JP2006265575A

JP2006265575A - 深底蒸着ボート

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Publication number: JP2006265575A
Application number: JP2005081156A
Authority: JP
Inventors: Yuichi Ito; 祐一伊藤
Original assignee: Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 2005-03-22
Filing date: 2005-03-22
Publication date: 2006-10-05
Anticipated expiration: 2025-03-22
Also published as: JP4655709B2

Abstract

【課題】
昇華性材料、有機材料向けの抵抗加熱式金属性昇華性材料用蒸着ボートにおいて、蒸着材料の注ぎ足しや蒸着ボートの交換頻度を減らし多層成膜における連続蒸着作業の効率を上げるために、容器部の容量を増やした深底容器部を含む底板を溶接法を使わずプレス成型加工法により低コストで製造し、提供することを目的としたものである。
【解決手段】
容器部の深さが容器部の幅の１倍から４倍である深底容器とした本発明の大容量の蒸着ボートを使用することにより、蒸着材料を従来の蒸着ボートより多量に仕込むことができ、蒸着材料の注ぎ足しや蒸着ボートの交換頻度を減らし多層成膜における連続蒸着作業の効率を上げることができた。また、深底容器部は超塑性金属やランクフォード値の大きい材料を用いることにより溶接法を使わずプレス成型法で製造でき、低コストで手に入れることができた。
【選択図】図１

Description

本発明は昇華性材料または有機材料等を抵抗加熱式蒸着ボートで蒸着する際に昇華や突沸による大きな粒子の飛散を防ぐためのカバーが付いた抵抗加熱式金属製蒸着ボートに関する。

近年、有機デバイスの研究開発が盛んになり、機能性の有機薄膜が用いられている。蒸着に用いる有機材料は昇華性または溶融蒸発性の材料がある。実験室レベルでの簡易的な小型蒸着装置では多くの場合、通常２００から６００℃で蒸着可能な有機材料や、ＧｅＯ、ＳｉＯ、フッ化Ｌｉ等の１０００℃以下で蒸着可能な昇華性材料を蒸着する場合は、２つ以上穴の開いた中板と１つ穴を開けたカバーが付いた図２の模式図に示すような昇華性材料向けの金属製抵抗加熱式の蒸着ボートが良く用いられてきた。

図２において蒸着ボートは蒸着材料を入れる容器部（１）を有する底板（２）、２つの穴の開いた中板（３）、直径１ｍｍ程度の穴の開いたカバー（４）を順に重ね合わせた構造になっている。中板と、カバーの役割は蒸着材料がこぼれ難くすることと、蒸着物自体の粉末や溶融物および蒸着物の酸化皮膜や分解物等のふわふわとした綿状の不純物が蒸着膜中に入り込むことによる膜質の劣化や、ピンホールの発生を防ぐことである。

そして、蒸着材料（５）を入れる長さ３ｃｍ〜４ｃｍ、幅９ｍｍ〜１６ｍｍ、深さ３ｍｍ〜５ｍｍの容器部（１）の両側に、平板上の長さ３ｃｍ程度の電極板部（６）が有り、その部分が図３で示されるように真空蒸着装置中で電極ジグ（７）に挟みこまれ通電され加熱され使用される。底板には、図２に示すように容器部の長さと同じか数ｍｍ程度長く、また、中板とカバーを差し込むためのガイド部（８）が両脇に作られている。底板の上に中板とカバーを図４の蒸着ボートの中心部断面模式図のようにガイド部に差し込み、さらにガイド部（８）を折り込むことにより底板に中板とカバーを挟み込み密着させることができるようになっている。

蒸着ボートに用いられる金属板には、蒸着時に板間の融着も起こさず、ガス放出がなく、変形しないといったことが必要であり、タンタル、タングステン、モリブデン、ニッケルといった蒸気圧の低い高融点金属からできている。

図１に蒸着ボートに寸法記号を入れた模式図を示した。従来の蒸着ボートでは蒸着ボートの幅Ｄ１が１６ｍｍ〜１８ｍｍの大きさのボートであっても容器部の深さＨ２は３ｍｍ〜５ｍｍであった。その理由は、高融点金属の引っ張り試験における伸びは高々５％〜４０％程度であり、また純度が９９％のニッケルにおいても伸びは高々３５％程度であり、０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍ厚の薄板のプレス加工で容器部の深さＨ２を容器部の幅Ｄ２以上に深絞りプレス加工しようとすると亀裂が生じる場合があったためである。

