JPS60112307A - 表面音響波デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ′一本発明は、表面に沿って表面音響波を伝搬する圧電
基板と、該基板表面に取付けられ表面音響波エネルギー
を第１トラツクに沿って送波すると共に該第１トラツク
と略々平行で重なり合わない別のトラックに沿って伝搬
してくる表面音響波エネルギーを電気信号に変換するト
ランスジューサ装置と、該トランスジューサ装置により
前記第１トラツクに沿って送波された表面音響波エネル
ギーを受波し、受波した表面音響波エネルーギーの少く
とも一部を前記別のトラックに沿って当該トランスジュ
ーサ装置に向は再送波するマルチス）　ＩＪツブ反射カ
プラ装置とを具え、前記トランスジューサ装置は互に隣
接して配置された広開口の送波トランスジューサ及び受
波トランスジューサを具え、各トランスジューサは対応
する隣接辺（内側辺）及び反対側辺（外側辺）に沿って
延在する内側バスバー及び外側ハスパーを構成する一対
の導電ストリップの各々に接続された平行ス）　ＩＪツ
ブ電極を具えるインクディジタル電極パターンとして形
成して成る表面音響波デバイスに関するものである。

斯る表面音響波デバイスの一般的な構成は例えばＢＰ−
Ａ−００９８６６１号に開示されており、このデバイス
は例えば増幅器や受信機におけるバンドパスフィルタと
して使用することができる。トラックチェンジ処理は、
表面音響波フィルターにおいて、送波トランスジューサ
から受波トランスジューサへのエネルギーの転送が種々
のバルク音響波モード（通常使用されているインタディ
ジクルトランスジューサによっても送波及び受波され、
所望の表面音響波の伝搬速度と異なる伝搬速度を有する
）により行なわれるの低減するために一般に使用されて
いる。従来斯るデバイスは例えば英国特許第１３７２２
３５　号明細書に開示されている順方向転送マルチスト
リップカプラの構成を一般に使用している。この構成の
カプラは、適切に設計及び配置すると、表面音響波エネ
ルギーを別のトラックに、第１トラツクに沿って送波さ
れた入射波と同一の方向に比較的効率良く、即ち所望の
低転送損失で転送することができる。しかし、慣例のイ
ンタディジタルトランスジューサは表面音響波エネルギ
ーを両端から互に反対方向に等しく送波するのに対し、
順方向マルチストリップカプラは送波（人力）トランス
ジューサの一端を受波（出力）トランスジューサの一端
に結合して得るのみである。

この結果、送波トランスジユーザの他端から送波される
音響波エネルギーは吸収又は散乱させる必要があり、損
失になるため、斯るデバイスの挿入損はかなり大きい。

斯る損失は、デバイスが動作する信号レベルが高レベル
増幅器の場合のように回路雑音と比較して高い場合には
許容できる。しかし、デバイスを例えば放送受信機の初
段に使用するときは挿入損をできるだけ低減して満足な
信号対雑音比を与えることが重要である。例えば区画無
線システムに使用されるポークアルトランスシーバ用の
送受切換器のフィルタにおいても損失を低減して所定の
実効放射電力に必要とされる送信機のサイズ及び消費電
力を低減することが重要である。

上述のεＰ−Ａ−００９８６６１号に開示されているコ
ンバクで効率の良い反射マルチストリップカプラは送波
トランスジューサの各端を関連する受波トランスジユー
ザの対応する端に結合する好適な手段を提供し、これを
用いて送波トランスジューサの両端から送波された表面
音響波エネルギーを受波トランスジューサに転送して、
得られるデバイスの総合挿入損を大きく低減することが
できる。しかし、この場合には送波及び受波トランスジ
ューサを並べて配置する必要があるため、各カプラによ
る挿入損が順方向結合装置により達成し得る値より後述
の理由のために大きくなることが確かめられている。

