JPS6263644A

JPS6263644A - 窒化珪素硬質物複合焼結体およびその製造法

Info

Publication number: JPS6263644A
Application number: JP60201627A
Authority: JP
Inventors: Tatsuro Kuratomi; 倉富　龍郎
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1985-09-13
Filing date: 1985-09-13
Publication date: 1987-03-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、窒化珪素（四窒化三珪素）粉末を主材とし、
硬質炭化物、硬質硼化物、硬質窒化物、硬質珪化物、硬
質酸化物のうちより選択した硬質物の粉末を副材とし、
斯様な主材粉末に斯様な副材粉末を加えた混合粉末に珪
素粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−コバルト合金
粉末、珪素−ニッケル混合粉末、珪素−ニッケル合金粉
末、珪素−鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末のうちより選
択した金属粉末を焼結助材として添加した混合粉末を焼
結用原料とし、斯様に配合した焼結用原料全焼結して生
成した窒化珪素硬質物複合焼結体およびその窒化珪素硬
質物複合焼結体を製造する方法に関するものである。

本発明は、上記の主材とする窒化珪素粉末に副材とする
硬質物粉末を加えた混合粉末に焼結助材とする珪素系金
属粉末を添加した混合粉末を焼結用原料とし、其の焼結
用原料を加圧成形した成形体を常圧焼結法により焼結を
行い、或は、其の焼結用原料と常圧焼結法により生成し
た常圧焼結体全窒素ガス中にて常圧窒化焼結全行い、或
は、其の焼結用原料全常圧焼結法により生成した常圧焼
結体を窒素ガス中にて静水圧加圧窒化焼結を行い、或は
、其の焼結用原料全加圧焼結法により焼結を行い、或は
、加圧焼結法によｐ生成した加圧焼結体を窒素ガス中に
て加圧窒化焼結を行い、或は、其の焼結用原料を静水圧
加圧成形した成形体を窒素ガス中にて常圧窒化焼結を行
い、或は、其の焼結用原料全静水圧加圧成形した成形体
を窒素ガス中にて静水圧加圧窒化焼結を行って、窒化珪
素硬質物複合焼結体を生成することを特徴とする製造法
である。

上記の製造法により製造した窒化珪素（四窒化三珪素）
硬質物複合焼結体は、曲げ強度が大きく耐熱衝撃抵抗性
に優れ、且つ耐摩耗性にも優れている窒化珪素（四窒化
三珪素）の粉末に、硬質炭化物、硬質硼化物、硬質窒化
物、硬質珪化物、硬質酸化物のうちより使用目的に応じ
で選択した硬質物の粉末を加えた混合粉末に、珪素系焼
結助剤粉末を添加した混合粉末を焼結して得られた曲げ
強度が大きく耐熱衝撃抵抗性に優れ且つ耐摩耗性にも優
れていで、更に高い硬度を備えている窒化珪素（四窒化
三珪素）硬質物複合焼結体を提供すると共に窒化珪素（
四窒化三珪素）粉末と硬質物粉末との混合粉末に、珪素
粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−コバルト合金粉
末、珪素−ニッケル混合粉末、珪素−ニッケル合金粉末
、珪素−鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末のうちより使用
目的に応じて選択した珪素系金属粉末を焼結助剤として
添加した混合粉末を使用して窒化珪素（四窒化三珪素）
硬質物複合焼結体を製造する方法を提供することを本発
明の目的とするものである。

実施例　１四窒化三珪素粉末を７８重量％と炭化チタン粉末を１２
重量％と珪素粉末を１０重量％との割合にて混合した混
合粉末を焼結用原料とした。

斯様に配合した焼結用原料全ピストン−シリンダー温加
圧加熱装置を用いて５．０００　ｋＬｉ／　ｃｄの圧力
を加えると共に１．７００℃の温度にて４５分間加熱し
た。得られた焼結体は、四窒化三珪素粒子の多数個と炭
化チタン粒子の多数個とが混合している混合粒子の間の
間隙に、珪素粒子の多数個が液相焼結して生成した珪素
焼結組織が充塞していて其の珪素焼結組織が個々の四窒
化三珪素粒子および個々の炭化チタン粒子に液相焼結し
て複合焼結組織体を構成した四窒化三珪素炭化チタン複
合焼結体であった。