しかし、蒸着材料を入れる容器部の深さが十分でないと１回に導入できる蒸着材料の量が制限され、小まめに蒸着装置の真空を破り材料を足す必要が生じ、連続で蒸着ができない問題があった。また、蒸着ボートに用いられるこれらの高融点金属材料、およびニッケルはステンレス鋼に比べ高価であり、特に白金は貴金属でありさらに高価であるという問題もあった。

真空蒸着では違った種類の蒸着材料を蒸着し多層膜を形成するために蒸着ボートを４つ程度複数並べて連続して蒸着を行う場合が多い。直径３０ｃｍ程度の真空チャンバーの小型蒸着装置で、基板と蒸着ボート間を３０ｃｍ程度の距離を置き、１０ｃｍ角程度の基板に蒸着膜を形成する場合は、材料の使用効率を高くし、基板上の膜厚分布を良くするために蒸着ボートをなるべく基板の直下に並べたい。そのため蒸着ボートの幅Ｄ１を２ｃｍ以下にし５ｍｍから１０ｍｍ程度の隙間を空けて接近して並べる必要があった。

蒸着ボートの容器部の幅Ｄ２を大きくすれば深さＨ２が浅くても入れられる蒸着材料の量を増やせるが、幅広のボートを用いることはスペース的に困難であり、したがって、できるだけＨ２／Ｄ１およびＨ２／Ｄ２の比を大きい蒸着ボートを用いて蒸着材料を多く入れたいという要求があった。

特許文献１は従来の昇華性材料用の蒸着ボートに網目付中板を取り付けた例について述べている。蒸着ボートの材質としてタンタル、モリブデン、タングステン、白金、ニッケル等を用いることができると記載がある。また、網目の材料にはＮｉステンレスを用いても良い記載がある。しかし、容器部の深さに関する記載はなく、このような従来の蒸着ボートに入れられる蒸着材料の量が少ない問題、材質についての詳しい記述や作製法の記載は無かった。

特許文献２はクロムとニッケルを含むステンレス鋼を用いたリチウム蒸着用坩堝に関するものであり、プレス成形で作製できることが記載されている。しかし、これは坩堝であり蒸着ボートと形状、使用方法が異なる。坩堝は間接加熱であり、直接電気を流し抵抗加熱式で加熱するものではないので電気抵抗値の問題は無い。そのため厚さの記述も無いが０．５ｍｍ以下の薄板をプレス加工したものではないと考えられる。また、図１の模式図に示す蒸着ボート形状に関する記載は無かった。ステンレスの組成はクロムの含有量は１１％以上が好ましいという記載はあったが、超塑性材料に関する記述は無かった。また、ランクフォード値や炭素成分に関する記述も無かった。

超塑性を示すステンレスに関して特許文献３および特許文献４に記載されているが、蒸着ボートに適用した例は無かった。特許文献５では量産型の大口径基板用真空蒸着装置向けに、カーボングラファイト製等の坩堝型の蒸発源を用いることが記載されている。しかし、大きさ等の記述は無く、このような大型蒸着装置向けの坩堝型の蒸発源は一般的に非常に高価である。またその熱容量が大きいことと、間接加熱で応答性が悪いため設定温度以上に加熱されてしまうオーバーシュートが生じ易く、温度の急速な昇温は困難であった。そのため蒸着温度に達するまでに１時間以上かかる問題があり、実験室レベルでの簡易的な小型装置には向かない。直接抵抗加熱する蒸着ボートは安価で、一般的に熱容量も小さく設定温度までの分単位の急速な昇温が可能で簡便であるため、より多くの材料を仕込める蒸着ボートが望まれていた。
特開平７−１２６８３８号公報特開平１０−８８３２２号公報特開平６−３３６６３６号公報特開平１１−１９９９２５号公報特開平１１−５０２３３号公報

本発明は、昇華性材料、有機材料向けの抵抗加熱式金属性昇華性材料用蒸着ボートにおいて、蒸着材料の注ぎ足しや蒸着ボートの交換頻度を減らし多層成膜における連続蒸着作業の効率を上げるために、容器部の容量を増やした深底容器部を含む底板を溶接法を使わずプレス成型加工法により低コストで製造し、提供することを課題としたものである。

本発明者は研究を重ねた結果、蒸着時に使用する温度範囲において使用可能な強度を持ち、板間の融着も起こさず、ガス放出がなく、且つ、プレス加工性のよい底板材料を使用することにより、プレス成型加工によって深底蒸着ボートを得ることができた。

