JPS62501042A - 表面音響波デバイス用変換器 - Google Patents

表面音響波デバイス用変換器

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JPS62501042A JP60504332A JP50433285A JPS62501042A JP S62501042 A JPS62501042 A JP S62501042A JP 60504332 A JP60504332 A JP 60504332A JP 50433285 A JP50433285 A JP 50433285A JP S62501042 A JPS62501042 A JP S62501042A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 4 ゛デバイス ・ 本発明は、請求の範囲第1項の前文に記載されている表面音響波(SAW)デバ イス用変換器に関する。
SAWデバイス、特にSAWフィルタは圧電性基板の表面内の機械的または音響 的な波の伝搬に基づく電気的構成要素である。
音響的表面波への電気信号の変換およびその逆の変換は一般に“交叉指”電極に より行われる。この種の変換器は最も簡単な場合には基板表面に芸着された薄い 金属ストリップの列がら成っており、これらの金属ストリップは指電極と呼ばれ 、また交叉階状にまたは交互に2っの集合母線と接続されている。集合母線に交 流電圧が印加されると、圧電効果に基づいて基板の表面変形が生じ、この変形が 機械的な波として指電極の長手方向に対して垂直な2つの互いに反対の方向に伝 搬する。別の交叉指変接器により機械的表面波から再び電気信号が得られる。こ のように構成されたSAWデバイスの伝達関数はほぼ両度換器のジオメトリ ( すなわち指電極の数、それらの長さ、幅、間隔など)により予め与えられ得る。
しばしば、できるかぎり際立った帯@通過特性が要望される。
最も簡単な変換器形式(いわゆる双方向正変換器)を有するSAWデバイスは一 方では送信変換器が表面波を2つの互いに反対の方向に出射するので、また受信 変換器が入射エネルギーの最大半分を電気的負荷に与え得るので、他方では変換 器が源または負荷に最適に整合されることを許されない(さもなければ変換器内 に有害な反射、いわゆる三重トランジットエコーが生ずるであろう)ので、かな りの損失を有する。
前記の損失は、音響波を通過範囲内で実質上1つの方向のみに出射する方向性変 換器が使用されるならば、大幅に減少し得る。
実際的意義が多相および群一方向性変換器(扉形式一方向性トランスデューサ) により得られる。多相変換器は多層に構成されており、従って一層に構成された 群一方向性変換器よりも製造費用がはるかに少なくてすむ。
群一方向性変換器では指電極は、第2図に示されているように、複数個の群Ga 、Gb、Gc・・・内に配置されている。各個のGa、cb・・・は、公知のよ うにn・λ±λ/4だけ互いにずらされている一般に同一の2つの半解Cal、 Ga2;Gbl、G b 2 ; ・・・から成っている。ここで、nは整数、 またλは同期周波数における波長である。この変換器は2つの集合母線Phlお よびPh2を有する。1つの共通の蛇行状の追加的な集合母線または接地線Mが 設けられており、その変換器内の経路により、この追加的な集合母線に隣接して 位置する半解は、第2図に示されているように、互いに分離している。それぞれ 左の半解(Ga 1.Gb 1)または右の半解(Ga2、C,b2)への所属 に応じて、これらの半解の“ホット指電極”は両集合母線のそれぞれ1つPhi またはPh2と接続されている。それに応じて一方の集合母線Phiには供給す べき信号の一方の相が与えられる。他方の集合母線に゛はこの信号の他方の相が 与えられ、その際にこれらの両相は同期周波数において互いに90“の位相差を 有する。追加的集合母線Mには第3の相または基′$電位、たとえば接地電位が 与えられる。
それに応じて変換器を2つの互いに入り込んだ部分変換器から合成されたものと 考えることができ、その際に一方の部分変換器は半解Gal、Gbl、Gcl、 ・・・を、また他方の部分変換器は半解Ga2、Gb2、Ga2、・・・を含ん でいる。
この方向性変換器の指向作用は、画部分変換器の波が前向き方向には加わり合い 、他の方向には打ち消し合うことにより成就される。前向き方向では空間的およ び時間的位相差が補償し合い、また後向きの方向では180°に加わり合う。こ のような方向性変換器は送信変換器としても受信変換器としても使用可能であり 、また両者においてほぼ無損失で作動する。
