有する
化合物ガスを出発石英パイプ内に流しつつ外部より加熱
することにより行うことを特徴とする高純度石英ガラス
パイプの製造方法。
て、出発石英パイプの゛内表面平滑化を、アを含有する
化合物ガスを出発石英パイプ内に流しつつ外部より加熱
することにより行うことを特徴とする高純度石英ガラス
パイプの製造方法。
を提供する。
また上記方法における特に好ましい実施態様としては、
出発石英ガラスパイプの材質を１（ふっ素）を添加した
石英ガラスとし、加熱処理の際の雰囲気ガスにＦを含有
する化合物ガスを混合することにより、？を複合体Ａ′
の多孔質ガラス体部分に含有させることが挙げられ、さ
らにまた、出発石英パイプの内表面平滑化を、Ｆを含有
する化合物ガスを出発石英パイプ内に流しつつ外部より
加熱するととＫより行うことが挙げられる。
出発石英ガラスパイプの材質を１（ふっ素）を添加した
石英ガラスとし、加熱処理の際の雰囲気ガスにＦを含有
する化合物ガスを混合することにより、？を複合体Ａ′
の多孔質ガラス体部分に含有させることが挙げられ、さ
らにまた、出発石英パイプの内表面平滑化を、Ｆを含有
する化合物ガスを出発石英パイプ内に流しつつ外部より
加熱するととＫより行うことが挙げられる。
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
本発明は、第１図に示すような、後述する方法で作製し
た内表面と外表面に平滑化処理を施した高純度出発石英
パイプ１とこれを取り囲んでなる十分にＯＨ含有量を低
減化せしめた高純度石英ガラス体２の複合体（ム）を形
成すれば、長大かつ高純度な石英パイプを製造できるこ
とを見い出したことＫより達成できたものである。
た内表面と外表面に平滑化処理を施した高純度出発石英
パイプ１とこれを取り囲んでなる十分にＯＨ含有量を低
減化せしめた高純度石英ガラス体２の複合体（ム）を形
成すれば、長大かつ高純度な石英パイプを製造できるこ
とを見い出したことＫより達成できたものである。
この際出発石英パイプ１と高純度石英ガラス体２の複合
体（Ａ）は、出発石英パイプ１の外表面上に石英ガラス
微粒子を堆積させるととＫより第２図に示すような出発
石英パイプ１と多孔質石英ガラス体２′の複合体（Ａ′
）を形成し、しかるのち該複合体（Ａ′）を高温炉内で
加熱処理し、多孔質石英ガラス体２′の部分を透明ガラ
ス化することにより作製することができる。
体（Ａ）は、出発石英パイプ１の外表面上に石英ガラス
微粒子を堆積させるととＫより第２図に示すような出発
石英パイプ１と多孔質石英ガラス体２′の複合体（Ａ′
）を形成し、しかるのち該複合体（Ａ′）を高温炉内で
加熱処理し、多孔質石英ガラス体２′の部分を透明ガラ
ス化することにより作製することができる。
第２図に示したような出発石英パイプ１と多孔質石英ガ
ラス体ｆの複合体（Ａ′）は、例えば通常のＷＡＤ法に
よる多孔質ガラス母材の合成装置を若干変更した第３図
に模式的に示したような装置により作成できる。第３図
において、１は出発石英パイプ、２′は多孔質石英ガラ
ス体、３はガラス微粒子合成用バーナー、４は支持棒、
５は回転・引上装置、６は支持棒４と出発石英パイプ１
の固定用ビン、７は反応容器である。
ラス体ｆの複合体（Ａ′）は、例えば通常のＷＡＤ法に
よる多孔質ガラス母材の合成装置を若干変更した第３図
に模式的に示したような装置により作成できる。第３図
において、１は出発石英パイプ、２′は多孔質石英ガラ
ス体、３はガラス微粒子合成用バーナー、４は支持棒、
５は回転・引上装置、６は支持棒４と出発石英パイプ１
の固定用ビン、７は反応容器である。
８１（Ｉｆ、などの石英ガラス原料を気体状にて、馬、
０．などとともにガラス微粒子合成用バーナーＳＫ供給
し、火炎加水分解反応により石英ガラス微粒子を発生さ
せて、該石英ガラス微粒子を出発石英パイプ１の外表面
上に堆積させ、多孔質石英ガラス体２′を形成する。こ
の時出発石英パイプ１の上端近傍からガラス微粒子を堆
積させ始め、多孔質石英ガラス体２′の成長に合わせて
、回転引上装置５の駆動により、支持棒４を介して出発
石英パイプ１を回転させながら徐々に上方に引上げてい
くことにより、多孔質石英ガラス体２′を軸方向に、出