奨施例　２四窒化三珪素粉末を７５重量％と硼化チタン粉末を１５
重量％と珪素粉末を５重量％とコバルト粉末を５重量％
との割合にて混合した混合粉末を焼結用原料とした。斯
様に配合した焼結用原料をピストン−シリンダー型加圧
装置を用いてｓ、ｏｏｏｙ、’ｔの圧力にて加圧成形し
た。

其の成形体を真空中にて１，７００℃の温度にて４５分
間加熱した。得られた焼結体は、四窒化三珪素粒子の多
数個と硼化チタン粒子の多数個とが混合している混合粒
子の間の間隙に、珪素粒子の多数個とコバルト粒子の多
数個とが混合した混合粒子が液相焼結して生成した珪素
コバルト焼結組織が充塞していて其の珪素コバルト焼結
組織が個々の四窒化三珪素粒子および個々の硼化チタン
粒子に液相焼結して複合焼結組織体を構成した四窒化三
珪素硼化チタン複合焼結体であった。

実施例　５四窒化三珪素粉末を７０重量％と窒化チタン粉末を２０
重量％と珪素粉末を５重量％とニッケル粉末を５重量％
との割合にて混合した混合粉末を焼結用原料とした。斯
様に配合した焼結用原料をピストン−シリンダー型加圧
装置を用いて８，０００ｋｓ＋／ｃ＋４の圧力にて加圧
成形した。

其の成形体を真空中にて１．７００℃の温度にて４０分
間加熱した。得られた焼結体は、四窒化三珪素粒子の多
数個と窒化チタン粒子の多数個とが混合している混合粒
子の間の間隙に珪素粒子の多数個とニッケル粒子の多数
個とが混合した混合粒子が液相焼結して生成した珪素ニ
ッケル焼結組織が充塞していて、其の珪素ニッケル焼結
組織が個々の四窒化三珪素粒子および個々の窒化チタン
粒子に液相焼結して複合焼結組織体を構成した四窒化三
珪素窒化ブータン複合焼結体であった。

実施例４西窒化三珪素粉末を７２重量％と二珪化モリブデン粉末
を２０重量％と珪素粉末を８重量％との側番にて混合し
た混合粉末を焼結用原料とした。斯様に配合した焼結用
原料をピストン−シリンダー型加圧装置を用いて８．０
００　ｋｇ／Ｊの圧力にて加圧成形した。其の成形体を
真空中にて１．７００℃の温度にて６０分間加熱した。

得られた焼結体は、四窒化三珪素粒子の多数個と二珪化
モリブデン粒子の多数個とが混合している混合粒子の間
の間隙に、珪素粒子の多数個が液相焼結して生成した珪
素焼結組織が充塞していて、其の珪素焼結組織が個々の
四窒化三珪素粒子および個々の二珪化モリブデン粒子に
液相焼結して複合焼結組織体を構成した四窒化三珪素二
珪化モリブデン複合焼結体であった。

実施例　５四窒化三珪素粉末全７２重量％と、ジルコニアが９７モ
ルチとイツトリアが６モルチとの組成を成した部分安定
化ジルコニア粉末を２０重量％と、珪素粉末を５重量％
と、鉄粉末を６重量％との割合にて混合した混合粉末を
焼結用原料とした。斯様に配合した焼結用原料をピスト
ン−シリンダー型加圧装置を用いて８，０００ｋｚ／　
Ｃａの圧力にて加圧成形した。其の成形体を真空中にて
１．７００℃の温度にて３Ｓ分間加熱した。得られた焼
結体は、四窒化三珪素粒子の多数個と部分安定化ジルコ
ニア粒子の多数個とが混合している混合粒子の間の間隙
に、珪素粒子の多数個が液相焼結して生成した珪素焼結
組織が充塞していて、其の珪素焼結組織が個々の四窒化
三珪素粒子および個々の部分安定化ジルコニア粒子に液
相焼結して複合焼結組織体全構成した四窒化三珪素部分
安定化ジルコニア複合焼結体であった。

