CN210237807U - 一种使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽 - Google Patents

一种使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽 Download PDF

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程传成
Ling Ou
欧玲
Wenjie Hu
胡文杰
Congshen Wang
王聪申
Cong Chen
陈聪
Xiaogang Li
李晓刚
Weidong Guo
郭卫东
Ran Xu
徐然
Xiaofeng Li
李晓峰
Xiaogang Ou
欧晓钢
Zhanqiang An
安战强
Zhibin Sun
孙志彬
Lipeng Wang
王利鹏
Xin Yao
姚鑫
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Abstract

本实用新型涉及一种使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽,包括直流电源,电流表和电压表,直流电源的正极通过导电杆接阳极,直流电源的负极通过导电杆接阴极,阴极、阳极浸入到含有电解液的镀槽中进行电镀,位于中央的阳极两侧分接两个侧边阳极并固定于阴极两侧,使溶液中的两个阴极处在两个阳极之间,阴极周围在两边阳极的作用下形成更加均匀的电磁场,以提高电流的稳定性,达到金刚石切割线电镀更加稳定;储砂槽的形状为圆柱形,储砂槽的四周打磨光滑,以减少积砂。本实用新型阴极周围形成更加稳定的电磁场,提高电流的稳定性,使镀层更加均匀,减少劳动强度,提高工作效率,保证了金刚线整体的稳定程度,具有很好的市场前景和发展空间。

