JPS6249075A - 二重構造圧力容器の蓋 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、衛生食品や半導体などの処理に用いる二重構
造圧力容器に関するもので、特に外側圧力容器の外蓋と
、内側圧力容器の内蓋を同時に開閉できる二重構造圧力
容器の蓋に関するものである。

従来の技術 従来、この種の二重構造圧力容器は、第３図に示す様に
、外側圧力容器１の中に内側圧力容器２を収容し、外側
圧力容器１と内側圧力容器２の各開口部３．４に、外蓋
５と内蓋６を設けると共に、これらの内蓋５．６を連結
部材７で連結し、外蓋５と内蓋６を同時に動作せしめて
いる。即ち、外蓋５が移動すると同時に内蓋６も移動し
、開口部３，４は同時に開閉されるのである。

発明が解決しようとする問題点 従来例の二重構造圧力容器では、半楕円状の内蓋６を、
テーパー状に形成した内側圧力容器２の開口部４に挿入
せしめ、両者４．６を擦り合せることによりシールして
いる。

ところが、このシール方法では、内蓋６が傾いても調整
されずにそのままの状態で、開口部４に嵌合されるので
、擦り合せ部８に隙間が生じ、シール漏れが起きる。

又、石英で形成された内蓋６と開口部４の擦り合せ部８
が、互いにくい込み離れにくい状態、いわゆるフライツ
キ現象が生じ、外蓋５を移動させても内蓋６は開口部４
から離れず、開口部３．４を同時に開閉できないことが
ある。

更に、擦り合わせ部８において、石英同志がこすり合う
ので粉（塵芥）が発生し、その粉が容器内の加工物に悪
影響を馬えることがある、２本発明は、上記事情に鑑み
、シール性の向上を図ると共に、粉の発生やフライツキ
を防止することを目的と”する。

問題点を解決するだめの手段 本発明は、外側圧力容器の外蓋と内側圧力容器の内蓋と
を連結し、動圧力容器の開口部を、同時に開閉せしめる
二重構造圧力容器において、前記外蓋と内蓋とを、調整
装置を介して連結すると共に、閉蓋時に内蓋と内側圧力
容器の開口部端面とを接触せしめることを特徴とする二
重構造圧力容器である。

作　　用 外側圧力容器の外蓋を開口部に向って移動させると、内
蓋は調整装置により、その上下方向、左右方向、傾斜角
度などを補正されながら外蓋と同方向に移動し、外蓋が
外側圧力容器の開口部を閉じると同時に、内蓋も内側圧
力容器の開口部を閉じる。この時、内蓋は調整装置によ
り、その位置が調整されているので、内蓋と開口部端面
ば密着する。

次に、外蓋を前記と逆方向に移動すると、内蓋も同時に
同方向に移動し、両開口部は同時に開かれる。

実施例 本発明の第１実施例を第１図により説明する。

１０は二重構造圧力容器で、外側圧力容器１１の中には
内側圧力容器１２が、同心的に収容されているが、この
内容器１１．１２はステンレス製である。外側圧力容器
１１の外側開口部１３は、外蓋１４により開閉され、又
、内側圧力容器１２の内側開口部１５は、内蓋１６によ
υ開閉される。

外側開口部１．３と内側開口部１５は、同側に開口し、
これらの開口部１３．１５を開閉する外蓋１４と内蓋１
６は、調整装置１７を介して連結されている。この調整
装置１７は、左右調芯はね１８と上下調芯はね１９と球
面ベアリング２０および水平支持はね２１により構成さ
れている。

左右調芯はね１８を左又は右に押圧すると、内蓋１６の
芯は水平方向に移動し、又、上下調芯はね１９を」二又
は下に押圧すると、内蓋１６の芯は垂直方向に移動する
。

球面ベアリング２０は、内蓋１６の中心線上に位置し１
、凹状の第１ガイドプロ・ツク２２およびこの第１ガイ
ドブロック２２と遊嵌合する凸状の第２ガイドブロック
２３と球面接触し２ながら内蓋１６の角度を調整すると
共に、閉蓋時には、第２ガイドブロック２３を支持する
。；べ平支持ばね２１は、内蓋１６のフランジ部２４の
凹部２５に収容され、その先端部は第１ガイドブロック
２２に螺着した「１ツド２６と接触し、内蓋１６がその
重みで時計方向に回転しないようにして、内蓋１６の水
平状態を維持せしめる。

調芯ばね１８．１９は、外蓋１４の中央部に設けたばね
収容部２７の受圧部２８と接続されている。この収容部
２７には、受圧部２８を押圧する抑圧部３０が押し付調
整はね２９を介して、摺動自在に設けられている。

内蓋１６のフランジ部２４の端面には、第１垂直部３１
と第１テーパー部３２が形成され、又、内側開口部１５
のフランジ部３３の端面には、前記垂直部３Ｉおよびテ
ーパー部３２に対応する第２垂直部３４および第２テー
パー部３５が形成され、又、第２垂直部３４にはＯリン
グ３６を設け、シール性の向上を図っている。なお、図
においてＯはＯリングである。

本実施例の作動について述べるが、まず、開蓋する場合
について説明する。

第１図の状態において、押圧部３０を矢印Ａ３０方向に
引き、外蓋１４を同方向に移動させると、外側開口部１
３が開き、同時に第１ガイドブロック２３も同方向に移
動し、第１および第２ガイドブロック２２．２３のテー
パー部２２α。

