JPS6273795A - 多層プリント板の層間ずれの測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、多層プリント板を構成する隣接したプリント
基板の相対位置、すなわち層間ずれの測定方法に係り、
特に、９間ずれを高精度に測定するに好適な多層プリン
ト板の管間ずれの測定方法に関するものである。

〔発明の背景〕

従来の多層プリント板の層間ずれの測定方法は、特公昭
５７−３４６７９％公報に記載のように。

プリント基板の表面の周辺部に寸法測定用のマークを、
所定間隔離れ且つ層毎に異なる位置に形成しておき、積
層ｌ、て一体に接着後、Ｘ線透視により各層の前記マー
クの位置を計測し１層間ずれを知るという方法であった
。

しかしこの方法によれば、高価なＸ線装置が必要である
のみならず、測定精度（約±０．０５１ｍ程度）も十分
ではなかった。また、前記マークをフィルムに撮影し、
これを現像し、この現像したフィルムから層間ずれを読
取るものであるので、測定工数がかかった。加えて、Ｘ
線装置の管理（届出の手続き、定期点検の実施）やＸ線
装置の操作者の管理（取扱い資格の取得、定期健康診断
の受診）に相当の注意を要するという問題点もあった。

〔発明の目的〕

本発明は、上記した従来技術の問題点を解決して、多層
プリント板の層間ずれを高精度に。

安価に、且つ容易に測定することができる。多層プリン
ト板の層間ずれの測定方法の提供を。

その目的とするものである。

Ｃ発明の概要〕 本発明に係る多層グリント板の１−間ずれの測定方法の
構成は、予め導体パターンを形成しフ、：複数枚のプリ
ント基板の間にプリプレグを交互に挟んで積層した積層
体を、加圧・加熱り、て一体化してなる多層プリント板
の層間ずれの測定方法において、積層したとき隣接する
プリント基板を、互いに対向する一方の面に、少なくと
も３個の平行な目盛状ランドを形成シ２．他方の面に、
前記目盛状ランドと対向して該目盛状ランドと平行な１
目盛ランドを形成したプリント基板とし、加圧・加熱し
て一体化してなる多層プリント板の前記目盛状ランドと
１目盛ランドとの間の静電容量を検出し。この靜電容ｉ
値に基づいて前記隣接するプリント基板の、前記目盛状
ランドと直交する方向の層間ずれを測定するようにした
ものである。

さらに詳しくは１次の通りである。

多層プリント板を構成する複数枚のプリント基板上に、
予め目盛状のランドを層毎に向い合う位置に形成してお
き、この向い合うランド間の静電容量の大きさを検出す
ることにより５当該向い合うプリント基板の層間ずれを
測定するようにしたものである。静電容量の検出に使用
される静電容量測定装置は、従来の測定に使用されてい
るＸ線装置と比較して安価、小形であり、且つ層間ずれ
を高精度に測定することがで禽る、さらに、加圧・加熱
する前の積層体についても、前記向い合うランド間の静
電容量の大きさを検出すれば、積層接着工種の進行中に
おける層間のずれの前動を測定することができ。

層間ずれの発生要因を分析する上で効果的である。

〔発明の実施例〕

以下１本発明を実施例によって説明する。

第１図は１本発明の一実施例に係る多層プリント板の層
間ずれの測定方法の実施に使用される静電容量測定装置
と、これによる多層プリント板の層間ずれの測定状態と
を示す模式図、第２図は、第１図における多層プリント
板の隅部近傍を示す分解斜視図、第３〜５図は、第１図
における隣接するプリント基板の層間ずれの例を示すも
のであり、それぞれ１層間ずれδ＝ｏ。

ｐ／′２　、　ｐの場合のＸ方向要部断面図。第６〜８
図は、それぞれ、前記第３〜５図に係る場合の静電容ｉ
ｔ図である。

まず、プリント基板を説明する。

第２図において、１は予め導体パターン（図示せず）を
形成した第１層のプリント基板（詳細後述）、２は同じ
く予め導体パターンを形成した第２層のプリント基板（
詳細後述）、ｎは同じく導体パターンを形成した第ｎ層
のプリント基板である。なお、３０は前記プリント基板
の間に交互に介挿されたプリプレグである。

前記第１層のプリント基板１と第２層のプリント基板２
とは、積層したとき隣接するものであって、互いに対向
する一方の面に係る第２層のプリント基板２の上面２ａ
のＸ方向（縦方向）Ｋ、３個の平行な目盛状ランド３，
４．５が。

