JPH0393037A - 磁気ディスク及びその製造方法 - Google Patents
磁気ディスク及びその製造方法Info
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- JPH0393037A JPH0393037A JP22932189A JP22932189A JPH0393037A JP H0393037 A JPH0393037 A JP H0393037A JP 22932189 A JP22932189 A JP 22932189A JP 22932189 A JP22932189 A JP 22932189A JP H0393037 A JPH0393037 A JP H0393037A
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Landscapes
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
磁気ディスク装置に用いる磁気ディスク及びその製造方
法に関し、 磁気ディスク中心部側に設けられたコンタクトスタート
ストップ領域の潤滑層をデータ領域より厚く形成するこ
とを目的とし、 非磁性基板上に磁性層を形成し、さらに該磁性層の上に
保護層、潤滑層を形威した磁気ディスクにおいて、他の
部分よりも表面粗さが粗い部分をディスク中心部側に円
周状に有しており、さらに該粗い部分に他の部分よりも
厚い潤滑層が形成されているように構或する。
法に関し、 磁気ディスク中心部側に設けられたコンタクトスタート
ストップ領域の潤滑層をデータ領域より厚く形成するこ
とを目的とし、 非磁性基板上に磁性層を形成し、さらに該磁性層の上に
保護層、潤滑層を形威した磁気ディスクにおいて、他の
部分よりも表面粗さが粗い部分をディスク中心部側に円
周状に有しており、さらに該粗い部分に他の部分よりも
厚い潤滑層が形成されているように構或する。
また上記磁気ディスクの保護層上に潤滑層をスピンコー
トにて形成する際、ディスク中心部側から潤滑剤希釈液
を滴下・塗布し、該粗い部分に潤滑層の形成が終了した
時点で、その時よりも濃度の低い潤滑剤希釈液を滴下・
塗布するか、又はスピンコート回転数を高くすることに
よって、該粗い部分に他の部分よりも厚い潤滑層を形成
するように構或する。
トにて形成する際、ディスク中心部側から潤滑剤希釈液
を滴下・塗布し、該粗い部分に潤滑層の形成が終了した
時点で、その時よりも濃度の低い潤滑剤希釈液を滴下・
塗布するか、又はスピンコート回転数を高くすることに
よって、該粗い部分に他の部分よりも厚い潤滑層を形成
するように構或する。
本発明は磁気ディスク装置に用いる磁気ディスク及びそ
の製造方法に関し、特にコンタクトスタートストップ（
以下ＣＳＳという）時のヘッド吸着を防止でき、さらに
高密度記録が可能な磁気ディスク及びその製造方法に関
する。
の製造方法に関し、特にコンタクトスタートストップ（
以下ＣＳＳという）時のヘッド吸着を防止でき、さらに
高密度記録が可能な磁気ディスク及びその製造方法に関
する。
現在の磁気ディスク装置では、磁気ディスク（以下ディ
スクという）の回転が停止している状態では、磁気ヘッ
ド（以下ヘッドという）はディスクと接触しており、デ
ィスクの回転とともにヘッドが浮上するＣＳＳ方式が用
いられている。この方式では、ディスクが回転を始めた
時、または停止する直前でヘッドはディスク上を接触し
ながら摺動ずる。この摺動によるヘッドとディスクの摩
擦損傷を防ぐため、ディスク表面には潤滑層を形成して
いる。
スクという）の回転が停止している状態では、磁気ヘッ
ド（以下ヘッドという）はディスクと接触しており、デ
ィスクの回転とともにヘッドが浮上するＣＳＳ方式が用
いられている。この方式では、ディスクが回転を始めた
