JPS62298024A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS62298024A JPS62298024A JP14089586A JP14089586A JPS62298024A JP S62298024 A JPS62298024 A JP S62298024A JP 14089586 A JP14089586 A JP 14089586A JP 14089586 A JP14089586 A JP 14089586A JP S62298024 A JPS62298024 A JP S62298024A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protective film
- film
- ruggedness
- magnetic
- glass resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 45
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 14
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 11
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 4
- 229920003217 poly(methylsilsesquioxane) Polymers 0.000 abstract description 12
- 229940057995 liquid paraffin Drugs 0.000 abstract description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 2
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 229940035289 tobi Drugs 0.000 description 1
- NLVFBUXFDBBNBW-PBSUHMDJSA-N tobramycin Chemical compound N[C@@H]1C[C@H](O)[C@@H](CN)O[C@@H]1O[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O[C@@H]2[C@@H]([C@@H](N)[C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)[C@H](N)C[C@@H]1N NLVFBUXFDBBNBW-PBSUHMDJSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
3、発明の詳細な説明
〔概要〕
この発明は連続磁性膜上に保護膜を形成するにあたり、
保護膜を2層に分けて形成し、1層目で凹凸を形成、2
層目でその凹凸の段差を緩和することにより、磁気記録
媒体の機械的耐久強度の向上および磁気ヘッドの吸着や
摩耗を低減できるようにしたものである。
保護膜を2層に分けて形成し、1層目で凹凸を形成、2
層目でその凹凸の段差を緩和することにより、磁気記録
媒体の機械的耐久強度の向上および磁気ヘッドの吸着や
摩耗を低減できるようにしたものである。
この発明は、磁気ディスク装置等に使用される磁気記録
媒体の製造方法、特に連続磁性膜の表面に保護膜を形成
するためめ方法に関するものである。
媒体の製造方法、特に連続磁性膜の表面に保護膜を形成
するためめ方法に関するものである。
情報量の増大に伴い磁気ディスクの容量は、年々上昇の
一途をたどり、ますます高密度化を図ることが要望され
ている。記録密度の高密度化に当たっては、記録層の磁
気特性を向上させることの他に、磁気ヘッドと磁気ディ
スク間の間隙を小さくすることが必要である。しかし、
ヘッドとディスフとの間隙を小さくすると、それらが接
触する確率が増え、その接触度合によってはディスクに
記録された情報が破壊されるという大きな問題を生じる
。
一途をたどり、ますます高密度化を図ることが要望され
ている。記録密度の高密度化に当たっては、記録層の磁
気特性を向上させることの他に、磁気ヘッドと磁気ディ
スク間の間隙を小さくすることが必要である。しかし、
ヘッドとディスフとの間隙を小さくすると、それらが接
触する確率が増え、その接触度合によってはディスクに
記録された情報が破壊されるという大きな問題を生じる
。
これを避けるためにディスクの連続磁性膜の表面には、
通常耐久性に優れた保護膜が設けられている。
通常耐久性に優れた保護膜が設けられている。
このような保護膜とその形成方法として、特開昭60−
5423号の発明が知られている。これを第3図に従っ
て簡単に説明する。
5423号の発明が知られている。これを第3図に従っ
て簡単に説明する。
第3図において、11はディスク基板、12は連続磁性
膜、14は熱硬化性樹脂から成る保護膜、15は該保護
膜に設けられた孔、16はその孔の周辺部に存在する突
起、17は表面潤滑膜である。
膜、14は熱硬化性樹脂から成る保護膜、15は該保護
膜に設けられた孔、16はその孔の周辺部に存在する突
起、17は表面潤滑膜である。
その製造工程は、まず第3図(a)の工程において基板