Description

一种使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽
技术领域
本实用新型属于电镀技术领域,,具体涉及一种使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽。
背景技术
金刚石切割线技术作为新的切割技术,有着提高切割出片率、降低硅片损耗、降低污水排放等优势,可以大幅降低硅片生产商的成本,目前金刚石切割线技术正在硅片生产行业中逐步取代老式的砂浆切割技术。
金刚石切割线技术目前主要分为两大类型,分别为树脂金刚石线和电镀金刚石线两种。电镀金刚石线和树脂金刚石线的主要差别为金刚石颗粒的固定方式和镀层的差异,树脂金刚石线采用树脂作为包裹材料,电镀金刚石线采用金属镀层(一般为镍和镍钴合金)作为结合剂,两者在生产成本、耐用性等方面各有优劣势。对于电镀金刚石线它是有一块阳极接在电源的正极上,镀件接在电源的负极上,当在阴阳两极间施加一定电位时,则在阴极发生如下反应:从镀液内部扩散到电极和镀液界面的金属离子从阴极上获得电子,还原成金属。在还原成金属的过程中把电镀液中的金刚砂镶嵌到镍层中间。另一方面,在阳极则发生与阴极完全相反的反应,即阳极界面上发生金属溶解,释放电子生成金属离子。再由储砂槽稳定的添加金刚砂到镀液槽中。如图1所示。
由于在镀槽中中央阳极板只有一块,阴极周围的电场一边强,一边弱,在镀件上形成不均匀的镀层。现有的储砂槽多为方形,在搅拌器的作用下容易在四角形成积砂,使储砂槽中的金刚砂的浓度不稳定,通过泵泵到镀液槽中的金刚砂不稳定,严重影响产品质量。
如何设计一种结构合理,设计巧妙,操作方便,使阴极周围形成更加稳定的电磁场,提高电流的稳定性,使镀层更加均匀,解决储砂槽积砂和镀液浓度不稳定的问题,使镀液中金刚砂的浓度更加稳定,实现金刚线上砂的稳定,减少劳动强度,提高工作效率,保证了金刚线整体的稳定程度的使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽是目前需要解决的问题。
实用新型内容
为了解决现有镀槽中中央阳极板只有一块,阴极周围的电场一边强,一边弱,在镀件上形成不均匀的镀层;现有的储砂槽多为方形,在搅拌器的作用下容易在四角形成积砂,使储砂槽中的金刚砂的浓度不稳定,通过泵泵到镀液槽中的金刚砂不稳定,严重影响产品质量等技术问题,本实用新型提供一种使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽,来实现结构合理,设计巧妙,操作方便,使阴极周围形成更加稳定的电磁场,提高电流的稳定性,使镀层更加均匀,减少劳动强度,提高工作效率,保证了金刚线整体的稳定程度目的。
本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是:一种使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽,包括直流电源,直流电源串联电流表,并联电压表用以检测直流电的稳定程度,直流电源的正极通过导电杆接阳极,直流电源的负极通过导电杆接阴极,阴极、阳极浸入到含有电解液的镀槽中进行电镀,镀槽中的镀液经过回流管回流到储砂槽中,储砂槽中加砂后用搅拌器搅拌均匀通过抽液泵泵到镀槽中,位于中央的阳极两侧分接两个侧边阳极并固定于阴极两侧,使溶液中的两个阴极处在两个阳极之间,镀液中的金属离子在外电场的作用下,经电极反应还原成金属原子并在阴极上进行金属沉积,阴极周围在两边阳极的作用下形成更加均匀的电磁场,以提高电流的稳定性,达到金刚石切割线电镀更加稳定;所述储砂槽的形状为圆柱形,储砂槽的四周打磨光滑,以减少积砂,搅拌后溶液更加均匀。
所述的阳极采用镍棒,阴极为金刚石切割线。
所述的镀槽的材质为PVC。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1)本实用新型包括直流电源,直流电源串联电流表,并联电压表用以检测直流电的稳定程度,直流电源的正极通过导电杆接阳极,直流电源的负极通过导电杆接阴极,阴极、阳极浸入到含有电解液的镀槽中进行电镀,镀槽中的镀液经过回流管回流到储砂槽中,储砂槽中加砂后用搅拌器搅拌均匀通过泵泵到镀槽中,位于中央的阳极两侧分接两个侧边阳极并固定于阴极两侧,使溶液中的两个阴极处在两个阳极之间,镀液中的金属离子在外电场的作用下,经电极反应还原成金属原子并在阴极上进行金属沉积,阴极周围在两边阳极的作用下形成更加均匀的电磁场,以提高电流的稳定性,达到金刚石切割线电镀更加稳定;所述储砂槽的形状为圆柱形,储砂槽的四周打磨光滑,以减少积砂,搅拌后溶液更加均匀;
2)本实用新型通过增加阳极板个数,使阴极处在两个阳极中间,使溶液中阴极周围电场均匀分布,进而实现镀镍的均匀成度;
3)圆柱加圆锥的储砂槽,解决了储砂槽积砂问题,使镀液中的浓度更均匀,提高镀层均匀度,圆柱槽代替方形槽后,解决了储砂槽积砂和镀液不稳定的问题,使镀液中金刚砂的浓度更加稳定,从而实现金刚线上砂的稳定。保证了金刚线整体的稳定程度;
4)本实用新型设计巧妙,操作方便,阴极周围形成更加稳定的电磁场,提高电流的稳定性,使镀层更加均匀,减少劳动强度,提高工作效率,保证了金刚线整体的稳定程度。
附图说明
图1是现有技术中的电镀槽储砂槽工艺;
图2是本实用新型中的电镀槽储砂槽工艺;
图中标记:1、直流电源,2、电流表,3、电压表,4、回液管,5、搅拌器,6、阴极,7、阳极,8、镀槽,9、储砂槽,10、抽液管,11、抽液泵,12、圆锥斗,13、长方形储砂槽,14、加砂管,15、喷砂管。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。
如图所示,一种使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽,包括直流电源1,直流电源1串联电流表2,并联电压表3用以检测直流电的稳定程度,直流电源1的正极通过导电杆接阳极7,直流电源1的负极通过导电杆接阴极6,阴极6、阳极7浸入到含有电解液的镀槽8中进行电镀,镀槽8中的镀液经过回流管4回流到储砂槽13中,储砂槽中加砂后用搅拌器5搅拌均匀通过抽液泵11泵到镀槽8中,位于中央的阳极7两侧分接两个侧边阳极并固定于阴极6两侧,使溶液中的两个阴极6处在两个阳极7之间,镀液中的金属离子在外电场的作用下,经电极反应还原成金属原子并在阴极上进行金属沉积,阴极6周围在两边阳极7的作用下形成更加均匀的电磁场,以提高电流的稳定性,达到金刚石切割线电镀更加稳定;所述储砂槽13的形状为圆柱形,储砂槽13的四周打磨光滑,以减少积砂,搅拌后溶液更加均匀。
以上为本实用新型的基本实施方式,可在以上基础上做进一步的改进、完善和限定:如所述的阳极7采用镍棒,阴极6为金刚石切割线。
以上为本实用新型的基本实施方式,可在以上基础上做进一步的改进、完善和限定:如所述的镀槽8的材质为PVC。
直流电源正极通过导电杆接阳极7(镍棒),负极通过导电杆接阴极6(金刚石切割线),把阴极6、阳极7浸入到由镍盐、导电盐、pH缓冲剂、润湿剂、金刚砂组成的电解液pvc镀槽8中。当在阴阳两极间施加一定电位时,处在阳极中间的阴极周围形成均匀的电场,从镀液内部扩散到电极和镀液界面的金属离子从阴极6上获得电子,还原成金属。另一方面,在阳极7则发生与阴极6完全相反的反应,即阳极7上发生金属溶解,释放电子生成金属离子。圆柱加圆锥的储砂槽9,包括无下底盖的圆柱,加圆锥斗12底盖,在储砂槽9中装有搅拌器5,在底部有抽液管10,管道经过抽液泵11连接电镀槽下部的喷砂管15,在储砂槽上部有回流管4与电镀槽在溢流管连接且留有加砂口。圆柱槽代替方形槽后,解决了储砂槽9积砂和镀液不稳定的问题,使镀液中金刚砂的浓度更加稳定,从而实现金刚线上砂的稳定,保证了金刚线整体的稳定程度。
相对于现有技术,本实用新型通过增加阳极板个数,使阴极处在两个阳极中间,使溶液中阴极周围电场均匀分布,进而实现镀镍的均匀成度。圆柱加圆锥的储砂槽,解决了储砂槽积砂问题,使镀液中的浓度更均匀,提高镀层均匀度。
本实用新型结构合理,设计巧妙,操作方便,使阴极周围形成更加稳定的电磁场,提高电流的稳定性,使镀层更加均匀,减少劳动强度,提高工作效率,保证了金刚线整体的稳定程度,解决现有镀槽中中央阳极板只有一块,阴极周围的电场一边强,一边弱,在镀件上形成不均匀的镀层;现有的储砂槽多为方形,在搅拌器的作用下容易在四角形成积砂,使储砂槽中的金刚砂的浓度不稳定,通过泵泵到镀液槽中的金刚砂不稳定,严重影响产品质量等技术问题,对现有技术来说,具有很好的市场前景和发展空间。
上面结合附图对本实用新型优选的具体实施方式和实施例作了详细说明,但是本实用新型并不限于上述实施方式和实施例,在本领域技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本实用新型构思的前提下作出各种变化。

