JPS623412A - ラツピング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は磁気へラドコア等の薄板化において使用される
ラッピング装置に関する。

〔発明の技術的背景〕

近年、磁気記録媒体の高抗磁力化が進み、従来のフェラ
イトヘッドでは記録媒体を十分に磁化するだけの磁界発
生ができなくなっ・てきている。このため、飽和磁束密
度の大きいアモルファスやセンダストといった金属磁性
材料を用いた磁気ヘッドが必要となってきた。しかしな
がら、金属磁性材料を用いた磁気へラドコアによりビデ
オ信号等の高周波信号を記録する場合、コアロスを低減
するためく、ヘッドコア全厚をおよそ１０乃至Ｉμｍ程
度に薄板化することが必要である。この薄板化の方法と
しては以下のやり方がある。すなわち２つの磁気へラド
コア半休を磁気ギャップ層を介して対向させ、銀ろう、
ガラス等で接合し、この接合ブロックをスライスし、両
面ラッピングによりおよそ７０乃至１００ｔＩｒｎの厚
さに加工する。そしてさらに薄板化を進めるために最終
仕上げとしてヘッドコアを適度にラップ性のあるラップ
治具（例えばオプティカルフラット等）に精度良く貼り
付け、この貼付けたものごと両面ラップ法で加工すると
いうやり方である。

〔背景技術の問題点〕

上記最終仕上げの両面ラップ法は単純な両面う、プ法と
は異なり、従来の両面ラッピング精度が維持できないと
いう問題があった０すなわち、従来一般的に使用されて
いる両面ラップ盤用定寸装置は加工中のラップ板の摩耗
量を考慮していない。

従って、ラップ圧を２００ｇ／（ゴ程度として長時間加
工を行なう（ヘッドコアが研磨性が悪い金属磁性材料よ
り形成されている場合は特に長時間となる）薄板化のた
めのラッピングにおいてはラップ板の摩耗量が無視でき
ないものとなるので、従来の両面ラッピングの精度が維
持できない。

また、従来のラップ治具としては適度にラップ性のある
ラップ治具（例えば板ガラス）を使用したが、このラッ
プ治具によるとヘッドコアを貼り付けた側の面の高さの
微妙な差異から下ラップ板側のラップ治具の偏摩耗が発
生し、加工終了後のヘッドコア厚の不均一が生じていた
つさらに、ラッピングの終了時点のみきわめが難しく、
かなりの熟練が必要であった。

〔発明の目的〕

本発明は上述した点に鑑みてなされたもので、精度良く
両面ラッピングが可能で、かつ適切にラッピングを終了
させることのできるラッピング装置を提供すること分目
的とする。

〔発明の概要〕

本発明は目的とする試料厚みと略等しい段差を有する凸
部をラップ治具に形成し、この凸部以外の面に試料を貼
り付け、上ラップ板と下ラップ板との間に試料付きのラ
ップ治具を挾んでラッピングするようだラッピング装置
を構成し、さらにラッピング動作をラップ治具に形成し
た凸部と上ラップ板との接触時点で停止させるべく両者
の電気的導通を検出するようにしたものである。

〔発明の実施例〕

以Ｆ１本発明になるラッピング装置の一実施例につき図
面を参照して説明する。

第１図１嘘上記ラツピング装置の全体構成図である。（
１）は円板状の上ラップ板、（２）は普豊牟考≠を同じ
く円板状の下ラップ板である。上、下ラップ板（１）、
（２）は導電性のある物質０例えば鋳鉄から形成されて
いる。下ラップ板（２）の上面にはセレーシ冒ン（２ａ
）　（第２図参照）が形成されている。また板（２）上
にはベークライト製のラッピングキャリア（３）が複数
個配設されている。そしてラッピングキャリア（３）上
には詳細を後述するラップ治具（４）が配設されている
。上、下ラップ板（１）　、　（２）　、ラッピングキ
ャリア（３）、ラップ治具（４）等から構成されるこの
ラップ盤（５）は上、下ラップ板（１）　、　（２）が
回転せず。