そこで、上記課題を解決するために請求項１に係る発明は、蒸着材料を入れる容器部を有する底板と、穴の開いた中板及び穴の開いたカバーの少なくとも一方からなる抵抗加熱式昇華性材料用金属製蒸着ボートにおいて、容器部の深さをＨ２、容器部幅をＤ２としたときにＨ２／Ｄ２が１以上４以下であることを特徴とする低温加熱用蒸着ボートとした。

また、請求項２に係る発明は、前記容器部を有する底板が、超塑性特性をもつ２相ステンレス板またはＮｉ合金板を加熱プレス成型加工することにより一体製造されたことを特徴とする請求項１記載の蒸着ボートとした。

また、請求項３に係る発明は、前記容器部を有する底板が、ランクフォード値２以上のステンレス板をプレス成型加工することにより一体製造されたことを特徴とする請求項１記載の蒸着ボートとした。

また、請求項４に係る発明は、前記容器部を有する底板が、ランクフォード値２．５以上かつ炭素濃度０．０１質量％以下のＣｒ系ステンレス板をプレス成型加工することにより一体製造されたことを特徴とする請求項１記載の蒸着ボートとした。

また、請求項５に係る発明は、前記容器部を有する底板が、純度９９．９％以上のＮｉ板をプレス成型加工することにより一体製造されたことを特徴とする請求項１記載の蒸着ボートとした。

また、請求項６に係る発明は、底板、中板、カバーのうち１枚以上の電極板部の幅の少なくとも一部を容器部幅Ｄ２よりも狭くしたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の蒸着ボートとした。

容器部の深さが容器部の幅の１倍から４倍である深底容器とした本発明の大容量の蒸着ボートを使用することにより、蒸着材料を従来の蒸着ボートより多量に仕込むことができ、蒸着材料の注ぎ足しや蒸着ボートの交換頻度を減らし多層成膜における連続蒸着作業の効率を上げることができた。また、深底容器部は超塑性金属やランクフォード値の大きい材料を用いることにより溶接法を使わずプレス成型法で製造でき、低コストで手に入れることができた。

本発明の抵抗加熱式昇華性材料用蒸着ポートは、昇華性材料または溶融性材料のどちらの材料を蒸着する際にも用いられる蒸着ボートである。蒸着する材料としては真空中で６００℃で気化するものが好ましく、銅フタロシアニン、アルミニウムオキシン錯体、テトラフェニルベンジジン誘導体、キナクリドン誘導体といった有機ＥＬ素子材料、ＧｅＯ、ＬｉＦといったものが挙げられるが、この限りではない。

本発明において蒸着ボートの深さＤ２と幅Ｈ２の比Ｈ２／Ｄ２は１以上４以下とした。従来の高融点金属薄板をプレス成型して底板容器部の凹部を形成したボートはＨ２／Ｄ２が０．４以下であることから、従来の蒸着ボートと比べ３倍〜１０倍程度蒸着材料を入れることができる。Ｈ２／Ｄ２を４より大きくした場合はプレス成型加工時に容器部にヒビや亀裂が入る場合があり、また、容器部の底付近を流れる電流が低下し容器部底の温度が上部より低くなり、容器部内で温度が不均一になってしまう。

本発明の蒸着ボートはプレス成型加工により、一体製造される。２つ以上の部品を溶接や折り曲げ加工等により組み合わせた場合、コストが増大する、容器の織り込んだ部分に蒸着材料が入り込み洗浄が困難になるといった問題が発生する。

本発明の蒸着ボートに用いる底板用材料としては、超塑性を有する２相ステンレス鋼の薄板、またはＮｉ合金板、ランクフォード値（薄板の引っ張り試験より、板幅方向の対数歪み／板厚方向の対数歪みで表される、以下ｒ値と略す）が２以上のステンレス板、または、ｒ値２．５以上の低炭素フェライト系ステンレス板、９９．９％以上の粉末冶金法で製造した超高純度のニッケル２７０板の薄板材料から選んで使うことができ、それらはヒビ割れの無い超深絞りプレス加工を可能とする。なお、プレス加工後、必要に応じて切断加工、曲げ加工、穴あけ加工等を行ない、本発明の底板を得ることができる。

