JPS6245139A

JPS6245139A - ウエハプロ−バ

Info

Publication number: JPS6245139A
Application number: JP18411185A
Authority: JP
Inventors: Naoto Shida; 志田　直人; Hiromitsu Matsumoto; 松本　博光; Takashi Takeuchi; 隆竹内
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1985-08-23
Filing date: 1985-08-23
Publication date: 1987-02-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔技術分野〕本発明は、ウエハプローバ技術、特に、ウェハとプロー
バ針との電気的接続技術に関し、特に、半導体装置の製
造において、電気的特性試験による選別検査に利用して
有効な技術に関する。

〔背景技術〕

単導体装置の製造において、電気的特性試験による選別
検査を実施するウェハプローブとして、プローブカード
のプローブ針をウェハにおけるペレットの電極バンドに
接触させてテスタとペレットとの間でプローブ針を介し
て交信し、不良のペレットにはインクマーカによりイン
クを付着するように構成されているものがある。

しかし、このようなウェハプローブにおいては、ウェハ
とプローブカードとがずれた場合、プローブ針によるウ
ェハの損傷やインクマーカによるウェハの汚染等が発生
するという問題点があることが、本発明者によって明ら
かにされた。

なお、ウエハプローバ技術を述べである例としては、株
式会社工業調査会発行「電子材料１９８３年１１月号別
冊」昭和５８年１１月１５日発行Ｐ１９５〜Ｐ１９８、
がある。

゛　〔発明の目的〕本発明の目的は、作業中の損傷や汚染防止することがで
きるウエハプローバ技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、ウェハの電極パッドに当接されるパッドと、
プローブ針に当接されるバンドと、マーカ針を挿通され
る挿通孔とを備えている治具をウェハとプローブ針との
間に介設することにより、ウェハとプローブ針との電気
的接続を治具を介して確保し、ウェハとプローブカード
がずれた際には治具において損傷や汚染を受けるように
したものである。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例であるウエハプローバを示す
拡大部分縦断面図、第２図はその作用を説明するための
拡大部分縦断面図、第３図はその概略斜視図、第４図は
第３図■部の拡大部分平面図である。

本実施例において、このウエハブローバはウェハｌの各
ベレット２について電気的特性試験による選別検査を順
次実施して行くように構成されており、各ベレット２に
は集積回路（図示せず）に接続されている電極バンド３
が複数、周辺部に環状に配されて形成されている。

ウエハプローバはウェハ１を保持するためのテーブル４
を備えており、テーブル４はウェハ１をＸＹおよびθ方
向に移動させ得るように構成されている。テーブル４の
真上にはプローブカード５が着脱自在に支持されるよう
になっており、プローブカード５の略中夫には窓孔６が
大きく開設されている。プローブカード５には窓孔６の
周辺部にプローブ針７が複数本、下向きに傾斜して窓孔
６の中心に向かうように放射状に突設されており、プロ
ーブ針７はウエハブローバのテスタ（図示せず）に電気
的に接続されている。

テーブル４とプローブカード５との間には、後記する治
具をウェハにセントするための保持装置８が設備されて
いる。この装置８は一対のアーム９を備えており、両ア
ーム９の先端部には治具の側縁部を把持する把持具ｌＯ
がそれぞれ設けられている。両アーム９は治具を把持し
た状態で平行移動および上下動することにより、治具を
ウェハにアライメントしてセットし得るように構成され
ている。

治具１１はウェハ１の実質領域を略カバーし得る大きさ
の板形状に形成されており、ウェハｌのペレット２群に
対応するような小領域１２が仮想的に形成されている。

小領域１２の下面には複数のウェハ側パッド１３がウェ
ハのペレット２における電極パッド３に対向するように
配設されており、小領域１２の上面には複数のプローブ
針側パッド１４が各ウェハ側バッド１３の真上に位置す
るように配設されている。上下のパッド１３と１２とは
スルホール導体１５によって電気的に接続されている。

このような治具１１を作製する方法としてはリソグラフ
ィー処理による方法が考えられる。例えば、電極パッド
に対応するスルーホールの形成に使用したホトマスクを
用いて、治具の素板にスルーホールを転写穿孔した後、
素板の両面にアルミニュームよりも硬い金Ｎ膜を被着す
る。次ぎに、電極パッドの形成に使用したホトマスクを
用いて、金属膜にパッドをそれぞれ転写し、周囲をエツ
チング除去する。

また、治具１１の各小領域１２にはインクマーカ１７の
針１８を挿通するための小孔１６が略中央部にそれぞれ
開設されている。

次に作用を説明する。

ウェハ１がテーブル４上にセットされると、アーム９は
把持具１０によって治具１１を把持してウェハ１上に供
給するとともに、光学的アライメント装置等を利用した
位置合わせ手段によりアライメントしてウェハ１にセン
トさせる。このセット状態において、治具１１下面の各
パッド１３はウェハ１の各電極パッド３にそれぞれ押接
される。

