JPS6234117A - 顕微鏡対物レンズ - Google Patents
顕微鏡対物レンズInfo
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- JPS6234117A JPS6234117A JP60173870A JP17387085A JPS6234117A JP S6234117 A JPS6234117 A JP S6234117A JP 60173870 A JP60173870 A JP 60173870A JP 17387085 A JP17387085 A JP 17387085A JP S6234117 A JPS6234117 A JP S6234117A
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- Japan
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- lens
- aberrations
- optical axis
- refractive index
- compensate
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0087—Simple or compound lenses with index gradient
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は顕微鏡対物レンズに関するものである。
顕微鏡対物レンズは諸収差が充分に補正されていること
が必要であるが、同時に収差補正上の自由度を制限する
種々の要求をも満足していなければならない。たとえば
、高い解像力を得るためには開口数（ＮＡ）が大きくな
ければならず、また標本と対物レンズとの衝突を避ける
ためには長い作動距離（ＷＤ）を有することが必要であ
る。また、種々の対物レンズを同一のレボルバ−に取付
けて切換え使用する必要からレンズ系の全長が所定の範
囲内に収まっていなければならない、更に、光学的鏡筒
長を一定に保つため、対物レンズの胴付面から像面まで
の距離が倍率によらず一定でなければならない。
が必要であるが、同時に収差補正上の自由度を制限する
種々の要求をも満足していなければならない。たとえば
、高い解像力を得るためには開口数（ＮＡ）が大きくな
ければならず、また標本と対物レンズとの衝突を避ける
ためには長い作動距離（ＷＤ）を有することが必要であ
る。また、種々の対物レンズを同一のレボルバ−に取付
けて切換え使用する必要からレンズ系の全長が所定の範
囲内に収まっていなければならない、更に、光学的鏡筒
長を一定に保つため、対物レンズの胴付面から像面まで
の距離が倍率によらず一定でなければならない。
これらの種々の制約条件のもとて諸収差を良好に補正す
ることは、対物レンズがいわゆる拡大系であることも加
わり、非常な困難を伴うものである。
ることは、対物レンズがいわゆる拡大系であることも加
わり、非常な困難を伴うものである。
この困難を克服するため、従来の顕微鏡対物レンズは強
い曲率を有するレンズを多数用いたきわめて複雑な光学
系とならざるを得なかった。
い曲率を有するレンズを多数用いたきわめて複雑な光学
系とならざるを得なかった。
この構成を緩和するため、非球面レンズや屈折率分布型
レンズ（ＧＲＩＮレンズ）を導入することが考案されて
いる。顕微鏡光学系に屈折率分布型レンズを応用した例
は、特公昭４７−２８０５７号公報、特公昭５７−３９
４０５号公報に見られる。このうち前者は単に顕微鏡の
結像系に屈折率分布型レンズを用いることが開示されて
いるのみで、収差補正に関しては何ら記載されていない
。一方、後者は顕ｗＸ鏡の光学系内において、軸上像点
を結像する開口光線が軸外光線より小さい高さを有する
位置に、屈折率分布が指数関数 ｎ−ｎｏｅ頁′ 但し、ｎ、・−レンズ中心の屈折率 に−・−屈折率勾配を与える パラメータ ｒ −−−−−・・光軸からの半径方向の距離 で表わされる屈折率分布型レンズを配置することにより
、軸外収差を補正するようにしたものである。
レンズ（ＧＲＩＮレンズ）を導入することが考案されて
いる。顕微鏡光学系に屈折率分布型レンズを応用した例
は、特公昭４７−２８０５７号公報、特公昭５７−３９
４０５号公報に見られる。このうち前者は単に顕微鏡の
結像系に屈折率分布型レンズを用いることが開示されて
いるのみで、収差補正に関しては何ら記載されていない
。一方、後者は顕ｗＸ鏡の光学系内において、軸上像点
を結像する開口光線が軸外光線より小さい高さを有する
位置に、屈折率分布が指数関数 ｎ−ｎｏｅ頁′ 但し、ｎ、・−レンズ中心の屈折率 に−・−屈折率勾配を与える パラメータ ｒ −−−−−・・光軸からの半径方向の距離 で表わされる屈折率分布型レンズを配置することにより