発石英パイプを取り囲んで成長せしめていき、複合体（
Ａ′）を形成することができる。
０．などとともにガラス微粒子合成用バーナーＳＫ供給
し、火炎加水分解反応により石英ガラス微粒子を発生さ
せて、該石英ガラス微粒子を出発石英パイプ１の外表面
上に堆積させ、多孔質石英ガラス体２′を形成する。こ
の時出発石英パイプ１の上端近傍からガラス微粒子を堆
積させ始め、多孔質石英ガラス体２′の成長に合わせて
、回転引上装置５の駆動により、支持棒４を介して出発
石英パイプ１を回転させながら徐々に上方に引上げてい
くことにより、多孔質石英ガラス体２′を軸方向に、出
発石英パイプを取り囲んで成長せしめていき、複合体（
Ａ′）を形成することができる。
次に、複合体（Ａ′）を高温炉内に挿入し、必要に応じ
て塩素などの脱水作用のあるガスを含む雰囲気中で加熱
し、多孔質石英ガラス体２′の部分に含まれているＯＨ
基或いはＨ，０分子を除去せしめたのち、多孔質石英ガ
ラス体２′の部分を焼結し、透明な高純度石英ガラス体
とすることにより、第１図に示したような出発石英パイ
プ１とこれを取り囲んでなる高純度石英ガラス体２の複
合体（Ａ）を形成することができる。
て塩素などの脱水作用のあるガスを含む雰囲気中で加熱
し、多孔質石英ガラス体２′の部分に含まれているＯＨ
基或いはＨ，０分子を除去せしめたのち、多孔質石英ガ
ラス体２′の部分を焼結し、透明な高純度石英ガラス体
とすることにより、第１図に示したような出発石英パイ
プ１とこれを取り囲んでなる高純度石英ガラス体２の複
合体（Ａ）を形成することができる。
この時、得られる高純度石英パイプの寸法は、出発石英
パイプの長さと外径、内径及び出発石英パイプの外表面
上に堆積させた高純度ガラス層の厚さにより調節でき、
種々の寸法の高純度石英パイプの製造が可能となる。
パイプの長さと外径、内径及び出発石英パイプの外表面
上に堆積させた高純度ガラス層の厚さにより調節でき、
種々の寸法の高純度石英パイプの製造が可能となる。
本発明における、内表面と外表面に平滑化処理を施した
出発石英パイプは、例えば以下のような方法で作製でき
る。まず、ＷＡＤ法で作製した高純度な石英ガラス棒の
中心に、超音波穿孔機により所定径の穴をあけパイプ状
とする。これを所定径にまで延伸した後、該パイプの内
部にフッ素化合物ガスを流しつつ外部より酸・水素バー
ナーなどで加熱し内表面の凹凸をエツチングして取り除
き平滑化する（以下この方法を気相エツチングと呼ぶ）
。外表面は酸・水素バーナーによる直接加熱により平滑
化できる。そこで、穴あけの際せいぜい３．０〜５Ｇ、
長の穴しかあけられず、長さが３０〜５０ｃｌｎに制限
されていたパイプ状石英ガラス体は、延伸により十分長
くするととができる。また気相エツチングは、パイプ肉
厚が薄いほど内表面に熱が伝わシ易く効率的に行えるが
、本方法では、延伸によＪ） パイプの肉厚が薄くなっ
た状態で気相エツチングを行うことができるので、内面
の平滑化が容易である。本発明におけるこのよう壜気相
エツチングに用いられるフッ素化合物ガスとしては、例
えば８１Ｆ６．０１Ｐい０．Ｆ６．８１ＦいＯＯ１ＩＩ
Ｆ、等が挙げられる。
出発石英パイプは、例えば以下のような方法で作製でき
る。まず、ＷＡＤ法で作製した高純度な石英ガラス棒の
中心に、超音波穿孔機により所定径の穴をあけパイプ状
とする。これを所定径にまで延伸した後、該パイプの内
部にフッ素化合物ガスを流しつつ外部より酸・水素バー
ナーなどで加熱し内表面の凹凸をエツチングして取り除
き平滑化する（以下この方法を気相エツチングと呼ぶ）
。外表面は酸・水素バーナーによる直接加熱により平滑
化できる。そこで、穴あけの際せいぜい３．０〜５Ｇ、
長の穴しかあけられず、長さが３０〜５０ｃｌｎに制限
されていたパイプ状石英ガラス体は、延伸により十分長
くするととができる。また気相エツチングは、パイプ肉
厚が薄いほど内表面に熱が伝わシ易く効率的に行えるが
、本方法では、延伸によＪ） パイプの肉厚が薄くなっ
た状態で気相エツチングを行うことができるので、内面
の平滑化が容易である。本発明におけるこのよう壜気相
エツチングに用いられるフッ素化合物ガスとしては、例
えば８１Ｆ６．０１Ｐい０．Ｆ６．８１ＦいＯＯ１ＩＩ
