JPS6249986B2 - - Google Patents

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JPS6249986B2
JPS6249986B2 JP54159121A JP15912179A JPS6249986B2 JP S6249986 B2 JPS6249986 B2 JP S6249986B2 JP 54159121 A JP54159121 A JP 54159121A JP 15912179 A JP15912179 A JP 15912179A JP S6249986 B2 JPS6249986 B2 JP S6249986B2
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pellet
pellets
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bonding
substrate
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Hitachi Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は基板上に回路を形成た半導体小片（ペ
レツト）を固定するペレツトボンデイング装置に
関する。
半導体装置の製造工程の一つに、ペレツトを基
板に固定するペレツトボンデイングがあり、従来
この作業はペレツトボンデイング装置により行な
つている。ペレツトボンデイング装置では、第１
図に示すように、ペレツト供給部１に置かれるペ
レツト２をコレツト３で真空吸着保持して取付部
４に運び、取付部４上に載置された基板（リード
フレーム、ヘツダ等）５の上面取付位置にペレツ
ト３を固定する。固定は接着剤、鑞材あるいはシ
リコンと金との間に生じる共晶合金によつて行な
われる。
ところで、従来のペレツトボンデイング装置は
ペレツトの取付形態が一定である。
一方、ペレツトボンデイングの次に行なうワイ
ヤボンデイングにあつては、金線を用いるネイル
ヘツドボンデイングの場合にはワイヤボンデイン
グには方向性がないことからペレツトの向き（方
向性）は問題ないが、アルミニウム線を用いる超
音波ボンデイングの場合にはワイヤボンデイング
の方向性があることから各ワイヤボンデイング時
のペレツトの方向性は重要となる。従来、超音波
ボンデイングにあつては、ペレツトを載置するテ
ーブル（取付部）をワイヤボンデイング毎に回転
させるようにしてワイヤボンデイングを行なつて
いる。
他方、金線はアルミニウム線に較べて高価であ
る。このため、アルミニウム線を用いる超音波ボ
ンデイングが多く採用されるようになつてきてい
る。また、超音波ボンデイング装置でもテーブル
を回転させ、ワイヤの張る方向毎にその調整を行
なう装置は高価となる。
そこで、第２図ａ，ｂで示すようなワイヤ６の
張る方向が近似している構造の半導体装置の製造
にあつては、テーブルを固定型とし、かつ製造コ
ストが安価となる超音波ボンデイングを採用でき
る。しかし、この場合には基板５に固定するペレ
ツト２の取付方向が問題となり、従来は第２図ｂ
で示すように、第２図ａで示すペレツト２を45゜
回動して固定した形態とする場合には、ペレツト
ボンデイング時に基板５を45゜回動させて供給す
ることによつて行なつている。
しかし、このような方法では、基板が連結され
て長いような場にはできないこともあり、また、
ペレツトの方向性によつては従来のペレツトボン
デイング装置では取り付けができないこともあ
る。
したがつて、本発明の目的はペレツトの取付方
向を自由に調整できるペレツトボンデイング装置
を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、ペ
レツト供給部と、ペレツト方向修正部と、ペレツ
トが固定される基板を載置する取付部およびペレ
ツトを吸着するコレツトとを有し、ペレツトは前
記コレツトによつて前記ペレツト供給部から前記
ペレツト方向修正部に運ばれて方向修正された
後、前記取付部に運ばれて基板に固定されるよう
に構成されてなるペレツトボンデイング装置であ
つて、前記ペレツト方向修正部は回転制御可能に
構成されているとともに、前記ペレツト方向修正
部上のペレツトに対してそれぞれ前進して先端で
ペレツトを挾んでペレツトの方向性を修正しかつ
ペレツトをペレツト方向修正部の回転中心に位置
合わせするように構成された１対の位置決め片を
有しているものであつて、以下実施例により本発
明を説明する。
第３図および第４図は本発明の一実施例よるペ
レツトボンデイング装置の概要を示す一部の正面
図および平面図である。これらの図で示すよう
に、ペレツト供給部１、ペレツト方向修正部７、
取付部（テーブル）４が直線上に並ぶように配設
されている。ペレツト供給部１上にはペレツト２
を縦横に整列載置した治具８が載置される。ま
た、ペレツト供給部１とペレツト方向修正部７と
の間には下端にペレツトを真空吸着するペレツト
移送コレツト、コレツト９が配設され、矢印群１
０〜１５で示す動きをして、治具８上のペレツト
２をペレツト方向修正部７上に運ぶ。ペレツト方
向修正部７は支柱１６によつて支えられるととも
に、この支柱１６は支持板１７にベアリング１８
を介して回転制御可能に取り付けられている。し
たがつて、前記支柱１６の回転制御のセツト量