Ｈ２／Ｄ２を１以上にプレス絞り成型するためには、３００％程度の金属の伸びが欲しい。１μｍ以下の微細な結晶粒を有し、７００〜１０００℃の温度での引っ張り試験において伸びが２００％以上である超塑性金属、例えばフェライト相中にオーステナイト相を分散させて作った２相ステンレス薄板やＮｉ合金板を７００〜１０００℃程度の高温下において単段または多段でプレス絞り成型を行うことで本発明の蒸着ボートを得ることができる。なお、引っ張り試験での伸びが３００％以上あればさらに好ましい。また、薄板材料の厚みは、好ましくは０．０５ｍｍ〜０．４ｍｍ厚、さらに好ましくは０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ厚である。

Ｆｅ６５質量％、Ｃｒ２５質量％、Ｎｉ７質量％、Ｍｏ３質量％からなる１μｍ以下のフェライト相とオーステナイト相が混合した０．３ｍｍ厚の２相ステンレス板は、１０００℃に加熱し歪速度０．１７／秒で引っ張ると１０００％伸びることより本発明の蒸着ボートの底板材料として使用できる。

Ｎｉ３８．３重量％、Ｆｅ２６．２重量％、Ｃｒ３４．９重量％、Ｔｉ０．５８重量％からなるＮｉ合金は７９５℃から８５５℃における引張り試験において１０００％以上伸びることより本発明の蒸着ボートの底板材料として使用できる。

ｒ値が２以上のステンレス板はプレス加工性が良く、引っ張り試験での伸びが５０％未満の材料であっても、フッ素系等の潤滑油または潤滑樹脂等の潤滑剤を用いたプレス深絞り加工により蒸着ボートの深さと幅の比Ｈ２／Ｄ２を１以上とすることができる。

中でも、ｒ値２．５以上且つ炭素濃度０．０１質量％以下のＣｒ系ステンレス板、例えば川崎製鉄製のクロム系（フェライト系）ステンレスＲＳＸ−１（クロム１７．８質量％、Ｍｏ１．４５質量％、Ｍｎ０．１５質量％、Ｎｉ０．０８質量％、炭素０．００３質量％、Ｔｉ微量添加／ｒ値２．６）といった熱間圧延により、鋳造組織に起因した同一方位の結晶組織を再結晶化組織で分断した薄板は好適である。なお、炭素濃度は少ない方がｒ値が大きくなる傾向があり、炭素濃度が０．０１質量％以下、好ましくは０．００３質量％以下が好ましい。

ｒ値が２以上より好ましくはｒ値が２．５以上のステンレス板、ｒ値２．５以上のＣｒ系ステンレス板において、Ｈ２／Ｄ２が１〜２の場合は、プレス加工部の薄くなった部分の強度を保つため０．１５〜０．３ｍｍ厚の薄板材料を用いることが好ましく、Ｈ２／Ｄ２が２〜４の場合は０．３〜０．５ｍｍ厚の薄板材料を用いることが好ましい。

上記のような方法で作製された底板（２）に、０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍ好ましくは０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ厚程度の金属薄板に２つ以上の穴を開けた中板（３）、０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ好ましくは０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ厚程度の金属薄板をプレス加工し少なくとも１つ以上の穴またはスリットを開けたカバー（４）を重ねて本発明の蒸着ボートを作製することができる。中板及びカバーの穴はプレス時に同時に形成するか、後で所望の直径と数にパンチで抜き打ち加工するか、ドリルで穴加工を行っても良い。また、中板はメッシュ状であっても構わない。

カバー（４）、中板（３）の材質は底板（２）と同じであることが熱膨張による蒸着ボートの反りや変形が小さくなるため好ましい。ただし、カバー（４）と中板（３）は超深絞りが必要無いため、蒸着ボートの反りや変形が大きくならない程度で、底板（２）と同じ材料以外にステンレス３１６やインコネル等の高温で耐久性のあるステンレス鋼を使っても良い。また、従来のタンタル、モリブデン、タングステンからなるカバー、中板（３）と組み合わせて使用しても良い。ただし、厚さや電気抵抗率を考えて底板に流れる電流とバランスさせる必要がある。

カバー（４）、中板（３）、底板（２）を重ねた場合の電極板部（６）の総板厚が０．４ｍｍ以上の場合は、電極板部（６）を通して電極ジグ（７）へ逃げる伝熱量が大きくなり、。そのため容器部の中心より電極板部に近い部分で温度が低下する問題がある。図５の模式図のように電極板部（６）全体の幅を容器部の幅Ｄ２より狭くするか、または図６の模式図のように容器部に近い電極板部分に切れ込みを入れ電極版部の最小幅Ｄ３を少なくとも容器部の幅Ｄ２より狭くすることによって、容器部から電極ジグへ逃げる伝熱量を少なくすることができる。