上記の公知の群一方向性変換器(第2図)は2つの欠点を有する。
1、追加的な集合母線または接地線Mのオーム抵抗が損失および周波数特性の歪 みを惹起する。
本発明の目的は、プレーナに構成可能であり、かつ公知の群一方向性変換器に典 型的な副最大を生ぜずに際立った帯域通過特忰を有する方向性変換器の形式の低 損失の変換器を提供することである。この目的は、本発明によれば、請求の範囲 第1項に記載の変換器により達成される。本発明の有利な実施態様は請求の範囲 第2頃以下に示されている。
本発明による方向性変換器は群一方向性変換器と共に使用される。本発明は、音 響波の伝搬方向内で、すなわち指電極の配置に対して垂直に一方の部分変換器が 1回または複数同地の相で駆動された他方の部分変換器により中断されるという 認識に基づいている。本発明の1つの重要なアイデアは、両相の部分変換器をで きるかぎり完全にかつ間隙なしに存在させることにある。本発明では、そのため にこれらの部分変換器またはそれらの半解が2つまたは3つの(または一層多く の)チャネル上に分配されている。
たとえば半解Gal、Gblを有する1つの部分変換器が、他相の部分変換器の それぞれ1つの半解(Ga2、Gb2、・・・)に場所を譲るため一方のチャネ ル内で中断されているそれぞれの場所で、このそれぞれ1つの部分変換器が他方 のチャネル内に継続される(およびその逆)。個々の(本発明では複数個の)チ ャネルの伝達関数は確かにさらに群一方向性変換器に典型的な副最大を阻止範囲 内に有するが、本発明による変換器のすべてのチャネルにわたる波の加え合わせ の際にこれらの副最大はほぼ完全に打ち消し合う。本発明による変換器は、送り 出された音響波がその全開口にわたり、すなわち変換器のすべてのチャネルにわ たり加え合わされるならば、完全に正しく機能する。このことはたとえばいわゆ るマルチストリップ・カップラまたは重なり重み付けされていない通常の変換器 により行われ得る。もう1つの可能性は、(たとえばデバイスの入力変換器とし ての)k個のチャネルを有する本発明による変換器に、同一の伝達関数を有する たとえば第2図による公知の変換器(または双方向性変換器)である(かつ並列 接続されている)k個の変換器を(たとえば出力変換器として)使用することで ある。
2つのチャネルを有する本発明による実施態様において既に、公知の群一方向性 変換器と比較して、非常に弱くかつ狭い副最大が生ずる。これらのiit+I  最大がただ2つのチャネルを有する変換器の使用の際に完全に抑制されるべきで あれば、3つの別の実施態様または可能性が考えられる。
a)追加的な集合母線または接地線Mを非周期的な構造(第3C図)にすること 、および(または) b)両度換器の副最大がどの周波数でも重ならないように、または比較的わずか しか重ならないように、受信変換器(たとえば第3a図による変換器および第3 b図による変換器)にくらべて送信変換器における半解を異なる大きさにするこ と。
これらの雨対策a、bは通常の群一方向性変換器においても応用される。しかし 、これらの対策は本発明による変換器において使用する場合には、阻止すべき残 留側最大がごく小さいので、非常に有効である。
第3の対策は、 C)複数個のチャネルを有する本発明による変換器をそれ自体は公知の分割指原 理に従って構成すること、すなわち単に上記の個々の指電極を分割指電極として 構成することであり、その際に(各λ/4の幅または中間空間を有する)それぞ れ1つの指電極の代わりに(λ/8の幅または街中間空間を有する)2つの同極 の(平行な)指電極が設けられている。本発明の1つの分割指構成は既にただ2 つのチャネルにおいてほぼ最適な結果を与え、また特に既に指電極の無間隙の配 置により実施され得る。
本発明による3つまたはそれ以上のチャネルでは公知の群一方向性変換器に典型 的な副最大がaおよびbによる対策なしに消滅する。なぜならば、このような数 のチャネルでは画部分変換器の指電極が完全に間隙なしに配置され得るからであ る。各相PhiおよびPh2に対して波長Aあたり少なくとも1つの“ホ・ント ”指(集合母線PhiまたはPh2の1つと接続されている)と追加的な集合母 線Mと接続されている1つの“コールド”指とが存在している。その際に3つの チャネルでは指電極の無間隙の配置にもかかわらず、指電極に平行に延びている 追加的な集合母線Mの部分が、第4図に示されているように、拡幅され得る。
