JPS6257875A - 放電研削加工用ワイヤ電極の砥粒電着装置 - Google Patents
放電研削加工用ワイヤ電極の砥粒電着装置Info
- Publication number
- JPS6257875A JPS6257875A JP19897285A JP19897285A JPS6257875A JP S6257875 A JPS6257875 A JP S6257875A JP 19897285 A JP19897285 A JP 19897285A JP 19897285 A JP19897285 A JP 19897285A JP S6257875 A JPS6257875 A JP S6257875A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodeposition
- wire
- abrasive
- abrasive grain
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野コ
この発明は、放電加工作用または電解加工作用に加えて
砥粒研削作用を働かせて波加工物に切断、切り抜き等の
加工を施すワイヤーカット加工に使用されるワイヤ電極
表面に研削砥粒を電着させろワイヤ電極の砥粒電着装置
に関するものである。
砥粒研削作用を働かせて波加工物に切断、切り抜き等の
加工を施すワイヤーカット加工に使用されるワイヤ電極
表面に研削砥粒を電着させろワイヤ電極の砥粒電着装置
に関するものである。
「従来の技術」
周知のように、ワイヤーカット加工に使われる電極ワイ
ヤは、ピアノ線、Ｗ線等の高抗張力線にダイヤモンド粒
、ＢＮ粒さらにＢ４Ｃ，ＳｉＣ，Ｚｎ０ｔ、５ｈｏｔ、
Ａ（！２０．、ＳｉＮ等の砥粒をＮｉ、 Ｃｕ５Ａ（！
等のメッキ（電着）などにより固着してなるものである
。
ヤは、ピアノ線、Ｗ線等の高抗張力線にダイヤモンド粒
、ＢＮ粒さらにＢ４Ｃ，ＳｉＣ，Ｚｎ０ｔ、５ｈｏｔ、
Ａ（！２０．、ＳｉＮ等の砥粒をＮｉ、 Ｃｕ５Ａ（！
等のメッキ（電着）などにより固着してなるものである
。
「発明が解決しようとする問題点」
ところで、上記ワイヤーカット加工は、正確に微細かつ
複雑な加工が行なえるので、シリコンウェハやニューセ
ラミックス部材等の加工に適用され始めている。しかし
、これらの分野において、十分適用できるには、加工精
度が不充分で、加工精度のより一層の向上が望まれてい
るのが現状である。この加工精度の向上は、主に極細の
ワイヤに砥粒をどれほど均一に分布電着させ得るかにか
かっている。
複雑な加工が行なえるので、シリコンウェハやニューセ
ラミックス部材等の加工に適用され始めている。しかし
、これらの分野において、十分適用できるには、加工精
度が不充分で、加工精度のより一層の向上が望まれてい
るのが現状である。この加工精度の向上は、主に極細の
ワイヤに砥粒をどれほど均一に分布電着させ得るかにか
かっている。
この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、極細のワ
イヤにダイヤモンド等の砥粒を均一に分布電着さ仕るこ
とのできるワイヤ電極の研削砥粒電着装置を提供亡るこ
とを目的とするものである。
イヤにダイヤモンド等の砥粒を均一に分布電着さ仕るこ
とのできるワイヤ電極の研削砥粒電着装置を提供亡るこ
とを目的とするものである。
「問題点を解決するための手段」
この発明に係る放電研削加工用ワイヤ電極の砥粒電着装
置は、電着液を満たした電着槽と、この電着槽に取り付
けられ電極ワイヤを掛止して電着液中にほぼ水平に張設
させるワイヤガイドプーリと、上記電着液中に設置され
内部に砥粒が充填されるとともに内部に上記電極ワイヤ
を挿通させる砥粒容器と、この砥粒容器を介して上記電
極ワイヤに対向するように七、記電＠液中に設置されて
いる陽極と、上記電着槽外において送り出し側の電極ワ
イヤに接触する陰極と、上記砥粒容器以外の電極ワイヤ
および上記ガイドプーリを電解液から隔絶するソール機
構とを少７マくとも具備してなり、上記砥粒容器が、そ
の」二面に砥粒補充開口部が形成されるとともに、この
補充開口部に砥粒加圧板が上下摺動自在に嵌着され、そ
の外周面に電着液の出入りのみを行なう透水膜を有する
孔が形成され、その両側面中央に上記電極ワイヤを挿通
するための貫通孔か形成されてなるものであることを特
徴とするものである。
置は、電着液を満たした電着槽と、この電着槽に取り付
けられ電極ワイヤを掛止して電着液中にほぼ水平に張設
させるワイヤガイドプーリと、上記電着液中に設置され
内部に砥粒が充填されるとともに内部に上記電極ワイヤ
を挿通させる砥粒容器と、この砥粒容器を介して上記電
極ワイヤに対向するように七、記電＠液中に設置されて
いる陽極と、上記電着槽外において送り出し側の電極ワ