狭くなった部分では電気抵抗増加により発熱量が増え蒸着ボートの容器部端の温度を上げることができ容器部をより均一な温度に加熱することが可能となる。切れ込みはカバー（４）、中板（３）、底板（２）のすべてを加工するか、少なくともどれかの電極板部の一部を狭く加工すればよい。

（蒸着ボート作製実施例１）
Ｆｅ６５質量％、Ｃｒ２５質量％、Ｎｉ７質量％、Ｍｏ３質量％からなる１μｍ以下のフェライト相とオーステナイト相が混合した０．５ｍｍ厚の２相ステンレス板を１０００℃において金型を使って深絞りプレス成型加工を行なった。プレス加工後、切断、ガイド部曲げ加工、電解研磨を行ない、図５の模式図の底板（２）を作製した。次に、０．１ｍｍ厚のカバー（４）および０．０５ｍｍ厚の中板（３）を同じ材質でプレス成型加工し、切断、穴あけ、電解研磨を行ない組み立て本発明の蒸着ボートを作製した。

蒸着ボートの寸法は、図５の模式図においてＬ１＝１００ｍｍ、Ｌ２＝４０ｍｍ、Ｌ３＝３０ｍｍ、Ｌ４＝２０ｍｍ、Ｄ１＝１２ｍｍ、Ｄ２＝８ｍｍ、Ｄ３＝６ｍｍ、Ｈ１＝３ｍｍ、Ｈ２＝３２ｍｍである。また、カバーの中心の穴は１箇所で直径１．５ｍｍであり、中板の穴は２箇所でともに直径１．５ｍｍである。

蒸着ボートの底にシース熱電対を押し当て蒸着物を入れずにターボポンプ（排気速度３００Ｌ／ｓ）付蒸着装置（真空チャンバー直径３０ｃｍ、高さ６０ｃｍ）にセットし０．０００４Ｐａ下で通電し、室温から６００℃まで通電加熱を行い、真空度を電離真空計でモニターした。蒸着ボートからの放出ガスによる急激な真空度の悪化は無く０．００１Ｐａ以下の圧力が維持された。

（化１）に示す有機蒸着材料の粉体を蒸着ボートに１．０ｇ入れ２５０℃に通電加熱し１０回蒸着を行っても蒸着ボートの熱による実用上の強度低下は無かった。従来のＨ２＝３ｍｍのＭｏ製ボートでは図７に示す有機蒸着材料は０．１ｇしか入らず、本実施例では１０倍量の材料を入れることができた。

（蒸着ボート作製例２）
Ｎｉ３８．３重量％、Ｆｅ２６．２重量％、Ｃｒ３４．９重量％、Ｔｉ０．５８重量％からなる超塑性Ｎｉ合金の０．５ｍｍ厚の板を８５０℃において金型を使って深絞りプレス成型加工を行なった。プレス加工後、切断、ガイド部曲げ加工、電解研磨を行ない図５の模式図の底板（２）を作製した。次に、０．１ｍｍ厚のカバー（４）および０．０５ｍｍ厚の中板（３）を同じ材質で室温プレス成型加工、切断、穴あけ、電解研磨を行ない組み立て本発明の蒸着ボートを作製した。

蒸着ボートの底にシース熱電対を押し当て蒸着物を入れずにターボポンプ（排気速度３００Ｌ／ｓ）付蒸着装置（真空チャンバー直径３０ｃｍ、高さ６０ｃｍ）にセットし０．０００４Ｐａ下で通電し、室温から６００℃まで通電加熱を行い、真空度を電離真空計でモニターした。蒸着ボートからの放出ガスによる急激な真空度の悪化は無く０．００１Ｐａ以下の圧力が維持される。

（化１）に示す有機蒸着材料の粉体を蒸着ボートに１．０ｇ入れ２５０℃に通電加熱し１０回蒸着を行っても蒸着ボートの熱による実用上の強度低下は無かった。

（蒸着ボート作製例３）
蒸着ボート作製例１の２相ステンレス板に代えて川崎製鉄製のクロム系（フェライト系）ステンレスＲＳＸ−１を圧延したｒ値２．６を有する厚さ０．２ｍｍのステンレス板を用いて深絞りプレス成型加工を行なった。プレス成型加工後、切断、ガイド部曲げ加工、電解研磨を行ない、図５の模式図の底板（２）を作製した。次に、０．１ｍｍ厚のカバー（４）および０．０５ｍｍ厚の中板（３）を同じ材質でプレス成型加工し切断、穴あけ、電解研磨により後本発明の蒸着ボートを作製した。