11上にスパッタ法でr−Fe203の連続磁性膜12
を形成する。次に第3図(blの工程において、熱硬化
性樹脂を含む溶剤と易熱分解性物質(または易熱分解性
¥!iJ譬)の混合液13を塗布する。次に第3図(C
)の工程において、この混合液を加熱することにより熱
硬化性樹脂の硬化と易熱分解性物質の蒸発を同時に行う
。この結果、連続磁性膜12上には多数の孔15を有す
る熱硬化性樹脂膜すなわち保護膜14が形成される。こ
のとき答礼15の周辺部には、易熱蒸発性あるいは易熱
分解性物質の茶発、分解に伴う突起16が形成される。
11上にスパッタ法でr−Fe203の連続磁性膜12
を形成する。次に第3図(blの工程において、熱硬化
性樹脂を含む溶剤と易熱分解性物質(または易熱分解性
¥!iJ譬)の混合液13を塗布する。次に第3図(C
)の工程において、この混合液を加熱することにより熱
硬化性樹脂の硬化と易熱分解性物質の蒸発を同時に行う
。この結果、連続磁性膜12上には多数の孔15を有す
る熱硬化性樹脂膜すなわち保護膜14が形成される。こ
のとき答礼15の周辺部には、易熱蒸発性あるいは易熱
分解性物質の茶発、分解に伴う突起16が形成される。
そして最後の工程において、潤滑剤を塗布して表面潤滑
膜17を形成し第3図Fdlの磁気ディスクを完成する
。
膜17を形成し第3図Fdlの磁気ディスクを完成する
。
なお、前記保護膜14に多数の孔15および突起16を
設ける理由は、その表面を粗すことによりCSS (C
otact 5tart 5top)時の磁気ヘッドの
吸着を防止することにある。またこの孔と突起は、保護
膜の平均膜厚(中間レベル)よりも窪んだ凹部分および
それよりも高い凸部分として表現できる。
設ける理由は、その表面を粗すことによりCSS (C
otact 5tart 5top)時の磁気ヘッドの
吸着を防止することにある。またこの孔と突起は、保護
膜の平均膜厚(中間レベル)よりも窪んだ凹部分および
それよりも高い凸部分として表現できる。
ところが、上記従来の保護膜形成方法では、保護膜14
の突起16の先端が高くかつ鋭くなるため、磁気ヘッド
との接触により該突起の欠けが生じやすくなり、その欠
けによってディスク表面に傷がついたり、あるいはヘッ
ドが摩耗されるという問題がある。
の突起16の先端が高くかつ鋭くなるため、磁気ヘッド
との接触により該突起の欠けが生じやすくなり、その欠
けによってディスク表面に傷がついたり、あるいはヘッ
ドが摩耗されるという問題がある。
そこで突起16の先端を丸めるために表面を研磨するこ
とが考えられるが、保護膜14は硬いため十分な研磨効
果を得ることができない。
とが考えられるが、保護膜14は硬いため十分な研磨効
果を得ることができない。
この発明は、以上のような従来の状況から、孔と突起の
段差が少ない、つまり表面の凹凸が小さい保護膜を形成
できる磁気記録媒体の製造方法の提供を目的とするもの
である。
段差が少ない、つまり表面の凹凸が小さい保護膜を形成
できる磁気記録媒体の製造方法の提供を目的とするもの
である。
この発明は、第1図に示すように連続磁性膜12上に、
孔(凹部)15と突起(凸部)16を備えた熱硬化性樹
脂膜より成る第1の保護膜22と、この保護膜の凹凸部
の段差を緩和するための熱硬化性樹脂より成る第2の保
護膜23とを順次積層形成する。
孔(凹部)15と突起(凸部)16を備えた熱硬化性樹
脂膜より成る第1の保護膜22と、この保護膜の凹凸部
の段差を緩和するための熱硬化性樹脂より成る第2の保
護膜23とを順次積層形成する。
前記第1の保護膜22は、熱硬化性樹脂を含む溶剤と易
熱分解性あるいは易熱萎発性の物質の混合液を塗布後、
加熱により混合液の硬化と易熱分解性あるいは易熱蒸発
性の物質の分解、蒸発を同時に行う工程で形成される。
熱分解性あるいは易熱萎発性の物質の混合液を塗布後、
加熱により混合液の硬化と易熱分解性あるいは易熱蒸発
性の物質の分解、蒸発を同時に行う工程で形成される。
前記第2の保護膜23は、熱硬化性樹脂を含む溶剤を塗
布した後、加熱により熱硬化性樹脂を硬化させる工程で
形成される。
布した後、加熱により熱硬化性樹脂を硬化させる工程で
形成される。
以下、この発明の好ましい実施例につき第2図の工程順
に沿ったディスク断面図を参照して説明する。なお、前
記第3図と同一部分には同一符号を記している。
に沿ったディスク断面図を参照して説明する。なお、前
記第3図と同一部分には同一符号を記している。
第2図(alに示す工程において、表面をアルマイト処
理したアルミ基板11の上に例えば特許第102436
4号に示される方法でr−Fe203の連続磁性膜12
を膜厚0.2μmに形成する。
理したアルミ基板11の上に例えば特許第102436
4号に示される方法でr−Fe203の連続磁性膜12
を膜厚0.2μmに形成する。
第2図(blに示す工程において、連続磁性膜12の上
に熱硬化性樹脂の一種であるガラスレジン(加熱効果さ
せることにより5i02になるもので、オーエンスイリ
ノイ社の商品名)を溶剤で溶かしたものと、湯熱蒸発性
物質である流動パラフィンとを混合した混合液21を平
均膜厚〜0.02μmになるように塗布する。
に熱硬化性樹脂の一種であるガラスレジン(加熱効果さ
せることにより5i02になるもので、オーエンスイリ
ノイ社の商品名)を溶剤で溶かしたものと、湯熱蒸発性
物質である流動パラフィンとを混合した混合液21を平
