JPS6254075A - 蒸着ボ−ト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 ボートから蒸着材料が塊状で放出されて蒸着膜に欠陥が
発生することを防（ためにボートの措のを工夫する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は蒸着ボートに係り、とりわけ、蒸着材料の塊が
ボートから放出されて蒸着膜に欠陥が発生することを防
ぐことができる新規な構造を有する蒸着ボートに関する
。

〔従来の技術〕

第４図は蒸着装置を表わしており、蒸着室ｌは排気ポン
プ（図示せず）で排気２され、電極３で加熱されたホー
ド４から蒸着材料が蒸発し、基板５上に蒸着する。

従来、蒸着材料を収容するボートの構造としては、第５
図の如く上部が開放６されたもの、第６図の如く上部に
網（メッシュ）７を取付けたものの、第７図の如（上部
を小孔８にしたものなどが用いられている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、従来のボートを用いて得られる蒸着膜は
、蒸着材料が塊状で飛散して基板上に付着し、渾着膜と
して不均一あるいは欠陥を含み易く、とりわけ、蒸着材
料が昇華性物質のように揮発性の高い材料である場合に
は、この傾向が著しいという問題がある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、上記問題点を解決するために、蒸着ボート内
に塊状の蒸着物質の運動（通過）を妨げる曲折した通路
を皐けるとともに、２ケ所にメツシュ付き小孔を設ける
ことにより、塊状の蒸着物質の蒸着基板への付着を防止
する。

〔作　用〕

曲折した通路あるいはメツシュ付き小孔は塊状物質の通
過を妨げる。

〔実施例〕

第１図に本発明の実施例の蒸着ボートを示す。

図中、下から順に本体１１、中蓋１２、上蓋１３であり
、使用時には本体１１に中１１２を載せ、それに上蓋１
３をセットした後、かしめて三者は一体にされる。これ
らはいずれも例えばタンタル製である。

本体１１は囲繞側壁１４および底板１４’からなる函体
と、内側囲繞壁１５と、水平上板１６とからなる。水平
上板１６は外側寸法１８ｍｍ　Ｘ　ＩＱＱ　ｍｍの矩形
である。函体は平面寸法１６ｍ■Ｘ４０ｍ５、高さ１０
龍、内側囲繞壁１６は平面寸法１２ｍｍＸ３０ｍｍ、高
さ９龍である。また囲繞側壁１４の上部長手方向の側面
に沿って幅１顛の耳部１７が設けられている。

中蓋１ｚは水平板１８と囲繞壁１９とからなり、水平板
１８は１３ｍｍ　Ｘ　ＩＱＱ　ｗ、囲繞壁１９は平面寸
法１４■■×３４鰭、高さ９■鵬である。従って、中蓋
１２を本体ｌｌ上に載せたとき、中Ｍ１２の囲繞壁１９
は本体１１の囲繞側壁１４と内側囲繞壁１５の間に挿入
される形になり、かつ中蓋１２の水平板１８と本体１１
の水平上板１６とが接触したとき、本体１１の内側囲繞
壁１５の頂部は中蓋１２の水平板１８と接触せず、中Ｍ
１２の囲繞壁１９の底部は本体１１の底板１４′と接触
しない。中Ｍ１２の水平板１８に、囲繞壁１９の長手方
向の両側面の外方３■■の位置に各２個の小孔２０が穿
設され、この小孔２０は直径１．０龍で２００メツシュ
以上のモリブデン製網が取付けられている。蒸発物質の
塊の通過を妨げる効果は２００メツシュ以上のより細か
い網を用いた場合に奏せられる。

上蓋１３は寸法１８ｍｍ　Ｘ　１００　ｖｉの板２１の
中央に平面寸法１６龍×４０鶴、深さ５龍の上向きのへ
こみ部（プレス加工）２２が形成されている。このへこ
み部２２の中央には直径１．０の小孔２２が穿設され、
２００メツシュ以上のモリブデン製編が取付けられてい
る。上蓋１３を中Ｍ１２上に取付けたとき、中１１２の
小一孔２０は上蓋１３のへこみ部２２の内部に開口して
いる。上蓋１３の板２１の長手方向の両側面の中央部分
に長さ４０ｍ５のかしめ用突出部２４が設けられている
。

本体１１に中蓋１２を挿入する形で載置し、上Ｍ１３を
横からスライドして取り付け、上Ｍ　１３のかしめ用突
出部２４で上蓋１３の板２１と中蓋１２の水平ｖｉ１８
と本体の耳部１７を一体にかしめる。このとき、蒸着材
料は本体１１の内側囲繞体１５の内側の室に収納する。

第２図はこうして一体化された蒸着ボートの縦断面概念
図である。本体１１の内側囲繞壁１６の内側に蒸着材料
２５を収納し、加熱すると、蒸着材料２５は気化し、上
昇し、本体１１の内側囲繞壁１５と中Ｍ１２の水平板１
８の間の隙間を通過し、本体１１の内側囲繞壁１５と中
蓋１２の囲繞壁１９の間の空間を下向し、中Ｍ１２の囲
繞壁１８と本体１１の底板１４′の間の隙間を通過し、
中蓋１２の囲繞壁Ｉ９と本体１１の囲繞側壁工４の間の
空間を上昇して進まなければならない。