時、または停止する直前でヘッドはディスク上を接触し
ながら摺動ずる。この摺動によるヘッドとディスクの摩
擦損傷を防ぐため、ディスク表面には潤滑層を形成して
いる。
またディスクの表面粗さは、ヘッド浮上量を下げていく
ために、より平滑にすることが望まれる。
ために、より平滑にすることが望まれる。
しかし平滑すぎるとディスク停止時にヘッドがディスク
上に吸着してしまいヘッドクラッシュに至ることがある
。このため、ディスク表面には適度な粗さを有すること
が要求されている。
上に吸着してしまいヘッドクラッシュに至ることがある
。このため、ディスク表面には適度な粗さを有すること
が要求されている。
従来、ディスク表面に適度な粗さを持たせるために、ま
ず非磁性基板の表面をラフピングテーブなどを用いて機
械的に適度な粗さを形威している。
ず非磁性基板の表面をラフピングテーブなどを用いて機
械的に適度な粗さを形威している。
（テクスチャリング法と呼ばれる）表面粗さとしては、
３〜７ ｎｍＲａ程度にしている。
３〜７ ｎｍＲａ程度にしている。
従来の媒体は基板をこのように粗面化した後、例えばス
パッタリング法によりＣｒ １５００人、ＣｏＮｉＣｒ
８００人を形成する。さらにヘッド摺動による摩擦・
摩耗を低減するために、保護層と潤滑層とを形成する。
パッタリング法によりＣｒ １５００人、ＣｏＮｉＣｒ
８００人を形成する。さらにヘッド摺動による摩擦・
摩耗を低減するために、保護層と潤滑層とを形成する。
この際ディスク表面では、基板表面の粗さがＣｏＮｉＣ
ｒなどを形成した後でも継承され、その結果ヘッドとデ
ィスクの接触面積が低減されヘッド吸着を防止すること
が可能となる。ところが媒体の最表面が粗れているため
にヘッドの浮上マージンがとれなくなる。これを防ぐた
めに、動作時におけるディスク回転方向の速度がより低
いディスク中心側のＣＳＳゾーンだけが適度な粗さを持
ち、データゾーンの最表面は平滑である磁気ディスクが
提案されている。
ｒなどを形成した後でも継承され、その結果ヘッドとデ
ィスクの接触面積が低減されヘッド吸着を防止すること
が可能となる。ところが媒体の最表面が粗れているため
にヘッドの浮上マージンがとれなくなる。これを防ぐた
めに、動作時におけるディスク回転方向の速度がより低
いディスク中心側のＣＳＳゾーンだけが適度な粗さを持
ち、データゾーンの最表面は平滑である磁気ディスクが
提案されている。
この磁気ディスクの製造方法は、第４図に示すように、
先ず（ａ）図の如＜ ＣＳＳゾーン１を粗面化した基板
２をスピンコータ３にセットし、次いで（ｂ）の如くデ
ィスク中心部から潤滑剤の０．１％溶液４を適量滴下し
て基板２を回転さサ、遠心力により潤滑剤を基板の表面
に拡げて塗布し、（Ｃ）図の如く潤滑層５を形成し、そ
の後加熱して硬化させる。
先ず（ａ）図の如＜ ＣＳＳゾーン１を粗面化した基板
２をスピンコータ３にセットし、次いで（ｂ）の如くデ
ィスク中心部から潤滑剤の０．１％溶液４を適量滴下し
て基板２を回転さサ、遠心力により潤滑剤を基板の表面
に拡げて塗布し、（Ｃ）図の如く潤滑層５を形成し、そ
の後加熱して硬化させる。
このようにＣＳＳゾーンにだけ適度な粗さを設けても上
記のスピンコートによる潤滑層の形成法では、ディスク
ー面に同じような厚さの潤滑層が得られてしまう。
記のスピンコートによる潤滑層の形成法では、ディスク
ー面に同じような厚さの潤滑層が得られてしまう。
従って、潤滑層を厚めに形成するとデータゾーンで吸着
を起こしてしまい、逆に潤滑層を薄めに形成するとＣＳ
Ｓゾーンでの耐久性が低下していまうという問題がある
。
を起こしてしまい、逆に潤滑層を薄めに形成するとＣＳ
Ｓゾーンでの耐久性が低下していまうという問題がある
。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、ディスク中心部側に
