JPS62502503A - 塵の濃度を制御された環境下で敏感な物体を処理するための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 塵の濃度を制御された環境下で 敏感な物体を処理するための装置 本発明は製造中の物体の取扱（運搬および保管）に関するものである。

製造される物品の信頼性を向上させるとともに製造コストを低下させる目的で、 あらゆる種類の物品の製造をできるだけ自動化する方向にまずまず進んでいる。

ある種の物品の大量生産のために、製造の特定の段階は実際かなり自動化されて いる。これは例えば、比較的丈夫で周囲の条件にほとんど影響されない単純な部 品を組立てる操作の場合に当てはまる。この種の部品の場合、切断、接合、溶接 、ねじ込み等の操作における自動化の問題はかなりうまく解決されている。

大部分の装置において、生産される物品は、ベルトコンベアに載せられて運ばれ 、作業ステーションを次々と移っていく。ある作業ステーションで第１の物体に 対しであるひとつの操作がほどこされると、その物体はベルトコンベアに再び載 せられる。次の物体が到着してその作業ステーションに送り込まれ、同じ操作が ほどこされる。この間第１の物体はベルトコンベアによって運ばれて次の作業ス テーションに至る。

この作業ステーションでは第１の物体に別の操作がほどこされる。この場合、物 体はベルトコンベアからの到着順に処理されるため、遅延時間なしに、あるいは できるだけ短い待ち時間で操作がほどこされる。もし各作業ステーションが正確 に自動化されていれば、非常に高度な自動化が達成できる。

しかしそのためには、 −処理される物体は頑丈な構成であり、−この物体は作業ステーションの入口で 列ができて互いにぶつかることがあってもその衝突に耐えることができ、−　こ の物体は、停止した作業ステーションの前でベルトコンベアが動くとか、それと は逆にベルトコンベアが停止するときに突然移動することが多いため、そのこと による加速減速に耐えることができ、 −全物体はベルトコンベアに沿った連続した作業ステーションの順番で同一の処 理操作がほどこされ、−各作業ステーションで実施される処理操作はほぼ同一の 時間がかかる ことが仮定されている。

これとは反対に、以下の場合には自動化が極めて困難である。すなわち、 −取扱う物体が機械的に精密でこわれやすく、−各製造操作に長時藺かかり、し かも操作ごとに時間がまちまちであり、 −製造される物品群のそれぞれについて必ずしも同じ順序で操作を実施する必要 がない場合である。

物体が、連続した処理操作中だけでなく、ひとつの操作から次の操作に移るとき にも制御された清浄な環境下においておく必要がある場合にはさらに別の問題点 が生ずる。

集積回路の製造においては製造の最初の段階でこのような問題点がたくさんある 。言葉を換えて説明すると、独立したチップに切断されてパッケージされるまで に半導体層上にほどこされる全処理操作の間ずっとこのような問題点に直面する 。処理の初期操作を自動化するときに多くの問題点にぶつかるのに対して、次の 段階、特に集積回路をパッケージ内に組立てる際の自動化を制御するのはより簡 単であるというのはこういった理由による。

しかし、工業生産ベースで半導体層の自動処理を行うというのは特に望ましい目 的である。実際には製造作業ステーションの環境は高度に制御されて洗浄に保た れているとはいえ、操作者の往来は必然的に汚染源となるため製造の歩留りがか なり低下するというのは事実である。

半導体ウェハを処理するさまざまなシステムが提案されている。これらシステム は上述の説明かられかる少なくとも３つの理由により、従来のベルトコンベアに 当てはまる一般原理では構成されていない。第１に、半導体ウェハは弱すぎる。

第２に、処理時間が非常に長く、ある処理操作と次の処理操作とで処理時間が大 きく異なる（数１０分から数時間）。さらに、半導体ウェハはすべてに同じ操作 がほどこされてはならない。また、ウェハ群は一度通過した機械に再び戻ってく るようになっていることが望ましい。例えば、イオン注入を数回行う間に他の操 作、例えばフォＩ−ＩＪソゲラフイーを実施する必要のあることがある。もし、 イオン注入装置が１台しが利用できない場合、半導体ウェハはそのイオン注入装 置に何回も戻してやる必要がある。これは、従来のベルトコンベア組立ラインを 使用したのでは、工業スケールで見てほぼ実施不可能である。