上述の欧州特許出願に開示されている種類の反射マルチ
ス）ＩＪツブカブラを用いるデバイスを示す第１図にお
いて、均一な広間目送波トランスジューサ２を使用する
と、これにより送波される表面音響波エネルギーは互に
反対信号極性の２個の隣接するインタディジタル電極の
最大交叉幅により決まるトランスジューサの音響開口、
即ち破線３９及び３″″間に制限される。同様に、均一
な広開口受波トランスジューサ４を使用するとトランス
ジユーザの音響開口、即ち破線５１及び５＊＊間に入射
する表面音響波エネルギーのみが電気信号に変換される
。しかし、反射マルチストリップカプラ６の受波及び再
送波アレー７．８の実効人カ及び出力音響開口をこれら
送波及び受波トランスジューサの開口にマツチさせるこ
とは困難である。

受波アレー７の開口が小さすぎる場合には、人力エネル
ギーはアレーの側部を通過して失なわれ、開口が広ずぎ
る場合にはカプラに誘起される電位が最適な場合より低
くなると共に一部のエネルギーがアレー７の人力ドラッ
ク３＊、３”とオーバラップしない部分により再送波さ
れてしまう。同様に、出力アレ−８の実効音響開口が受
波トランスジューサ４の音響開口と一致しない場合にも
表面音響波エネルギーの損失が生ずる。エネルギーの損
失は反射マルチストリップカプラの中心部における相互
接続導体部分１１によっても生じ、これはアレー７及び
８の実効開口は相互接続領域内へ拡がろうとする傾向が
あるため、及び相互接続導体自体が抵抗損を生ずると共
に中心領域１２において表面波とバルク波を送波して損
失を生ずるためである。この後者の損失は送波及び受波
トランスジユーザ２及び４の音響開口間の間隔を減少さ
せることにより低減し得るが、これは結局は送波及び受
波トランスジューサ２及び４の隣接（内側）バスバーの
幅を減少させることが必要となり、このバスバーをある
幅量下にすると、これらインクディジタルアレーに沿う
信号電流損失が増大することになる。しかも、内側バス
バーの長手方向抵抗損失が目立ち始める前でも各内側バ
スバーの幅は著しく小さくなるため装置の製造中これに
信頼できるワイヤボンド接続を設けることが困難になり
、従って、トランスジューサの両端に反射カプラを配置
するいわゆる低損失表面音響波デバイスの場合には各ト
ランスジューサに非伝達端がないため、各トランスジュ
ーサを越えたところで各内側バスバーに拡大接続領域を
設けてデバイスの所望の表面音響波伝搬通路を乱さない
ようにする、即ちデバイスの信号伝達特性に不所望な影
響を与えないようにすることができないという問題を生
ずる。

本発明の目的はこれらの問題のいくつか又は全てを解消
することにある。

本発明は表面に沿って表面音響波を伝搬する圧電基板と
、該基板表面に取付けられ表面音響波エネルギーを第１
トラツクに沿って送波すると共に該第１トラツクと略々
平行で重なり合わない別のトラックに沿って伝搬してく
る表面音響波エネルギーを電気信号に変換するトランス
ジューサ装置と、該トランスジユーザ装置により前記第
１トラツクに沿って送波された表面音響波エネルギーを
受波し、受波した表面音響波エネルギーの少くとも一部
を前記別のトラックに沿って当該トランスジューサ装置
に向は再送波するマルチストリップ反射カプラ装置とを
具え、前記トランスジューサ装置は隣接して配置された
広開口の送波トランスジューサ及び受波トランスジユー
サを具え、各トランスジューサは対応する隣接辺（内側
辺）及び反対側辺く外側辺）に沿って延在する内側ノλ
スパー及び外側バスバーを構成する一対の導電ストリッ
プの各々に接続され、且つトランスジューサの音響開口
の全幅に亘って延在するス）　ＩＪツブ電極を具える間
引き重み付け（ｗｉｔｈｄｒａｗａｌ　ｗｅｉｇｈｔｅ
ｄ　）インクディジクル電極アレーとして形成して成る
表面音響波デバイスにおいて、前記送波及び受波トラン
スジューサの対応する音響開口間の間隔を低減するため
に、送波及び受波トランスジューサの隣接内側バスバー
の幅を該バスバーに沿って流れる信号電流に対する抵抗
損が外側バスバーに沿って流れる信号電流に対する抵抗
損よりも著しく大きくなる程度まで減少させてあり、且
つ対応するトランスジニーサ電極アレーの外縁に沿って
間隔を置いて複数個の導電接続領域を設けてあり、各接
続領域は内側バスバーにも電気的に接続されている該ア
レーの一部のストリップ電極に電気的に接続しであると
共に、所定のトランスジューサに関連するこれらの導電
接続領域は前記内側バスバーのだめの端子接゛続邪に一
緒に電気的に接続しであることを特徴とする。

本発明の実施に当っては、別のバスバーを通常信号電位
が与えられない各外側バスバーの外側に設け、前記各導
電接続領域をこの別のバスバーにワイヤボンド接続によ
り、或は前記外側バスバー上に絶縁層を介してこのバー
を横切るよう設けられた導電層により接続することがで
きる。通常、この別のバスバー及びこれに接続された内
側バスバーは信号周波数に対し接地電位に接続する。

本発明は、更に、表面に沿って音響波を伝搬し得る圧電
基板と、該基板表面にて伝搬トラックに沿って音響波エ
ネルギーを送波するよう配置された入力変換手段と、前
記基板表面にて前記第１トラツクに略々平行で互に重な
り合わない別の伝搬トラックからの音響波エネルギーを
受波するよう配置された出力変換手段と、前記人力変換
手段の各端からの音響波エネルギーを受波し該エネルギ
ーの少くとも一部を音響波エネルギーとして前記出力変
換手段の対応する端に向は共働変換関係で再送波する電
気反射マルチストリップ結合手段とを具え、前記人力及
び出力変換手段は互に隣接しご位置する対応する広開口
のトランスジューサで構成し、各トランスジューサは対
応する隣接辺（内側辺）及び反対側辺（外側辺）に沿っ
て延在する内側ハスバー及び外側ハスバーをそれぞれ構
成する一対の導電ス）　ＩＪＪツブ各々に接続された平
行ストリップ電極を具えるインタディジタル電極アレー
として形成され、且つ前記反射結合手段は各別の反射マ
ルチストリップカブラから成り、各カプラは人力及び出
力伝搬トラックをそれぞれ横切るよう配列された第１及
び第２の平行導電ストリップアレーを具え、各アレーは
互に絶縁された交互に大間隔及び小間隔のストリップの
第１セツトと電気的に相互接続されたス）　ＩＪＪツブ
第２のセット七から成り、第２セツトからの少くとも１
個のス）　ＩＪＪツブ第１セツトの大間隔のストリップ
対毎にその間に位置するよう配置され、一方のアレーの
第１セツトの大間隔対を構成する各ストリップが他方の
アレーの第１セツトの小間隔対を構成する対応するスト
リップにそれぞれ接続され、両アレーの第２セツトのス
）　ＩＪＪツブ相互接続されている低損失表面音響波バ
ンドパスフィルタにおいて前記の各トランスジューサの
少くとも一端に該トランスジューサの音響開口の全幅を
横切って延在する導電ストリップ状表面層を設けてあり
、該導電ス）　ＩＪツブ状裏表面層内側端が前記内側バ
スバーと電気的に連続させであると共に外側端がトラン
スジューサのストリップ電極アレーの外側境界線の外側
に位置する関連する導電接続領域と電気的に連続させて
あり、該関連する導電接続領域は前記内側バスバーのた
めの端・子接続部に電気的に接続しであることを特徴と
する。関連するトランスジューサの音響開口の全幅を横
切って延在する前記導電ス）　ＩＪツブ状裏表面層各々
は隣接トランスジューサの電極と同一のマーク対スペー
ス比を有する複数個の平行導電ス）ＩＪＪツブ形成する
ことができ、各ストリップは隣接トランスジユーザアレ
ーを構成するストリップ電極と同一の幅を有するものと
することができる。

本発明は、上述の特定の種類の音響波デバイスにおいて
送波及び受波トランスジューサのｌｌＪ接内側内側ハス
バー幅減して各トランスジユーザの音響開口を互に近接
させで反射マルチス）　ＩＪＪツブプラにおける損失を
低減或は最低にするとき、内側バスバーの金属化パター
ンが狭くなりすぎて装置の製造中にこのバスバーに外部
ワイヤボンド接続をすることができなくなるが、この問
題は内側バスバーを導電層又は一群のストリップ電極に
より音響波伝搬通路を横切って伝搬路の外縁を越えたと
ころに位置する大導電領域に電気接続することにより克
服することができること及び間引き重み付はインタディ
ジクルトランスジューサの場合には各内側バスバーの幅
をバスバーの信号電流に対する抵抗値が著しく大きくな
るまで減少させる場合、発生する抵抗損を重み付はバタ
ヘーンのヌル点に位置するダミー電極群を用いて幅狭バ
スバーを複数点においてトランスジューサの外縁の近傍
に位置する１個以上の導電接続領域に接続し、これら導
電接続領域を低抵抗の導体で電気的に相互接続すること
により有効に低減し得ることを確かめ、斯る認識に基づ
いて為したものである。

以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。

第２図は本発明の一例の表面音響波フィルタデバイスを
示し、本例デバイスは圧電基板１を具えその表面上に間
引き重み付け（ｗｉｔｈｄｒａｗａｌ　ｗｅｉｇｈ−ｔ
ｅｄ）インタディジタル送波トランスジューサ２０と、
同様の受波トランスジューサ４０と、ＢＰ−Ａ〜００９
８６６１号に開示されている種類の２個の反射マルチス
トリップカプラ６及び６９　を具えている。トランスジ
ユーザ２０及び４０は広開ロトランスジューサであり、
広間ロトランスジューザとは各アレーの幅が約６２以上
のものを意味し、本例では約３０λ〜１００　２又はそ
れ以上のものとすることができる。

インクディジタルアレーを構成するストリップ電あるの
で、これらアレーの種々の部分は概略領域で示しである
。

第２図のデバイスは所望の通過帯域における挿入損をで
きるたけ低くしたフィルタを構成しようとするものであ
る。この理由のために、反射マルチストリップカプラ６
．６“をトランスジューサの両端に配置してインクディ
ジクルトランスジューサ２０．４０　の双方向特性を完
全に利用し得るようにする。反射マルチストリップカプ
ラはλ７３間隔の電極で形成するのが好適である。その
理由は、この°場合には満足な低損失、第３高調波の抑
圧及び良好な通過帯域特性が得られることが実験により
確かめられているためである。トランスジューサ２０、
４０は均等長さのインクディジクル電極を有し、間引き
重み付は法により重み付けするものとして所望の周波数
応答特性を追加の損失を生ずることなく達成するのに必
要な所要の設計フレキンビリティを与えるようにする（
周波数応答設計のためにアポダイズ法を使用する場合に
は追加の損失が発生し得る）。

インクディジクルアレー２０又は４０は２個の信号バス
パー２１及び２２又は４０及び４２の一方又は他方に交
互に接続された２重電極の平行配置で構成されて送波又
は受波素子を形成する。最大変換作用が例えばそれぞれ
のアレーの中心領域３Ｌ　５１（一般に一メインローブ
と称されている）において必要とされる場合にはこの領
域の順次の二重電極を互に反対極性のバスパーに接続す
る。小さい変換作用が必要とされる場合には、反対極性
に接続された二重電極の隣接対を好適にはダミー（二重
）電極、即ち同一のバスバーに接続された電極により離
間させてアレーに沿う伝搬速度が均等に維持されるよう
にする。この活性電極対の間引きはメインローブ３１．
５１の両端で使用できると共に２個のトランスジューサ
の第１及び第２マイナーＣ−ブ３２゜３２”　；　５２
．５２”　及び３３．３３“；　５３．５３”　におい
て異なる程度に行うことができる。一般に第１マイナー
ローブ３２．３２”　及び５２．５２″′　はメインロ
ーブ３１５１及び第２マイナーローブ３３．３３“及び
５３゜５３９　の変換極性と逆の変換極性を有する。種
々のローブは変換作用を持たない領域（一般にヌル領域
と称されている）にり分離される。

反射マルチストリップカプラ６．６１　のデッド中心ス
ペース１２の幅による損失を低減するため及びしたがっ
てデバイスの挿入損をできるだけ低減するために、送波
及び受波トランスジューサ２０．４（）の開口ど、３°
及び５９．５ｈ″を、本発明では各別のトランスジュー
サ２０及び４０の内側バスパー２１及び４１の幅をハス
パー２１及び４１に沿って流れる信号電流に対する抵抗
損失が慣例の幅の対応する外側バスパー２２．４２に沿
って流れる対応する電流にたいする抵抗損失より著しく
大きくなるような寸法に低減することにｊり互に近接さ
せると共に、対応するトランスジューサ電極アレー２０
．４０の外縁に沿って複数個の導電接続領域２４を間隔
をおいて設け、各導電接続領域を対応する内側バスパー
２１゜４１にも電気的に接続されている前記アレーのス
トリップ電極群２５に電気的に接続し、更に所定のトラ
ンスジューサ２０．４０に関連する全ての導電領域２４
を内側ハスパー２１．４１のだめの対応する端子接続導
体３８．５８に一緒に電気的に接続する。

第２図に示す実施例においては、慣例の幅の別のバスパ
ー２３．４３を対応する外側バスパー２２．４２の外側
に設け、その一部をもって端子接続導体３８゜５８を構
成すると共にワイヤ接続２８により導電接続領域２４に
接続する。内側バスパー２１．４１に接続されたストリ
ップ電極の終端群２５４　は金属化ストリップ３６．５
６により対応する別のバスパー２３．４３に接続するこ
とができること明らかである。アレーの他端の対応する
群２５に＊はワイヤ接続２８により接続するよう示しで
あるが、これも他方のハスパーの端子接続導体３７．５
７を迂回する金属化ス）　ＩＪツブにより別のハスバー
２３．４３及び対応する端子接続導体３８．５８に接続
することもできる。

第３ａ図はインクディジクルアレー２０の中間接続領域
の近傍におけるストリップ電極の配置を示す詳細図であ
る。アレーの変換領域（ローブ）を構成する二重電極１
４はバスバー２１，２２の一方又は他方に接続されて反
対接続対又は反対接続対の群を構成し、一般に必要に応
じ一部上のダミー電極を介挿して間引き重み付けを行う
。ヌル変換領域においては内側バスバー２１に接続され
ているダミー（二重）電極１４３の群２５を外側バスバ
ー２２から分離され電気的に絶縁されている導電接続領
域２４にも接続し、領域２４を第２図に示すように別の
ハスパー２３にワイヤ接続する。

第３ｂ図は反射マルチストリップカプラ６の構成を示す
詳細図である。このカプラは前記欧州特許°出願に開示
されているため、その受波及び再送波ストリップアレー
をその中心接続領域１２の幅が送波及び受波トランスジ
ユーザ２０．４０の開口３．３”および５”、５””（
、ごマツチするよう注意深く設計すること以外の詳細に
ついては説明を省略する。

第２及び第３図に示すデバイスの変形例を第４ａ及び４
ｂ図に詳細に示す。このように各接続領域２４を別のハ
スパー２３にワイヤ接続する代わりに、この接続は外側
バスバー２２の一部上に絶縁層部４Ｇを堆積し、次いで
その上に接続ブリッジを設けて領域２４を別のバスバー
２３に接続することにより達成することもできる。本例
は通常の製造工程に加えて追加の工程例えば写真食刻工
程が必要になり、どちらの接続方法を使用すべきかは相
対的な製造コストが問題になる。

第５図は本発明を具現したいわゆる低損失デバイスを示
し、本例では内側バスバー２１．４１の幅を、反射カプ
ラ６．６９の結合領域のながさによる損失を低減するた
めに、流れる信号電流を著しい抵抗損失を生ずることな
くこれらバスバーに沿って流すに十分であるが通常の製
造中に内側ハスバーへのワイヤ接続を信頼度高く再現可
能に行うことができない程度に低減しである。斯かるデ
バイスでは各別の反射マルチス）　ＩＪツブカプラ６．
６ｈはトランスジューサ６２．６４の各端に隣接して配
置して人カドランスジユーザ６２の関連する各端からの
音響波エネルギーを受波し、そのエネルギーの少なくと
も一部を音響波エネルギーとして出カドランスジューサ
６４の対応する端に向は協働変換関係に再送波して、反
対方向に伝搬する変換された信号を連光に合成してトラ
ンスジューサの両信号が電気信号出力において通過帯域
内で互に増強し合うようにする。ダフルエンデッド構成
の結果として各トランスジューサには非伝達端が存在せ
ず、従って内側バスバーをトランスジューサを越えたと
ころで拡げて表面波伝搬通路の後方に接続用の拡大突部
を形成することができない。

これがため、第５図のデバイスにおいて、本発明では各
トランスジューサ６２．６４に対し、トランスジューサ
６２．６４の少なくとも一端及び好適にみ第５図に示す
ように両端において音響開口３，３〜及び５９　及び５
°の全幅を漢切って延在するす（なくとも−個の導電ス
トリップ状表面層６５を設ける。各ス）　ＩＪツブ状導
電層６５はその内側端部が各トランスジューサ６２．’
　６４の対応す内側バスパー２１゜４１　と電気的に連
続するよう配置すると共にその外側端がトランスジュー
サ６２．６４のストリップ電極アレーの外側境界線の外
側、即ち対応するトランスジューサの音響開口の外側境
界線３＊２５＊＊の外側に位置する関連する導電領域７
３．８３と電気的に連続するよう配置する。各導電接続
領域７３゜８３は対応するワイヤボンド接続７４．８４
により関連する内側ハスバーのための端子接続部（図示
せず）に電気的に接続する。この接続は入力及び出カド
ランスジューサ６２．６４の近接配置による電気的ブレ
ークスルーを低減するために接地接続とするのが好適で
ある。

基板１の表面音響波伝搬表面上のス）　ＩＪツブ状導電
層６５は均一な導電材料層として形成し得るが、この層
の表面密度を他の導体パターンの表面密度の約半分以下
にしないと、表面音響波伝搬通路に沿う音響インピーダ
ンスのミスーツチングが生じ、音響エネルギーの不所望
な反射を生ずる。これがため、ストリップ６５は隣室ト
ランスジューサアレーの電極と同一の幅及び間隔を有す
る複数個の並列接続導電ス）　ｌ）ツブをもって構成す
るのが好適である。これを第６図に示す。第６図はイン
クディジクルトランスジユーザアレー６２の一端におけ
るストリップ電極１４とストリップ状導電層６５の一部
を構成する並列接続導電ストリップ１４′を示し、図か
ら明らかなようにストリップ１４４はトランスジューサ
ス）　ＩＪツブ１４と同一の幅および間隔、即ちλ／８
に配置され、これにより表面音響波デバイスに沿うスト
リップの平均表面密度は一定に維持され、不所望な反射
は生じなくなる。

第６図に示すように、全てのストリップ１４５の下端を
内側ハスパー２１と電気的に連続させると共に、上端を
ワイヤボンド接続７４により信号接地用端子接続部に接
続された関連する導電接続領域７３と電気的に連続させ
る。

接地ストリップ１４“に隣接する次の１対のトランスジ
ューサ電極１４はトランスジューサ６２の信号端子に接
続されたバスパー２２に接続する。この場合この１対の
電極は接地ス）　ＩＪツブ１４９゛と相俟て当該トラン
スジューサの１つの変換素子を構成し、この素子はトラ
ンスジューサアレーの設計において考慮し、これに含め
る必要がある。図示の特定の例では間引き重み付けした
トランスジューサ６２は比較的小さな変換作用を有する
端末変換素子を有し、その電極対１４は次いで接地バス
パー２１に接続された多数対の電極１４を介して第５図
の右側部分に連なるよう構成しである。アレーの端部に
大きな変換作用を有する素子群を与える必要がある場合
にはこの区域において対応する個数の電極対をバスパー
２１．２２の一方又は他方に交互に接続すればよい。

ストリップ状導電領域６５の幅、即ちストリップ１４′
の集合の幅は内側ハスパー２１へ流入及び流出する信号
の通路に大きな抵抗損を生じないようにする必要がある
と共に、領域６５を構成す個々のストリップのマーク対
スペース比が本例では１であることを考慮すると、その
全幅は好適には内側バスパー２１の幅の２倍以下にすべ
きでない。

本発明ブチバイスは通過帯域内における信号エネルギー
の損失を最低にする必要のある受信機の初段用のフィル
タとして有利であり、特に区画無線システムのポータブ
ルトランスシーパ用の送受切換器のフィルタとして有利
であり、これは本発明デバイスによればアンテナから所
定の実放射電力を得るのに必要な送信電力を最低Ｃごで
き、従って電源の重量を最低にすることができるためで
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は欧州特許出願第００９８６６１　号に開示され
ている表面音響波デバイスを示す図、 第２図は本発明表面音響波デバイスの一実施例を示す概
略図、 第３ａ及び３ｂ図は第２図に示すデバイスに使用される
トランスジューサの一部と反射マルチストリップカプラ
の構造を示す詳細図、 第４ａ及び４ｈ図は本発明デバイスの変形例のトランス
ジューサの一部の構造を示す詳細図、第５図は本発明表
面音響波デバイスの他の例を示す概略図、 第６図は第５図のデバイスの一部の詳細図である。 ■・・・圧電基板　２０・・・送波トランスジューサ４
０・・・受渡トランスジューサ ３”　、３”；　５”　、５°・・・音響開口６．６１
・・・反射マルチストリップカプラ２１、４Ｌ＝、内側
バスパー　２２．４２・・・外側ハスパー２４・・・導
電接続領域　２５・・・ダミー電極群２８・・ワイヤボ
ンド接続　２３．４３・・・別のハスパー３７、３８．
５７．５８・・・端子接続導体４６・・・絶縁層　４７
・・・接続ブリッジ６２、６４・・トランスジューサ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　表面に沿って表面音響波を伝搬する圧電基板と、
   該基板表面に取付けられ表面音響波エネルギーを第１ト
   ラツクに沿って送波すると共に該トラックと略々平行で
   重なり合わない別のトラックに沿って伝搬してくる表面
   音響波エネルギーを電気信号に変換するトランスジュー
   サ装置と、該トランスジューサ装置により前記第１トラ
   ツクに沿って送波された表面音響波エネルギーを受波し
   、受波した表面音響波エネルギーの少くとも一部を、前
   記側のトラックに沿って当該トランスジューサ装置に向
   は再送波するマルチス）　ＩＪツブ反射カプラ装置とを
   具え、前記トランスジューサ装置は互に隣接して配置さ
   れた広開口の送波トランスジューサ及び受波トランスジ
   ューサを具え、各トランスジューサは対応する隣接辺（
   内側辺）及び反対側辺（外側辺）に沿って延在する内側
   バスバー及び外側バスバーを構成する一対の導電ストリ
   ップの各々に接続され、且つトランスジューサの音響開
   口の全幅に亘って延在するストリップ電極を具える間引
   き重み付け（ｗｉｔｈｄｒａｗａｌ　ｗｅｉｇｈｔｅｄ
   　）インタディジタル電極アレーとして形成して成る表
   面音響波デバイスにおいて、前記送波及び受波トランス
   ジューサの対応する音響開口間の間隔を低減するために
   、送波及び受波トランスジューサの隣接内側バスバーの
   幅を該バスバーに沿って流れる信号電流に対する抵抗損
   が外側バスバーに沿って流れる信号電流に対する抵抗損
   よりも著しく大きくなる程度まで減少させてあり、且つ
   対応するトランスジューサ電極アレー〇外縁に沿って間
   隔を置いて複数個の導電接続領域を設けてあり、各接続
   領域は内側バスバーにも電気的に接続されている該アレ
   ーの一部のストリップ電極に電気的に接続しであると共