副最大の抑制とならんで本発明による変換器は、追加的な集合母線または接地線 Mの有害なオーム抵抗が下記の理由から強く減ぜられ得るという利点を有する。
1、個々のチャネルの追加的な集合母線(接地線)Mが(図面に示されているよ うに)並列接続され得る。その結果として合成抵抗が減少する。さらに(インピ ーダンスおよび場所の理由から、また欠点なしに)個々のチャネルの開口(幅) をただ1つのチャネルを有する従来の設計の場合よりも小さく選定することがで き、従ってオーム抵抗が一層減少し得る。
2、従来の群一方向性変換器では、副最大の(周波数−)間隔ができるかぎり大 きくなるように、半解あたりの指電極の数が小さくなければならない。本発明に よる変換器ではこの制約が存在しない。一層大きな群が許容されるので、追加的 な集合母線または接地線Mの蛇行の頻度が少なくてすみ、従って短くてすみ、そ れに応じてオーム抵抗が一層減少し得る。
3、新しい変換器では、(少なくとも3つまたはそれ以上のチャネルでは)半解 の間に追加的な集合母線または接地線Mの(それぞれ指と平行に延びる部分の) 強い拡幅のための十分な場所が存在し、従って電気抵抗がさらに減少され得る。
上記の実施態様を次にいくつかの図面により一層詳細に説明する。図示されてい る変換器構造は、図面を見易くするため、略図的に示されており、特にX方向お よびX方向の尺度は異なっている。
第1図は2つの交叉上変換器を有する1つの表面配置の斜視図である。
第2図は1つの公知の群一方向性変換器を示す。
第3a図ないし第3C図は2つのチャネルを有する本発明による変換器の実施例 を示す。
第4図は3つのチャネルを有する本発明による変換器を示す。
第5図はそれ自体は公知の指重なり重み付けを有する実施例で本発明による変換 器を示す。
第6図は2つのく指重み付けを有する)本発明による変換器を有し、それらの間 に1つのマルチストリップ−カップラが配置されているSAWフィルタを示す。
第7図は指間隙を有する、第3b図に相応する変換器を示す。
第8図は分割指構造を有する本発明による変換器を示す。
第1図は圧電性結晶または基板sbおよび双方向送信および受信変換器を有する SAWフィルタを示す。
第2図には3つの群Ga、GbおよびGcを有する公知の群一方向性変換器の構 造が示されている。群Gaは半解GalおよびGa2から成っている。群Gbは 半解Gb’lおよびGb2から成っている(以下同様)。こうして集合母線Ph iを有する一方の部分変換器は半解Gal、GblおよびGClを含んでいる。
他相で供給され集合母線Ph2を有する部分変換器は半解Ga2、Gb2および Gc2を含んでいる。追加的な集合母線または接地線Mはハツチングを施して強 調して示されている。
第3a図は2つのチャネルに1およびに2を有する本発明による方向性変換器の 概要を示す。各6つの半解が、すなわちチャネルKl内にはGal+、Ga21 、Gbl+、Gb21.Gcl1、Gc2+が、またチャネルに2内にはGa2 2、Ga12、Gb22、Gb12、GC22、GC12が設けられてしする。
各チャネル内には、相位置1または2に応じて中央の集合母線Ph1もしくは2 つの外側の(並列に接続された)集合母線Ph2 +、Ph22の一方と接続さ れている各2つの“ホ・ノビ指電極を有するそれぞれ6つの半扉が並べられてい る。“ホ・ソト”指電極番よそのつどの相1.2に対して線間隔Wを有する1つ のラスクー上に位置していなければならない。ここでWは同期または中心周波数 における音響波の波長λである。このラスターから±W/10までの小さい偏差 が可能である。二重または分割指電極が使用される場合には、(それぞれ間−の 電位にある)それぞれ両指電極の中心がそのつどのラスター上に位置していなけ れ+iならなし)。
第3a図に示されている本発明による変換器はく集合母線Ph21またはph2 2と接続されている)相2に関して全体で12明の“ホソビ指電極を有し、また その際にただ各1つのt行電極からのただ2つの間隙(2・W)が存在する。す なわち、そこではただ1つの指電極が欠落している。ただ1つのチャ幻しを有す る方向性変換器(第2図参照)では各3つの指電極からの間隙力(存在した。両 ラスター(各部分変換器または各相1および2に対してそれぞれ1つのラスター )は四分の一波長だけ、すなわち図示されているようにW/4だけ互いにずらさ れて配置されるべきである。
第3b図は各半扉Ga11、C;a22、Ga21.Ga12、・・・、Gbl l・・・に各3つの“ホント”指電極を有する変換器を示す。