Claims (3)

1.一种使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽,其特征在于:包括直流电源(1),直流电源(1)串联电流表(2),并联电压表(3)用以检测直流电的稳定程度,直流电源(1)的正极通过导电杆接阳极(7),直流电源(1)的负极通过导电杆接阴极(6),阴极(6)、阳极(7)浸入到含有电解液的镀槽(8)中进行电镀,镀槽(8)中的镀液经过回流管(4)回流到储砂槽(13)中,储砂槽中加砂后用搅拌器(5)搅拌均匀通过抽液泵(11)泵到镀槽(8)中,位于中央的阳极(7)两侧分接两个侧边阳极并固定于阴极(6)两侧,使溶液中的两个阴极(6)处在两个阳极(7)之间,镀液中的金属离子在外电场的作用下,经电极反应还原成金属原子并在阴极上进行金属沉积,阴极(6)周围在两边阳极(7)的作用下形成更加均匀的电磁场;所述储砂槽(13)的形状为圆柱形,储砂槽(13)的四周打磨光滑。
2.如权利要求1所述的一种使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽,其特征在于:所述的阳极(7)采用镍棒,阴极(6)为金刚石切割线。
3.如权利要求1所述的一种使电镀金刚石切割线更加稳定的复合槽,其特征在于:所述的镀槽(8)的材质为PVC。
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