実施例６四窒化三珪素粉末を７０重３１％と炭化タングステン粉
末を２０重量％と珪素粉末全５重量％とコバルト粉末を
５重ｉ％との割合にて混合した混合粉末を焼結用原料と
した。斯様に配合した焼結用原料をピストンーシジンダ
ー型加圧装置を用いてｅ、、　ｏ　ｏ　ｏ　ｋｇ／ｉの
圧力にて加圧成形した。其の成形体を真空中にて１．６
００℃の温度にて５０分間加熱した。得られた焼結体は
、四窒化三珪素粒子の多数個と炭化タングステン粒子の
多数個とが混合している混合粒子の間の間隙に、珪素粒
子の多数個とコバルト粒子の多数個とが混合した混合粒
子が液相焼結して生成した珪素コバルト焼結組織が充塞
していて其の珪素コバルト焼結組織が個々の四窒化三珪
素粒子および個々の炭化タングステン粒子に液相焼結し
て複合焼結組織体を構成した四窒化三珪素炭化タングス
テン複合焼結体であった。

実施例　７四窒化三珪素粉末を７０重量％と硼化ジルコニウム粉末
を２０重量％と珪素粉末を５重量％とニッケル粉末を５
重量％との割合にて混合した混合粉末を焼結用原料とし
た。斯様に配合した焼結用原料をピストン−シリンダー
型加圧装置を用いて８，０ＯＯｋｒ／ｄの圧力をもって
加圧成形した。其の成形体を真空中にて１．６５０℃の
温度にて４０分間加熱した。得られた焼結体は、四窒化
三珪素粒子の多数個と硼化ジルコニウム粒子の多数個と
が混合している混合粒子の間の間隙に、珪素粒子の多数
個とニッケル粒子の多数個とが混合した混合粒子が液相
焼結して生成した珪素ニノクル焼結組織が充塞していて
其の珪素ニッケル焼結組織が個々の四窒化三珪素粒子お
よび個々の硼化ジルコニウム粒子に液相焼結して複合焼
結組織体を構成した四窒化三珪素硼化ジルコニウム複合
焼結体であった。

実施例８四窒化三珪素粉末を７０重量％と窒化ジルコニウム粉末
を２０重量％と珪素粉末を５重雀チとニッケル粉末を５
重量％との割合にて混合した混合粉末を焼結用原料とし
た。斯様に配合した焼結用原料をピストン−シリンダー
型加圧装置を用いてａｏ００ｋｇ／ｉの圧力をもって加
圧成形した。其の成形体を真空中にて１．６５０℃の温
度にて６５分間加熱した。得られた焼結体は、四窒化三
珪素粒子の多数個と窒化ジルコニウム粒子の多数個とが
混合している混合粒子の間の間隙に、珪素粒子の多数個
とニッケル粒子の多数個とが混合した混合粒子が液相焼
結して生成した珪素ニッケル焼結組織が充塞していて其
の珪素ニッケル焼結組織が個々の四窒化三珪素粒子およ
び個々の窒化ジルコニウム粒子に液相焼結して複合焼結
組織体を構成した四窒化三珪素窒化ジルコニクム複合焼
結体であった。

実施例９四窒化三珪素粉末を７０重量％と珪化チタン粉末を２０
重量％と珪素粉末ｆ、１０重量％との割合にて混合した
混合粉末を焼結用原料とした。

斯様に配合した焼結用原料をピストン−シリンダー型加
圧装置を用いてｓ、ａｏｏｋｐ／ｄの圧力にて加圧成形
した。其の成形体を真空中にて、１、６００℃の温度に
て３０分間加熱した。得られた焼結体は、四窒化三珪素
粒子の多数個と珪化チタン粒子の多数個とが混合してい
る混合粒子の間の間隙に、珪素粒子の多数個が液相焼結
して生成した珪素焼結組織が充塞していて其の珪素焼結
組織が個々の四窒化三珪素粒子および個々の珪化チタン
粒子に液相焼結して複合焼結組織体を構成した四窒化三
珪素珪化チタン複合焼結体であった。