（回転量）に対応してペレツト方向修正部７が回
転する。また、ペレツト方向修正部７上にはその
中心に向かつて一時的に前進する先端がＶ字爪と
なる１対の位置決め片１９，２０が設けられ、ペ
レツト移送コレツト９によつて運ばれたペレツト
２をペレツト方向修正部７の回転中心上に正確に
位置決めするようになつている。
一方、取付部４上には基板５が位置決め載置さ
れる。また、ペレツト固定用のコレツト３が矢印
群２１〜２６で示すように動作して、ペレツト方
向修正部７上のペレツト２を基板５上に運び、ペ
レツトボンデイングするようになつている。
つぎに、ペレツトボンデイングについて説明す
る。ペレツト移送コレツト９が矢印群１０〜１５
で示す動きをして、治具８上のペレツト２を１個
ペレツト方向修正部７上に運び載置する。する
と、１対の位置決め片１９，２０が相互に前進し
てペレツト２を挾み、ペレツト２をペレツト方向
修正部７の回転中心の真上に修正する。つぎに、
位置決め片１９，２０が後退し、ペレツト方向修
正部７はセツト量だけ回動、たとえば45度回動す
る。つぎに、コレツト３が矢印群２１〜２６で示
す動きをして、ペレツト方向修正部７上のペレツ
ト２を基板５の取付位置に運び、ペレツト２を基
板に固定する。固定は一般に採用している半田等
の鑞材、接着剤あるいは金・シリコン共晶層によ
り行なう。
このようなペレツトボンデイング装置によれ
ば、ペレツト方向修正部の回転量の調整によつ
て、基板への取付けの方向性を自由に選択するこ
とができる。また、このような構造は簡素である
ことから採用しやすい実益もある。
なお、本発明は前記実施例に限定されない。す
なわち、コレツトで治具とペレツト方向修正部と
の間のペレツトの移し代えを行なつてもよい。ま
た、コレツトはペレツトの上線に接する角錐窪み
からなる真空吸着部を有する構造のものでもよ
い。
以上のように、本発明のペレツトボンデイング
装置によれば、ペレツトの取付方向性を自由に選
ぶことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のペレツトボンデイング装置の概
略を示す説明図、第２図ａ，ｂはペレツトボンデ
イングされた基板の平面図、第３図は本発明の一
実施例によるペレツトボンデイング装置の概略を
示す一部の正面図、第４図は同じく一部を示す平
面図である。 １……ペレツト供給部、２……ペレツト、３…
…コレツト、４……取付部、５……基板、６……
ワイヤ、７……ペレツト方向修正部、８……治
具、９……ペレツト移送コレツト、１０〜１５…
…矢印、１６……支柱、１７……支持板、１８…
…ベアリング、１９，２０……位置決め片、２１
〜２６……矢印。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ ペレツト供給部と、ペレツト方向修正部と、
    ペレツトが固定される基板を載置する取付部およ
    びペレツトを吸着するコレツトとを有し、ペレツ
    トは前記コレツトによつて前記ペレツト供給部か
    ら前記ペレツト方向修正部に運ばれて方向修正さ
    れた後、前記取付部に運ばれて基板に固定される
    ように構成されてなるペレツトボンデイング装置
    であつて、前記ペレツト方向修正部は回転制御可
    能に構成されているとともに、前記ペレツト方向
    修正部上のペレツトに対してそれぞれ前進して先
    端でペレツトを挾んでペレツトの方向性を修正し
    かつペレツトをペレツト方向修正部の回転中心に
    位置合わせするように構成された１対の位置決め
    片を有していることを特徴とするペレツトボンデ
    イング装置。
JP15912179A 1979-12-10 1979-12-10 Pellet bonding device Granted JPS5681940A (en)

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JP15912179A JPS5681940A (en) 1979-12-10 1979-12-10 Pellet bonding device

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JP15912179A JPS5681940A (en) 1979-12-10 1979-12-10 Pellet bonding device

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Publication Number Publication Date
JPS5681940A JPS5681940A (en) 1981-07-04
JPS6249986B2 true JPS6249986B2 (ja) 1987-10-22

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ID=15686689

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JP15912179A Granted JPS5681940A (en) 1979-12-10 1979-12-10 Pellet bonding device

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