JPH0344947A - 半導体装置の測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体装置の測定装置に関するものである。

従来の技術 従来の半導体装置の測定装置は、半導体装置をセラミッ
クパッケージや、プラスチックパッケージなどに実装し
た後に、半導体装置を適正に駆動させるボードの上に装
着して測定する装置や、第２図の側面図に示したように
、半導体装置５をウェハーやチップ状で半導体装置の固
定台６上に固定し、金属プローバー４を半導体装置の配
線上にあて、半導体素子の特性を測定する。

発明が解決しようとする課題 現在、素子の高集積化が進み、配線幅が１．０μｍ前後
と細くなっている。従来の金属プローバーをあてる方式
では、針の先の強度を一定以上保つために、５０μｍ程
度の太さが必要である。金属プローバーを接触させる場
所は、５０μｍＸ５０μｍ程度またはそれ以上の大きさ
が必要となる。このため、半導体装置の不良場所を解明
するために、測定装置に、コンピューターを接続し、プ
ログラムを用いて半導体装置をブロックごとに動作させ
ることにより行っている。しかし、配線幅が細くなって
いる現在、ひとつひとつの素子を測定することは、不可
能である。さらに、金属プローバーを配線上に接触させ
て測定するために、配線をつぶすなどして、素子がこわ
れる可能性が高い。

課題を解決するための手段 従来法の問題点を解決するために、金属プローバーに変
えて、電子を収束させて、配線に電子ビ−ムをあて半導
体素子を駆動して素子特性を測定する。さらに、半導体
装置の固定台に２軸又は３軸系の駆動軸を接続する。

作用 このように、電子を収束させて、配線に電子ビームを照
射して半導体素子を駆動することにより、１．０μｍ程
度の細い配線のトランジスタまで、個々の特性を測定す
ることが可能となる。このことにより、測定後、配線を
破壊することがないため素子がこわれることがない。そ
の上、半導体装置の固定台に、２軸又は３軸系の駆動軸
を接続することにより、半導体装置上のすべての素子特
性を測定することができる。

実施例 本発明の実施例を第１図により説明する。第１図は本発
明の半導体装置の測定装置を示す断面図である。半導体
装置５を、半導体装置の固定台６の上に固定する。半導
体装置５の全体を駆動できる状態にするために、金属プ
ローバー４を特定のパッドにあてる。その後、個々の素
子のテストを行うために、回路駆動用電子源２から発生
した電子を、収束レンズ３でしぼり、半導体装置５の配
線上に回路駆動用電子ビーム１を照射させ回路を動作さ
せ素子特性を測定する。

回路駆動用電子ビーム１は複数個用いてもよい。

発明の効果 本発明によれば、電子ビームを配線上に照射し、回路を
動作させ特性を測定することにより、個々の素子を測定
することができ、不良となったトランジスタを解明する
ことができる。さらに、半導体装置の固定台を２次元ま
たは３次元的に動かすことにより、半導体装置全体の素
子特性を測定することができる。その上、非接触の測定
方法であるために、素子を破壊することなく測定できる
。また、真空中で測定するために、ダストによる影響が
ないという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による半導体装置の測定装置の側面図、
第２図は従来の測定装置の側面図である。 ｌ・・・・・・回路駆動用電子ビーム、２・・・・・・
回路駆動用電子源、３・・・・・・収束レンズ、４・・
・・・・金属プローバー　５・・・・・・半導体装置、
６・・・・・・半導体装置の固定台。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電子源で発生させた電子を加速し、レンズにより収束さ
   せた電子ビームを、半導体装置の配線上に照射し、半導
   体素子を駆動させ発生した各種の信号を外部に取り出す
   機能を付加したことを特徴とする半導体装置の測定装置
   。