、軸外収差を補正するようにしたものである。
屈折率分布が上記の関数にしたがって変化する場合は、
ｒが大きいところで屈折率が急激に変化する。このため
、上記のような位置に配置すれば軸上収差に影響を及ぼ
すことなく軸外収差のみを補正することが可能である。
ｒが大きいところで屈折率が急激に変化する。このため
、上記のような位置に配置すれば軸上収差に影響を及ぼ
すことなく軸外収差のみを補正することが可能である。
しかしながら、通常の顕微鏡対物レンズでは、ＮＡが大
きくなるのに伴って軸上光束と軸外光束とがほぼ重なり
合って伝播され、両者が分離する位置はかなり結像位置
に近い位置となる。
きくなるのに伴って軸上光束と軸外光束とがほぼ重なり
合って伝播され、両者が分離する位置はかなり結像位置
に近い位置となる。
このため、従来の構成では屈折率分布型レンズを対物レ
ンズとは別個に設ける必要があるが、光線の通過する位
置は対物レンズ毎に異なっているので、このような構成
では種々の対物レンズを交換してもなお良好に収差を補
正することは不可能である。
ンズとは別個に設ける必要があるが、光線の通過する位
置は対物レンズ毎に異なっているので、このような構成
では種々の対物レンズを交換してもなお良好に収差を補
正することは不可能である。
本発明はこのような問題点を解決し、ＮＡが大きい場合
でも良好に収差補正を行なえる顕微鏡対物レンズを提供
するものである。
でも良好に収差補正を行なえる顕微鏡対物レンズを提供
するものである。
本発明は光軸から半径方向の距離にしたがって変化する
屈折率分布型レンズを顕微鏡対物レンズ−構成要素とし
て配置することより上記の問題点を解決したものである
。
屈折率分布型レンズを顕微鏡対物レンズ−構成要素とし
て配置することより上記の問題点を解決したものである
。
顕微鏡対物レンズにおいては球面収差、コマ収差、像面
湾曲、非点収差等が充分に補正されている必要があるが
、これらの諸収差の中でも像面湾曲を補正するためにパ
ワー配置を決めてしまうと他の収差の補正に対する制約
が厳しくなり、すべての収差を良好に補正することが難
かしくなる。対物レンズ全体を軸外主光線が光軸と交わ
る位置を境にして前群と後群に分けると、上記の諸収差
を全て良好に補正するためには前群として、球面収差、
コマ収差の発生を小さく抑えながら像面湾曲を補正し、
かつ強い屈折力を有するものが必要である。これを満足
するため物体側に強い凹面を有するメニスカスレンズを
配置した構成のものが採用されることが多いが、このタ
イプのものでは、ＮＡを大きくしていくと、前群の強い
屈折力のために充分な収差補正を行なうことがきわめて
難しくなり、前群の残存収差が大きくならざるを得ない
。
湾曲、非点収差等が充分に補正されている必要があるが
、これらの諸収差の中でも像面湾曲を補正するためにパ
ワー配置を決めてしまうと他の収差の補正に対する制約
が厳しくなり、すべての収差を良好に補正することが難
かしくなる。対物レンズ全体を軸外主光線が光軸と交わ
る位置を境にして前群と後群に分けると、上記の諸収差
を全て良好に補正するためには前群として、球面収差、
コマ収差の発生を小さく抑えながら像面湾曲を補正し、
かつ強い屈折力を有するものが必要である。これを満足
するため物体側に強い凹面を有するメニスカスレンズを
配置した構成のものが採用されることが多いが、このタ
イプのものでは、ＮＡを大きくしていくと、前群の強い
屈折力のために充分な収差補正を行なうことがきわめて
難しくなり、前群の残存収差が大きくならざるを得ない
。
そこで、後群に屈折率分布型レンズを配置すると、後群
の収差補正能力が著しく高（なり、レンズ構成を複雑化
することなく前群の大きな残存収差を補正して、全系の
収差状態を良好に保つことができる。
の収差補正能力が著しく高（なり、レンズ構成を複雑化
することなく前群の大きな残存収差を補正して、全系の
収差状態を良好に保つことができる。
一方、前群に屈折率分布型レンズを配置すると、前群に
おける残存収差そのものを小さくすることができ、やは
り全系の収差状態を良好に保つことが可能となる。すな
わち、通常の顕微鏡対物レンズでは、前群は軸上光束の
みならず軸外光束に対しても良好な対称性を有し、非対
称性収差の発生がなるべく少なくなるような構成となっ
ている。したがって、前群に屈折率分布型レンズを導入
すると非対称性収差をあまり悪化させずに対称性収差を
補正することが可能となる。その結果、前群における残
存収差を小さくすることができるが、これは後群に対す
る収差補正上の負担が軽減されることにもなるので、よ
り一層単純な構成で諸収差を良好に補正することができ
る。
おける残存収差そのものを小さくすることができ、やは
り全系の収差状態を良好に保つことが可能となる。すな