集積回路製造操作において、操作によっては非常に時間がかかるため一時的に完 全な状態で半導体ウェハを保管しておく際に重大な問題が生じることを特に強調 しておく必要がある。従って、先行する半導体ウェハ群がある機械により処理さ れて次の半導体ウェハ群が代わりにその機械で処理されるのを待つ間、次に処理 されるこの半導体ウェハ群を一時的に保管しておく場所を設けておかなくてはな らない。

従来の自動組立ラインを構成する装置、すなわち、第１の作業ステーションから 最終作業ステーションまで連続的に物体を運ぶベルトコンベアを使用したのでは 、この保管操作をそのままで実行することはできない。

集積回路を製造するためのウェハを処理する際に特に要求される条件を考慮して 提案されている処理システムが、大抵共通して、モータで駆動されるキャリッジ を使用して一群のウェハをある地点から別の地点に運搬しているというのは上述 のような理由による。キャリッジはレールによって機械的に、あるいは工場の床 面に印されている光学的あるいは電磁的トラックにより電子的に案内されて移動 する。トラック切換スイッチが設けであるため、キャリッジが常に閉ループをた どることなくひとつの機械から別の機械に、あるいは中間保管用マガジンに移動 することが保証される。キャリッジは自己推進式をとるようにすべてモータ駆動 されることがポイントである。各キャリッ、ジは従ってひとつの機械から別の機 械へと移動して、ある一台の機械またはマガジンの前で正確に停止し、他のキャ リッジの動きを邪魔することなく半導体ウェハの装入、取り出しを行わせること ができる。

このため、モータ駆動の各キャリッジは、高度な電子システムを備えている必要 がある。この電子システムにより（運ばれる一群のウェハの関数である）移動距 離を制御し、特に、正確な位置で停止させることが可能となる。この停止位置で 各キャリッジは機械と協働して半導体ウェハの移動を行わせることができる。シ ステムによってはキャリッジは本当に自律的なロボットとなっている。

キャリッジは多数あるので、信頼性が大きな問題となる。

つまり、ひとつのキャリッジが故障すると全プロセスに大きな混乱を引起こすこ とになる。なぜならこの故障は問題のキャリッジを停止させるだけでなく、同じ 経路を移動している他のキャリッジをも停止させるからである。

信頼性は別にして、本特許出願は上記の処理システムには半導体ウェハが電動モ ータを備えるキャリッジで運ばれるときに、その半導体ウェハの周囲の環境を十 分清浄に保っておくことが難しいことに関してさらに深刻な問題点があることを 考慮したものである。モータは（電流を集めるため）摩擦接触する部分を有する 。そのため、スパークとともに金属微粒塵が生成する。この金属微粒塵がだいた い実質的な汚染源であるが、半導体ウェハを移動中に密閉容器に入れること以外 には十分な程度にこの汚染源を除去することはほぼ不可能である。密閉容器を用 いるとしかし、半導体ウェハを処理機械内に導入するのに非常に複雑な手続が必 要となるであろう。

密閉容器を用いない場合には主としてモータによる汚染がはなはだしすぎるので 半導体ウェハを除塵空気流中に保管しても無駄である（いずれにせよ、モータの 熱でこの空気流が乱されるであろう）。

上記の考察すべてから明らかなように、製造技術は進歩しているとはいえ、集積 回路用ウェハ等の特定の物体の処理の自動化は、いろいろな種類の重大な制約が つくため非常に難しい。

上記の問題点をもっとも満足のいくように解決するため、本発明は、現在までに 提案されているのとはまったく異なる方法で構成された処理装置を提供する。

塵の濃度を制御された環境下で敏感な物体を処理するための本発明の装置は以下 の操作を実行するものである。すなわち、 −物体を処理機械間で移動させること、−物体をその処理機械に導入し、その処 理機械から取り出すこと、 −物体を２つの連続した処理操作の間、一時的に保管すること。