この狭くしかも上下に屈曲した通路を通過しなければな
らないので、蒸発物質中の塊状物はその進行を妨げられ
る。

こうして最終的に本体１１の囲繞側壁１４と中蓋１２の
囲繞壁１９の間の空間を上昇してきた蒸発物質は、さら
に、中蓋１２の水平板１８にぶつかり、僅かに小孔２０
を介してのみ外部へ連通することができる。しかも、こ
の小孔２０には２００メソシユ以上の網が取付けらｈて
いる。従って、ここでも塊状の蒸発物質は進行を妨げら
れる。

中蓋１２のメッシュ付小孔２０を通過しても、さらに上
蓋１３のへこみ部２２と中’Ａ１２の水平板１８の間に
形成される室を通過して、小孔２゜から隔てられた位置
に設けられた上蓋１３の小孔２３　（この小孔２３にも
網が取付けられている）を通過することによって始めて
蒸着ボートの外部へ連通ずることができる。従って、こ
こでも塊状の蒸発物質は進行を妨げられる。

・以上第１図および第２図を参照して説明した蒸着源収
納ボートに銅フタロシアンを収納し、第４図の如き蒸着
装置内に取付け、蒸着室内をｌＸｌ０−’Ｐａに排気し
た後、°ボートに通電し、表面研磨したガラス基板上へ
の蒸着を行なった。蒸着膜厚は３０龍とした。なお、銅
フタロシアニンの昇華温度は４２０℃と４３０℃の間に
ある。

得られた蒸着膜にビーム径１μｍに絞ったレーザ光を走
査し、反射率の変化から１μｍ以上の寸法の欠陥を測定
した。その結果、３ＸＩＯ−’のエラーレートであった
。

比較のために、第７図に示した如く小孔のある蓋付ボー
ト（従来技術）を用いて同様の実験を行なったところ、
エラーレートは６Ｘ１０−’であった。

さらに、比較のために、第３図に示す如く、第７図の蓋
付ボートの小孔に２００メソシユの網を取り付けたボー
トを用いて同様の実験を行なったところ、エラーレート
は１．２　Ｘ　１０−’であった。

〔発明の効果〕

本発明による蒸着ボートによれば、昇華性有機物の如く
蒸着時に塊状物が飛散し易い蒸着材料でもより均一で欠
陥の少ない蒸着膜を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の蒸着ボートの分解斜視図、第
２図は第１図のボートの組立断面図、第３図は比較例の
ボートの模式図、第４図は蒸着装置の模式図、第５〜７
図は従来例のボートの模式図である。 １１・・・本体、１２・・・中蓋、１３・・・上蓋、１
４・・・函体の囲繞側壁、　１４’・・・函体の底板、
１５・・・内側囲繞壁、　　　　１６・・・水平上板、
１８・・・水平板、　　　　　１９・・・囲繞壁、２０
・・・小孔、　２１・・・仮、２２・−・へこみ部、２
３・・・小孔、２４・・・かしめ部、２５・・・蒸着材
料。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、高融点金属製の本体、中蓋および上蓋からなる蒸着
   ボートであって、 本体は、囲繞側壁および底板からなる上方が開口した函
   体と、該函体内にあって該底板から上向きに延在して該
   囲繞側壁より僅かに高さが低い少なくとも１重の囲繞壁
   と、該囲繞側壁の上端部から外方へ延在する水平上板と
   からなり、 中蓋は、本体の上記水平上板上に載置されて本体の函体
   内部を密閉する水平板と、該水平板から下向きに延在す
   る少なくとも１重の鉛直囲繞壁とからなり、中蓋の該少
   なくとも１重の囲繞壁は本体の上記函体囲繞側壁および
   少なくとも１重の囲繞壁の各壁の間に位置して中蓋の該
   水平板の下面から本体の上記底板より僅かに上方まで延
   在し、中蓋の上記水平板は本体の函体囲繞側壁と中蓋の
   最外囲繞壁の間の位置に少なくとも１個の小孔を有し、
   該小孔には２００メッシュ以上の網が取付けられ、 上蓋は中蓋の上記水平板上に載置されて中蓋の該水平板
   上に密閉室を形成し、該密閉室は中蓋の上記小孔に通じ
   、かつ上蓋は該密閉室と通じ中蓋の上記小孔から離れた
   位置に小孔を有し、上蓋の該小孔には２００メッシュ以
   上の網が取付けられ、よって、本体の最内囲繞壁内に収
   容された蒸着源の蒸発物質は、本体および中蓋の囲繞側
   壁および囲繞壁で形成された曲折通路を通過しかつ中蓋
   および上蓋の小孔に取付けた網を通過して始めてボート
   外へ放出される、 ことを特徴とする蒸着ボート。