Ｆ、等が挙げられる。
また得られた高純度石英パイプには、必要に応じて石英
ガラスの屈折率を上げる物質、或いは屈折率を下げる物
質を含有せしめ、該高純度石英パイプの屈折率を調節す
ることも可能である。
ガラスの屈折率を上げる物質、或いは屈折率を下げる物
質を含有せしめ、該高純度石英パイプの屈折率を調節す
ることも可能である。
たとえば屈折率を上げる物質であるＧｅ０１を含有せし
める場合には、出発石英パイプの元になる多孔質ガラス
体や複合体（ム′）を形成せしめる工程に於いて、ガラ
ス微粒子合成バーナーへガラス原料として８１０Ｚ、
Ｋ加えてＧｏｏｒ、を供給すれば良い。また屈折率を下
げる物質である１（フッ素）を含有せしめる場合には出
発石英パイプの元になる多孔質ガラス体や複合体（Ａ′
）形成工程等に１ガラス微粒子合成バーナーへ８Ｆ、、
ＯＩＦいｃ、ｐい８１１Ｐいｃ ＯＺ！ＩＦ、などのフ
ッ素化合物を供給すれば良い。また多孔質石英ガラス体
の脱水或いは焼結工程に於いて、雰囲気ガスにやはり上
記のフッ素化合物ガスを加えることによりｙを含有せし
めることができる。
める場合には、出発石英パイプの元になる多孔質ガラス
体や複合体（ム′）を形成せしめる工程に於いて、ガラ
ス微粒子合成バーナーへガラス原料として８１０Ｚ、
Ｋ加えてＧｏｏｒ、を供給すれば良い。また屈折率を下
げる物質である１（フッ素）を含有せしめる場合には出
発石英パイプの元になる多孔質ガラス体や複合体（Ａ′
）形成工程等に１ガラス微粒子合成バーナーへ８Ｆ、、
ＯＩＦいｃ、ｐい８１１Ｐいｃ ＯＺ！ＩＦ、などのフ
ッ素化合物を供給すれば良い。また多孔質石英ガラス体
の脱水或いは焼結工程に於いて、雰囲気ガスにやはり上
記のフッ素化合物ガスを加えることによりｙを含有せし
めることができる。
実施例１
ＶＡＩ）法によりまず、外径１１０ｍ、長さ５０〇−の
純粋石英ガラスからなる多孔質ガラス体を作成し、該多
孔質ガラス体をＨｅ１００：０４５（体積比）の雰囲気
の炉内で１１００℃、１時間加熱し多孔質ガラス体を脱
水したのちＨｅのみの雰囲気中で１６５０℃、１．５時
間加熱し、外径５０−１長さ２２５−の透明ガラス体と
した。
純粋石英ガラスからなる多孔質ガラス体を作成し、該多
孔質ガラス体をＨｅ１００：０４５（体積比）の雰囲気
の炉内で１１００℃、１時間加熱し多孔質ガラス体を脱
水したのちＨｅのみの雰囲気中で１６５０℃、１．５時
間加熱し、外径５０−１長さ２２５−の透明ガラス体と
した。
得られた透明ガラス体に超音波穿孔機を用いて内径５−
の穴をあけパイプ状としたのち、酸・水素バーナーを用
いて外径２０ｍ、長さ９０〇−に延伸し、出発石英パイ
プとした。さらに、該パイプ内部に８７．を５ｏｏｃｃ
７’分の流量で流しつつ外部より酸・水素バーナーで加
熱し、内表面の気相エツチングを行った。このとき、該
出発石英パイプの表面温度は約１３００℃であった。ま
た出発石英パイプの内径は気相エツチング前で２１１１
１気相エツチング後で約４−であった。また該出発石英
パイプ外表面は気相エツチング時の酸・水素バーナーに
よる加熱効果により十分平滑化できた。
の穴をあけパイプ状としたのち、酸・水素バーナーを用
いて外径２０ｍ、長さ９０〇−に延伸し、出発石英パイ
プとした。さらに、該パイプ内部に８７．を５ｏｏｃｃ
７’分の流量で流しつつ外部より酸・水素バーナーで加
熱し、内表面の気相エツチングを行った。このとき、該
出発石英パイプの表面温度は約１３００℃であった。ま
た出発石英パイプの内径は気相エツチング前で２１１１
１気相エツチング後で約４−であった。また該出発石英
パイプ外表面は気相エツチング時の酸・水素バーナーに
よる加熱効果により十分平滑化できた。
次に、該出発石英パイプ表面上に、第３因に示した装置
を用いて多孔質ガラス体を形成した。
を用いて多孔質ガラス体を形成した。
この時、ガラス微粒子合成用バーナーにはＳ ｉ Ｏ／
。
。
１゜ｓｚ７分、％４０１，７分、ｏ、ａｏｔ／分、Ａｒ
１５１／分を供給した。このとき、回転引上装置５は４
０ ｒｐｍの回転数７５ 献ｈｒの速度で支持棒４を介
して該出発石英パイプ１を徐々に上方に引上げていった
。その結果純粋石英ガラスからなる多孔質ガラス体２が