この装置は閉ループとなっているレール上を移動して上記処理機械の近くを通過 するモータなしの一連のキャリッジを備え、該キャリッジは上記レールに平行な 経路に沿って滑車により定速度で運動する循環牽引ベルト上に所定の間隔で取付 けられている。上記循環牽引ベルト、レールおよび滑車は、下方への流れを供給 する除塵空気源の下に設置され、上記滑車は下方空気流の下方に設置されたモー タにより駆動される。

各キャリッジの頂部には上記物体を収容したカセットを着脱可能な凹部が設けで ある。上記カセットをキャリッジから取ったり、空のキャリッジに該カセットを 載せたりする自動移送装置が上記レールの近くに設置されており、各移送装置に は、上記キャリッジの移動方向に平行な方向に並進移動可能なグリッパ−ヘッド と該グリッパ−ヘッドの運動を制御する電子システムが備えられており、該電子 システムはキャリッジの位置検出、該キャリッジの運動に応じた上記グリッパ− ヘッドの運動の制御、および上記キャリッジと上記グリッパ−ヘッドが同期運動 している間にカセットをキャリッジとグリッパ−ヘッドの間で移動させることが 可能である。キャリッジの同定手段が各キャリッジに取り付けてあり、該同定手 段は移送出装置のグリッパ−ヘッドの上流に設置された電子検出装置により検出 可能であり、該電子検出装置は上記移送装置と電気的に接続されており、本発明 の装置はさらに、移送装置によるカセットの移動を該カセットに対する処理操作 の始まりと終わりに行う働きをもつ、該移送装置と協働するデータプロセッサと 、運動しているキャリッジ内に連続した処理装置間にカセットを一時的に保管し ておく場所とを備える。

上記の処理装置は多数の機械が閉ループを形成しているガイドレールの周囲に設 置された作業装置に応用可能である。

しかし、明らかに、より複雑な工業的処理設備がそれぞれ閉ループシステムをも ち、互いに対応するループシステム間で物体を移動させる可能性をもつ作業装置 を多数備えることがありうる。このような場合、カセットをキャリッジから機械 へではなく該キャリッジから別のループシステムのキャリッジに移動させる移送 手段も備えられている。

本発明の重要な特徴は汚染の原因となる摩擦接触を取り除いたことにあるため、 水平軸の周囲にボールベアリングで取り付けた車輪にキャリッジが支持されるこ とを確実にするための手段が設けられている。上記水平軸は鉛直軸を中心として 回転することが可能である。車輪は、従って、レールの非直線部分でも常にレー ルに平行となっている。

最後に、キャリッジを流線形として該キャリッジが設置されることになる空気流 の乱れを最小にすることができる。

本発明が提案しているシステムにおいて、一様な除塵空気流源を構成する天井の 直下にレールを設置することが可能であることに注目されたい。このようにする ことは走行ベルトを用いるタイプのコンベアでは明らかに不可能であろう。なぜ なら、空気流は単にコンベアのベルトにぶつかるだけであって、その結果空気流 を大きく乱すからである。本発明のシステムにおいてはレールと互いに距離を離 して配置しである流線形のキャリッジは空気流を乱すことが少ないため、除塵空 気流中におくと効果的である。空気流は、除塵空気流を層流としたものにするこ とが可能である。

第１図は本発明の装置を上から見た概略図である。

第２図は同じ装置の正面図である。

第３図はキャリッジとグリッパ−ヘッドの斜視図である。

第４図、第５図、第６図はそれぞれ、本発明の装置に適したキャリッジの横方向 断面図、縦方向断面図、上面図である。

第７図および第８図はそれぞれ、キャリッジがコンベアベルトに取り付けられる 様子を示した側面図および正面図である。

本発明は装置の一般的な構成が重要なのであるから、機械的構造の細かい部分す べてについて記述する必要はない。機械的構造は極めて変化の幅が広く、運ばれ る物体だけでなく生産に使用している機械や生産あるいは製造プロセスが実施さ れている建物その他の要因によっても異なりつるからである。