わち、通常の顕微鏡対物レンズでは、前群は軸上光束の
みならず軸外光束に対しても良好な対称性を有し、非対
称性収差の発生がなるべく少なくなるような構成となっ
ている。したがって、前群に屈折率分布型レンズを導入
すると非対称性収差をあまり悪化させずに対称性収差を
補正することが可能となる。その結果、前群における残
存収差を小さくすることができるが、これは後群に対す
る収差補正上の負担が軽減されることにもなるので、よ
り一層単純な構成で諸収差を良好に補正することができ
る。
尚、前群において物体側に強い凹面を有するメニスカス
レンズの代わりに屈折率分布型レンズを用いるとこのレ
ンズを平凸レンズとすることもできるので、製造上ある
いは自由作動距離を太き（する上で有効である。すなわ
ち、通常このレンズを平凸レンズにすると屈折力が著し
く強くなる。像面湾曲を補正しようとすると全系のパワ
ー配分に無理が生じて諸収差の補正が到底不可能である
。このため従来このレンズを平凸レンズとした対物レン
ズは油浸タイプのものを除いて像面湾曲が補正されてい
なかった。
レンズの代わりに屈折率分布型レンズを用いるとこのレ
ンズを平凸レンズとすることもできるので、製造上ある
いは自由作動距離を太き（する上で有効である。すなわ
ち、通常このレンズを平凸レンズにすると屈折力が著し
く強くなる。像面湾曲を補正しようとすると全系のパワ
ー配分に無理が生じて諸収差の補正が到底不可能である
。このため従来このレンズを平凸レンズとした対物レン
ズは油浸タイプのものを除いて像面湾曲が補正されてい
なかった。
これに対し、光軸から半径方向に屈折率分布を有するレ
ンズでは、屈折面に比較して媒質自体の持つ屈折力の方
が像面湾曲に対する影響が小さいので、平凸レンズの強
い屈折力を媒質自体に負担させることにより、像面湾曲
を補正しても全系のパワー配分に余裕が出来て他の収差
も充分に補正することが可能となる。
ンズでは、屈折面に比較して媒質自体の持つ屈折力の方
が像面湾曲に対する影響が小さいので、平凸レンズの強
い屈折力を媒質自体に負担させることにより、像面湾曲
を補正しても全系のパワー配分に余裕が出来て他の収差
も充分に補正することが可能となる。
後述する実施例においては以下のような屈折率分布型レ
ンズを用いている。すなわち、光軸上の屈折率をｎｏ、
光軸から半径方向の距離をｒとするとき屈折率分布が、 ｎ＝ｎｅｔｎ、ｒ”＋ｎｌｒ’＋ｎ３ｒ’＋……と表わ
されるものである。但し、ｎｌ ＊ ｎＺ ｒｎｌ、
・−・−は、それぞれ２次項、４次項、６次項、 −・
・・・−・の係数である。
ンズを用いている。すなわち、光軸上の屈折率をｎｏ、
光軸から半径方向の距離をｒとするとき屈折率分布が、 ｎ＝ｎｅｔｎ、ｒ”＋ｎｌｒ’＋ｎ３ｒ’＋……と表わ
されるものである。但し、ｎｌ ＊ ｎＺ ｒｎｌ、
・−・−は、それぞれ２次項、４次項、６次項、 −・
・・・−・の係数である。
ここで、屈折率分布型レンズに充分な収差補正能力を付
与するためには、屈折率分布型レンズを前群に配置する
場合には Ｉ ｎ、ｌ ＞７ｘ １０−’／ｆ” −−（１）後
群に配置する場合には Ｉ ｎ、 ｌ ＞ Ｉ Ｘ １０−４／ｆ！ −−
−−−−（１’）という条件を満足することが望ましい
。但し、ｆは全系の焦点距離である。この条件を満足し
ないと中心と周辺との屈折率差が小さすぎて、充分な収
差補正が困難となる。
与するためには、屈折率分布型レンズを前群に配置する
場合には Ｉ ｎ、ｌ ＞７ｘ １０−’／ｆ” −−（１）後
群に配置する場合には Ｉ ｎ、 ｌ ＞ Ｉ Ｘ １０−４／ｆ！ −−
−−−−（１’）という条件を満足することが望ましい
。但し、ｆは全系の焦点距離である。この条件を満足し
ないと中心と周辺との屈折率差が小さすぎて、充分な収
差補正が困難となる。
また、高次の屈折率変動が大きくなりすぎると光軸近傍
を通る光線とレンズの周辺を通る光線との収差のバラン
スを保つことが難しくなっていくる。このような難点を
避けるには、各次数の係数を全系の焦点距離で正規化し
たものを１ｒｌｌｌ＞１−五一、１．ｉ≧３ −−−−
−− （２”）を満足することが望ましい、特に１桁
ないし２桁以上差をつけておくことが収差をバランス良
く補正する上で好ましいことである。
を通る光線とレンズの周辺を通る光線との収差のバラン
スを保つことが難しくなっていくる。このような難点を
避けるには、各次数の係数を全系の焦点距離で正規化し
たものを１ｒｌｌｌ＞１−五一、１．ｉ≧３ −−−−
−− （２”）を満足することが望ましい、特に１桁
ないし２桁以上差をつけておくことが収差をバランス良
く補正する上で好ましいことである。
以下、本発明の実施例を示す。
実施例１゜
ｒ、 ＝−０，６１４４
ｄ＋ −１，００５４ｎｅｔ−１，７８５９０＊ｒｔ