またｙ方向（横方向）に。３個の平行な目盛状ランド１
５　、１６　、１７が、それぞれ形成されている（形成
方法については後述する）、そして、目盛状ランド３，
４．５に接続してリード６．７゜８が、また各リード６
．７．８に接続シ、て外部端子９，１０．１１がそれぞ
れ形成され、目盛状ランド１５　、１６　、１７に接続
してリード１８　、１９　、２０がまた各リード１８．
Ｌ９，２０に接続して外部端子２１゜２２　、２３が、
それぞれ形成されている。これら目盛状ランド、リード
、外部端子は、いずれも当該上面２ａの銅箔をエツチン
グすることにより形成されたものである。２８は、ガイ
ドビンが通るガイド穴である。

互いに対向する他方の面に係るＩＥＩ層のプリント基板
１の下面１ｂのＸ方向には、前記目盛状ランド３，４．
５と対向してこれと平行な１目盛ランド１２が、またＸ
方向には、前記目盛状ランド１５　、１６　、１７と対
向してこれと平行な１目盛ランド２４が、それぞれ形成
されている。そして１目盛ランド１２に接続して、リー
ド１３．外端端子１４が形成され、また、ｌ目盛ランド
２４に接続して、リード２５．外部端子２６が形成され
ている。

２７は、前記ガイドビンが通るガイド穴である。

このようにして隣接するプリント基板１．２の１隅に形
成された１対の目盛状ランド。すなわち目盛状ランド３
〜５．１目盛ランド１２（こｔｌらは、当該目盛状ラン
ドと直交するＸ方向の層間ずれを測定するｔめのもの）
と目盛状ランド１５〜１７，１目盛ランド２４（これら
は、当該目盛状ランドと直交するＸ方向の層間ずれを測
定するためのもの）、と同様の目盛状ランドが当該隣接
するプリント基板１．２の他の３隅にもそれぞれ１対イ
つ６合計４対形成されている。

他の隣接するプリン）３板にも同様の１盛状ランドが形
成されている、 次に、静電容量測定装置を説明する。

第１図に＋６いて、３７は、目盛状ランドと１目盛ラン
ドとの間の静芝容債を検出することができる静電容量測
定部４３と、この静電容量測定部４３で検出した静電容
量を表示する静電容量表示部４４と、予め＃電界量一層
間ずれ換算曲線を設定しておくことにより、静電容量を
層間ずれの大きさに換算することができる設定部４５と
、この設定部４５で換算された層間ずれの大きさを表示
する層間ずれ表示部４６とを有する静電容量測定装置で
ある。そして、前記静電容量測定部４３には、目盛状ラ
ンド用端子４０　、４１　、４２と、可動側端子３９を
有する切換えスイッチ３９とが接続されている。

このように構成した静電容量測定装置３７を使用して１
本発明の一実施例に係る多層プリント板の層間ずれの測
定方法を第１図を用いて説明する。

４７は６層間ずれの測定に供せられる多層プリント板で
あって、前記プリント基板ｌ、２．・・・。

ｎの間にプリプレグ３０を交互に挟んで積層した積層体
を、加圧・加熱して一体什してなるものである。この多
層プリント板４７を、上治具板３１と下治具板３２とに
よって上下方向から固定する。

プリント基板１，２．・・・、ｎの各目盛状ランドの外
部端子に、電線が接続されているコネクタを装着し、前
記電線をスイッチボックス（図示せず）を介して静電容
量測定装置３７に接続する。

たとえば、プリント基板ｌの１目盛ランド２４の外部端
子２６を、コネクタ３３を介して、静電容量測定装置３
７の可動側端子３９へ、プリント基板２の目盛状ランド
１５　、１６　、１７の外部端子２１　、２２　。

２３を、コネクタ３４　、３５　、３６を介して、それ
ぞれ目盛状ランド用端子４０，４１．４２へ接続する。

設定部４５に、静電容量一層間ずれ換算曲線を設定する
。

ここで静電容量測定装置３７をＯＮにすると。

可動側端子３９．目盛状ランド用端子４０が静電容量測
定部４３に接続されて、ｌ目盛ランド２４と目盛状ラン
ド１５との間の静電容量が検出され、この静電容量値が
静電容量表示部４４１Ｃ表示される。

切換スイッチ３８が回動し、可動側端子３９．目盛状ラ
ンド用端子４１が静電容量測定部４３に接続されて、１
目盛ランド２４と目盛状ランド１６との間の静電容量が
検出さね、この静電容量値が静電容量表示部４４に表示
される。切換スイッチ３８がさらに回動し、５′Ｊ動側
嬬子３つ。目盛状ランド用端子４２が静電容量測定部４
３に接続されて、■目盛ランド２４と目盛状ランド１７
との間の静電容量が検出され、この静電容量値が静電容
量表示部４４に表示される。そして、設定部４５におい
て。

前記３つの静電容量値から層間ずれの大きさへ、換算さ
れ、この層間ずれ、ｔなわち隣接するプリント基板１，
２の１隅のＸ方向の層間ずれが層間ずれ表示部４６に表
示される。