第１図は、半導体ウェハ処理に適用可能な本発明による処理装置の一部を構成す る設備の一般的な配置を示す図である。

この図には４台の処理機械が単純に長方形のブロックでそれぞれ参照番号Ｍ１、 Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４を用いて示されている。これら処理機械には処理装置から物体 が供給される。

この処理装置には閉ループの軌跡を描く移送ラインと移送装置が含まれる。図示 の例では５台の移送装置がそれぞれ参照番号ＯＴＩ、ＯＴ２、ＯＴ３、ＯＴ４、 ＯＴ５で示されている。各移送装置は移送ラインの近くでしかも、各処理機械の 近くに配置して、移送ラインと処理機械の間の部品の移動が可能なようにしであ る。第５ｗ目の移送装置は例えば図示の移送ラインと図示してない別の移送ライ ンの間に配置して、２つの移送ライン間で移送ができるようにする。

移送ラインは、車輪付牽引式キャリッジを一列に配列したものであり、各キャリ ッジにモータは付属していない。

牽引式キャリッジからなるラインは、車輪付キャリッジ１２が上に載ることにな るガイドレール１０とこのキャリッジが間隔をあけて取り付けられている牽引ベ ルト１４、ずなわぢ輪になったベルトとを備えている。牽引ベルト１４はガイド レールと平行な経路、例えば２本の平行なレールの間を定速度で移動する。主動 滑車１６と１８は牽引ベルト１４に張力を与えるとともにこの牽引ベルトのガイ ドとなっている。主動滑車の一方はモータで駆動される。各キャリッジの先頭部 には、一群の半導体ウェハを収容するカセットを置いておく場所が設けである。

第２図は上記の処理装置の正面図の一例である。

この処理装置は「ホワイトルーム」、すなわち高度に環境を制御された部屋に設 置されることが好ましい。例えばこのような部屋は区画式天井２０となっており 、そこがら温度、湿度、組成を制御した除塵された空気流が流れ出す。空気流は 鉛直下方に向かっており、層流であることが好ましい。この部屋にはさらに区画 式床２２が設けである。空気流はこの床を通った後回収される。

ガイドレールは天井に鉤を取りつけることにより、天井近くに等間隔でつるすこ とができる。このようにすれば処理される部品は除寒空気流を受けて循環する。

滑車はガイドレールと同じ高さに支持される。この場合天井からつるしてもよい し、床面で支えてもよい。第２図では滑車は天井と床の間に設置した垂直な軸に 取り付けられている。軸は保護カウリング２４と２６の中に収められている。変 速ギヤユニットのついた駆動モータ２８も保護カウリングの一方の中に収められ ている。、駆動モータは下端部に設置することが好ましい。

図面を不必要に複雑にしないため、第２図には処理機械Ｍ１とその処理機械に対 応する移送装置ＯＴＩとだけが示しである。

移送装置の構造は主として以下のことで決まる。すなわち、移送される物体の性 質、処理機械病にその物体が取り込まれることがあるかどうか、キャリッジから 取って再びキャリッジに戻すことになる半導体ウェハを収容したカセットの形状 である。以下の記述ではしたがって移送装置の構造の細かい点は問題にせず、当 業者がこの移送装置を作製するのに必要な主要な特徴と、単なる例である簡単な 実施例のみを扱う。

移送装置は本当の意味の操作ロボット（操作ロボットは６本あるいは７本の異な った軸に沿って移動できるようになっている必要があろう）を必要としないため 比較的簡単な構造である。移送装置は３本の軸すなわち３方向に移動可能なグリ ッパ−ヘッドを備えることになる。３方向のうちの１方向はキャリッジが前進す るのと平行な方向である。もっとも簡単なのは「走行ブリッジ」タイプの構造（ 互いに垂直な３方向の並進）である。