設けられたＣＳＳゾーンの潤滑層を厚く、データゾーン
の潤滑層を薄く形威した磁気ディスク及びその製造方法
を提供することを目的とする。
設けられたＣＳＳゾーンの潤滑層を厚く、データゾーン
の潤滑層を薄く形威した磁気ディスク及びその製造方法
を提供することを目的とする。
上記目的を達或するために本発明の磁気ディスクでは、
非磁性基板１１上に磁性層１２を形成し、さらに該磁性
層１２の上に保護層１３及び潤滑層１４を形成した磁気
ディスクにおいて、他の部分よりも表面粗さが粗い部分
１５を基板中心部側に円周状に有しており、さらに該粗
い部分１５に他の部分よりも厚い潤滑層が形威されてい
ることを特徴とする。
非磁性基板１１上に磁性層１２を形成し、さらに該磁性
層１２の上に保護層１３及び潤滑層１４を形成した磁気
ディスクにおいて、他の部分よりも表面粗さが粗い部分
１５を基板中心部側に円周状に有しており、さらに該粗
い部分１５に他の部分よりも厚い潤滑層が形威されてい
ることを特徴とする。
また本発明の磁気ディスクの製造方法では、上記潤滑層
１４をスピンコートにて形成する際、基板１１中心部側
から潤滑剤希釈液を滴下・塗布し、該粗い部分１５に潤
滑層の形成が終了した時点で、その時よりも、濃度の低
い潤滑希釈液を滴下・塗布すること、またはスピンコー
ト回転数を高くすることによって、該粗い部分１５に他
の部分よりも厚い潤滑層１４を形成することを特徴とす
る。
１４をスピンコートにて形成する際、基板１１中心部側
から潤滑剤希釈液を滴下・塗布し、該粗い部分１５に潤
滑層の形成が終了した時点で、その時よりも、濃度の低
い潤滑希釈液を滴下・塗布すること、またはスピンコー
ト回転数を高くすることによって、該粗い部分１５に他
の部分よりも厚い潤滑層１４を形成することを特徴とす
る。
本発明によれば、磁気ディスクの中心側のｃｓｓゾーン
は適度な粗さを持ち、且つ潤滑層が厚いため十分な耐久
性を持つことができ、またデータゾーンは潤滑層が薄い
ため動作時に磁気ヘッドが吸着をおこすことはない。
は適度な粗さを持ち、且つ潤滑層が厚いため十分な耐久
性を持つことができ、またデータゾーンは潤滑層が薄い
ため動作時に磁気ヘッドが吸着をおこすことはない。
さらに本発明の磁気ヘッドの製造方法では、スピンコー
トで潤滑層を或膜する際、潤滑剤溶液の濃度を途中で薄
くするか、又はスピンコート回転数を途中で高くするこ
とにより、ＣＳＳゾーンでは厚く、データゾーンでは薄
い潤滑層を形成することができる。
トで潤滑層を或膜する際、潤滑剤溶液の濃度を途中で薄
くするか、又はスピンコート回転数を途中で高くするこ
とにより、ＣＳＳゾーンでは厚く、データゾーンでは薄
い潤滑層を形成することができる。
第１図は本発明の磁気ディスクの実施例を示す図であり
、（ａ）は斜視図、（ｂ）はａ図のｂ一ｂ線における部
分拡大断面図である。
、（ａ）は斜視図、（ｂ）はａ図のｂ一ｂ線における部
分拡大断面図である。
同図において、１１は非磁性材料よりなるディスク基板
であり、その中心部側には表面粗さが他の部分より粗い
部分１５が形威されている。１２は磁性層、１３は保護
層であり、該磁性層１２及び保護層１３は順次基板１１
上に形成されているが、基板１１の粗い部分１５の粗さ
はそのまま磁性層１２及び保護層１３に受け継がれてい
る。１４は保護層１３上に形成された潤滑層であり、該
潤滑層は基板１１の表面粗さの粗い部分１５の領域（Ｃ
ＳＳゾーン）は厚く、他の部分、即ちデータゾーンは薄
く塗布されている。
であり、その中心部側には表面粗さが他の部分より粗い
部分１５が形威されている。１２は磁性層、１３は保護
層であり、該磁性層１２及び保護層１３は順次基板１１
上に形成されているが、基板１１の粗い部分１５の粗さ
はそのまま磁性層１２及び保護層１３に受け継がれてい
る。１４は保護層１３上に形成された潤滑層であり、該