前記スイッチボックスの接点が逐次切換えられて、当該
隅部のＸ方向の層間ずれ、他の隅部のＸ方向およびＸ方
向の層間ずれが表示される。

同様にして他の隣接するプリント基板の層間ずれがすべ
て測定されると、静電容量測定装置３７がＯｆ”Ｆにな
る。

具体例を説明する。

厚さＱ、ｌｘｍのプリプレグ３０を交互に挟んで積層接
着した多層プリント板４７について、隣接するプリント
基板１．２の１隅のＸ方向の靜電容１を測定した例を示
す。

目盛状ランド＋５　、１６　、１７は１幅が何れも０．
０３顛、ピッチｐ＝Ｑ。０６關（第３図参照）。１目盛
ランド２４は０幅が０．０３關のものである。

■　第３図に示すように１層間ずれδ＝Ｏの場合には、
目盛状ランド１５と１目盛ランド２４との間の静電容量
は小さく、第６図のランド番号１５に示す静電容量値と
なり、目盛状ランド１６と１目盛ランド２４との間の静
電容量は太きく　（０，２３２Ｘ　ＬＯ’ｐＦ　）、第
６ノのランド番号１６に示す静電容量値となり。目盛状
ランド１７と１目盛ランド２４との間の静電容量は、前
記ランド番号１５に示したと同じ値であり、第６図のラ
ンド番号１７に示す静電容量値となった。

そして１層間ずれ表示部４６には０．００　ｍｌが表示
された。

■　第４図に示すように１層間ずれδ＝ｐ／２の場合の
静電容量値は、第７図に示すように。

ランド番号１５ではさらに小さくなり、ランド番号１６
．１７ではほぼ同一であった。そして。

層間ずれ表示部４６には０．０３　ｓｒｓが表示された
。

■　第５図に示すように、１間ずれδ＝ｐの場合の静電
容量値は、第８図忙示すように、ランド番号１７で最も
太きく　（０，２３２ｘ　１０　’ｐＦ　）これから遠
ざかるに従って小さくなった。そして１層間ずれ表示部
４６には０．０６１１１が表示された。

この測定における層間ずれの測定精度は、±００２朋で
あった。

以上説明した実施例によれば、静電容量測定装置３７を
使用して、隣接したプリント基板の対向する面の４隅に
形成した目盛状ランドと１目盛ランドとの間の静電容量
を静電容量測定部４３で測定し７．予め静電容量一層間
ずれ換算曲線を設定して力・る設定部４５で、前記静電
容量の測定値から層間ずれの大きさに換算して、これを
層間ずれ表示部４６に表示するようにしたので１次の効
果がある。

１゜　Ｘ線装置を使用した従来の層間ずれの測定法に比
較して、測定装置が安価で且つ小形である。

２、　　Ｘ線装置を使手［また測定では、一旦フィルム
に撮影（Ｘ線投射）Ｌ７．これを現像し、そのフィルム
からＩ−間ずれを読取るのに対して。

本実施例の測定方法によれば、目盛状ランド。

１目盛ランドをコネクタを介１．て静電容量測定装置３
７に接続１７さえすれば、自動的に測定できるので１層
間ずれの測定が容易に、且つ短時間に実施できて測定工
数が低減する。

３、　　Ｘ線装置を使手し、た測定の精度は約±０．０
５１１１１であるのに対しで９本実施例の測定方法によ
れば約±００２０となり、測定精度が向上する。

４、　多層プリント板の隣接するプリント基板ごとの層
間ずれを知ることができるので、これらの情報を入明機
へインプットすることにより、スルーホールごとＶＣ，
最適穴明は位置を設定することが可能とたり１層間すれ
が原因で発生する穴明は不良を減少させ、スルーポール
穴明けの歩留りを大幅に向上させることができる。

なお１本実施例（（おいては、隣接するプリント基板の
４１向吋−７）値１（，４′ｚ寸の目盛状ランドな設け
だが５対以上、たとえばもう１対の目盛状ランドをプリ
ント基板の中央部近傍（ただし、半導体パターンに影響
を与えない位置）に形成するようにしてもよい。

次に、他の実施例を説明する。

前記実施例は、加圧・加熱して一体什した多層プリント
板４７について層間ずれを測定するようにしたものであ
るが本実施例は、プリント基板の間にプリプレグを交互
に挟んで積層した積層体、すなわち未接着の状態から接
着が終了して多層プリント板４７になるまでの層間ずれ
を測定するものである。

再び第１．２図を用いて１本実施例を説明する。

ブリット基板１，２．・・・、ｎの間にプリプレグ３０
を交互に挟んで積層し、ガイド穴２７　、２８　。

・・・、２９にガイドビン（図示せず）を嵌入してなる
積層体をホットプレス（図示せず）に装架し。

各目盛ランド、１目盛ランドの外部端子をコネクタ、ス
イッチボックス（図示せず）を介して静電容量測定装置
３７に配線する。設定部４５に静電容量一層間ずれ換算
曲線を設定する。