群Ga、、Gb、Gc、=−の数および半扉Ga1l、Ga22、・・・あたり の指電極の数は所望の変換器特性に応じて第3図ないし第8図に示されている例 とは著しく異ならせることができる。特に1つの変換器内の半扉あたりの指電極 の数は、たとえば本発明による変換器の2チヤネル構造において残留側最大を抑 制するため変更され得る。このような変換器が第3c図に示されている。
“ホント”指電極のシーケンスまたは指数は両チャネル内で下記のとおりである =2.3.4.4.3.2゜比較的大きな指電極数が使用される(このことは追 加的な集合母線Mのオーム抵抗を減する)ときにも良好な指、同作用を得るため 、群の大きさを変換器の端に向かって第3c図の数値例のように若干縮小するこ とは望ましい。しかし、端における半扉の指数を大きくすることにより、すなわ ち端における追加的な集合母線Mの蛇行の頻度を小さくすることにより、有効オ ーム抵抗を特に小さくすることができる。そのつどの利点を比較考量することが 推奨される。
第4図は3つのチャネルを有しており(同じく)重み付けされていない本発明に よる方向性変換器を示す。この場合、両相1および2は、すべての3つのチャネ ルKl−に3にわたり考察して、間隔λまたはWでの間隙なしの“ホット”指電 極の列を有する。
第4図に示されているように半扉あたり各3つの“ホット”指電極が選択された 場合には、半扉の間に波長λまたは寸法Wの1または1.5倍の幅を有するその つどの追加的な集合母線Mに対する場所が存在する。ただ2つのチャネルを有す る変換器(第3a図ないし第3C図)では、集合母線Mのこのような幅が予め与 えられるかぎり、追加的な間隙が生ずる。しかし、このことは個別な場合にはそ れによって変換器内に副最大の相対的な間隔を増大する倍増きれた周波数を有す る周期性が生ずるので、有利であり得る。
第5図は同じく2つのチャネルを有し重なり重み付けされた方向性変換器の一例 を示す。(それ自体は公知の)重なり重み付けは、通常の変換器の場合と同様に 、フィルタの一般的な選択能を高めるために使用される。通常のように重み付け は変換器中心に対してほぼ対称に行われる。対角線に対して両側の隅で四つのチ ャネル内の)最小の重なりが生ずる第5図に示されている重み付けは下記の利点 を有する。
1、チャネルの全開口にわたる音響エネルギーの均等な分布。
2、i!当な(予め与えられた)重み付は関数の使用の際に全変換器開口にわた り各相の部分波が同一の強さである(すなわち両相から常に同数の指電極が音響 波の発生または検出に関与する)。このことは変換器の指向作用を改善する。
第6図は2つの重なり重み付けされた本発明による変換器および1つのマルチス トリップ−カップラMSCを有するSAWフィルタを示す。マルチストリップ− カップラは複数個の平行なストリップから成り、また送信変換器W1からチャネ ルに1およびに2に入射する波を加え合わせ、かつチャネルKllおよびに12 を経て受信変換器に送る働きをする。マルチストリップ−カップラの応用により 送信および受信変換器が本発明による原理に従って構成され得る。マルチストリ ップ−カップラにおいて出力変換器に対して入力変換器をずらすこと自体は通常 行われている。しかし、第6図では、一方では図示されているようなチャネルに 1、K2の互いに入り込んだ配置により、また他方ではチャネルに11およびに 12により、本発明にとって特別なずれが設けられている。
第7図は第3b図に相応する変換器のもう1つの実施例を示す。
この場合、周期的な配置または列内の一方の部分変換器の半群内で(半解あたり )それぞれ】つの指電極が能動的指電極としては省略されており、この指電極は 好ましくは(非能動的な)盲詣として構成されている。1つの能動的な指電極の 省略が同様に図示されている半扉Ga1l内では、1つのこのような指が省略さ れている。同じ省略が画部分変換器の他方の部分変換器の半解に対しても同じく この部分変換器に対して周期的に行われている。一方の部分変換器の周期は、部 分変換器の相互ずれに相応して、他方の部分変換器の周期に対してλ/4だけず らされている。このような指省略または非能動的な盲指としてのこのような指の 構成は、変換器にもう1つのまたは他の周期性を際立たせる役割をする。
第8図は分割指構造を、簡単のために再びただ2つのチャネルに対して示す。し かしながら分割指の応用は既に2チヤネルにおいてほぼ最適な結果を与え得る。
個々の分割指−電極は符号Spを付されている。