実施例　１〇四窒化三珪素粉末を７５重量％とアルミナ粉末を１５重
量％と珪素粉末を５重量％と鉄粉末を５重量％との割合
にて混合した混合粉末を焼結用原料とした。斯様に配合
した焼結用原料をピストン−シリンダー温加圧加熱装置
を用いて５、０．　ＯＯｋｇ／ｄノ圧力を加えると共に
１．６５０℃の温度にて４５分間加熱した。得られた焼
結体は、四窒化三珪素粒子の多数個とアルミナ粒子の多
数個とが混合している混合粒子の間の間隙に、珪素粒子
の多数個と鉄粒子の多数個とが混合した混合粒子が液相
焼結して生成（〜だ珪素鉄焼結組織が充塞していて其の
珪素鉄焼結組織が個々の四窒化三珪素粒子および個々の
アルミナ粒子に液相焼結して複合焼結組織体を構成した
四窒化三珪素アルミナ複合焼結体であった。

以上に説明した実施例において製造して得た四窒化三珪
素炭化チタン複合焼結体、四窒化三珪素硼化チタン複合
焼結体、四窒化三珪素窒化チタン複合焼結体、四窒化三
珪素二珪化モリブデン複合焼結体、四窒化三珪素部分安
定化ジルコニア複合焼結体は、いずれも曲げ強度が大き
く耐熱衝撃抵抗性に優れていて、更に高い硬度金偏えた
窒化珪素硬質物複合焼結体であった。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）窒化珪素（四窒化三珪素）粉末を８５重量％乃至
１０重量％と、硬質炭化物粉末を１２重量％乃至７０重
量％と、珪素粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−コ
バルト合金粉末、珪素−ニッケル混合粉末、珪素−ニッ
ケル合金粉末、珪素−鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末の
うちより選択した珪素系金属粉末を３重量％乃至２０重
量％との割合範囲内より選定した割合にて混合した混合
粉末を焼結用原料として、其の焼結用原料を焼結して生
成した焼結体であつて、四窒化三珪素粒子の多数個と硬
質炭化物粒子の多数個とが混合した混合粒子の間の間隙
に珪素金属粉末が焼結して生成した珪素系金属焼結組織
が充塞すると共に其の珪素系金属焼結組織が個々の四窒
化三珪素粒子および個々の硬質炭化物粒子に液相焼結し
て構成した複合焼結組織体を特徴とする四窒化三珪素硬
質炭化物複合焼結体より成る窒化珪素硬質物複合焼結体
。
（２）窒化珪素（四窒化三珪素）粉末を８５重量％乃至
１０重量％と、硬質硼化物粉末を１２重量％乃至７０重
量％と、珪素粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−コ
バルト合金粉末、珪素−ニッケル混合粉末、珪素−ニッ
ケル合金粉末、珪素−鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末の
うちより選択した珪素系金属粉末を３重量％乃至２０重
量％との割合範囲内より選定した割合にて混合した混合
粉末を焼結用原料として、其の焼結用原料を焼結して生
成した焼結体であつて、四窒化三珪素粒子の多数個と硬
質硼化物粒子の多数個とが混合した混合粒子の間の間隙
に、珪素系金属粉末が焼結して生成した珪素系金属焼結
組織が充塞すると共に其の珪素系金属焼結組織が個々の
四窒化三珪素粒子および個々の硬質硼化物粒子に液相焼
結して構成した複合焼結組織体を特徴とする四窒化三珪
素硬質硼化物複合焼結体より成る窒化珪素硬質物複合焼
結体。
（３）窒化珪素（四窒化三珪素）粉末を８５重量％乃至
１０重量％と、硬質窒化物粉末を１２重量％乃至７０重
量％と、珪素粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−コ
バルト合金粉末、珪素−ニッケル混合粉末、珪素−ニッ
ケル合金粉末、珪素−鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末の
うちより選択した珪素系金属粉末を３重量％乃至２０重
量％との割合範囲内より選定した割合にて混合した混合
粉末を焼結用原料として、其の焼結用原料を焼結して生
成した焼結体であつて、四窒化三珪素粒子の多数個と硬
質硼化物粒子の多数個とが混合した混合粒子の間の間隙