−０，９０６３ ｄ□＝０．０１２９ ｒ ３− １１．８７１１ ｄ３ ＝０．５４５３ ｎｏｔ−１，７６１８０
＊ｒ、 ＝−１，９５５９ ｄ４＝２．５５０６ ｒｓ ”” １４．２６１３ ｄｓ ”０．２１７１ ｎｏｉ−１，４９７００
ｒｈ −−２，８６４４ ｄ、 −０，０１２９ ｒ７＝ ２．５８３６ ａ、＝０．６７６ｔ ｎｏ４−ｔ、６５８３゜
ｒｓ −■ ｄ ｅ −０，３７２８ｎ ｏｓ−１，６１３４０ｒ
ｗ −１，１０８１ ｆ −Ｉ ＷＤ＝ ０．２４
５６β−２０Ｘ ＮＡ−０，４６実
施例２゜ ｒ、 ＝−０，７０７０ ｄ＋ −１，０４０２ｎｅｔ−１，７８５９０＊ｒｔ
−０，９４５７ ｄ、 ＝０．０１３０ ｒｓ ＝ ７．５９６３ ｄｉ −０，５５８２ｎｏｚ＝１．７６１８０ ＊ｒ
４−−１．７６３５ ｄ４−２．２７６０ ｒ ｓ−７，１１２６ｎ＋１ｓ＝１．４９７００ｄｓ
”０．４５９６ ｒｈ ＝ ２．７１８１ ｄ ｈ −０，０１３０ ｒｔ ＝ ２．７６１５ ｄｙ ＝１．１００５ ｎｏ４”１．６５８
３０ｒｇ −１，０５８２ ｆ −Ｉ ＷＤ−０，２４８６β
＝２０Ｘ ＮＡ＝ ０．４６実施
例３゜ ｒ 、 ＝ −０，４５３８ ｄ Ｉ−０，６８７５ｎ ｅｔ −１，８３４００ｒ
ｔ＝ −０，７３８４ ｄ ｔ ”’０．０１２８ ｒｓ ＝ ２．２２２５ ｄ、 ＝０．２７２６ ｎ、＝１．４９７０
０ｒ ４ ＝ −１，１４６２ ｃｔ、＝０．０１２８ ｒｓ ”’ ５０．２６７０ ｄ ｓ ”０．６９３０ ｎ ０３＝ １．
７６１８０ｒ 、 ＝ −３，５１９６ ｄｉ −２，４３０５ ｒ、 ＝ ３．５３９５ ａ、 ＝０．３４９９ ｎＨ−１，４９７０
０ｒ 、 ＝ −４，１３７８ ｄｓ ”０．０１２８ ｒ、 ＝ １．９５３０ ｄ ｑ −０，８７４３ｎｏｓ”’１．６５８３０
’１’ｒ 、 、 ＝ ０．９８５７ （−１ＷＤ ＝ ０．２４３４ β眺２０Ｘ ＮＡ＝ ０．４６実施
例４゜ ｒｌ −−０，４４９６ ｄ ＋ ”０．６８１２ ｎ ｅｔ ＝１．８３
４００ｒｚ ＝ ０．７５１１ ｄ ｚ −０，０１２７ ｒ＝ ” ２．６７９４ ｄ ｓ −０，２５４２ｎ ｏｘ −１，４９７００ｒ
４ ”” １．０６８６ ｄ４−０．０１２７ ｒ 、 ＝ −３９，６９０４ ｄｓ ”０．６４２０ ｎｏｓ＝１．７６１８０
ｒｂ −４，０５６８ ｄｈ −２，４８７６ ｒ、 ＝ ４．１０５１ ｄｔ −０，３９４１ｎｏ４−１．６０１７８ ＊ｒ
ｍ −４，６３６４ ｄ ａ ”＝０．０１２７ ｒａ ” １．９９４５ ｄｈ ＝０．８３３３ ｎｏｓ−１，６６０８３
＊ｒ１゜−０，９７５４ ｒ −Ｉ ＷＤ ＝ ０．２
４２７β−２０Ｘ ＮＡ＝ ０
．４６実施例５゜ ｒ 、 −−０，６２０２ ｄ、 −１，０１０１ｎｏ、＝１．７８５９０ ＊ｒ
ｚ −０，９３３４ ｄ ！ ＝０．０１２９ ｒ 、 −−２５，９８６０ ｄｓ −０，５４６０ｎｏｚ＝１．７６１８０ ＊ｒ
４＝−１，８３５５ ｄ、 ＝２．５８３７ ｒ ｓ ”−１７，０８７８ｎ ｏｓ ＝ １．４９７
００ｄ ｓ ”０．２１７７ ｒａ ＝ ２．８４７５ ｄ ｂ ”０．０１２９ ｒｖ −２，３１２６ ｄｔ ＝１．０２７８ ｎｏ４＝１．６５
８３０ ＊ｒ、 ＝ １．３１２６ ｆ −Ｉ ＷＤ ＝ ０．
２４６４β−２０Ｘ ＮＡ−０，４
６実施例６゜ ｒ 、 ＝ −０，６０８２ ｄｌ＝０．９９７４ ｎｏｔ−１，７７２５０＊
ｒｔ ＝ ０．９９６２ ａ、 −０，０１２７ ｒｓ −４，５９３１ ｄｓ −０，５３４６ｎｏｔ−１，７７２５０’ｌ’ｒ
ａ −−２，１５９９ ｄ４−２．６８７４ ｒｓ−５゜１９１９ ｄ５ ＝１．０６２９ ｎｏｉ＝１．８３４
０゜ｒ、−１，５３２７ ｆ ＝ Ｉ ＷＤ −０，２４
１７β＝２０Ｘ ＮＡ＝ ０．４
６実施例７゜ ｒ ｒ −−０，５２４９ ｄ、 ＝０．９９１Ｏｎ、、−１，７７２５０ｒｚ ＝
１．００１４ ｄ、 ＝０．０１２４ ｒｉ ＝ ４．７６２７ ｄｘ −０，５３３５ｎｏｔ−１，７７２５０＊ｒ ４
＝ −２，２０１４ ａ４＝２．６２５７ ｒ ｓ ＝ ２３．３８３８ ｄｓ ＝１．０３０９ ｎｏｓ−１，８３４
００＊ｒｂ ”” ３．３５７９ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２３７
１β＝２０Ｘ ＮＡ−０，４６実施
例８゜ ｆ、ｇｏ。
−０，９０６３ ｄ□＝０．０１２９ ｒ ３− １１．８７１１ ｄ３ ＝０．５４５３ ｎｏｔ−１，７６１８０
＊ｒ、 ＝−１，９５５９ ｄ４＝２．５５０６ ｒｓ ”” １４．２６１３ ｄｓ ”０．２１７１ ｎｏｉ−１，４９７００
ｒｈ −−２，８６４４ ｄ、 −０，０１２９ ｒ７＝ ２．５８３６ ａ、＝０．６７６ｔ ｎｏ４−ｔ、６５８３゜
ｒｓ −■ ｄ ｅ −０，３７２８ｎ ｏｓ−１，６１３４０ｒ
ｗ −１，１０８１ ｆ −Ｉ ＷＤ＝ ０．２４
５６β−２０Ｘ ＮＡ−０，４６実