イヤに接触する陰極と、上記砥粒容器以外の電極ワイヤ
および上記ガイドプーリを電解液から隔絶するソール機
構とを少７マくとも具備してなり、上記砥粒容器が、そ
の」二面に砥粒補充開口部が形成されるとともに、この
補充開口部に砥粒加圧板が上下摺動自在に嵌着され、そ
の外周面に電着液の出入りのみを行なう透水膜を有する
孔が形成され、その両側面中央に上記電極ワイヤを挿通
するための貫通孔か形成されてなるものであることを特
徴とするものである。
「作用 」
一ト記構成によれば、電解液は砥粒の存在する部分を介
してのみ電極ワイヤに作用１２、他の部分はシールされ
ているので効率よく電着が行なわれる。
してのみ電極ワイヤに作用１２、他の部分はシールされ
ているので効率よく電着が行なわれる。
また、電極ワイヤは砥粒容器の中央を挿通するようにな
っており、しかも砥粒容器中の砥粒は加圧されるように
なっているので、砥粒は常に均一に電極ワイヤに接触す
ることになり、砥粒のワイヤへの電着は均一かつ充分に
行なわれることになる。
っており、しかも砥粒容器中の砥粒は加圧されるように
なっているので、砥粒は常に均一に電極ワイヤに接触す
ることになり、砥粒のワイヤへの電着は均一かつ充分に
行なわれることになる。
、以下、この発明を実施例によりさらに詳しく説明する
。
。
「実施例」
第１図および第２図は、この発明に係る電着装置の一実
施例を示すもので、図中符号ｌは電着槽を示すもので、
２は巻着ワイヤ送り出し機を示し、３はワイヤ巻き取り
機を示すものである。
施例を示すもので、図中符号ｌは電着槽を示すもので、
２は巻着ワイヤ送り出し機を示し、３はワイヤ巻き取り
機を示すものである。
上記電着槽１の長手方向両側部の上面にはワイヤガイド
プーリ４．５が取り付けられており、送り出されたワイ
ヤは上記ガイドプーリ４を介して電着槽１内に送られ、
電着の終了したワイヤＷは上記ガイドプーリ５を介して
ワイヤ巻き取り機３に巻き取られるようになっている。
プーリ４．５が取り付けられており、送り出されたワイ
ヤは上記ガイドプーリ４を介して電着槽１内に送られ、
電着の終了したワイヤＷは上記ガイドプーリ５を介して
ワイヤ巻き取り機３に巻き取られるようになっている。
上記ガイドプーリ４．５の間の電着槽ｌ内には中空板状
の液密容器６が設けられている。この容器６の中央寄り
両側部の内側には液密な仕切り壁７．８が形成されてお
り、これら仕切り壁７．８によって砥粒容器９が形成さ
れている。上記仕切り壁７．８の下端部にはワイヤＷを
砥粒容器９中に挿通さ什るための貫通孔７ａ、 ８ａが
形成されている。また、上記砥粒容器９の側壁の下部に
は透水膜に塞がれた孔９ａ・・・・・・が形成されてお
り、その」二面（砥粒補充）開口部には砥粒加圧板１０
が」二丁方向摺動自在に嵌着されている。
の液密容器６が設けられている。この容器６の中央寄り
両側部の内側には液密な仕切り壁７．８が形成されてお
り、これら仕切り壁７．８によって砥粒容器９が形成さ
れている。上記仕切り壁７．８の下端部にはワイヤＷを
砥粒容器９中に挿通さ什るための貫通孔７ａ、 ８ａが
形成されている。また、上記砥粒容器９の側壁の下部に
は透水膜に塞がれた孔９ａ・・・・・・が形成されてお
り、その」二面（砥粒補充）開口部には砥粒加圧板１０
が」二丁方向摺動自在に嵌着されている。
また、上記液密容器６の仕切り壁７および８の外方下部
にはガイドプーリ１１．１２が取り付けられており、ワ
イヤＷを砥粒容器９中に導けるようになっている。
にはガイドプーリ１１．１２が取り付けられており、ワ
イヤＷを砥粒容器９中に導けるようになっている。
なお、上記構成において、液密容器６および仕切り壁７
．８は、ワイヤＷおよびガイドプーリ１１．１２を電解
液から隔絶するシール機構１３を構成している。
．８は、ワイヤＷおよびガイドプーリ１１．１２を電解
液から隔絶するシール機構１３を構成している。
上記液密容器６の両側部には電着槽１内の電解液をＲ１
拌するための攪拌機１４．１５が取り付けられている。
拌するための攪拌機１４．１５が取り付けられている。
そして、これら攪拌機１４．１５のさらに外側にはＮｉ
電極（陽極）＋６．１７が取り付けられている。
電極（陽極）＋６．１７が取り付けられている。
一方、これら陽極１６．１７に対応してワイヤＷを陰極
にするためのＣｕ電極（陰極）１ｇは、上記送り出し機
２の送り出し口近傍に掛止ローラの役割を兼ねて設けら
れている。
にするためのＣｕ電極（陰極）１ｇは、上記送り出し機
２の送り出し口近傍に掛止ローラの役割を兼ねて設けら
れている。
しかして、上記構成の電着装置において、砥粒容器９中
にダイヤモンド砥粒をワイヤＷを中心にするように充填
し、加圧板１０をとりつけ、攪拌機Ｉ４．１５をまわし
、各電極１６．１８に所定電圧を印加して、所定速度で
巻き取ると、均一に砥粒が電着されたワイヤ（電極ワイ
ヤ）Ｗが形成され、巻き取り機３に巻き取られる。
にダイヤモンド砥粒をワイヤＷを中心にするように充填
し、加圧板１０をとりつけ、攪拌機Ｉ４．１５をまわし
、各電極１６．１８に所定電圧を印加して、所定速度で
巻き取ると、均一に砥粒が電着されたワイヤ（電極ワイ
ヤ）Ｗが形成され、巻き取り機３に巻き取られる。
に記構成および作用の電ｎ装置によれば、ワイヤＷは砥
粒層の中央に位置し、しかも砥粒の分布は加圧板１０の
作用により均一になっているので、ワイヤ〜Ｖへの？ｌ
１−Ｆｊは均一に行なわれる。そして、？ＩＸ解液は孔
９ａ・・・・の透水膜を通って、砥粒容器９内のワイヤ
Ｗのみに作用し、他の部分においては作用しないように
なっているので、たいへん効率よく砥粒のワイヤＷへの
電着が行なわれる。
粒層の中央に位置し、しかも砥粒の分布は加圧板１０の
作用により均一になっているので、ワイヤ〜Ｖへの？ｌ
１−Ｆｊは均一に行なわれる。そして、？ＩＸ解液は孔
９ａ・・・・の透水膜を通って、砥粒容器９内のワイヤ
Ｗのみに作用し、他の部分においては作用しないように
なっているので、たいへん効率よく砥粒のワイヤＷへの
電着が行なわれる。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明にかかる電極ワイヤの砥
粒屯着装置は、電着液を満たした電着槽と、この電着槽
に取り付けられ電極ワイヤを掛止して電着液中にほぼ水
平に張設させるワイヤガイドプーリと、上記電着液中に
設置され内部に砥粒が充填されるとともに内部に上記電
極ワイヤを挿通させる砥粒容器と、この砥粒容器を介し
て上記電極ワイヤに対向するように」１記電着液中に設
置されている陽極と、上記電着槽外において送り出し側
の電極ワイヤに接触する陰極と、上記砥粒容器以外の電
極ワイヤおよび上記ガイドプーリを電解液から隔絶する
シール機構とを少なくとも具備してなり、上記砥粒容器
が、その上面に砥粒補充開口部が形成されるとともに、
この補充開口部に砥粒加圧板が上下摺動自在に嵌着され
、その外周面に電着液の出入りのみを行なう透水膜を有
する孔が形成され、その両側面中央？二上記電極ワイヤ
を挿通するための貫通孔が形成されてなるものであるこ
とを特徴とするものである。
粒屯着装置は、電着液を満たした電着槽と、この電着槽
に取り付けられ電極ワイヤを掛止して電着液中にほぼ水
平に張設させるワイヤガイドプーリと、上記電着液中に
設置され内部に砥粒が充填されるとともに内部に上記電
極ワイヤを挿通させる砥粒容器と、この砥粒容器を介し
て上記電極ワイヤに対向するように」１記電着液中に設
置されている陽極と、上記電着槽外において送り出し側
の電極ワイヤに接触する陰極と、上記砥粒容器以外の電
極ワイヤおよび上記ガイドプーリを電解液から隔絶する
シール機構とを少なくとも具備してなり、上記砥粒容器
が、その上面に砥粒補充開口部が形成されるとともに、
この補充開口部に砥粒加圧板が上下摺動自在に嵌着され
、その外周面に電着液の出入りのみを行なう透水膜を有
する孔が形成され、その両側面中央？二上記電極ワイヤ
を挿通するための貫通孔が形成されてなるものであるこ
とを特徴とするものである。
従って、この発明によれば、電解液は砥粒の存在する部
分を介してのみ電極ワイヤに作用し、他の部分はシール
されているので効率よく電着が行なわれる。また、電極
ワイヤは砥粒容器の中央を挿通するようになっており、
しかも砥粒容器中の砥粒は加圧されるようになっている
ので、砥粒は常に均一に電極ワイヤに接触することにな
り、砥粒のワイヤへの電着は均一かつ充分に行なわれる
ことになる。その結果、極細のワイヤに砥粒が均一に電
着された電極ワイヤを容易に製造することができ、放電
研削加工の微細精密加工分野への充分なる適用が可能と
なる。
分を介してのみ電極ワイヤに作用し、他の部分はシール
されているので効率よく電着が行なわれる。また、電極
ワイヤは砥粒容器の中央を挿通するようになっており、
しかも砥粒容器中の砥粒は加圧されるようになっている
ので、砥粒は常に均一に電極ワイヤに接触することにな
り、砥粒のワイヤへの電着は均一かつ充分に行なわれる
ことになる。その結果、極細のワイヤに砥粒が均一に電
着された電極ワイヤを容易に製造することができ、放電
研削加工の微細精密加工分野への充分なる適用が可能と
なる。
第１図および第２図は、この発明の一実施例を示す乙の
で、第１図はこの発明に係る電着装置の一部断面視した
側面図、第２図は同電着装置の平面図である。 ｌ・・・・・・電着槽、 ６・・液密容器、 ７．８・・・・・・仕切り壁、 ７ａ、８ａ・・・・・ｎ通孔、 ９ ・・砥粒容器、 ９ａ・・・・・透水膜をａする孔、 Ｉｎ−−１′６ｔ：ＦガｎｒＴ↓Ｅ １１．１２・・・・・・ガイドプーリ、１３・・・・・
・シール機構、 １６．１７・・・・・・Ｎｉ電極（陽極）、１８・・・