ラッピングキャリア（３）が遊星歯車運動をするように
構成されている。すなわち、第２図に示すようにラッピ
ングキャリア（３）の円周側面には全面にギヤが形成さ
れておｐ、また下ラップ板（２）の外周部にこれとは独
立して配設されている環状部材（ＩＺＫはその内周側面
全面に同じくギヤが形成されている。従って、下ラップ
板（２）の透孔（２ｂ）よシ突出して配設されたセンタ
ーギヤＧ及び環状部材（１２１の回転によシラッピング
キャリア（３）が遊星歯車運動をすることになる（但し
、第２図においてはラッピングキャリア（３）は１つの
み示した）。そしてこの運動によりラップ治具（４）上
に貼付けられた試料（この場合、磁気へラドコア）（６
）は、所望の厚さまで上ラップ板（１）によりラッピン
グされる。また。

第１図において（力は電流源、（８）は電流検出回路で
あり１回路に電流が流れたことを検知してラップ盤（５
）の動作を停止させる停止信号を出力する。

次にラップ治具（３）の詳細を第３図にもとづいて説明
する。このラップ治具（３）は円板状をしておシその上
面には加工しようとするヘッドコアの目標厚みよυ数μ
ｍ高い段差を有する凸部（９）が一体に形成されている
。ラップ治具（３）はその基準面ＱＯ）に対し、試料貼
付は面（１１）、凸部（９）の上面の平面度、平行度が
ともに１ｐｍ以下のものである。なお、凸部（９）の形
成方法としては、基準面（１１に対し凸部（９）となる
面をラッピング、ボリシングで仕上げ１次に試料貼付は
面αυとなる面をダイヤモンドバイトにて高精度に研削
する。この研削加工で仕上る試料貼付は面の表面あらさ
は０．２Ｓ以下である。また。

試料としてのへラドコアの材質が導伝性の場合は。

試料貼付は面に酸化物等の絶縁体１例えばＳｉ′Ｏ。

やＡＪ−１０，などをスパッタリングや蒸着等により約
１０００λ以上形成し、この上に試料を貼付ける。

次に上記ラップ盤（５）による動作について説明する。

ラップ盤のスイッチがＯＮとなると、ラッピングキャリ
ア（３）が前述したように遊星歯車運動を行ない、上ラ
ップ板（１）によシ試料（６）は徐々にラッピングされ
る。このとき試料（６）はラップ治具（４）の凸部（９
）よシ高さが高く電流検出器（８）の出力はない。

試料（６）の厚みが設定厚さ、すなわち凸部（９）の段
差と等しくなると、ラップ治具（４）及びラッピングキ
ャリア（３）を介して上ラップ板（１）と下ラップ板（
２）ととが導通し、これによシ回路に電流が流れる。従
りて、電流検出回路（８）からはラップ盤停止信号が出
力され、ラップ盤のラップ動作が停止する。

以上のようにして試料の所定厚みへの２ツビングが終了
すると、自動的に動作は停止される。これにより精度の
良いラッピングを行なうことができる。なお、上記実施
例においては試料として磁気へラドコアを用いたが、こ
れはその他のものでも適用可能であることはいうまでも
ない。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明によれば、ラップ板の摩耗量を
考慮しなくとも正確なラッピングが行なえ、かつラッピ
ングの終了時には自動的にラッピング動作を終了させる
ことができるラッピング装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になるラッピング装置の一実施例を示す
全体構成図、第２図は第１図の装置の主要部の概略を示
す斜視図、第３図は第１図のラップ治具及びこれに貼付
けられた試料を示す斜視図である。 １・・・北ラップ板、　　　　　　２・・・下ラップ板
。 ３・・・ラッピングキャリア、　　４・・・ラップ治具
。 ５・・・ラップ盤、　　　　　６・・・試　料。 ７・・・電　源５　　　　　　８・・・電流検出器。 ９・・・凸　部。 代理人　弁理士　則近憲佑　（ほか１名）第１図 ａ 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 上、下のラップ板間にラップ治具及びこのラップ治具に
   貼付けられたラッピングすべき試料を挾み込んで両面ラ
   ッピングを行なうラッピング装置において、ラッピング
   すベき試料の目標ラッピング厚と略等しい段差を有する
   凸部を備え、前記試料よりも高硬度でかつ導電性を有し
   たラップ治具と、ラップ治具の凸部以外の面に貼り付け
   られた試料と対向する導電性の上ラップ板と、上ラップ
   板とラップ治具の凸部との接触を両者の電気的導通によ
   り検出し、この検出出力によりラッピング動作を停止さ
   せる手段とを具備したことを特徴とするラッピング装置
   。