JP4655709B2 - 深底蒸着ボート - Google Patents
深底蒸着ボート Download PDFInfo
- Publication number
- JP4655709B2 JP4655709B2 JP2005081156A JP2005081156A JP4655709B2 JP 4655709 B2 JP4655709 B2 JP 4655709B2 JP 2005081156 A JP2005081156 A JP 2005081156A JP 2005081156 A JP2005081156 A JP 2005081156A JP 4655709 B2 JP4655709 B2 JP 4655709B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- plate
- deposition boat
- container
- bottom plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Fe65質量%、Cr25質量%、Ni7質量%、Mo3質量%からなる1μm以下のフェライト相とオーステナイト相が混合した0.5mm厚の2相ステンレス板を1000℃において金型を使って深絞りプレス成型加工を行なった。プレス加工後、切断、ガイド部曲げ加工、電解研磨を行ない、図5の模式図の底板(2)を作製した。次に、0.1mm厚のカバー(4)および0.05mm厚の中板(3)を同じ材質でプレス成型加工し、切断、穴あけ、電解研磨を行ない組み立て本発明の蒸着ボートを作製した。
Ni38.3重量%、Fe26.2重量%、Cr34.9重量%、Ti0.58重量%からなる超塑性Ni合金の0.5mm厚の板を850℃において金型を使って深絞りプレス成型加工を行なった。プレス加工後、切断、ガイド部曲げ加工、電解研磨を行ない図5の模式図の底板(2)を作製した。次に、0.1mm厚のカバー(4)および0.05mm厚の中板(3)を同じ材質で室温プレス成型加工、切断、穴あけ、電解研磨を行ない組み立て本発明の蒸着ボートを作製した。
蒸着ボート作製例1の2相ステンレス板に代えて川崎製鉄製のクロム系(フェライト系)ステンレスRSX−1を圧延したr値2.6を有する厚さ0.2mmのステンレス板を用いて深絞りプレス成型加工を行なった。プレス成型加工後、切断、ガイド部曲げ加工、電解研磨を行ない、図5の模式図の底板(2)を作製した。次に、0.1mm厚のカバー(4)および0.05mm厚の中板(3)を同じ材質でプレス成型加工し切断、穴あけ、電解研磨により後本発明の蒸着ボートを作製した。
蒸着ボート作製例1の2相ステンレス板に代えて、純度99.9%以上の粉末冶金法で製造した厚さ0.2mmの超高純度のニッケル270の薄板深絞りプレス成型加工を行なった。プレス成型加工後、切断、ガイド部曲げ加工、電解研磨を行ない、図1の模式図の底板(2)を作製した。0.1mm厚のカバー(4)および0.05mm厚の中板(3)を同じ材質でプレス成型加工し切断、ガイド部曲げ加工、穴あけ、電解研磨後本発明の蒸着ボートを作製した。
2・・・・底板
3・・・・中板
4・・・・カバー
5・・・・蒸着材料
6・・・・電極板部
7・・・・電極ジグ
8・・・・ガイド部
Claims (4)
- 蒸着材料を入れる容器部を有する底板と、穴の開いた中板及び穴の開いたカバーの少なくとも一方からなる抵抗加熱式昇華性材料用金属製蒸着ボートにおいて、容器部の深さをH2、容器部幅をD2としたときにH2/D2が1以上4以下であり、前記底板が、フェライト相中にオーステナイト相を分散させてなり、700〜1000℃の温度での引っ張り試験において伸びが200%以上である超塑性特性をもつ2相ステンレス板を加熱プレス成型加工することにより一体製造されたことを特徴とする蒸着ボート。
- 蒸着材料を入れる容器部を有する底板と、穴の開いた中板及び穴の開いたカバーの少なくとも一方からなる抵抗加熱式昇華性材料用金属製蒸着ボートにおいて、容器部の深さをH2、容器部幅をD2としたときにH2/D2が1以上4以下であり、前記底板が、ランクフォード値2以上のステンレス板をプレス成型加工することにより一体製造されたことを特徴とする低温加熱用蒸着ボート。
- 蒸着材料を入れる容器部を有する底板と、穴の開いた中板及び穴の開いたカバーの少なくとも一方からなる抵抗加熱式昇華性材料用金属製蒸着ボートにおいて、容器部の深さをH2、容器部幅をD2としたときにH2/D2が1以上4以下であり、前記底板が、ランクフォード値2.5以上かつ炭素濃度0.01質量%以下のCr系ステンレス板をプレス成型加工することにより一体製造されたことを特徴とする蒸着ボート。
- 底板、中板、カバーのうち1枚以上の電極板部の幅の少なくとも一部を容器部幅D2よりも狭くしたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の蒸着ボート。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005081156A JP4655709B2 (ja) | 2005-03-22 | 2005-03-22 | 深底蒸着ボート |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005081156A JP4655709B2 (ja) | 2005-03-22 | 2005-03-22 | 深底蒸着ボート |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006265575A JP2006265575A (ja) | 2006-10-05 |
JP4655709B2 true JP4655709B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=37201847
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005081156A Expired - Fee Related JP4655709B2 (ja) | 2005-03-22 | 2005-03-22 | 深底蒸着ボート |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4655709B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102297249B1 (ko) | 2018-09-12 | 2021-09-03 | 주식회사 엘지화학 | 승화 정제 장치 및 승화 정제 방법 |