施例２゜ ｒ、 ＝−０，７０７０ ｄ＋ −１，０４０２ｎｅｔ−１，７８５９０＊ｒｔ
−０，９４５７ ｄ、 ＝０．０１３０ ｒｓ ＝ ７．５９６３ ｄｉ −０，５５８２ｎｏｚ＝１．７６１８０ ＊ｒ
４−−１．７６３５ ｄ４−２．２７６０ ｒ ｓ−７，１１２６ｎ＋１ｓ＝１．４９７００ｄｓ
”０．４５９６ ｒｈ ＝ ２．７１８１ ｄ ｈ −０，０１３０ ｒｔ ＝ ２．７６１５ ｄｙ ＝１．１００５ ｎｏ４”１．６５８
３０ｒｇ −１，０５８２ ｆ −Ｉ ＷＤ−０，２４８６β
＝２０Ｘ ＮＡ＝ ０．４６実施
例３゜ ｒ 、 ＝ −０，４５３８ ｄ Ｉ−０，６８７５ｎ ｅｔ −１，８３４００ｒ
ｔ＝ −０，７３８４ ｄ ｔ ”’０．０１２８ ｒｓ ＝ ２．２２２５ ｄ、 ＝０．２７２６ ｎ、＝１．４９７０
０ｒ ４ ＝ −１，１４６２ ｃｔ、＝０．０１２８ ｒｓ ”’ ５０．２６７０ ｄ ｓ ”０．６９３０ ｎ ０３＝ １．
７６１８０ｒ 、 ＝ −３，５１９６ ｄｉ −２，４３０５ ｒ、 ＝ ３．５３９５ ａ、 ＝０．３４９９ ｎＨ−１，４９７０
０ｒ 、 ＝ −４，１３７８ ｄｓ ”０．０１２８ ｒ、 ＝ １．９５３０ ｄ ｑ −０，８７４３ｎｏｓ”’１．６５８３０
’１’ｒ 、 、 ＝ ０．９８５７ （−１ＷＤ ＝ ０．２４３４ β眺２０Ｘ ＮＡ＝ ０．４６実施
例４゜ ｒｌ −−０，４４９６ ｄ ＋ ”０．６８１２ ｎ ｅｔ ＝１．８３
４００ｒｚ ＝ ０．７５１１ ｄ ｚ −０，０１２７ ｒ＝ ” ２．６７９４ ｄ ｓ −０，２５４２ｎ ｏｘ −１，４９７００ｒ
４ ”” １．０６８６ ｄ４−０．０１２７ ｒ 、 ＝ −３９，６９０４ ｄｓ ”０．６４２０ ｎｏｓ＝１．７６１８０
ｒｂ −４，０５６８ ｄｈ −２，４８７６ ｒ、 ＝ ４．１０５１ ｄｔ −０，３９４１ｎｏ４−１．６０１７８ ＊ｒ
ｍ −４，６３６４ ｄ ａ ”＝０．０１２７ ｒａ ” １．９９４５ ｄｈ ＝０．８３３３ ｎｏｓ−１，６６０８３
＊ｒ１゜−０，９７５４ ｒ −Ｉ ＷＤ ＝ ０．２
４２７β−２０Ｘ ＮＡ＝ ０
．４６実施例５゜ ｒ 、 −−０，６２０２ ｄ、 −１，０１０１ｎｏ、＝１．７８５９０ ＊ｒ
ｚ −０，９３３４ ｄ ！ ＝０．０１２９ ｒ 、 −−２５，９８６０ ｄｓ −０，５４６０ｎｏｚ＝１．７６１８０ ＊ｒ
４＝−１，８３５５ ｄ、 ＝２．５８３７ ｒ ｓ ”−１７，０８７８ｎ ｏｓ ＝ １．４９７
００ｄ ｓ ”０．２１７７ ｒａ ＝ ２．８４７５ ｄ ｂ ”０．０１２９ ｒｖ −２，３１２６ ｄｔ ＝１．０２７８ ｎｏ４＝１．６５
８３０ ＊ｒ、 ＝ １．３１２６ ｆ −Ｉ ＷＤ ＝ ０．
２４６４β−２０Ｘ ＮＡ−０，４
６実施例６゜ ｒ 、 ＝ −０，６０８２ ｄｌ＝０．９９７４ ｎｏｔ−１，７７２５０＊
ｒｔ ＝ ０．９９６２ ａ、 −０，０１２７ ｒｓ −４，５９３１ ｄｓ −０，５３４６ｎｏｔ−１，７７２５０’ｌ’ｒ
ａ −−２，１５９９ ｄ４−２．６８７４ ｒｓ−５゜１９１９ ｄ５ ＝１．０６２９ ｎｏｉ＝１．８３４
０゜ｒ、−１，５３２７ ｆ ＝ Ｉ ＷＤ −０，２４
１７β＝２０Ｘ ＮＡ＝ ０．４
６実施例７゜ ｒ ｒ −−０，５２４９ ｄ、 ＝０．９９１Ｏｎ、、−１，７７２５０ｒｚ ＝
１．００１４ ｄ、 ＝０．０１２４ ｒｉ ＝ ４．７６２７ ｄｘ −０，５３３５ｎｏｔ−１，７７２５０＊ｒ ４
＝ −２，２０１４ ａ４＝２．６２５７ ｒ ｓ ＝ ２３．３８３８ ｄｓ ＝１．０３０９ ｎｏｓ−１，８３４
００＊ｒｂ ”” ３．３５７９ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２３７
１β＝２０Ｘ ＮＡ−０，４６実施
例８゜ ｆ、ｇｏ。
ｄｌ−０，８８８９ｎ０１＝１．６３９８０ ＊ｒｔ
” ７．４１０５ ｄｔ ”０．０１３１ ｒ 、 ＝ １７１３．８４８６ ｄｓ ＝０．２５０２ ｎｅｔ−１，４９７００
ｒ４−−１．７７８８ ｄ ａ ＝０．５３８８ ｎ ｏｓ −１，７９
９５２＊ｒｓ ” １．３２３４ ｄ、 ＝０．０１３１ ｒｉ −２４，５２８４ ｄｂ ”０．４５７８ ｎｏ４−１．６７０
００ ＊ｒ ｑ ＝ −３，７９４９ ｄｙ −１，９０４４ ｒｓ ＝ ２．６０６９ ｄｓ ””０．６０２６ ｎｏｓ−１，６５
８３０＊ｆ ９２００ ｄｂ −０，６９０３ｎｏｉ＝１．６１２９３
＊ｒｈｏ” ０．６６７０ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２４
９６β−２０Ｘ ＮＡ−０，４６
実施例９゜ ｒ １ 濡 ■ ｄｌ −０，５０２７ｎ、、＝１．８３４００ｒｚ ＝
０．７３６３ ａ、 ＝０．０１２５ ｒ、 −０，５０３８ ｄ３”０．２３１１ ｎｅｔ−１，４９７００＊
ｒ４＋ｓａ Ｏ＋Ｏ ｄａ ”０．１８６８ ｎｏｚ−１，７４０００
＊ｒｓ ” ０．３８７３ ｄｓ ”０．２３５３ ｒ 、 ＝ −０，３５６７ ｄｈ ”０．１００５ ｎｏ４−１．６７２７０
＊ｒマ＝ｏ。
” ７．４１０５ ｄｔ ”０．０１３１ ｒ 、 ＝ １７１３．８４８６ ｄｓ ＝０．２５０２ ｎｅｔ−１，４９７００
ｒ４−−１．７７８８ ｄ ａ ＝０．５３８８ ｎ ｏｓ −１，７９
９５２＊ｒｓ ” １．３２３４ ｄ、 ＝０．０１３１ ｒｉ −２４，５２８４ ｄｂ ”０．４５７８ ｎｏ４−１．６７０
００ ＊ｒ ｑ ＝ −３，７９４９ ｄｙ −１，９０４４ ｒｓ ＝ ２．６０６９ ｄｓ ””０．６０２６ ｎｏｓ−１，６５
８３０＊ｆ ９２００ ｄｂ −０，６９０３ｎｏｉ＝１．６１２９３
＊ｒｈｏ” ０．６６７０ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２４
９６β−２０Ｘ ＮＡ−０，４６
実施例９゜ ｒ １ 濡 ■ ｄｌ −０，５０２７ｎ、、＝１．８３４００ｒｚ ＝
０．７３６３ ａ、 ＝０．０１２５ ｒ、 −０，５０３８ ｄ３”０．２３１１ ｎｅｔ−１，４９７００＊
ｒ４＋ｓａ Ｏ＋Ｏ ｄａ ”０．１８６８ ｎｏｚ−１，７４０００
＊ｒｓ ” ０．３８７３ ｄｓ ”０．２３５３ ｒ 、 ＝ −０，３５６７ ｄｈ ”０．１００５ ｎｏ４−１．６７２７０
＊ｒマ＝ｏ。
ｄｙ −０，４０９４ｎ６ｓ＝１．４９７００ ＊ｒ
ｓ ”’ ０．７１６４ ｄ、 −０，０１８４ ｒｑ −４，７８３０ ｄｌ −０，３５８０ｎｏａ−１，６６７５５＊ｒ 、
、 −−１，２３２６ ｄ Ｉ Ｏ＝ １．５３７４ ｒ 、 、 ＝ １．０６１１ ｄ ｚ＝０．６２１４ ｎｏ、−１，５４８６
９ｒ１ｔ−０，７６２８ ｒ −Ｉ ＷＤ −０，４５
１３β−２０Ｘ ＮＡ＝ ０．
４６実施例１０゜ ｒ、寓−０，８９３８ ｄｗ −１，３０１４ｎｅｔ−１，６０３１１＊ｒｍ
−１，０７６１ ｄ、 ＝０．０４８５ ｒ 、 −−１２，５４２２ ｄ３ ＝１．２７７９ ｎｅｔ−１，４９７
００＊ｒ、＝ −２，１０７３ ｄ、−０，１１９６ ｒｓ −−５，９２０３ ｄｓ −４，０１４７ｎｏｓ＝１．６５８３０
＊ｒ ｂ −１５，８２６０ （ｌｂ −２，４２８５ ｒ７ − ５０．５２２６ ｄｙ −１，２０８０ｎｏ４−１．６９６８０ｒ 、
−−４５，６５５１ ａ、−０，８４８６ ｒ、−８，８５０４ ｄｗ −３，９６６１ｎｏｓ−１，６４７６９＊ｒｌ
ｏ＝ ８．１０８４ ｄ、。−０，０９０１ ｒ ＋＋ −５，３７５１ ｄ ＋＋−３，３１６７ｎ６ｉ−１，６９６８０＊ｒ
＋ｔ−１，８１２２ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２
７４７β−１００Ｘ ＮＡ−０，９
３実施例１１゜ ｒｌ −−０，９０４６ ｄｗ −１，３１７４ｎｅｔ”’１．６０３１１ ＊
ｒｔ−１，０８９２ ｄ、 −０，０４９０ ｒｓ ＝ １４．５０１５ ｄ ｓ −１，２９５７ｎ ｏｘ −１，４９７００１
ｒ４− ２．１７１１ ｔｌａ −０，１２１０ ｒ ｓ −−９，４６１７ ｄｓ ”４．１５５２ ｎ６３−１．６５８
３０ ＊ｒ ｂ −７４，３３３０ ｄ６−２．６６２２ ｒ ？ −１４，４７２９ ｄ、ｔ −１，２２２７ｎｏ４−１．６９６８０ｒ、
、−７６，２３４７ ｄａ −１，４７６６ ｒ、＝ ７．４４５８ ｄａ −４，４４７６ｎｏｓ−１，６４７６９＊ｒ、
。−５，３１６６ ｄｌ。−０，０９１２ ｒ、、−４，１２９４ ｄｌｌ−３，４５２６ｎ、−１，６９６８０ｒ１□−１
，８３４２ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２
７８０β＝ １００Ｘ ＮＡ−０
，９３実施例１２゜ ｒ、 ＝−０，９０９６ ｔＬ ”１．３２４５ ｎｏ＋＝１．６００７５
＊ｒ 、 ＝ −１，０９５２ ａｔ −０，０４９３ ｒ３− １４．１９０８ ｄｚ −１，３０２４ｎｏｚ＝１．４９８１６ ＊ｒ
ａ −２，１９６３ ｄ、 −０，１２１７ ｒ ｓ ” １０．１８４２ ｄｓ ”４．１４４４ ｎｏｓ＝１．８０７１５
＊ｒ 、 ＝ −３９，８００９ ａ、 −６，９６７８ ｒ ７ ＝ ６．１０９９ ｄｙ −４，０５７８ｎｏ４”１．６９７８３ ＊ｒ
ｓ ” ８．５３３６ ｄ ｓ ” ３．４０４６ ｎ ｏｓ−１，７２
８２５ｒ、＝ ２．０７１３ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２７
９５β−１００Ｘ ＮＡ寓０．９３実施例
１３゜ ｒ ｌ＝ −０，９１０２ Ｌ −１，３２５３ｎｃ＋−１，６００２３”ｒｘ −
１，０９５９ ｄｔ−０，０４９３ ｒ 、 ＝ −１４，９１１３ ｄｓ −１，３０３４ｎｅｔ−１，４９９４４＊ｒ、
−−２，２０１８ ｄ４−０．１２１８ ｒ ｓ ”” −９，１６６３ ｄｓ −４，２０３５ｎｅｗ−１，８５２３９＊ｒ、