均膜厚〜0.02μmになるように塗布する。
第2図(C)に示す工程において、前記磁性膜12上に
混合液21が塗布されたアルミ基板11を約300℃で
加熱する。この加熱によって混合液中の流動パラフィン
と溶剤が蒸発すると同時にガラスレジンが硬化する。こ
のときガラスレジン膜22には、流動パラフィンの蒸発
に伴う多数の孔(凹部)15とその孔周辺部に高さ〜0
.05μmの突起(凸部)16が形成される。このガラ
スレジン膜により第1の保護膜22が形成される。
混合液21が塗布されたアルミ基板11を約300℃で
加熱する。この加熱によって混合液中の流動パラフィン
と溶剤が蒸発すると同時にガラスレジンが硬化する。こ
のときガラスレジン膜22には、流動パラフィンの蒸発
に伴う多数の孔(凹部)15とその孔周辺部に高さ〜0
.05μmの突起(凸部)16が形成される。このガラ
スレジン膜により第1の保護膜22が形成される。
ここまでは従来の方法と同じであるが、本発明ではこの
後第2図(dlに示す工程において、前記第1の保護膜
22上にガラスレジンを溶剤で溶かしたガラスレジン溶
液23を塗布し、再度300℃で加熱する。この加熱に
よりガラスレジン溶液が硬化する。この硬化したガラス
レジン膜により第2の保護膜23が形成され、前記第1
の保護膜22の急峻な凹凸が滑らかな凹凸に変化する。
後第2図(dlに示す工程において、前記第1の保護膜
22上にガラスレジンを溶剤で溶かしたガラスレジン溶
液23を塗布し、再度300℃で加熱する。この加熱に
よりガラスレジン溶液が硬化する。この硬化したガラス
レジン膜により第2の保護膜23が形成され、前記第1
の保護膜22の急峻な凹凸が滑らかな凹凸に変化する。
なお、この第2の保護膜の平均膜厚は、第1の保護膜の
最大突起高さ以下にするのが望ましい。なぜなら最大突
起高さ以上にすればその膜表面が平滑になりすぎ、ヘッ
ド吸着を引き起こしやすくなるからである。
最大突起高さ以下にするのが望ましい。なぜなら最大突
起高さ以上にすればその膜表面が平滑になりすぎ、ヘッ
ド吸着を引き起こしやすくなるからである。
この後、従来法同様に第2図telに示す工程において
第2の保護膜23上に潤滑剤17を塗布し、磁気ディス
クを完成する。
第2の保護膜23上に潤滑剤17を塗布し、磁気ディス
クを完成する。
以上、この発明の一実施例について説明したが次のよう
な変形も可能である。
な変形も可能である。
■ 第1の保護膜22を形成する際の加熱温度は、第2
の保護膜23のそれと同じ300℃に限らず混合した溶
剤と湯熱蒸発性物質が蒸発する温度でありさえすればよ
く硬化温度以下でも差支えない。
の保護膜23のそれと同じ300℃に限らず混合した溶
剤と湯熱蒸発性物質が蒸発する温度でありさえすればよ
く硬化温度以下でも差支えない。
■ 第1および第2の保護膜を形成するための熱硬化性
物質は、各々異なるものを適用可能である。
物質は、各々異なるものを適用可能である。
■ 連y、磁性膜12はCo−NiやCo−Ni−Cr
等の金属磁性膜も適用できる。
等の金属磁性膜も適用できる。
以上説明したようにこの発明によれば、低く滑らかな表
面凹凸を有する保護膜形成することができる。したがっ
て、ヘッド吸着がな(て機械的耐久強度の高い磁気ディ
スクが製造でき、またそのディスク使用によって磁気ヘ
ッドの摩耗を低減させる効果を奏する。
面凹凸を有する保護膜形成することができる。したがっ
て、ヘッド吸着がな(て機械的耐久強度の高い磁気ディ
スクが製造でき、またそのディスク使用によって磁気ヘ
ッドの摩耗を低減させる効果を奏する。
第1図はこの発明を説明するための磁気記録媒体の断面
図、 第2図はこの発明の一実施例を工程順に示した磁気ディ
スクの断面図、 第3図は従来の保護膜を備えた磁気ディスクを説明する
ための断面図である。 第1図と第2図において、 11は基板、 12は連続磁性膜、 15は孔(凹部)、 16は突起(凸部)、 17は表面潤滑膜、 21は熱硬化性樹脂の溶液と湯熱蒸発性物質の混合液、 22は第1の保護膜、 23は第2の保護膜を示す。 千串rヨ小二rろχシミれ乙夕ゑ斐U少トビ汀6h5む
第1図
図、 第2図はこの発明の一実施例を工程順に示した磁気ディ
スクの断面図、 第3図は従来の保護膜を備えた磁気ディスクを説明する
ための断面図である。 第1図と第2図において、 11は基板、 12は連続磁性膜、 15は孔(凹部)、 16は突起(凸部)、 17は表面潤滑膜、 21は熱硬化性樹脂の溶液と湯熱蒸発性物質の混合液、 22は第1の保護膜、 23は第2の保護膜を示す。 千串rヨ小二rろχシミれ乙夕ゑ斐U少トビ汀6h5む
第1図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板上に形成された連続磁性膜の上に保護膜を下記工程
をすべて含んで形成することを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法。 (a)前記連続磁性膜(12)上に熱硬化性樹脂を含む
溶剤と易熱分解性あるいは易熱蒸発性の物質の混合液(
21)を塗布した後、加熱により混合液の硬化と易熱分
解性あるいは易熱蒸発性の物質の分解、蒸発を同時に行
い、その平均膜厚よりも凹部分(15)と凸部分(16
)を有する第1の保護膜(22)を形成する工程。 (b)前記第1の保護膜(22)の上に熱硬化性樹脂を
含む溶剤を塗布した後、加熱により熱硬化性樹脂を硬化