WO2020054974A1 (ko) * | 2018-09-12 | 2020-03-19 | 주식회사 엘지화학 | 승화 정제 장치 및 승화 정제 방법 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4925839B1 (ja) * | 1969-09-22 | 1974-07-03 | ||
JPS6254075A (ja) * | 1985-09-02 | 1987-03-09 | Fujitsu Ltd | 蒸着ボ−ト |
JPS6338569A (ja) * | 1986-08-01 | 1988-02-19 | Fuji Xerox Co Ltd | 真空蒸着用蒸発装置 |
JPH07126838A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 蒸着ボート |
-
2005
- 2005-03-22 JP JP2005081156A patent/JP4655709B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006265575A (ja) | 2006-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103380525B (zh) | 燃料电池隔板 | |
KR100409260B1 (ko) | 전기저항가열부재로서유용한알루미늄을함유하는철-베이스합금 | |
TW573035B (en) | Copper alloy sputtering target and the manufacturing method thereof | |
JP4335439B2 (ja) | 耐熱性鋼 | |
JP5890313B2 (ja) | 高延性、高耐食性で耐遅れ破壊性に優れたNi基アモルファス合金 | |
Kök et al. | Thermal stability and some thermodynamics analysis of heat treated quaternary CuAlNiTa shape memory alloy | |
JP4078966B2 (ja) | 固体高分子型燃料電池のセパレータ用ステンレス鋼および固体高分子型燃料電池 | |
JP2001032056A (ja) | 通電部品用ステンレス鋼および固体高分子型燃料電池 | |
SE451379B (sv) | Diamantpresskropp for en traddragningsmatris och forfarande for dess framstellning | |
JP5152193B2 (ja) | 固体高分子型燃料電池セパレータ用ステンレス鋼材および固体高分子型燃料電池 | |
Garcia-Fresnillo et al. | Long-term behaviour of solid oxide fuel cell interconnect materials in contact with Ni-mesh during exposure in simulated anode gas at 700 and 800 C | |
CN110168120A (zh) | 电阻材料用铜合金材料及其制造方法以及电阻器 | |
WO2016129599A1 (ja) | 固体高分子形燃料電池用セパレータおよびその製造方法 | |
JP4062132B2 (ja) | 燃料電池セパレータ用チタン系材料とその製造方法 | |
JP5951599B2 (ja) | 高純度Niスパッタリングターゲットおよびその製造方法 | |
Ravi Shankar et al. | Corrosion and microstructure correlation in molten LiCl-KCl medium | |
Vo et al. | High temperature tribological performance of a cost-effective eutectic high entropy alloy Al0. 8CrFeNi2. 2: Comparison with AlCoCrFeNi2. 1 | |
JP4655709B2 (ja) | 深底蒸着ボート | |
Zeng et al. | The role of metal nanoparticles and nanonetworks in alloy degradation | |
Behera et al. | Effect of nickel on mechanical properties of alloy steel produced by powder metallurgy | |
KR102261029B1 (ko) | 확산 접합용 니켈계 초내열 합금 및 이를 이용한 확산 접합 방법 | |
CN110453105B (zh) | 一种钯钼精密电阻合金及其制备方法 | |
Wang et al. | Refining effect of nitrogen on M7C3 carbides in hypereutectic Fe–25Cr–4C–0.5 Ti–0.5 Nb hardface coatings | |
JP6789035B2 (ja) | 電極用チタン合金板 | |
US11608545B2 (en) | Conductive supporting member and method for producing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080226 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100601 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100728 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101130 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101213 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |