JPS6245205A - 音響波デバイス用の分散形交さ指変換器 - Google Patents

音響波デバイス用の分散形交さ指変換器

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JPS6245205A
JPS6245205A JP61193880A JP19388086A JPS6245205A JP S6245205 A JPS6245205 A JP S6245205A JP 61193880 A JP61193880 A JP 61193880A JP 19388086 A JP19388086 A JP 19388086A JP S6245205 A JPS6245205 A JP S6245205A
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finger
transducer
width
adjacent
electrodes
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JP61193880A
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ハンスペーター、グラースル
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Siemens AG
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    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14555Chirped transducers
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    • H03H9/14517Means for weighting

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  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、音響波デバイス用の分散形交さ指変換器に関
する。
〔従来の技術〕
たとえば音響波コンボルバ−の分野でたとえば米国電気
電子学会会報(Pro、 IEEE)超音波シンポジュ
ーム(1974年)第224〜227頁および同(19
81年)第181〜185頁から、基板の少なくとも表
面付近の範囲を伝播する音響波により作動する電気フィ
ルター共振器装置などは公知である。このような音響波
はレイリー波、ブロイシュタイン波、ラブ波、5SBW
波、5ABB波などとして知られており、これらの音響
波を(しばしば最初の2つの種類の波のみを狭義の表面
波と呼ぶけれども)以下では一般に一括して表面波と呼
ぶ。
このような音響波デバイスは少なくとも入力変換器およ
び(または)出力変換器として使用される交さ指変換器
の範囲内に圧電特性を有する。使用すべき交さ指変換器
は基板表面上に平行に並び合って配置された指電極を有
する。これらの指電極は一般に、これらの指電極および
各1つのブスバーにより形成されている2つの櫛構造の
上に分布している。これらの櫛構造は交さ指状に互いに
入り込んでいる。このような指電極は一般に基板表面の
ストリップ状の金属化被覆層である。
基板の表面付近の範囲を伝播する音響波に対して、この
ような指電極は交さ指変換器内で望ましくない仕方で反
射器としても作用する。このような望ましくない(交さ
指変換器の指電極に生ずる)反射の有゛害な作用を軽減
または完全に回避し得る多くの提案がなされている。1
つの対策としては、このような交さ指変換器に公知の分
割指構成を取り入れることがあげられる。−重指の交さ
指変換器にくらべて分割指構成における個々の指は同一
極性にまたはそれぞれ間−のブスバーに接続されている
2つの並び合って位置する平行な指に分割されている。
−重指の交さ指変換器では通常、1つの指電極から隣接
する反対極性の次の指電極までの中心間隔はλ/2であ
る。この中心間隔は(2つの互いに反対極性の指電極の
間の)圧電励振中心から次に隣接する励振中心までの(
中心)間隔に等しい、この定義は受信変換器として便用
される交さ指変換器にも同様に当てはまる。この中心間
隔λ/2に相応して1つの指電極の幅をλ/4に、また
2つのl!J接する指電極の間の中間空所を同じくλ/
4にするのが通常である。このことから本発明において
設けられる分割指構成に対しては(同じく隣接する励振
中心間の間隔λ/2において)交さ措変換器の個々の分
割指電極の幅はλ/8となり、同じく2つの隣接する分
割指電極間の中間空所はλ/8となる。
交さ指変換器を分割指構成とすれば5、本質的に前記の
指間反射は生じない8しかし、このことは厳密には指電
極の間隔、幅および中間空所の寸法決定の基礎とされる
波長λの値に対してのみ当てはまる。ここで、λは基板
内の波長である。多くの用途に対しては、すなわち共振
器および狭帯域フィルタでは、このことから問題は生じ
ない。しかし、一層広い帯域幅、特に1オクターブに達
し、または1 (またはそれ以上の)オクターブよりも
広い帯域幅を有する音響波デバイスでは事情が異なる。
このような装置に対しては、λを単位として測定された
指間隔、指幅、術中間空所などを有する分散形交さ指変
換器を使用する必要があり、その際に基板上を成る長さ
にわたって延びている変換器に対しては種々の長さ部分
に所与の帯域幅の種々の大きさのλ値が基礎として用い
られる。
一般にこのような分散形交さ指変換器は(その長手方向
に見て)単調に減少する(反対方向に増大する)指間隔
、指幅、術中間空所を有する。すなわち、変換器の一方
の端に帯域幅の最低周波数の最大波長値λwaxが、ま
た他方の端にこの帯域幅の最高周波数の最小波&値λw
inが基礎として用いられる。
λ@axが所与の帯域幅に対するλwinのたとえば1
.5倍であれば既に、分散形変換器では指間反対による
大きな擾乱を考慮に入れなければならない。指間反射の
第1の最大はλl1linの2倍に等しいλmaxに対
して生ずる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明の目的は、上記の意味で一層広い帯域幅を有する
と共に擾乱信号が抑制されている分割指配置を有する分
散形交さ指変換器を提供することである。
〔問題点を解決するための手段〕
この目的は、本発明によれば、特許請求の範囲第1項お
よび第3項に記載されている分散形交さ!’!変換器に
より達成される。本発明の実施態様は特許請求の範囲第
2項および第4項にあげられている。
〔作用効果〕
傭かに前記第2の文献の第187頁、第1図に、それぞ
れ同一の暢の指を有する分散形交さ指変換器が示されて
いる。しかし、そこに示されているのは分割指配置では
なく、また−重指の等大の幅は本発明の意味で有害な反
射を抑制する効果を意図外にすらをしていない。
本発明は、広帯域の分散形交さ指変換器において、この
交さ指変換器に対して分割指配置が選ばれているにもか
かわらず、前記の指間反射に起因する擾乱信号が生ずる
という認識に基づいている。
さらに本発明は、これらの反射は基本的に除去され得す
、それらの作用を軽減され得るのみであるという認識に
基づいている。その際に考慮すべきことは、まさに広帯
域の分散形交さ指変換器は(変換器の主波伝播方間に対
して平行に)比較的多数の並び合う指電極を有すること
、すなわち指間反射の反射位置の数が通常の構成の狭帯
域の変換器に比較して多いことである0本発明では、所
与の帯域幅の低い周波数の範囲に合わされている当咳変
換器部分において、指電極の幅寸法が帯域幅の最高周波
数部分に合わせて決定されている(変換器の)部分の指
電極の幅寸法に一致している。
本発明の他の対策は、それによって変更される(変換器
の低周波数部分の)指電極間の間隔および中間空所を適
切な寸法および適切な分割または分布にすることである
上積薄化は、(大きな長さを有する)狭帯域の変換器に
とって重要であるほどには分散形変換器にとっては重要
ではないが、本発明は上積薄化された交さ指変換器にも
使用され得ることを指摘しておく。
特に重要なのは本発明の応用である。すなわち、本発明
により構成された交さ指変換器を表面波−コンボルバ−
装置、特に補償された自己畳込みを有するコンボルバ−
装置に使用することである。
帯域幅が広いことはコンボルバ−装置にとっテ特に重要
であるが、広帯域幅を有する交さ指変換器は音響波デバ
イスの他の多くの用途にも必要とされる。
〔実施例〕
以下、図面に示されている実施例により本発明を一層詳
細に説明する。
第4図および第5図は公知の分散形交さ指変換器を示す
もので、第4図中で符号lを付されているのは、基板2
の表面上に位置する分散形交さ指変換器である。符号3
および4を付されているのは、基板表面に存在する音響
波用の他の構造であり、たとえば構造3はコンボルバ−
配置の積分電極(およびビーム圧縮画配置)、また構造
4は(出力)交さ指変換器であってよい。
符号6および7を付されているのは変換器1の個々の指
電極、また符号8および9を付されているのはそのブス
バーである。分割指配置に相応してそれぞれ2つの隣接
する指電極6は一方のブスバー8と、またそれぞれ2つ
の隣接する指電極7は他方のブスバー9と接続さ乳でい
る。第4図から明らかなように、(第4図中の)tl&
極幅および中間空所は変換器1の主波伝播方向と平行に
左から右へ減少している。相応に間隔amaχはa m
inへ減少している(ここでa (λ/2に等しい)は
(送信)変換器において生ずる励振中心の(破線で記入
されている)線の間隔である。これらの励振中心は反対
極性の指6と指7との間に位置している。符号すを付さ
れているのは反対極性の隣接する分割指対の相応の中心