潤滑層は基板１１の表面粗さの粗い部分１５の領域（Ｃ
ＳＳゾーン）は厚く、他の部分、即ちデータゾーンは薄
く塗布されている。
このように構威された本実施例は、ＣＳＳゾーン１５の
潤滑層１４はディスク基板１１の粗さを継承しているた
め、ディスク停止時のヘッド吸着を防止でき、且つ潤滑
層が厚いため低摩擦、低摩耗性が実現できる。またデー
タゾーンは潤滑層１４が薄く形威されているため高密度
記録が可能となる。
潤滑層１４はディスク基板１１の粗さを継承しているた
め、ディスク停止時のヘッド吸着を防止でき、且つ潤滑
層が厚いため低摩擦、低摩耗性が実現できる。またデー
タゾーンは潤滑層１４が薄く形威されているため高密度
記録が可能となる。
次に本発明の磁気ディスクの製造方法の実施例を第２図
により説明する。
により説明する。
本実施例での保護層としては、ＳｉＯ。を、基板として
は、表面をＮｉ−Ｐ処理した５．２５インチφアルミ基
板を用いる。この基板の半径２０ｍｍから３５ｍｍ（Ｃ
ＳＳゾーン〉をテクスチャリングで表面粗さをｌｅａ
５ ｒ＋ｍに加工する。この後基板にスパッタリングに
よっ？Ｃｒ下地層をスパッタ雰囲気Ａｒ ，ガス圧３０
ｆｆＩ７’ｏｒｒ ，基板温度１５０℃で１５００人或
膜し、この上にＣｏＮｉＣｒ磁性層をスパッタ雰囲気Ａ
ｒ１ガス圧３０ｔｎＴａｒｒ ，基板温度１５０℃で８
００人連続或膜する。
は、表面をＮｉ−Ｐ処理した５．２５インチφアルミ基
板を用いる。この基板の半径２０ｍｍから３５ｍｍ（Ｃ
ＳＳゾーン〉をテクスチャリングで表面粗さをｌｅａ
５ ｒ＋ｍに加工する。この後基板にスパッタリングに
よっ？Ｃｒ下地層をスパッタ雰囲気Ａｒ ，ガス圧３０
ｆｆＩ７’ｏｒｒ ，基板温度１５０℃で１５００人或
膜し、この上にＣｏＮｉＣｒ磁性層をスパッタ雰囲気Ａ
ｒ１ガス圧３０ｔｎＴａｒｒ ，基板温度１５０℃で８
００人連続或膜する。
さらにこの上にスパッタリングによってＳｌＯ■保護層
をスバッタ雰囲気Ａｒ ，ガス圧１０ｍＴｏｒｒ 、基
板温度２５０℃で２００人或膜する。基板上に以上のよ
うに戊膜しても、基板表面の粗さが継承されるため、媒
体最表面ＣＳＳゾーンに同じ粗さが形威される。
をスバッタ雰囲気Ａｒ ，ガス圧１０ｍＴｏｒｒ 、基
板温度２５０℃で２００人或膜する。基板上に以上のよ
うに戊膜しても、基板表面の粗さが継承されるため、媒
体最表面ＣＳＳゾーンに同じ粗さが形威される。
上記のように処理した基板１１を第２図（ａ）に示すよ
うにスピンコータｌ７にセットする。また潤滑剤の溶液
を次の様に用意する。潤滑剤はバーフロロポリエーテル
を用い、溶媒はふっ素オイルを用いる。潤滑溶液は溶媒
によって０．１％に希釈した溶液と、０．０１％に希釈
した溶液の２種類を用意する。次に同図（ｂ）に示すよ
うに、基板１１をスピンコー夕により１０００ｒｐｍで
回転させ、その中心部上方から０．１％潤滑剤溶液を適
量滴下する。次に同図（Ｃ）に示すように０．１％潤滑
剤溶液がＣＳＳゾーン１５を通過した時点で、その場所
に０．０１％潤滑剤溶液を滴下する〈なお０。１％溶液
を滴下するチューブ１８と、０．０１％溶液を滴下する
チューブ１９は別で、それぞれＣＳＳゾーン１５の最内
側、データゾーン１６の最内側にセットしておく〉。こ
れによって同図（ｄ）の如＜ ＣＳＳゾーン１５に１５
Ａ１データゾーン１６に４〜５人の膜厚の潤滑層ｌ４を
得ることができる。
うにスピンコータｌ７にセットする。また潤滑剤の溶液
を次の様に用意する。潤滑剤はバーフロロポリエーテル
を用い、溶媒はふっ素オイルを用いる。潤滑溶液は溶媒
によって０．１％に希釈した溶液と、０．０１％に希釈
した溶液の２種類を用意する。次に同図（ｂ）に示すよ
うに、基板１１をスピンコー夕により１０００ｒｐｍで
回転させ、その中心部上方から０．１％潤滑剤溶液を適
量滴下する。次に同図（Ｃ）に示すように０．１％潤滑