出発石英パイプ１のまわシに成長した複合体（Ａ′）が
形成できた。
１５１／分を供給した。このとき、回転引上装置５は４
０ ｒｐｍの回転数７５ 献ｈｒの速度で支持棒４を介
して該出発石英パイプ１を徐々に上方に引上げていった
。その結果純粋石英ガラスからなる多孔質ガラス体２が
出発石英パイプ１のまわシに成長した複合体（Ａ′）が
形成できた。
その外径は１１０鴫であった。さ、らに該複合体Ａ′を
Ｈｅ１００：ＯＺ、３（体積比）の雰囲気中で温度１１
００℃にて１時間加熱し、多孔質ガラス体部を脱水した
のち、Ｔｌｅのみの雰囲気中で１６５０℃にて１．５時
間加熱し、透明ガラス体とした。
Ｈｅ１００：ＯＺ、３（体積比）の雰囲気中で温度１１
００℃にて１時間加熱し、多孔質ガラス体部を脱水した
のち、Ｔｌｅのみの雰囲気中で１６５０℃にて１．５時
間加熱し、透明ガラス体とした。
その結果、外径５０■、内径５慎均一部の長さが６００
鱈である高純度石英パイプを製造することができた。
鱈である高純度石英パイプを製造することができた。
実施例２
出発石英パイプの元となる多孔質ガラス体及び複合体Ａ
′の多孔質ガラス体の脱水、透明化処理の際の雰囲気を
Ｈｅ １００ ： ８１Ｆ、 ５とした他は総て実施例
１と同一の条件で高純度石英パイプを作製した結果、ア
が約１重量％添加され屈折率が純粋石英ガラスに比しａ
、Ｓ％低下した高純度石英ガラスパイプを作製すること
ができた。
′の多孔質ガラス体の脱水、透明化処理の際の雰囲気を
Ｈｅ １００ ： ８１Ｆ、 ５とした他は総て実施例
１と同一の条件で高純度石英パイプを作製した結果、ア
が約１重量％添加され屈折率が純粋石英ガラスに比しａ
、Ｓ％低下した高純度石英ガラスパイプを作製すること
ができた。
本発明方法は、高純度石英パイプをその内面が平滑な状
態で、ｖＡＤ法に準じた方法にて生産性良く得ることが
でき、たとえばこれをロッドインチューブ法に用いるこ
とによって、簡易なロッドインチューブ法により高品質
な単一モード光ファイバを製造し得る。
態で、ｖＡＤ法に準じた方法にて生産性良く得ることが
でき、たとえばこれをロッドインチューブ法に用いるこ
とによって、簡易なロッドインチューブ法により高品質
な単一モード光ファイバを製造し得る。
第１図は、出発石英パイプ１と高純度石英ガラス体２の
複合体（Ａ）を説明する図、第２図は、出発石英パイプ
１と多孔質石英ガラス体２′の複合体（Ａ′）を説明す
る図、第３図は、複合体（Ａ′）の製造装置の模式図で
ある。
複合体（Ａ）を説明する図、第２図は、出発石英パイプ
１と多孔質石英ガラス体２′の複合体（Ａ′）を説明す
る図、第３図は、複合体（Ａ′）の製造装置の模式図で
ある。
Claims (3)
- （１）内表面と外表面に平滑化処理を施した高純度な出
発石英ガラスパイプの外表面上に、石英ガラス微粒子を
堆積させることにより、該出発石英ガラスパイプとこれ
を取り囲んでなる多孔質石英ガラス体の複合体（Ａ′）
を形成し、該複合体（Ａ′）を高温炉内にて加熱処理す
ることにより、多孔質石英ガラス体の部分を透明ガラス
化し出発石英ガラスパイプとこれを取り囲んでなる石英
ガラス体の複合体 （Ａ）を形成することを特徴とする高純度石英パイプの
製造方法。 - （２）特許請求範囲第１項記載の方法において、出発石
英ガラスパイプの材質をＦを添加した石英ガラスとし、
加熱処理の際の雰囲気ガスにＦを含有する化合物ガスを
混合することにより、Ｆを複合体Ａ′の多孔質ガラス体
部分に含有させることを特徴とする高純度石英ガラスパ
イプの製造方法。 - （３）特許請求範囲第１項又は第２項記載の方法におい
て、出発石英パイプの内表面平滑化をＦを含有する化合
物ガスを出発石英パイプ内に流しつつ外部より加熱する
ことにより行うことを特徴とする高純度石英ガラスパイ