間隔である。第4図中に符号11を付されている変換器
1の(長手方向)部分は所与の帯域幅の低い周波数(最
大波長λIIax)の範囲に合わされている。長手方向
部分12は変換器1の中心周波数範囲に相当し、また長
手方向部分13は(λwinを有する)高い周波数の範
囲に相当する。第4図および変換器1のこの図示は特に
部分11ないし13、全変換器の指電極の数などに関し
ては単に原理的なものである。
第5図には指電極6および7ならびに基板2が断面図で
示されている。背景のブスバー8は断面図では示されて
いない。このブスバーおよびそれと接続されている指電
極6に対しては(瞬時)極性子が仮定されている。変換
器lの指電極配置6.7の低い周波数に対する部分11
、中心周波数に対する部分12および高い周波数に対す
る部分13は第4図に相当する。符号Cを付されている
のは個々の指電極7.8のそれぞれの幅、また符号dを
付されているのは2つの隣接する指6と2つの隣接する
指6および7との間の中間空所である。
第5図から明らかなように寸法a、b、cおよびdは変
換器lの長さにわたり一定ではない。このことは変換器
lの分散に相当する。
第1図には交さ指変換器の本発明による第1の実施例が
示されている。第1図による変換器100の部分13は
第4図および第5図による公知の変換器の部分13と一
致している。それは所与の帯域幅の高い周波数または波
長λminに合わされている部分である。符号allI
inを付されているのは2つの隣接する励振中心の間の
間隔(λ1llin/ 2 )である0間隔b min
は反対極性を有する2つの隣接する分割指対の間の中心
間隔、cmtnは指電極の幅、またdllIinは同一
極性または反対極性の2つの隣接する指電極の間の中間
空所である。これらの寸法は第2図による本発明の第2
の実施例にも当てはまる。
第1図の部分11および12には、第4図および第5図
による公知の場合にくらべて本発明の新規な点が示され
ている。指幅ばCで示されでおり、また1一つの分割指
対の2つの指電極の間、すなわち同一極性の2つの指電
極の間の中間空所はdlで示されている。異なる極性を
有する2つの隣接する指電極16と17との間の(寸法
d、とはかなり異なる)中間空所はd2で示されている
0本発明にとって重要なことは、指電極16.17の@
Cが値c winに等しい、またはそれよりも著しく大
きくなり、最大でもcminよりも約1.5倍以上大き
くないことである。1つの分割指対の2つの電極指16
.17の間の中間空所の幅b1は本発明の第1図の実施
例に相応して同じ(dmir+に等しく、または少なく
ともd winよりも著しく大きくなく(約1.5倍以
上大きくなく)選定されている。説明を完全なものにす
るために言及すれば、(:およびd、はclIinまた
はdmtnりも小さく選定され得るが、これは技術的費
用の上昇を伴う。
好ましいのはemin −dmin −e−d Hであ
る。
本発明による変換器100では同じく必然的に高い周波
数に対する部分13に対しても最低の周波数に対する部
分11に対しても中間の周波数に対する部分12のよう
なすべての中間部分に対しても指電極16.17の幅C
および同一極性の指電極16または17の間の間隔d、
の寸法が選定されている。必然的に寸法d2は公知の場
合にくらべて著しく大きい、なぜならば、条件bmax
=d 2 +2・c→−di(ここでb wax−λf
f1ax/ 2である)が当てはまるからである。
第2図には本発明による変換器100aが示されている
。変換器100aに対して特に述べない限り、この変換
器100aに対しても第1図の変換器100に対して述
べたことが当てはまる。変ta器100と変換器100
aとの相違点は、指電極16および17の分布の仕方で
ある。しかし再実施例は同一の原理に基づいている。す
なわち、指電極の幅Cは第1図で説明したように選定さ
れている。しかし変換器100aでは@b2′は変換器
100の寸法d、に相応して選定される。すなわち、変
換器100aでは一方の極性のそれぞれ1つの指電極1
6は他方の極性の指電極17に密に隣接して位置してい
る。それぞれの分割指対の指電極16と指電極17との
間の中間空所の寸法dX′は相応に大きい、この場合に
も間じく (bmax ) =amaX =b、 ’ 
+’l ・e+d 2 ’ssλwax/ 2が当ては
まる。第2図による変換器100aの部分12に対して
も変換器100の部分12に対して先に述べたことが当
てはまる。
本発明による変換器はその長さにわたり部分的に変換器
100の実施例に相応して、また部分的に変換′a10
0aの実施例に相応して構成されていてよい。たとえば
部分11は第1図の部分11に相応して、また部分12
は第2図の部分12に相応して構成されていてよく、そ
の際に部分13は常に少なくとも本質的に第1図、第2
図および第5図で説明したように構成されている。
第3図には本発明による変換器100が正面図で示され