剤溶液がＣＳＳゾーン１５を通過した時点で、その場所
に０．０１％潤滑剤溶液を滴下する〈なお０。１％溶液
を滴下するチューブ１８と、０．０１％溶液を滴下する
チューブ１９は別で、それぞれＣＳＳゾーン１５の最内
側、データゾーン１６の最内側にセットしておく〉。こ
れによって同図（ｄ）の如＜ ＣＳＳゾーン１５に１５
Ａ１データゾーン１６に４〜５人の膜厚の潤滑層ｌ４を
得ることができる。
次に本発明の磁気ディスクの製造方法の他の実施例を第
３図により説明する。
３図により説明する。
本実施例は、前実施例と同様に処理した基板１１を第３
図（ａ）に示すようにスピンコータ１７にセットし、次
いで同図（ｂ）に示すようにスピンコー夕により基板１
１を１００Ｏｒｐｍで回転させ、その中心部上方からパ
ーフロ口ポリエーテルをふっ素オイルで０．１％に希釈
した溶液を適量滴下する。この溶液がＣＳＳゾーン１５
を通過した時点で同図（Ｃ）に示すように基板１１の回
転数を５００Ｏｒｐｍに上げ、溶液に加わる遠心力を増
加させる。これによりＣＳＳゾーン１５に１５Ａ１デー
タゾーン１６に５〜６人の膜厚の潤滑層を得ることがで
きる。
図（ａ）に示すようにスピンコータ１７にセットし、次
いで同図（ｂ）に示すようにスピンコー夕により基板１
１を１００Ｏｒｐｍで回転させ、その中心部上方からパ
ーフロ口ポリエーテルをふっ素オイルで０．１％に希釈
した溶液を適量滴下する。この溶液がＣＳＳゾーン１５
を通過した時点で同図（Ｃ）に示すように基板１１の回
転数を５００Ｏｒｐｍに上げ、溶液に加わる遠心力を増
加させる。これによりＣＳＳゾーン１５に１５Ａ１デー
タゾーン１６に５〜６人の膜厚の潤滑層を得ることがで
きる。
以上説明した様に本発明によれば、潤滑層を形成する際
に、ＣＳＳゾーンは厚く、データゾーンは薄く形成する
ことができる。これによってスタートストップ時のヘッ
ド及びディスクの損傷防止機能を向上するとともに高密
度記録を可能にする。
に、ＣＳＳゾーンは厚く、データゾーンは薄く形成する
ことができる。これによってスタートストップ時のヘッ
ド及びディスクの損傷防止機能を向上するとともに高密
度記録を可能にする。
第１図は本発明の磁気ディスクの実施例を示す図、
第２図は本発明の磁気ディスクの製造方法の実施例を示
す図、 第３図は本発明の磁気ディスクの製造方法の他の実施例
を示す図、 第４図は従来の磁気ディスクの製造方法を示す図である
。 図において、 １１は基板、 １２は磁性層、 １３は保護層、 １４は潤滑層、 １５はＣＳＳゾーン（表面粗さの粗い部分）１６はデー
タゾーン、 １７はスピンコータ、 １８．１９は溶液滴下チューブ を示す。
す図、 第３図は本発明の磁気ディスクの製造方法の他の実施例
を示す図、 第４図は従来の磁気ディスクの製造方法を示す図である
。 図において、 １１は基板、 １２は磁性層、 １３は保護層、 １４は潤滑層、 １５はＣＳＳゾーン（表面粗さの粗い部分）１６はデー
タゾーン、 １７はスピンコータ、 １８．１９は溶液滴下チューブ を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、非磁性基板（１１）上に磁性層（１２）を形成し、
さらに該磁性層（１２）の上に保護層（１３）及び潤滑
層（１４）を形成した磁気ディスクにおいて、他の部分
よりも表面粗さが粗い部分（１５）を基板中心部側に円
周状に有しており、さらに該粗い部分（１５）に他の部
分よりも厚い潤滑層が形成されていることを特徴とする
磁気ディスク。 ２、他の部分よりも表面粗さが粗い部分（１５）を基板
中心部側に円周状に有する非磁性基板（１１）上に、磁
性層（１２）を形成し、さらに該磁性層（１２）の上に
保護層（１３）及び潤滑層（１４）を形成する磁気ディ
スクの製造方法において、 上記潤滑層（１４）をスピンコートにて形成する際、基