プの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21446585A JPS6278124A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 高純度石英パイプの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21446585A JPS6278124A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 高純度石英パイプの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6278124A true JPS6278124A (ja) | 1987-04-10 |
| JPH0583503B2 JPH0583503B2 (ja) | 1993-11-26 |
Family
ID=16656172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21446585A Granted JPS6278124A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 高純度石英パイプの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6278124A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008071759A1 (en) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | A method for producing a hollow cylinder of synthetic quartz glass, and thickwalled hollow cylinder obtained according to the method |
| WO2018131499A1 (ja) * | 2017-01-11 | 2018-07-19 | 信越石英株式会社 | 中空状多孔質石英ガラス母材の製造方法 |
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| JPS5312608A (en) * | 1976-07-21 | 1978-02-04 | Nec Corp | Production of magnetic head |
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-
1985
- 1985-09-30 JP JP21446585A patent/JPS6278124A/ja active Granted
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| US8316671B2 (en) | 2006-12-15 | 2012-11-27 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Method for producing a hollow cylinder of synthetic quartz glass, and thickwalled hollow cylinder obtained according to the method |
| WO2018131499A1 (ja) * | 2017-01-11 | 2018-07-19 | 信越石英株式会社 | 中空状多孔質石英ガラス母材の製造方法 |
| JPWO2018131499A1 (ja) * | 2017-01-11 | 2019-07-11 | 信越石英株式会社 | 中空状多孔質石英ガラス母材の製造方法 |
| US11401192B2 (en) | 2017-01-11 | 2022-08-02 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Method for producing hollow porous quartz glass base material |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0583503B2 (ja) | 1993-11-26 |
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