に、珪素系金属粉末が焼結して生成した珪素系金属焼結
組織が充塞すると共に其の珪素系金属焼結組織が個々の
四窒化三珪素粒子および個々の硬質窒化物粒子に液相焼
結して構成した複合焼結組織体を特徴とする四窒化三珪
素硬質窒化物複合焼結体より成る窒化珪素硬質物複合焼
結体。
（４）窒化珪素（四窒化三珪素）粉末を８５重量％乃至
１０重量％と、硬質珪化物粉末を１２重量％乃至７０重
量％と、珪素粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−コ
バルト合金粉末、珪素−ニッケル混合粉末、珪素−ニッ
ケル合金粉末、珪素−鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末の
うちより選択した珪素系金属粉末を３重量％乃至２０重
量％との割合範囲内より選定した割合にて混合した混合
粉末を焼結用原料として其の焼結用原料を焼結して生成
した焼結体であつて、四窒化三珪素粒子の多数個と硬質
珪化物粒子の多数個とが混合した混合粒子の間の間隙に
、珪素系金属粉末が焼結して生成した珪素系金属焼結組
織が充塞すると共に其の珪素系金属焼結組織が個々の四
窒化三珪素粒子および個々の硬質珪化物粒子に液相焼結
して構成した複合焼結組織体を特徴とする四窒化三珪素
硬質珪化物複合焼結体より成る窒化珪素硬質物焼結体。
（５）窒化珪素（四窒化三珪素）粉末を８５重量％乃至
１０重量％と、硬質酸化物粉末を１２重量％乃至７０重
量％と、珪素粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−コ
バルト合金粉末、珪素−ニッケル混合粉末、珪素−ニッ
ケル合金粉末、珪素−鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末の
うちより選択した珪素系金属粉末を３重量％乃至２０重
量％との割合範囲内より選定した割合にて混合した混合
粉末を焼結用原料として、其の焼結用原料を焼結して生
成した焼結体であつて、四窒化三珪素粒子の多数個と硬
質酸化物粒子の多数個とが混合した混合粒子の間の間隙
に、珪素系金属粉末が焼結して生成した珪素系金属焼結
組織が充塞すると共に其の珪素系金属焼結組織が個々の
四窒化三珪素粒子および個々の硬質酸化物粒子に液相焼
結して構成した複合焼結組織体を特徴とする四窒化三珪
素硬質酸化物複合焼結体より成る窒化珪素硬質物複合焼
結体。
（６）窒化珪素（四窒化三珪素）粉末を８５重量％乃至
１０重量％と、硬質炭化物粉末を１２重量％乃至７０重
量％と、珪素粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−コ
バルト合金粉末、珪素−ニッケル混合粉末、珪素−ニッ
ケル合金粉末、珪素−鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末の
うちより選択した珪素系金属粉末を３重量％乃至２０重
量％との割合範囲内より選定した割合にて混合した混合
粉末を焼結用原料とし、其の焼結用原料をピスト−シリ
ンダー型加圧装置または静水圧加圧装置を用いて加圧成
形した成形体を１３００℃乃至１８００℃の範囲内より
選定した温度にて常圧焼結を行うか、或は、其の焼結用
原料をピストン−シリンダー型加圧加熱装置または静水
圧加圧加熱装置を用いて３００ｋｇ／ｃｍ＾２乃至１０
，０００ｋｇ／ｃｍ＾２の範囲内より選定した圧力にて
加圧すると共に１３００℃乃至１８００℃の範囲内より
選定した温度にて加熱して加圧加熱焼結を行つて複合焼
結組織体を構成した四窒化三珪素硬質炭化物複合焼結体
より成る窒化珪素硬質物複合焼結体の製造法。
（７）窒化珪素（四窒化三珪素）粉末を８５重量％乃至
１０重量％と、硬質硼化物粉末を１２重量％乃至７０重
量％と、珪素粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−コ
バルト合金粉末、珪素ニッケル混合粉末、珪素−ニッケ
ル合金粉末、珪素−鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末のう
ちより選択した珪素系金属粉末を３重量％乃至２０重量