−−３０，０８８９ ｄｂ ”６．８８２４ ｒ、−５，４３３７ ｃｔ、−４，０７５３ｒ１０４−１．５３０１８
＊ｒａ ” ５．８７５７ ｄ ｓ ””３．４０６９ ｎｏｓ−１，７
２８２５ｒ、−１，９５５２ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２７９
７β−１００Ｘ ＮＡ−０，９３実施
例１４゜ ｒ 、 ＝ −１，００６５ ｄ ＋ ＝ １．２８８８ ｎ ｏ＋ −１，７
０１５４ｒ、−−１，１４６０ ｄｓ −０，０４８０ ｒ ｓ ＝ ４２．７１９８ ｄｚ −１，２６８４ｎｅｔ−１，４９９４４＊ｒａ
−２，２３８５ ｄ４ −０．１１８６ ｒ ｓ ” −７，２２４１ ｄｓ ＝−４，１６６８ｎａｓ−１，８５２３９＊ｒ
ｂ ”” ２１．１７３７ ｄｈ −３，４４６０ ｒｙ −４，２２９０ ｄ７ −３．９６７６ ｎｏｎ−１，５３０
１８＊ｒ ｓ ” １１．４２９８ ｄ ｓ ”＝３．３０１５ ｎ ｏｓ”１．
５７３０９ｒ＊ ” １．６６４７ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２７
２４β−１００Ｘ ＮＡ＝ ０．
９３上記各実施例においてｒｌ＋ ｒＺ＋ ・・−は
レンズ各面の曲率半径、ｄｌ＋ｄ！＋−・・−は各レン
ズの肉厚および空気間隔であるｏ ｎ１ｌｌ＋ ｎＯ
１＋ ・・−は各レンズの屈折率で、屈折率分布型レン
ズの場合は軸上屈折率を表わしており、＊を付して示し
た。また、ｎｌ＋ ｎｔは２次項、４次項の係数ｆは
全系の焦点距離、ＷＤは作動距離、βは倍率、ＮＡは開
口数である。
ｓ ”’ ０．７１６４ ｄ、 −０，０１８４ ｒｑ −４，７８３０ ｄｌ −０，３５８０ｎｏａ−１，６６７５５＊ｒ 、
、 −−１，２３２６ ｄ Ｉ Ｏ＝ １．５３７４ ｒ 、 、 ＝ １．０６１１ ｄ ｚ＝０．６２１４ ｎｏ、−１，５４８６
９ｒ１ｔ−０，７６２８ ｒ −Ｉ ＷＤ −０，４５
１３β−２０Ｘ ＮＡ＝ ０．
４６実施例１０゜ ｒ、寓−０，８９３８ ｄｗ −１，３０１４ｎｅｔ−１，６０３１１＊ｒｍ
−１，０７６１ ｄ、 ＝０．０４８５ ｒ 、 −−１２，５４２２ ｄ３ ＝１．２７７９ ｎｅｔ−１，４９７
００＊ｒ、＝ −２，１０７３ ｄ、−０，１１９６ ｒｓ −−５，９２０３ ｄｓ −４，０１４７ｎｏｓ＝１．６５８３０
＊ｒ ｂ −１５，８２６０ （ｌｂ −２，４２８５ ｒ７ − ５０．５２２６ ｄｙ −１，２０８０ｎｏ４−１．６９６８０ｒ 、
−−４５，６５５１ ａ、−０，８４８６ ｒ、−８，８５０４ ｄｗ −３，９６６１ｎｏｓ−１，６４７６９＊ｒｌ
ｏ＝ ８．１０８４ ｄ、。−０，０９０１ ｒ ＋＋ −５，３７５１ ｄ ＋＋−３，３１６７ｎ６ｉ−１，６９６８０＊ｒ
＋ｔ−１，８１２２ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２
７４７β−１００Ｘ ＮＡ−０，９
３実施例１１゜ ｒｌ −−０，９０４６ ｄｗ −１，３１７４ｎｅｔ”’１．６０３１１ ＊
ｒｔ−１，０８９２ ｄ、 −０，０４９０ ｒｓ ＝ １４．５０１５ ｄ ｓ −１，２９５７ｎ ｏｘ −１，４９７００１
ｒ４− ２．１７１１ ｔｌａ −０，１２１０ ｒ ｓ −−９，４６１７ ｄｓ ”４．１５５２ ｎ６３−１．６５８
３０ ＊ｒ ｂ −７４，３３３０ ｄ６−２．６６２２ ｒ ？ −１４，４７２９ ｄ、ｔ −１，２２２７ｎｏ４−１．６９６８０ｒ、
、−７６，２３４７ ｄａ −１，４７６６ ｒ、＝ ７．４４５８ ｄａ −４，４４７６ｎｏｓ−１，６４７６９＊ｒ、
。−５，３１６６ ｄｌ。−０，０９１２ ｒ、、−４，１２９４ ｄｌｌ−３，４５２６ｎ、−１，６９６８０ｒ１□−１
，８３４２ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２
７８０β＝ １００Ｘ ＮＡ−０
，９３実施例１２゜ ｒ、 ＝−０，９０９６ ｔＬ ”１．３２４５ ｎｏ＋＝１．６００７５
＊ｒ 、 ＝ −１，０９５２ ａｔ −０，０４９３ ｒ３− １４．１９０８ ｄｚ −１，３０２４ｎｏｚ＝１．４９８１６ ＊ｒ
ａ −２，１９６３ ｄ、 −０，１２１７ ｒ ｓ ” １０．１８４２ ｄｓ ”４．１４４４ ｎｏｓ＝１．８０７１５
＊ｒ 、 ＝ −３９，８００９ ａ、 −６，９６７８ ｒ ７ ＝ ６．１０９９ ｄｙ −４，０５７８ｎｏ４”１．６９７８３ ＊ｒ
ｓ ” ８．５３３６ ｄ ｓ ” ３．４０４６ ｎ ｏｓ−１，７２
８２５ｒ、＝ ２．０７１３ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２７
９５β−１００Ｘ ＮＡ寓０．９３実施例
１３゜ ｒ ｌ＝ −０，９１０２ Ｌ −１，３２５３ｎｃ＋−１，６００２３”ｒｘ −