２３αが面接触して内蓋１６も同方向に移動する。そし
て、内蓋１６は内側開口部１５の端面から離れ、開蓋さ
れる。

次に閉蓋する場合について述べると、押圧部３０を矢印
Ａ３０方向と逆方向に押すと、外蓋１４は、０リング３
７を介して開口部１．３の端面１３ｃＬに押し付けられ
、外側圧力容器１１はシールされる。一方、第１および
第２ガイドブロック２２．２３のテーパー部２２ｃＬ、
２３ａは、接触を解除され、内蓋１６は、調整装置１７
の調芯ばね１８，１９による芯の位置の補正と、球面ベ
アリング２ｏおよび水平支持はね２１による角度の調整
と、フランジ部３３のテーパー部３５によるガイドとを
うけながら、フランジ部２４の端面をＯリング３６を介
して、フランジ部３３の端面に押しっけ、内側圧力容器
１２をシールする。

内側圧力容器１２がシールされると、第１ガイドブロッ
ク２２の力は、球面ベアリング２０を介して、第２ガイ
ドブロック２３に伝えられるので、内蓋１６には均一な
抑圧力がかかる。

又、このシール時には、第１ガイドブロック２２の移動
は停止するので、ロッド２６によシ水平支持ばね２１が
、更に押圧されることがないＯ 従って、フランジ部２４の凹部２５に大きな力が加わる
ことはない。

他の実施例 上記実施例は、一般の二重構造圧力容器に関するもので
あるが、半導体処理に用いる二重構造圧力容器の実施例
について、第２図を参照しながら説明する。ただし、第
１図と同一図面符号は、その名称も機能も同一である。

内蓋１６は、フランジ部４０と半相１〕コ状の石英キャ
ップ４１によシ構成されている。このフランジ部４０は
第１および第２フランジ４２゜４４よりなり、内部に断
熱材（図示せず）を挿入した石英キャップ４１の外周面
に、ＯＩＪング４４を介して固定されている。第１７ラ
ンジ、１２は、水平支持はね２１を収容する凹部２５を
有し、又、第２フランジ部２４の一方の端面ば、第１７
ランジ４２と接触し７、他方の端面には、第１垂直部３
１と第１テーパー部３２が形成され、かつ、第１垂直部
３１にはＱ　＋）ング；３６が設けられている。

４４は、縦断面円形の石英管で、その直径りは、石英キ
ャップ４１の直径ｄより大きく形成されている。

４５は、石英管４４の外側に設けたステンレス製の枠体
で、この枠体４５は水冷フランジ４　ｔ５を介して、７
う７２部３：うに接続されている。

このフランジ部３３の一端面は、フランジ部２４の端面
に０リング３６を介しで、接触したり、又は、離れたり
し、その端面には前記フランジ部２４の第１垂直部３１
と第１テーパー部：３ｓ２に対応する第２垂直部３４と
第２テーパー部３５が形成されている。なお、水冷フラ
ンジ４６Ｉ：石英管４４．枠体４５．フランジ部３３の
隙間は、０リング４７．４８によりシールされでいる０ 本実施例の作動は、前記実施例の作動と同様であるので
、詳細な説明は省略するが、石英キャップ４１を装着し
ていても、この石英キャップ４１は、石英管４４より小
径であるので、両者が擦シ合って粉（浚）を発生せしめ
ることはない０ 又、石英管４４内の気体は、０リング３６゜４７．４８
にシールされ、外側圧力容器内に漏れることはない。

なお、本実施例では、内蓋１６の傾斜角の自動補正は１
０度前後迄可能であり、また、左右。

上下の偏芯は、５Ｉｓ前後迄自動的に調芯できる。

発明の効果 本発明は、以上のように構成したので、調整装置によυ
内蓋の芯の位置や角度が自動的に補正される。

従って、内蓋と内側開口部端面は閉蓋時、密着し、両者
間に隙間が生じないので、シール性が良い。

内蓋と内側開口部端面によりシールするので、従来例の
ように石英同志の擦り合せにより起因する粉の発生を防
止できる。

又、フランジ部に半楕円状の石英キャップを設けても、
この石英キャップは、内側開口部と遊嵌合しているので
、従来例のように、開蓋時にフランジ部から離されるこ
とはない。

従って、開蓋時に石英キャーツブが内側圧力容器内に残
される事故を防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例を示す縦断面図、第２図は他
の実施例を示す図、第３図は従来例を示す図である。 １０・・・・・・二重構造圧力容器 １１・・・・・・外側圧力容器 １２・・・・・・内側圧力容器 １３・・・・・・外側開口部 １４・・・・・・外　蓋 １５・・・・・・内側開口部 １６・・・・・・内　蓋 １７・・・・・・調整装置

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、外側圧力容器の外蓋と、内側圧力容器の内蓋とを連
   結し、両圧力容器の開口部を、同時に開閉せしめる二重
   構造圧力容器において、前記外蓋と内蓋とを、調整装置
   を介して連結すると共に閉蓋時に、内蓋と内側圧力容器
   の開口部端面とを接触せしめることを特徴とする二重構
   造圧力容器の蓋。 ２、調整装置は、左右調芯ばねと、上下調芯ばねと、第
   １ガイドブロックおよび第２ガイドブロックに挾持され
   た球面ベアリングと、内蓋に設けられ、かつ第１ガイド
   ブロックのロッドと接続する水平支持ばねとからなるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の二重圧力容
   器の蓋。 ３、内蓋はＯリングを介して、内部圧力容器の開口部端
   面と接触することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の二重構造圧力容器の蓋。 ４、内蓋は、内側圧力容器の開口部端面のテーパー部に
   対応するテーパー部を有することを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の二重構造圧力容器の蓋。 ５、内蓋は、フランジ部および半楕円状の石英キャップ
   とからなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の二重構造圧力容器の蓋。 ６、石英キャップは、内側圧力容器の開口部に遊嵌合さ
   れることを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の二重
   構造圧力容器の蓋。 ７、石英キャップは、その中に断熱材が挿入されている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の二重構造
   圧力容器の蓋。