例えば移送装置は、この移送装置の前を通過するキャリッジの経路に平行な第１ の方向に移動可能なグリッパ−ヘッドを備えることになる。このグリッパ−ヘッ ドは、キリャッジの経路に垂直な第２の水平な方向と鉛直な第３の方向にも移動 可能である。

第３図は、半導体ウェハ収容カセットとグリッパ−ヘッドを備えたキャリッジの 構造の斜視図である。カセット、グリッパ−ヘッド、キャリッジの３者は図を見 やすくするために分離して描いである。しかし実際には、カセットはキャリッジ またはグリッパ−ヘッドの上に載る。

図示の例ではキャリッジは流線形のフレーム３ｏを備えている。このため除塵空 気流が下方に流れやすくなる。フレーム３０の頂部には長方形の凹部３２が設け である。この凹部には、一群の半導体ウェハ３８を搭載したカセット３６の長方 形のベース３４がはまる。

半導体ウェハは鉛直にして、空気流が下方に流れやすくしている。これと同じ理 由で凹部３２にはさらに底に開口部が設けであることが好ましい（同様に、カセ ット３６にも底部の半導体ウェハ間のスペースに大きな開口部が設けであると仮 定している）。

カセット３６には、グリッパ−ヘッド内の凹部３２への着脱の１４に引っ張られ るキャリッジの移動をさまたげることなく実行することができる。

図示の例の着脱手段は極めて簡単なもので、カセットの両側（キャリッジの前進 方向に垂直な側壁）にそれぞれ設けた水平方向の穴４０と４２とからなる。

グリッパ−ヘッド４４は舌状部材からなる。この舌状部材は２本の水平なアーム ４６と４８を備えており、それぞれのアームには水平突起４７が設けである。そ れぞれのアームはカセットの側壁に沿って移動した後圧いに引きつけ合って突起 ４７を穴４０と４２に挿入する。グリッパ−ヘッドが上記の動作をしている間、 アーム４６と４８は水平のままである（実際、２本のアームは同一の水平面上に ある）。その結果カセットはグリッパ−ヘッドによりキャリッジに着脱されると きには特定の方向を向いたままとなる。アーム４６と４８の開閉動作は矢印４９ で示しである。

グリッパ−ヘッド４４が行うことのできる４つの独立した運動が４本の矢印５０ ．５２．５４．５５で示しである。この４つの運動とアームの開閉運動は、移送 装置の一部を構成する電子システムで制御する。それぞれの移送装置は、本設備 または全生産ラインのデータ処理ユニットへ情報を送信したり、このデータ処理 ユニットからの命令を受信したりする。

上記の４つの運動は、縦方向水平並進運動５０、横方向水平並進運動５２、鉛直 方向並進運動５４、鉛直面内の０〜９０度の回転運動５５であることが好ましい 。

グリッパ−ヘッド４４には、キャリッジ（または必要に応じて牽引ベルト）上に 設置された位置選定手段と協働するキャリッジ位置検出装置が設けである。例え ば位置選定手段は白黒の模様からなる位置マーク５６とし、キャリッジ位置検出 装置は複数の光電セルと光学的焦点合わせシステムを備えるものとする。

キャリッジからカセットを取り上げる操作は以下のようにして行う。キャリッジ 位置検出装置の検出ヘッドは最初は、この装置が位置マークを認識できるような 位置および高さにある。移送装置を制御する電子システムには、検出ヘッドを縦 方向５０（キャリッジの移動経路と平行な方向）に動かしてキャリッジと同じス ピードにさせるサーボシステムが備わっている。このため、キャリッジ位置検出 装置は位置マークの位置に常にとどまっていることができる。キャリッジと検出 ヘッドが同期して移動している間に検出ヘッドは横方向５２（キャリッジの経路 に対して垂直でがっ水平な方向）にも動く。さらに、舌状部材のアーム４６と４ ８は閉じて突起４７がカセットの側壁の穴４２に挿入される。縦方向の同期運動 は続けられたままで、さらに鉛直上方の運動（矢印５４）が加えられる。