ここで、静電容量測定装置３７をＯＮにすると。

当該積層体のすべての目盛状ランドについて。

前記実施例と同様にして、静電容量が測定され隣接する
プリント基板の各隅の初期の相対位置が前記測定値から
換算され、その相対位置の大きさが層間ずれ表示部４６
に表示される。前記ホットプレスがＯＮになり、所定の
プログラムに従って前記積層体の加圧・加熱が追打する
。この積層接着工程の進行中に、所定時間経過毎の靜電
容債が測定され、これが層間ずれの大きさに換算されて
１層間ずれ表示部４６に表示される。

この層間ずれは加熱されることにより、プリント基板が
熱膨張し、その伸び量がプリント基板毎に相違すること
と、加圧力が負荷されることＫより生ずる面内伸び量が
、プリント基板毎の弾性率の差により、相違することに
起因するものである。

積層接着工程が終了し前記ホットプレスがＯＦＦになる
と、多層プリント板４７が得られる。

最後にもう一度静電容量が測定され、多層プリント板４
７の層間ずれが層間ずれ表示部４６に表示されて、靜電
容蓋測定装置３７がＯＦＦになる。

このようにして、積層接着工程進行中の層間ずれの変動
が測定される。

以上説明した実施例によれば、接着途中の層間ずれの変
動を測定するようにしたので、＃間ずれにおよぼす加熱
温度および圧力の影響を定量的に把掴することができ１
層間ずれを低減するための対策の立案、およびその対策
の効果の把握が容易になるという本実施例独特の利点が
ある。

なお、前記各実施例においては、目盛状ランドのピンチ
ｐを一定としたが、互いに異ならしめてもよい。

さらに、前記各実施例においては、目盛状ランドの数を
３個にしたが３個以上、たとえば４個であってもよい。

目盛状ランドの数を多くすれば０層間ずれが大きい場合
にもその１曽間ずれを容易に測定することができる。

〔発明の効果〕

以上詳細に説明］７たように本発明によ第１ば。

多層プリント板の層間ずわを高精度に、安価Ｋ。

且つ容、易に測定することができる。多層プリント板の
層間イれの測定方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

筆１図は７本発明の一実施例に係る多層プリント板の層
間ずれの測定方法の実施に使用される静電容量測定装置
と、これによる多層プリント板の層間ずれの測定状態と
を示す模式図、第２図は、第１−における多層プリント
板の隅部近傍を示す分解斜視図、第３〜５図は、第１図
における隣接するプリント基板の層間ずれの例を示すも
のであり、それぞれ層間ずれδ＝ｏ。 ｐ／２　、　Ｉ’）のｕ％合のＸ方向要部断面図、箪６
〜８図は、それぞれ前記第３〜５図に係る場合の静電容
量図である。 ｌ・・・第１層のプリント基板。 ２・・・＠２層のプリント基板。 ｎ・・・第ｎ　ＩＩのプリント基板。 ３．４．５・・・目盛状ランド。 １２・・・１目盛ランド。 １５　、１６　、１７・・・目盛状ランド。 ２４・・・１目盛ランド、３０・・・プリプレグ。 ３７・・・靜電容歇測定装置。 ４３・・・静電容量測定部、４６・・・層間ずれ表示部
。 ４７・・・多層プリント板。 代弗Δｆｆ′埋士　小　川　肋　男゛ ８１　図 第２　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、予め導体パターンを形成した複数枚のプリント基板
   の間にプリプレグを交互に挟んで積層した積層体を、加
   圧・加熱して一体化してなる多層プリント板の層間ずれ
   の測定方法において、積層したとき隣接するプリント基
   板を、互いに対向する一方の面に、少なくとも３個の平
   行な目盛状ランドを形成し、他方の面に、前記目盛状ラ
   ンドと対向して該目盛状ランドと平行な１目盛ランドを
   形成したプリント基板とし、加圧・加熱して一体化して
   なる多層プリント板の前記目盛状ランドとｌ目盛ランド
   との間の静電容量を検出し、この静電容量値に基づいて
   前記隣接するプリント基板の前記目盛状ランドと直交す
   る方向の層間ずれを測定することを特徴とする多層プリ
   ント板の層間ずれの測定方法。 ２、積層体の隣接するプリント基板の対向する面に形成
   した目盛状ランドと１目盛ランドとの間の静電容量を検
   出し、この静電容量直に基づいて前記隣接するプリント
   基板の前記目盛状ランドと直交する方向の相対位置を測
   定するようにしたものである特許請求の範囲第１項記載
   の多層プリント板の層間ずれの測定方法。