板（１１）中心部側から潤滑剤希釈液を滴下・塗布し、
該粗い部分（１５）に潤滑層の形成が終了した時点で、
その時よりも濃度の低い潤滑剤希釈液を滴下・塗布する
ことによって、該粗い部分（１５）に他の部分よりも厚
い潤滑層（１４）を形成することを特徴とする磁気ディ
スクの製造方法。 ３、他の部分よりも表面粗さが粗い部分（１５）を基板
中心部側に円周状に有する非磁性基板（１１）上に、磁
性層（１２）を形成し、さらに該磁性層（１２）の上に
保護層（１３）及び潤滑層（１４）を形成する磁気ディ
スクの製造方法において、 上記潤滑層（１４）をスピンコートにて形成する際、基
板（１１）中心部側から潤滑剤希釈液を滴下・塗布し、
該粗い部分（１５）に潤滑層の形成が終了した時点で、
その時よりもスピンコート回転数を高くすることによっ
て、該粗い部分（１５）に他の部分よりも厚い潤滑層（
１４）を形成することを特徴とする磁気ディスクの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22932189A JPH0393037A (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 磁気ディスク及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22932189A JPH0393037A (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 磁気ディスク及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0393037A true JPH0393037A (ja) | 1991-04-18 |
Family
ID=16890313
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22932189A Pending JPH0393037A (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | 磁気ディスク及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0393037A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997015049A1 (fr) * | 1995-10-18 | 1997-04-24 | Hitachi, Ltd. | Disque magnetique et dispositif d'enregistrement/lecture magnetiques |
-
1989
- 1989-09-06 JP JP22932189A patent/JPH0393037A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997015049A1 (fr) * | 1995-10-18 | 1997-04-24 | Hitachi, Ltd. | Disque magnetique et dispositif d'enregistrement/lecture magnetiques |
| US6296917B1 (en) * | 1995-10-18 | 2001-10-02 | Hitachi, Ltd. | Magnetic disk and magnetic recording/reproduction apparatus |
| KR100318175B1 (ko) * | 1995-10-18 | 2002-02-19 | 가나이 쓰도무 | 자기디스크및자기기록재생장치 |
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