   に、所定のトランスジューサに関連するこれらの導電接
   続領域は前記内側バスバーのための端子接続部に一緒に
   電気的に接続しであることを特徴とする表面音響波デバ
   イス。 ２、特許請求の範囲１記載のデバイスにおいて、前記外
   側バスバーの外側に別のバスバーを具え、前記各導電接
   続領域を前記別のバスバーにワイヤボンド接続により接
   続しであることを特徴とする表面嵜響波デバイス。 ３、　特許請求の範囲１記載のデバイスにおいて、前記
   外側ハスバーの外側に別のバスバーを具え、前記各導電
   接続領域を前記外側バスバー上に絶縁層を介して該バー
   を横切るよう設けた導電層により前記別のバスバーに接
   続しであることを特徴とする表面音響波デバイス。 ４、　表面に沿って音響波を伝搬し碍る圧電基板と、該
   基板表面にて伝搬トラックに沿って音響波エネルギーを
   送波するよう配置された入力変換手段と、前記基板表面
   にて前記第１トラツクに略々平行で互に重なり合わない
   別の伝搬トラックからの音響波エネルギーを受波するよ
   う配置された出力変換手段と、前記入力変換手段の各端
   からの音響波エネルギーを受波し該エネルギーの少くと
   も一部を音響波エネルギーとして前記出力変換手段の対
   応する端に向は共働変換関係で再送波する電気反射マル
   チストリップ結合手段とを具え、前記入力及び出力変換
   手段は互に隣接して位置する対応する広開口のトランス
   ジューサで構成し、各トランスジューサは対応する隣接
   辺（内側辺）及び反対側辺（外側辺）に沿って延在する
   内側バスバー及び外側バスバーをそれぞれ構成する一対
   の導電ストリップの各々に接続された平行ス）　ＩＪツ
   ブ電極を具えるインタディジタル電極アレーとして形成
   され、且つ前記反射結合手段は各別の反射マルチストリ
   ップカプラから成り、各カプラは人力及び出力伝搬トラ
   ックをそれぞれ横切るよう配列された第１及び第２の平
   行導電ストリップアレーを具え、各アレーは互に絶縁さ
   れた交互に大間隔及び小間隔のストリップの第１セツト
   と電気的に相互接続されたストリップの第２のセットと
   から成り、第２セツトからの少くとも１個のストリップ
   が第１セツトの大間隔のストリップ対毎にその間に位置
   するよう配置され、一方のアレーの第１セツトの大間隔
   対を構成する各ス）　ＩＪツブが他方のアレーの第１セ
   ツトの小間隔対を構成する対応するス）　ＩＪツブにそ
   れぞれ接続され、両アレーの第２セツトのストリップが
   相互接続されている低損失表面音響波デバイスに　おい
   て、前記の各トランスジューサの少くとも一端に該トラ
   ンスジューサの音響開口の全幅を横切って延在する導電
   ストリップ状表面層を設けてあり、該導電ス）　Ｕツブ
   状表面層は内側端が前記内側バスバーと電気的に連続さ
   せであると共に外側端がトランスジューサのストリップ
   電極アレーの外側境界線の外側に位置する関連する導電
   接続領域と電気的に連続させてあり、該関連する導電接
   続領域は前記内側バスバーのための端子接続部に電気的
   に接続しであることを特徴とする低損失表面音響波デバ
   イス。 ５、　特許請求の範囲４記載のデバイスにおいて、関連
   するトランスジューサの開口を横切って延在する前記各
   別の導電ストリップ状表面層は隣接トランスジューサの
   電極と同一のマーク対スペース比を有する複数個の平行
   導電ストリップで構成しであることを特徴とする表面音
   響波デバイス。 ６、　特許請求の範囲５記載のデバイスにおいて、前記
   導電ストリップ状表面層を構成する導電ストリップは隣
   接トランスジューサアレーを構成するス）　ＩＪツブと
   同一の幅であることを特徴とする表面音響波デバイス。