１，０９５９ ｄｔ−０，０４９３ ｒ 、 ＝ −１４，９１１３ ｄｓ −１，３０３４ｎｅｔ−１，４９９４４＊ｒ、
−−２，２０１８ ｄ４−０．１２１８ ｒ ｓ ”” −９，１６６３ ｄｓ −４，２０３５ｎｅｗ−１，８５２３９＊ｒ、
−−３０，０８８９ ｄｂ ”６．８８２４ ｒ、−５，４３３７ ｃｔ、−４，０７５３ｒ１０４−１．５３０１８
＊ｒａ ” ５．８７５７ ｄ ｓ ””３．４０６９ ｎｏｓ−１，７
２８２５ｒ、−１，９５５２ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２７９
７β−１００Ｘ ＮＡ−０，９３実施
例１４゜ ｒ 、 ＝ −１，００６５ ｄ ＋ ＝ １．２８８８ ｎ ｏ＋ −１，７
０１５４ｒ、−−１，１４６０ ｄｓ −０，０４８０ ｒ ｓ ＝ ４２．７１９８ ｄｚ −１，２６８４ｎｅｔ−１，４９９４４＊ｒａ
−２，２３８５ ｄ４ −０．１１８６ ｒ ｓ ” −７，２２４１ ｄｓ ＝−４，１６６８ｎａｓ−１，８５２３９＊ｒ
ｂ ”” ２１．１７３７ ｄｈ −３，４４６０ ｒｙ −４，２２９０ ｄ７ −３．９６７６ ｎｏｎ−１，５３０
１８＊ｒ ｓ ” １１．４２９８ ｄ ｓ ”＝３．３０１５ ｎ ｏｓ”１．
５７３０９ｒ＊ ” １．６６４７ ｆ −Ｉ ＷＤ −０，２７
２４β−１００Ｘ ＮＡ＝ ０．
９３上記各実施例においてｒｌ＋ ｒＺ＋ ・・−は
レンズ各面の曲率半径、ｄｌ＋ｄ！＋−・・−は各レン
ズの肉厚および空気間隔であるｏ ｎ１ｌｌ＋ ｎＯ
１＋ ・・−は各レンズの屈折率で、屈折率分布型レン
ズの場合は軸上屈折率を表わしており、＊を付して示し
た。また、ｎｌ＋ ｎｔは２次項、４次項の係数ｆは
全系の焦点距離、ＷＤは作動距離、βは倍率、ＮＡは開
口数である。
各実施例においては、６次項以上の係数を全てＯとして
いる。
いる。
本発明によれば比較的単純な構成で、大きなＮＡまで充
分に収差補正がなされた顕微鏡対物レンズを得ることが
できる。
分に収差補正がなされた顕微鏡対物レンズを得ることが
できる。
第１図ないし第１４図はそれぞれ本発明の実施例工ない
し１４のレンズ構成を示す図、第１５図ないし第２８図
はそれぞれ本発明の実施例１ないし１４の収差曲線図で
ある。
し１４のレンズ構成を示す図、第１５図ないし第２８図
はそれぞれ本発明の実施例１ないし１４の収差曲線図で
ある。
Claims (1)
- 複数枚のレンズから成り、該レンズの少なくとも１枚が
光軸から半径方向の距離に従って屈折率が変化する屈折
率分布型レンズであることを特徴とする顕微鏡対物レン
ズ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60173870A JPH0711630B2 (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 顕微鏡対物レンズ |
| DE19863626603 DE3626603A1 (de) | 1985-08-07 | 1986-08-06 | Mikroskopobjektiv |
| US07/146,044 US4880298A (en) | 1985-08-07 | 1988-01-20 | Microscope objective |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60173870A JPH0711630B2 (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 顕微鏡対物レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6234117A true JPS6234117A (ja) | 1987-02-14 |
| JPH0711630B2 JPH0711630B2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=15968658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60173870A Expired - Fee Related JPH0711630B2 (ja) | 1985-08-07 | 1985-08-07 | 顕微鏡対物レンズ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4880298A (ja) |
| JP (1) | JPH0711630B2 (ja) |
| DE (1) | DE3626603A1 (ja) |
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