ている。第3図の詳細は先の説明から明らかである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による分散形交さ攪変換器の第1の実施
例を第5図と比較して示す図、第2図は本発明の第2の
実施例を第1図と比較して示す図、第3図は本発明によ
る第3の実施例を第4図と比較して示す図、第4図は詳
細には図示されていない音響波デバイスの一部分である
分割指配置の公知の分散形交さ指変換器を示す図、第5
図は第4図の公知の分散形交さ指変換器の側断面の概要
図である。 1・・・分散形交さ指変換器、2・・・基板、3.4・
・・構造、6.7・・・指電極、8.9・・・ブスバー
、1G、17・・・指電極、100.100a・・・分
散形交さ指変換器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)音響波デバイス用の分散形交さ指変換器であつて、 分割指配置を有し、 分散形交さ指変換器が、1オクターブに達しまたは1オ
    クターブまたはそれ以上のオクターブを含む帯域幅を有
    するように指電極の分布と指分布により与えられる励振
    中心間の間隔とが選定されており、 その際に、交さ指変換器の最高周波数(λ_m_i_n
    )に合わされている部分(13)では隣接する励振中心
    間の間隔寸法(a=λ_m_i_n/2)と指電極の幅
    寸法(c=λ_m_i_n/8)と各隣接指の中間空所
    寸法(d=λ_m_i_n/8)とがこの最高周波数に
    合わされて選定されており、 交さ指変換器のその他の部分(11、12)では相応の
    寸法が帯域幅の最高周波数よりも低い周波数に合わされ
    て選定されている交さ指変換器において、 隣接する励振中心のそれぞれの周波数に合わされて選定
    される相互間隔aと、互いに反対の極性の分割指対(1
    6および17)の隣接する指中心の間の間隔bと、 個々の指電極(16、17)の幅cと、個々の分割指電
    極対の個々の分割指電極(16または17)の間の中間
    空所d_1とが少なくとも近似的に、交さ指変換器(1
    00)の帯域幅の最高周波数に合わされている部分(1
    3)における指幅および中間空所寸法(c_m_i_n
    、d_m_i_n)に等しいことを特徴とする音響波デ
    バイス用の分散形交さ指変換器。 2)指電極(16または17)の幅cと、それぞれの分
    割指対の隣接する指電極の間の中間空所(b_1)とが
    変換器(100)の高い周波数に合わされている部分(
    13)の指電極の相応の寸法の1.5倍よりも大きくな
    いことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の変換器
    。 3)音響波デバイス用の分散形交さ指変換器であって、 分割指配置を有し、 分散形交さ指変換器が、1オクターブに達しまたは1オ
    クターブまたはそれ以上のオクターブを含む帯域幅を有
    するように指電極の分布と指分布により与えられる励振
    中心間の間隔とが選定されており、 その際に、交さ指変換器の最高周波数(λmin)に合
    わされている部分(13)では隣接する励振中心間の間
    隔寸法(a=λmin/2)と指電極の幅寸法(c=λ
    min/8)と各隣接指の中間空所寸法(d=λmin
    /8)とがこの最高周波数に合わされて選定されており
    、 交さ指変換器のその他の部分(11、12)では相応の
    寸法が帯域幅の最高周波数よりも低い周波数に合わされ
    て選定されている交さ指変換器において、 隣接する励振中心のそれぞれの周波数に合わされて選定
    される相互間隔aと、互いに反対の極性の分割指対(1
    6および17)の隣接する指中心の間の間隔bと、 個々の指電極(16、17)の幅cと、反対極性の隣接
    する分割指電極(16、17)の間の中間空所d_2′
    とが少なくとも近似的に、交さ指変換器(100a)の
    帯域幅の最高周波数に合わされている部分(13)にお
    ける指幅および中間空所寸法(cmin、dmin)に
    等しいことを特徴とする音響波デバイス用の分散形交さ
    指変換器。 4)指電極(16または17)の幅cと中間空所(d_
    2′)とが変換器(100a)の高い周波数に合わされ
    ている部分(13)の指電極の相応の寸法の1.5倍よ
    りも大きくないことを特徴とする特許請求の範囲第3項
    記載の変換器。
JP61193880A 1985-08-21 1986-08-19 音響波デバイス用の分散形交さ指変換器 Pending JPS6245205A (ja)

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