蒸着ボートの寸法は、図１の模式図においてＬ１＝１００ｍｍ、Ｌ２＝４０ｍｍ、Ｌ３＝３０ｍｍ、Ｌ４＝２０ｍｍ、Ｄ１＝１２ｍｍ、Ｄ２＝８ｍｍ、Ｈ１＝３ｍｍ、Ｈ２＝８ｍｍである。また、カバーの中心の穴は１箇所で直径１．５ｍｍであり、中板の穴は２箇所でともに直径１．５ｍｍである。

蒸着ボートの底にシース熱電対を押し当て蒸着物を入れずにターボポンプ（排気速度３００Ｌ／ｓ）付蒸着装置（真空チャンバー直径３０ｃｍ、高さ６０ｃｍ）にセットし０．０００４Ｐａ下で通電室温から６００℃まで通電加熱を行い、真空度を電離真空計でモニターした。蒸着ボートからの放出ガスによる急激な真空度の悪化は無く０．００１Ｐａ以下の圧力が維持される。

（化１）に示す有機蒸着材料の粉を蒸着ボートに０．５ｇ入れ１０回繰りし蒸着しても蒸着ボートの熱による実用上の強度低下は無かった。

（蒸着ボート作製例４）
蒸着ボート作製例１の２相ステンレス板に代えて、純度９９．９％以上の粉末冶金法で製造した厚さ０．２ｍｍの超高純度のニッケル２７０の薄板深絞りプレス成型加工を行なった。プレス成型加工後、切断、ガイド部曲げ加工、電解研磨を行ない、図１の模式図の底板（２）を作製した。０．１ｍｍ厚のカバー（４）および０．０５ｍｍ厚の中板（３）を同じ材質でプレス成型加工し切断、ガイド部曲げ加工、穴あけ、電解研磨後本発明の蒸着ボートを作製した。

図７に示す有機蒸着材料の粉を蒸着ボートに０．５ｇ入れ１０回繰り返し蒸着しても蒸着ボートの熱による実用上の強度低下は無かった。

本発明および従来の蒸着ボートの一例の上面、およびカバー、中板、底板の断面図に寸法記号を入れた模式図である。本発明および従来の蒸着ボートの斜視図である。本発明および従来の蒸着ボートを電極ジグに取り付けた場合の側面の模式図である。本発明及び従来の蒸着ボートの断面の模式図である。本発明の蒸着ボートの一例の上面、およびカバー、中板、底板の断面図に寸法記号を入れた模式図である。本発明の蒸着ボートの一例の上面、およびカバー、中板、底板の断面図に寸法記号を入れた模式図である。

符号の説明

１・・・・容器部
２・・・・底板
３・・・・中板
４・・・・カバー
５・・・・蒸着材料
６・・・・電極板部
７・・・・電極ジグ
８・・・・ガイド部

Claims

蒸着材料を入れる容器部を有する底板と、穴の開いた中板及び穴の開いたカバーの少なくとも一方からなる抵抗加熱式昇華性材料用金属製蒸着ボートにおいて、容器部の深さをＨ２、容器部幅をＤ２としたときにＨ２／Ｄ２が１以上４以下であることを特徴とする低温加熱用蒸着ボート。
前記容器部を有する底板が、超塑性特性をもつ２相ステンレス板またはＮｉ合金板を加熱プレス成型加工することにより一体製造されたことを特徴とする請求項１記載の蒸着ボート。
前記容器部を有する底板が、ランクフォード値２以上のステンレス板をプレス成型加工することにより一体製造されたことを特徴とする請求項１記載の蒸着ボート。
前記容器部を有する底板が、ランクフォード値２．５以上かつ炭素濃度０．０１質量％以下のＣｒ系ステンレス板をプレス成型加工することにより一体製造されたことを特徴とする請求項１記載の蒸着ボート。
前記容器部を有する底板が、純度９９．９％以上のＮｉ板をプレス成型加工することにより一体製造されたことを特徴とする請求項１記載の蒸着ボート。
底板、中板、カバーのうち１枚以上の電極板部の幅の少なくとも一部を容器部幅Ｄ２よりも狭くしたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の蒸着ボート。