JPS6242311A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

薄膜磁気ヘツド

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JPS6242311A
JPS6242311A JP18200085A JP18200085A JPS6242311A JP S6242311 A JPS6242311 A JP S6242311A JP 18200085 A JP18200085 A JP 18200085A JP 18200085 A JP18200085 A JP 18200085A JP S6242311 A JPS6242311 A JP S6242311A
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JP
Japan
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insulating layer
layer
magnetic pole
pattern
upper magnetic
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JP18200085A
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English (en)
Other versions
JPH0320811B2 (ja
Inventor
Yoshio Koshikawa
越川　誉生
Mitsumasa Oshiki
押木　満雅
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （概要〕 この発明の薄膜磁気ヘッドは、多層のコイル導体層を絶
縁する複数の眉間絶縁層のうちの最上層絶縁層を、最下
層絶縁層のパターンの大きさと等しいか或いは僅かに大
きなパターン形状にするとともに、最下層絶縁層との間
に介在する中間層絶縁層を完全に覆うようにすることに
より、上部磁極の傾斜部分での段差発生を防止し、良好
な磁気特性を得ている。
〔産業上の利用分野〕
この発明は、多層コイル型の薄膜磁気ヘッドに関し、さ
らに詳細には良好な磁気特性を得る多層コイル導体の絶
縁層構造に関するものである。
多層コイル型薄膜磁気ヘッドは、高密度記録／再生を行
うヘッドとして有効である。
〔従来の技術〕
第４図は従来の２層コイル型薄膜磁気ヘッドの断面図を
示し、１１はガラス、セラミックス等からなる非磁性基
板、１２はパーマロイ等からなる下部磁極、１３は５ｉ
０２等からなるギャップ層、１４および１５はＣｕ等か
らなる第１および第２のコイル導体層、１６〜１８はコ
イル導体層を絶縁するためのフォトレジスト等の有機樹
脂からなる第１、第２および第３の絶縁層、１９はパー
マロイ等からなる上部磁極、そして２０はＳｉ０２等か
らなる保護層である。
この薄膜磁気ヘッドにおいては、上部磁極１９の先端部
は傾斜形状となるが、従来この上部磁極１９の傾斜部の
角度を調節するため、同図に示すように第１、第２、第
３の絶縁層１６〜１８のパターン形状を順に小さくして
積層していた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし上記従来の薄膜ヘッド構造においては、第４図に
示すように各絶縁層１６，１７．１８の端部で段差が発
生するため、上部磁極層１９の傾斜部分にもそれに対応
した段差が生じ、同磁極の磁気特性が劣化するという問
題があった。
〔問題点を解決するための手段〕 この発明の多巻コイル型薄膜磁気ヘッドでは、第１図に
示すように多層の絶縁層構造について、最上層絶縁層２
３り層数によってはその下位の絶縁層も含む）を、最下
層絶縁層２１のパターンの大きさと等しいか或いは僅か
に大きなパターン形状にし、かつ最下層絶縁層２１およ
び中間層絶縁層２２のパターン形状を上層になるにつれ
て小さくしている。
〔作用〕
前記最上層絶縁Ｎ２３は、コイル導体層１４．１５を含
めた絶縁層全体を滑らかでかつなだらかな傾斜端面を有
する断面形状とするので、この上に形成される上部磁極
２４の傾斜部分を滑らかななだらか形状にし、従来のよ
うな段差を発生しない。
〔実施例〕
以下、この発明の好ましい実施例につき図面を参照して
詳細に説明する。
第１図は前記従来例と同じ２層コイル型薄膜ヘッドに通
用した本発明の実施例を示す断面図である。なお、この
図において前記第４図と同一部分には同一符号を付すと
ともに、説明省略する。
第１図を参照して、第１および第２の絶縁Ｎ２１゜２２
は従来例同様に下層の方が大きなパターン形状にて形成
される。しかし、最上層である第３の絶縁層２３は、最
下層である第１の絶縁層２１のパターンよりも僅かに大
きなパターン形状で、かつ第１および第２の絶縁層２１
．２２を覆うような断面台形状で形成される。この最上
層絶縁層２３の端部は、第１図の磁極先端部を拡大視し
た第２図に示すように所定の角度を有する滑らかな傾斜
面となっている。
このような最上層絶縁層２３には、上部磁極２４が被覆
形成されるが、上部磁極２４は周知のように当該絶縁１
２３の外形にほぼ対応した形で形成されるので、傾斜部
分が同じく滑らかな面となる。
第３図は本発明の変形実施例を示す要部断面であり、こ
の例では最上層絶縁層３１のパターン形状が最下層絶縁
層２１のそれと等しい大きさとされている。この場合も
、上部磁極２４は傾斜部分に段差を有しない良好な形状
にて形成される。
なお、以上の実施例では最上層絶縁層のみを最下層絶縁
層のパターン形状よりも大きくしたり、等しい形状とし
たが、最上層とそれより１つ下位の層の２層の絶縁層に
対してそのような改造形状を加えることも可能であり、
この変形例は３層以上のコイル導体を有するヘッドに適
用するのが望ましい。
〔効果〕
以上の説明から明らかなように、この発明の薄膜磁気ヘ
ッドは、多層コイル導体を絶縁する絶縁層の端部形状を
滑らかな傾斜としたことにより、上部磁極の傾斜部分を
滑らかな傾斜面に形成することができ、もって該上部磁
極の磁気特性を向上できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明に係る薄膜磁気ヘッドの１実施例を示
す断面図、 第２図は第１図における磁極先端部を拡大して示した断
面図、 第３図はこの発明の変形実施例を示す要部断面図、 第４図は従来の多層コイル型薄膜磁気ヘッドを示す断面
図である。 第１図において、 １１は基板、 １２は下部磁極、 １３はギャップ層、 １４、１５はコイル導体層、 ２０は保護層、 ２１、２２．２３．３１は絶縁層、 ２４は上部磁極をそれぞれ示す。 不ストθ月／１メ―ホツ例閃 第１図 イ【不献芝埠靜Ｊ扛大ｒケｉ図 第　２　図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 基板（１１）上に下部磁極（１２）、ギャップ層（１３
    ）を積層形成し、その上に多層のコイル導体層（１４、
    １５）を有機樹脂からなる絶縁層を介在して形成し、さ
    らにその最上層絶縁層（２３）上に上部磁極（２４）を
    形成した磁気ヘッド構成において、 前記最上層絶縁層（２３）の１層、もしくはその下位の
    絶縁層を含む２層の上層絶縁層は、最下層絶縁層（２１
    ）のパターンの大きさと等しいかそれよりも僅かに大き
    なパターン形状を有し、 前記最下層絶縁層（２１）および中間層絶縁層（２２）
    は、上層になるにつれて小さなパターン形状で形成され
    ていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
JP18200085A 1985-08-19 1985-08-19 薄膜磁気ヘツド Granted JPS6242311A (ja)

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JPH0320811B2 JPH0320811B2 (ja) 1991-03-20

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