JPS6235641A - 電子ビーム照射方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 チップの位置決め方式であって、電子ビーム装置を用い
て集積回路内部の電位を測定する際に、予め前室でチッ
プの位置を測定しておき、これを電子ビーム装置内に搬
入し測定結果に基づいて電子ビームの照射位置を決める
という効率のよいチップの位置決めが可能となる。

〔産業上の利用分野〕

本発明は電子ビームを用いる装置における電子ビーム照
射位置決定に用いるチップの位置決め方式に関するもの
である。

半導体製造の分野で、電子ビームを用いた装置が広く用
いられている。その一つとして、集積回路内の電位を測
定する電子ビーム装置がある。

電子ビームを利用すると、拡大率は大きいが、その分視
野が小さく、電子ビームを照射する照射位置の決定が困
難である。

従って操作性のよいチップ位置決め方式が要望されてい
る。

〔従来の技術〕

電子ビーム装置を用いて集積回路内部の電位を測定する
のに電子ビーム装置は、電子ビームの照射する点にチッ
プを位置決めするのに、電子ビーム装置を使用して行っ
ている。即ち、電子ビームの走査と共に、試料を搭載し
た試料台を移動して、チップの位置決めをしていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

電子ビームの走査幅（画像の視野）が狭いために、該当
するチップ位置を発見することが困難であり、チップ位
置を見出すのに、電子ビームの走査及び試料台の移動を
何回も繰り返さなければならず、効率が悪いと云う問題
があった。

本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、試料
交換が容易で、試料全体が見渡される効率のよいチップ
位置決め方式を堤供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

電子ビーム装置に、ＴＶカメラを組み込んだ前室を設け
ると共に、前室から電子ビーム装置に試料を搬入する搬
入機構を付設するよう構成する。

〔作用〕

前室でチップの位置測定を行い、搬入機構でこのチップ
を含む試料を電子ビーム装置に搬入することにより、真
空度及び磁界に左右されることなく効率のよい位置決め
が可能となる。

〔実施例〕

第１図は本発明の実施例を示す断面図であって、チップ
１−１は試料１　（集積回路）の中央部にあり、試料１
は試料台５に搭載されている。試料台５は、第２図に示
すように構成されている。即ち試料台の上面にチップ１
−１の位置決め原点となる指標５−１が設けである。こ
の指標５−１の間に試料１を搭載する。試料台５は搬入
機構４に設けられており、この搬入機構４はＸ軸、Ｙ軸
方向に試料台５を搬送する構造である。

搬入機構４は、電子ビーム装置２と前室３とに渡って設
けられている。前室３には、前室３を予備排気する真空
装置６が設けである。前室３の上面には、チップ１−１
と指標５−１との相対位置を測定する例えば、ＴＶカメ
ラ７が設けである。

なお、電子ビーム装置２と前室３との間は、搬入機構４
と試料台５及び試料１とが通過可能なゲート８が設けで
ある。

試料１を交換する時は前室３にて行い、直ぐ真空装置６
を作動させる。作動中にＴＶカメラ７を用いて、チップ
１−１と指標５−１との関係位置の測定をする。

測定後にゲート８を開いて、搬入機構４を作動して試料
１を電子ビーム装置２内に搬入する。電子ビーム装置２
は、上記した位置測定データに基づいて、指標５−１を
基準としてチップの位置決めを行う。更に必要に応じて
電子ビームの照射位置の細かい高精度な補正をする。

〔発明の効果〕

以上述べてきたように、本発明によれば、極めて簡易な
構成で、効率よくチップの位置決めが行われ、実用上極
めて有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す断面図、第２図は試料台
の平面図である。 図において、１は試料、２は電子ビーム装置、３は前室
、４は搬入機構、５は試料台を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電子ビームを用いて集積回路内部の電位測定を行う電子
   ビーム装置（２）に、ＴＶカメラを具備する前室（３）
   を付設すると共に、集積回路からなる試料（１）を前室
   （３）から電子ビーム装置（２）に搬入する搬入機構（
   ４）を設け、前室で試料（１）のチップ部分の基準位置
   を測定して、前記試料（１）を電子ビーム装置内に搬入
   し、測定された基準位置に基づいて、前記電子ビーム装
   置内で電子ビームの照射位置を決めるようにしたことを
   特徴とするチップの位置決め方式。