するとカセットが持ち上げられてキャリッジから離れる。この点からは、グリッ パ−ヘッドは、カセットが運ばれる位置に関する命令のみによって運動する。鉛 直平面内の回転運動５５を用いるとカセットを置く操作が特に可能となる。

カセットをキャリッジ上に装着する操作もまったく同様にできる。すなわち、グ リッパ−ヘッドをまずキャリッジの運動と同期させて縦方向に運動させる。次い で、同期した縦方向の運動が続いている間にグリッパ−ヘッドをキャリッジの方 に横方向の運動をさせ、さらに鉛直下方に運動させる。最後に、アーム４６と４ ８を開いた後グリッパ−ヘッドにさらに別の横方向の運動を行わせて舌状部材を 引込める。上記の一連の操作が終わると同期した縦方向の運動を中断することが できる。このときグリッパ−ヘッドは待機位置に戻って、次のキャリッジ移送時 期が検出されるのを待つ。

キャリッジ（必要であればカセットも）を同定するために、同定マークとこの同 定マークを検出する機能をもつ装置（例えば、グリッパ−ヘッドの上流部で、キ ャリッジの移動経路のごく近傍に設置した固定検出ヘッド）を備える必要がある 。

同定マークはキャリッジ上のバーコード５８および／またはカセット上のバーコ ード６０とすることができる。検出装置６２は移送装置内に含めることもできる し、独立した装置であってもよい。後者の場合には検出装置を移送装置と電気的 に接続して、グリッパ−ヘッド４４の上流部で検出された特定のキャリッジに対 応するカセットであるときにのみグリッパ−ヘッドのカセット着脱運動が行われ るようにしなくてはならない。設備全体の制御を行い、移送装置に対してカセッ トの着脱操作を正確に特定のギヤリッジが通過する瞬間に行わせる命令を送り出 すマイクロプロセッサで検出装置から送られてきた同定情報が処理されるように することが可能である。移送装置を制御する電子システムが、命令を受信した瞬 間からカセットの着脱の全操作を最後まで確実に行わせる。

同定マークの検出ヘッドとしては、同定マークがバーコードの場合には従来のバ ーコード読取ヘッドを用いることができる。

わかりやすい同定コードをキャリッジとカセットに取り付けて、混乱を起こさず に人間の手で修理することもできる。

この場合キャリッジには連続番号を付けることになろう。こうすると、素早く着 脱すべきカセットの位置選定ができる。

必要な場合には着脱すべき所定の番号のカセットがどのキャリッジに対応するか を制御用のマイクロプロセッサで調べた後、この操作を行う。

第４図、第５図、第６図に示した略図はそれぞれ、本発明の装置によく適した車 輪付キャリッジの一実施例の横方向断面図、縦方向断面図、上面図である。第７ 図と第８図はキャリッジの構造の詳細な図である。

キャリッジが取り付けられる牽引ベルト１４はステンレス製のベルトであること が好ましい。ガイドレール１０の断面は長方形あるいは円形とすることができる 。円形にすると摩擦が減少する。キャリッジの車輪６４には溝が設けであるため 、キャリッジの横方向のガイドが容易である。

キャリッジの車輪は、ボールベアリングを用いて前部車軸６６と後部車軸６８に 取り付けられている。

これら車軸はそれぞれの車軸のほぼ中央にある牽引ベルト１４にしっかりと固定 されている。このようにすると、牽引ベルトが（滑車のまわり）で回転しても牽 引ベルトの（鉛直）平面に対して車軸が常に直角であるようにできる。

キャリッジは鉛直な軸をもつボールベアリング７０と７２で支持されているため 、水平面内で車軸がキャリッジに対して摩擦なしに自由に回転できるという点が 大きな特徴である。このような車軸は、ガイドレールの曲線部での摩擦力を減ら すのに大きく貢献している。