既に2チヤネル構造において、第8図に示されているように、個々の個所にそれ ぞれその他の指電極と平行に延びている追加的簗合母線Mの部分を、この部分が 1つの分割指対の個々の指m1の形態または幅を有するように、または3つの並 び合って位置するこのような個々の指m2から成るように構成するならば、指電 壜の間隙のない分布が得られる。このよ・うな3つの並び合って位置する“指” の間に存在する雨中間空間は充満されていてもよい。
しかしこのことは変換器内の波伝1般に対して小さな不規則性を生ずるであろう 。
図面の簡単な説明 慢−L−一一一一一一一一一十 IG3b FIG 4 1)野 謹 杏 餠 失

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.2つの相(1、2)および基準電位による駆動のために、1つの基板上に、 群・方向性変換器として構成されている表面音響波フィルタ用変換器であって、 1つのチャネル(K)内に配置されておりそれぞれ複数個の集合母線(Ph1、 Ph2)の1つと接続されている第1の指電極を有する構造と、2つのこれらの 集合母線(Ph1、Ph2)の間に挿入されており別の指電極が属する追加的な 蛇行状の集合母線(M)とを有し、その際に一方では第1の指電極および他方で は追加的集合母線(M)の指電極が交叉指状に、第1の部分変換器を形成する第 1の半群(Ga1、Ga1、Gc1、…)が第1の相(1)に対して、また第2 の部分変換器を形成する第2の半群(Ga2、Ga2、Gc2、…)が第2の相
  2. (2)に対して存在するように互いに入り込んでおり、またその際に一方の部分 変換器の半群が他方の部分変換器の半群と交互に入り込むように配置され、また ±λ/4の位相ずれをもって部分変換器の間に配置されている変換器において、 −第1および第2の半群(Ga11、Gb11、…;Ga12、Gb12、…) (Ga21、Gb21、…;Ga22、Gb22、…)が2つまたはそれ以上の 平行に配置された変換器のチャネル(K1、K2、…)の上に分割されており、 一従って変換器のすべてのチャネル(K1、K2、…)に対して一括されて継続 的に変換器の長さLにわたり一方の部分変換器の第1の半群(Ga1、Gb1、 …)も他方の部分変換器の第2の半群(Ga2、Gb2、…)も延びていること を特徴とする表面音響波フィルタ用変換器。 2.両部分変換器の半群(Ga1、Gb1、…)(Ga2、Gb2、…)が規則 的に交互にサイクリックにすべての変換器チャネル(K1、K2、…)の上に分 配されていることを特徴とする請求の範囲第1項記載の変換器(第3a図ないし 第3c図;第4図)。
  3. 3.指電極が分割指電極(Sp)(第8図)として構成されていることを特徴と する請求の範囲第1項または第2項記載の変換器。
  4. 4.それぞれ一方および他方の部分変換器(Ga1、Gb1、…またはGa2、 Gb2、…)に対してそれぞれ一方の部分変換器の、それぞれ一方または他方の 相(1または2)に接続すべき集合母線(Phl;Phl1、Ph12またはP h21、Ph22)と接続されている“ホット”指電極の(波の伝搬方向に)横 方向の中心間隔(A)が少なくとも2つの指電極幅(=λ)を有し、従ってたか だかこれらの“ホット”指電極の無間隙の分布が存在することを特徴とする請求 の範囲第1項ないし第3項のいずれか1項に記載の変換器(第3a図、第8図) 。
  5. 5.一方の部分変換器(Ga1、Gb1、…またはGa2、Gb2、…)に対し て少なくとも1回、2つの“ホット”な、1つの集合母線(Ph1;Ph11、 Ph12またはPh21、Ph22)と接続されており、しかし2つの異なった チャネル(K1、K2,…)内に存在する指電極または分割指電極が1つの共通 の(仮想的な)直線の上に、変換器の波伝搬方向に対して垂直に向けられて位置 していることを特徴とする請求の範囲第1項ないし第3項のいずれか1項に記載 の変換器。
  6. 6.少なくとも部分変換器(Ga1、Gb1、…またはGa2、Gb2、…)の 1つにおいて、相(1または2)の1つに接続すべき集合母線(Ph1;Ph1 1、Ph12またはPh21、Ph22)と接続されている“ホット′′指電極 の数がこの部分変換器の半群(Ga1、Gb1、Gc1、…およびGa2、Gb 2、Gc2、…)あたり非一定であることを特徴とする請求の範囲第1項ないし 第5項のいずれか1項に記載の変換器(第3c図)。