・・・Ｃｕ７［極（陰極）。
で、第１図はこの発明に係る電着装置の一部断面視した
側面図、第２図は同電着装置の平面図である。 ｌ・・・・・・電着槽、 ６・・液密容器、 ７．８・・・・・・仕切り壁、 ７ａ、８ａ・・・・・ｎ通孔、 ９ ・・砥粒容器、 ９ａ・・・・・透水膜をａする孔、 Ｉｎ−−１′６ｔ：ＦガｎｒＴ↓Ｅ １１．１２・・・・・・ガイドプーリ、１３・・・・・
・シール機構、 １６．１７・・・・・・Ｎｉ電極（陽極）、１８・・・
・・・Ｃｕ７［極（陰極）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 電着液を満たした電着槽と、この電着槽に取り付けられ
電極ワイヤを掛止して電着液中にほぼ水平に張設させる
ワイヤガイドプーリと、上記電着液中に設置され内部に
砥粒が充填されるとともに内部に上記電極ワイヤを挿通
させる砥粒容器と、この砥粒容器を介して上記電極ワイ
ヤに対向するように上記電着液中に設置されている陽極
と、上記電着槽外において送り出し側の電極ワイヤに接
触する陰極と、上記砥粒容器以外の電極ワイヤおよび上
記ガイドプーリを電解液から隔絶するシール機構とを少
なくとも具備してなり、 上記砥粒容器が、その上面に砥粒補充開口部が形成され
るとともに、この補充開口部に砥粒加圧板が上下摺動自
在に嵌着され、その外周面に電着液の出入りのみを行な
う透水膜を有する孔が形成され、その両側面中央に上記
電極ワイヤを挿通するための貫通孔が形成されてなるも
のであることを特徴とする放電研削加工用ワイヤ電極の
砥粒電着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19897285A JPS6257875A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 放電研削加工用ワイヤ電極の砥粒電着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19897285A JPS6257875A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 放電研削加工用ワイヤ電極の砥粒電着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6257875A true JPS6257875A (ja) | 1987-03-13 |
Family
ID=16399988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19897285A Pending JPS6257875A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 放電研削加工用ワイヤ電極の砥粒電着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6257875A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007253318A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-10-04 | Yamagata Prefecture | ナノカーボン繊維含有電着工具とその製造方法 |
| CN102152421A (zh) * | 2011-05-03 | 2011-08-17 | 蒙特集团（香港）有限公司 | 太阳能硅片线切割钢线的制备装置与方法 |
| JP2013166193A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corp | 硬脆性インゴットの切断加工方法 |
-
1985
- 1985-09-09 JP JP19897285A patent/JPS6257875A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007253318A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-10-04 | Yamagata Prefecture | ナノカーボン繊維含有電着工具とその製造方法 |
| CN102152421A (zh) * | 2011-05-03 | 2011-08-17 | 蒙特集团（香港）有限公司 | 太阳能硅片线切割钢线的制备装置与方法 |
| JP2013166193A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corp | 硬脆性インゴットの切断加工方法 |
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