させ、当該第1の保護膜表面の凹部分(15)と凸部分
(16)の段差を緩和する第2の保護膜(23)を形成
する工程。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14089586A JPS62298024A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14089586A JPS62298024A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62298024A true JPS62298024A (ja) | 1987-12-25 |
Family
ID=15279284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14089586A Pending JPS62298024A (ja) | 1986-06-16 | 1986-06-16 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62298024A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH046625A (ja) * | 1990-04-24 | 1992-01-10 | Fujitsu Ltd | 連続磁性膜型磁気記録媒体の製造方法 |
US5459764A (en) * | 1993-10-22 | 1995-10-17 | Nec Corporation | Clock synchronization system |
-
1986
- 1986-06-16 JP JP14089586A patent/JPS62298024A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH046625A (ja) * | 1990-04-24 | 1992-01-10 | Fujitsu Ltd | 連続磁性膜型磁気記録媒体の製造方法 |
US5459764A (en) * | 1993-10-22 | 1995-10-17 | Nec Corporation | Clock synchronization system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0968769A3 (en) | Optical information-recording medium, method for producing the same, and air-conditioning system for producing optical information recording medium | |
JPS62298024A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPS62298023A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
TWI227488B (en) | Multi-layer photo-recording medium | |
JPS62231428A (ja) | デイスク型磁気記録媒体およびその製造方法 | |
JP3511687B2 (ja) | 光ディスク及びその製造方法 | |
JPH05307749A (ja) | 磁気ディスク | |
JPS59157843A (ja) | 磁気記録媒体製造方法 | |
JP2774877B2 (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
JP2644312B2 (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
JPH01122022A (ja) | 高密度フロッピーディスク | |
JPH07230634A (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
JPH0863815A (ja) | 光磁気ディスクの製造方法 | |
JPS6194235A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPH0273518A (ja) | 磁気ディスク媒体の製造方法 | |
JPH01109549A (ja) | 光ディスク | |
JP2669003B2 (ja) | 光磁気ディスク | |
JPH0393037A (ja) | 磁気ディスク及びその製造方法 | |
JPS61925A (ja) | 記録媒体の製造方法 | |
JPS60119635A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JPH0231349A (ja) | 光記録媒体 | |
JPH0473225B2 (ja) | ||
JPH0515118U (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPS61168149A (ja) | 情報記録デイスク | |
JPS62109231A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 |