続いて、プローブカード５を保持しているボードが下降
しつつアライメントされ、プローブカード５のプローブ
針７が治具１１における所定位置の小領域１２の各パッ
ド１４にそれぞれ接触される。

この状態において、ブローバのテスタが作動すると、プ
ローブカード５、プローブ針７、治具１１の両パッド１
３．１４および電極パッド３を介して、プローブ針７が
接触している小領域１２に相当するベレット２とテスタ
との間で交信がかわされ、電気的特性試験が実施される
。

そして、不良が発見されると、インクマーカ１７の針１
８が押し下げられて治具１１の小孔１６に挿通され、イ
ンク１９が当該ベレット２上に付着される。

以後、テーブル４がＸＹ方向にピッチ送りされ各ベレッ
ト２について順次特性試験および不良マークの付着が実
施されて行く。

ところで、第２図に示されているように、ウェハ１とプ
ローブカード５とが相対的にずれると、プローブ針７は
パッド１４から外れて治具１１の表面を損傷させる場合
がある。この場合、治具ｌｌが損傷されるだけで、ウェ
ハ１は全く損傷されないため、製品不良を招く事態は回
避される。

これに対して、プローブ針がウェハの電極パッドに直接
接触されている場合には、ウェハそのものがｙ４傷され
るため、製品不良を招き、歩留りを低下させる原因とな
る。

また、ウェハ１とプローブカード５とが相対的にずれる
と、インクマーカ針１８が小孔１６から外れるため、治
具１１の表面にインク１９を付着させてしまう場合が発
生する。この場合、治具１１の表面にインク１９が付着
されるだけで、ウェハ１にはインクが付着されないため
、製品そのものが汚染されたり、不良とされたりする事
態は回避される。

さらに、インクマーカ１７に糸（ず２０が付着していた
場合、治具ｌｌの表面に付着したインク１９を引きする
ことにより、治具１１の表面全体を汚染させる場合が発
生する。しかし、この場合にも、治具１１の表面が汚染
されるだけで、ウェハＩそのものの汚染ば回避される。

これに対して、ウェハ上に治具が介設されていない場合
には、ウェハの表面にインクが付着されたり汚染された
りしてしまうため、製品不良を招き、歩留りを低下させ
る原因となる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を通説しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、治具をウェハに保持装置によって自動的にセッ
トするよう構成するに限らず、人手によってセットされ
るように構成してもよい。

治具は、リソグラフィー処理により作製するに限らない
。

〔効果〕

（１）　　ウェハ上に治具を配設することにより、プロ
ーブ針によるウェハそのものの損傷やマーカのインクに
よるウェハそのものの汚染を防止することができるため
、製品歩留りの低下を防止することができる。

（２）治具にウェハの電極パッドに当接されるパッドと
、このバンドに電気的に接続されているとともに、プロ
ーブ針に当接されるパッドとを設けることにより、ウェ
ハとプローブ針との電気的接続を作り出すことができる
ため、テスタとウェハとの間の交信を確保することがで
きる。

（３）治具にインクマーカ針の挿通孔を開設することに
より、ウェハにインクを付着させることができるため、
不良品の選別作業を蒲保することかで　　゛きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるウェハプローブを示す
拡大部分縦断面図、第２ＦＩ！Ｊはその作用を説明するための拡大部分縦断
面図、第３図はその概略斜視図、第４図は第３図■部の拡大部分平面図である。１・・・ウェハ、２・・・ペレット、３・・・電極パッ
ド、４・・・テーブル、５・・・プローブカード、６・
・・窓孔、７・・・プローブ針、８・・・保持装置、９
・・・アーム、１０・・・把持具、１１・・・治具、１
２・・・小領域、１３・・・ウェハ側パッド、１４・・
・プローブ針側ハツト、１５・・・スルーホール導体、
１６・・・小孔（インクマーカ針挿通孔）、１７・・・
インクマーカ、１８・・・インクマーカ針、１９・・・
インク、２０・・・糸くず。第　　１　　図第　　２　　　図

Claims

【特許請求の範囲】１、ウェハ上に配設される治具を備えており、治具はウ
ェハの電極パッドに当接されるパッドと、このウェハ側
パッドに電気的に接続されているとともに、プローバ針
に当接されるパッドと、マーカ針を挿通される挿通孔と
を備えているウエハプローバ。２、治具が、テーブルの脇に設備されている保持装置に
より保持されてウェハ上にアライメントされて自動的に
セットされるように構成されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載のウエハプローバ。３、治具が、リソグラフィー処理により作製されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウエハプ
ローバ。