  7. 7.これらの“ホット”指電極のそのつどの数が変換器端に向かって減少してい ることを特徴とする請求の範囲第6項記載の変換器。
  8. 8.これらの“ホット”指電極の数が変換器端に向かって増大していることを特 徴とする請求の範囲第6項記載の変換器。
  9. 9.この変換器(第5図)が、各チャネル(K1、K2)内で開口の少なくとも 80%にわたり各相(1、2)に対する能動的な指重なりの数がたかだか±25 %だけ変動するように重なり重み付けを有することを特徴とする請求の範囲第1 項ないし第8項のいずれか1項に記載の変換器。
  10. 10.少なくともほぼすべての半群(Ga1、Gb1、Gc1、…およびGa2 、Gb2、Gc2、…)内で周期的に、同一の部分変換器の半群(Ga1、Gb 1、Gc1、…またはGa2、Gb2、Gc2、…)に関してそれぞれ1つの指 電極が省略されており、または盲電極として構成されており、その際に一方の部 分変換器の周期性および他方の部分変換器の周期性がこれらの変換器のずれ(λ /4)に相応して互いに同じくこのずれ(λ/4)を互いに有することを特徴と する請求の範囲第1項ないし第9項のいずれか1項に記載の変換器。
  11. 11.請求の範囲第1項ないし第10項のいずれか1項に従って構成された2つ の変換器(W1、W2)と、それらの間に配置されたマルチストリップ・カップ ラ(MSC)とを有する表面音響波フィルタにおいて、一方の変換器(W1)の 2つの隣接するチャネル(K1、K2)の間に他方の変換器(W2)の1つのチ ャネル(K11…)が位置していることを特徴とする表面音響波フィルタ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999046856A1 (fr) * 1998-03-11 1999-09-16 Fujitsu Limited Filtre a ondes acoustiques de surface

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2168869B (en) * 1984-12-19 1988-09-14 Gen Electric Plc A surface acoustic wave ladder transducer
US4818961A (en) * 1987-04-15 1989-04-04 Hitachi, Ltd. Surface acoustic wave filter with capacitive phase shifter
DE3730107A1 (de) * 1987-09-08 1989-03-16 Siemens Ag Oszillatorschaltung mit oberflaechenwellenfilter
US4918349A (en) * 1987-11-13 1990-04-17 Hitachi, Ltd. Surface acoustic wave device having apodized transducer provided with irregular pitch electrode group
US5235234A (en) * 1989-05-26 1993-08-10 Hitachi, Ltd. Surface acoustic wave device
JP3107381B2 (ja) * 1989-05-26 2000-11-06 株式会社日立製作所 弾性表面波デバイス
DE59007583D1 (de) * 1989-11-14 1994-12-01 Siemens Ag Oberflächenwellen-reflektorfilter.
DE3937871A1 (de) * 1989-11-14 1991-05-16 Siemens Ag Oberflaechenwellen-reflektorfilter
JPH03293808A (ja) * 1990-04-11 1991-12-25 Fujitsu Ltd 弾性表面波素子の製造方法
JP3363937B2 (ja) * 1992-03-26 2003-01-08 日本碍子株式会社 弾性表面波フィルタ装置
DE4330438B4 (de) * 1992-09-09 2010-07-01 Hitachi, Ltd. Oberflächenakustikwelleneinrichtung
GB2289181B (en) * 1994-04-25 1998-08-12 Advanced Saw Prod Sa Saw filter