％との割合範囲内より選定した割合にて混合した混合粉
末を焼結用原料とし、其の焼結用原料をピストン−シリ
ンダー型加圧装置または静水圧加圧装置を用いて加圧成
形した成形体を１３００℃乃至１８００℃の範囲内より
選定した温度にて常圧焼結を行うか、或は、其の焼結用
原料をピストン−シリンダー型加圧加熱装置または静水
圧加圧加熱装置を用いて３００ｋｇ／ｃｍ＾２乃至１０
，０００ｋｇ／ｃｍ＾２の範囲内より選定した圧力にて
加圧すると共に１３００℃乃至１８００℃の範囲内より
選定した温度にて加熱して、加圧加熱焼結を行つて、複
合焼結組織体を構成した四窒化三珪素硬質硼化物複合焼
結体より成る窒化珪素硬質物複合焼結体の製造法。
（８）窒化珪素（四窒化三珪素）粉末を８５重量％乃至
１０重量％と、硬質窒化物粉末を１２重量％乃至７０重
量％と、珪素粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−コ
バルト合金粉末、珪素−ニッケル混合粉末、珪素−ニッ
ケル合金粉末、珪素鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末のう
ちより選択した珪素系金属粉末を３重量％乃至２０重量
％との割合範囲内より選定した割合にて混合した混合粉
末を焼結用原料とし、其の焼結用原料をピストン−シリ
ンダー型加圧装置または静水圧加圧装置を用いて加圧成
形した成形体を１３００℃乃至１８００℃の範囲内より
選定した温度にて常圧焼結を行い、或は、其の焼結用原
料をピストン−シリンダー温加圧加熱装置または静水圧
加熱装置を用いて３００ｋｇ／ｃｍ＾２乃至１０，００
０ｋｇ／ｃｍ＾２の範囲内より選定した圧力にて加圧す
ると共に１３００℃乃至１８００℃の範囲内より選定し
た温度にて加熱して加圧加熱焼結を行つて、複合焼結組
織体を構成した四窒化三珪素硬質窒化物複合焼結体より
成る窒化珪素硬質物複合焼結体の製造法。
（９）窒化珪素（四窒化三珪素）粉末を８５重量％乃至
１０重量％と硬質珪化物粉末を１２重量％乃至７０重量
％と、珪素粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−コバ
ルト合金粉末、珪素−ニッケル混合粉末、珪素−ニッケ
ル合金粉末、珪素−鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末のう
ちより選択した珪素系金属粉末を３重量％乃至２０重量
％との割合範囲内より選定した割合にて混合した混合粉
末を焼結原料とし、其の焼結用原料をピストン−シリン
ダー型加圧装置または静水圧加圧装置を用いて加圧成形
した成形体を１３００℃乃至１８００℃の範囲内より選
定した温度にて常圧焼結を行い、或は、其の焼結用原料
をピストン−シリンダー型加圧加熱装置または静水圧加
圧加熱装置を用いて３００ｋｇ／ｃｍ＾２乃至１０，０
００ｋｇ／ｃｍ＾２の範囲内より選定した圧力にて加圧
すると共に１３００℃乃至１８００℃の範囲内より選定
した温度に加熱して加圧加熱焼結を行つて、複合焼結組
織体を構成した四窒化三珪素硬質窒化物複合焼結体より
成る窒化珪素硬質物複合焼結体の製造法。
（１０）窒化珪素（四窒化三珪素）粉末を８５重量％乃
至１０重量％と、硬質酸化物粉末を１２重量％乃至７０
重量％と、珪素粉末、珪素−コバルト混合粉末、珪素−
コバルト合金粉末、珪素−ニッケル混合粉末、珪素−ニ
ッケル合金粉末、珪素−鉄混合粉末、珪素−鉄合金粉末
のうちより選択した珪素系金属粉末を３重量％乃至２０
重量％との割合範囲内より選定した割合にて混合した混
合粉末を焼結用原料とし、其の焼結用原料をピストン−
シリンダー型加圧装置または静水圧加圧装置を用いて加
圧成形した成形体を１３００℃乃至１８００℃の範囲内
より選定した温度にて常圧焼結を行い、或は、其の焼結
用原料をピストン−シリンダー型加圧加熱装置または静
水圧加圧加熱装置を用いて３００ｋｇ／ｃｍ＾２乃至１
０，０００ｋｇ／ｃｍ＾２の範囲内より選定した圧力に
て加圧すると共に１３００℃乃至１８００℃の範囲内よ
り選定した温度にて加熱して加圧加熱焼結を行つて複合
焼結組織体を構成した四窒化三珪素硬質酸化物複合焼結
体より成る窒化珪素硬質物複合焼結体の製造法。