最後に、ガイドレールの曲線部でキャリッジと牽引ベルトの間の張力を防ぐため には、キャリッジの前部でのみ車軸が牽引ベルトにしっかりと固定されている必 要がある。従ってこの場合、後部車軸は、縦方向に１０分の数ミリメートルの自 由度をもたせて牽引ベルトに取り付けられる。後部車軸は牽引ベルトに素早く取 り付けることができるようにすることもできよう。この場合、滑りまたはたわみ 運動において同じ振幅の縦方向の自由度がキャリッジと後部車軸の間に許されよ う。

国際調査報告 Ａ、ＮＮＥＸＴｏＴＭＩＭゴ７三ｌｈコＡＴ工０ＮＡＬＳＥＡ、ＲＣＨＲＥＰＯ ＲＴＯムＮＤＥ−Ａ−３１２４０６３０Ｓ１０１／８３　ＮｏｎｅＵＳ−Ａ−３ ８０３５５６０９１０４／７４　Ｎｏｎｅ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）除塵環境下においておくべき敏感な物体を処理し、該物体を処理機械間を 移動させ、該物体を該機械に出し入れし、該物体を２つの連続した処理操作の間 一時的に保管するための装置であって、以下の構成、すなわち、−該装置は閉ル ープとなっているレール上を移動して上記処理機械の近くを通過するモータなし の一連のキャリッジを備え、該キヤリッジは上記レールに平行な経路に沿って滑 車により定速度で運動する循環牽引ベルト上に所定の間隔で取り付けられており 、 −上記循環牽引ベルト、レールおよび滑車は、鉛直下方への流れを供給する除塵 空気源の下に設置され、上記滑車は鉛直下方空気流の下方に設置されたモータに より駆動され、−各キヤリッジの頂部には上記物体を収容したカセットを着脱可 能な凹部が設けてあり、 −上記カセットをキヤリッジから取ったり、空のキヤリッジに該カセットを載せ たりする自動移送装置が上記レールの近くに設置されており、各移送装置には、 上記キヤリッジの移動方向に平行な方向に並進移動可能なグリッパーヘッドと該 グリッパーヘッドの運動を制御する電子システムが備えられており、該電子シス テムはキヤリッジの位置検出、該キヤリッジの運動に応じた上記グリッパーヘッ ドの運動の制御、および上記キヤリッジと上記グリッパーヘッドが同期運動して いる間にカセットをキヤリッジとグリッパーヘッドの間で移動させることが可能 であり、 −キヤリッジの同定手段が各キヤリッジに取り付けてあり、該同定手段は移送装 置のグリッパーヘッドの上流に設置された電子検出装置により検出可能であり、 該電子検出装置は上記移送装置と電気的に接続されており、本発明の装置はさら に、移送装置によるカセットの移動を該カセットに対する処理操作の始まりと終 わりに行う働きをもつ、該移送装置と協働するデータプロセッサと、運動してい るキヤリッジ内に連続した処理操作間にカセットを一時的に保管しておく場所と を備える ことを特徴とする装置。
2. （２）上記移送装置のグリツパーヘッドは３つの自由度をもち、互いに直交する ３つの方向に並進運動が可能であり、ひとつの方向は、上記移送装置のすぐ近傍 におけるキヤリッジが移動する経路に平行な方向であることを特徴とする、除塵 環境下においておくべき敏感な物体を処理するための請求の範囲第１項に記載の 装置。
3. （３）上記グリッパーヘッドはさらに別の自由度をもち、鉛直面内で回転運動が 可能であることを特徴とする請求の範囲第２項に記載の装置。
4. （４）上記キャリッジは上記牽引ベルトに取り付けられた車軸にボールベアリン グで設置された車輪を備え、キヤリッジの各車軸は鉛直な軸に取り付けられ、該 キヤリッジは、該キヤリッジに対して上記鉛直軸の軸線のまわりに上記車軸を自 由に回転させることのできるボールベアリングにより支持されることを特徴とす る、除塵環境下においておくべき敏感な物体を処理するための請求の範囲第１項 に記載の装置。