US5955933A (en) * 1994-11-10 1999-09-21 Fujitsu Limited Saw resonator with improved connections
DE69737555T2 (de) 1996-05-23 2007-08-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma Akustisches Oberflächenwellenfilter und mehrstufiges akustisches Oberflächenwellenfilter
US6801100B2 (en) 1996-05-23 2004-10-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Inter-digital transducer, surface acoustic wave filter and communication apparatus using the same
US6348845B2 (en) 1996-05-23 2002-02-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Surface acoustic wave filter and multistage surface acoustic wave filter
JPH10135765A (ja) * 1996-10-30 1998-05-22 Nec Corp 一方向性弾性表面波フィルタ
DE10041040A1 (de) * 2000-08-22 2002-03-07 Zeiss Carl Vorrichtung und Verfahren zur Belichtung einer strahlungsempfindlichen Schicht mittels geladener Teilchen sowie Maske hierfür
DE10113788A1 (de) 2001-03-21 2002-09-26 Zeiss Carl Beugungsoptische Komponente, Beleuchtungssystem und Belichtungssystem mit einer solchen beugungsoptischen Komponente und Belichtungsverfahren unter Verwendung eines solchen Belichtungssystems

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3800248A (en) * 1972-10-31 1974-03-26 Us Navy Unidirectional surface wave transducer device
JPS57103420A (en) * 1980-12-18 1982-06-28 Toko Inc Grouped unidirectional surface acoustic wave transducer
EP0104314A3 (de) * 1982-09-07 1985-09-11 Siemens-Albis Aktiengesellschaft SAW-Filter

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999046856A1 (fr) * 1998-03-11 1999-09-16 Fujitsu Limited Filtre a ondes acoustiques de surface
US6577210B1 (en) 1998-03-11 2003-06-10 Fujitsu Limited Surface acoustic wave filter having plural propagation paths and a coupler

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Publication number Publication date
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EP0176786B1 (de) 1989-12-27
WO1986001655A1 (en) 1986-03-13

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