JPS62296548A - Ｘ線センサ - Google Patents
Ｘ線センサInfo
- Publication number
- JPS62296548A JPS62296548A JP61141041A JP14104186A JPS62296548A JP S62296548 A JPS62296548 A JP S62296548A JP 61141041 A JP61141041 A JP 61141041A JP 14104186 A JP14104186 A JP 14104186A JP S62296548 A JPS62296548 A JP S62296548A
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- Japan
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- ray
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- rays
- amorphous layer
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の詳細な説明
皮４分災
本発明は、Ｘ線を検知するＸ線センサに関する。
従■
従来、Ｘ線検出は主としてＸ＠＞イルムによりなされて
いるが、現像処理を必要とし、また保存。
いるが、現像処理を必要とし、また保存。
照会がしにくく、さらにフィルム感度に限界があるもの
となっており、医療面におけるＸ線検査の簡素化、検査
結果のデータのファイル化およびＸ線検出の感度を高め
て被曝線量の低減化を図るうえで問題となっている。
となっており、医療面におけるＸ線検査の簡素化、検査
結果のデータのファイル化およびＸ線検出の感度を高め
て被曝線量の低減化を図るうえで問題となっている。
また従来、Ｘ線フィルムに代わるものとして、基板上に
輝尽性物質を塗布し、それがＸ線照射により変化した状
態をＨｅ −Ｎ ｅレーザスキャンで検知し、その輝尽
性物質を消去用光照射で初期化するようにした放射線像
変換パネルが開発されている（特開昭５９−７２４３７
号公報参照）。しかしこのようなものでは、そのパネル
にレーザ光を照射して光学的にＸ線検出を行なわせ、ま
た消去用光照射でパネルの再活性化を図るようにするた
めにパネルの処理が煩雑で、装置全体が人形化してしま
うことが避けられない。
輝尽性物質を塗布し、それがＸ線照射により変化した状
態をＨｅ −Ｎ ｅレーザスキャンで検知し、その輝尽
性物質を消去用光照射で初期化するようにした放射線像
変換パネルが開発されている（特開昭５９−７２４３７
号公報参照）。しかしこのようなものでは、そのパネル
にレーザ光を照射して光学的にＸ線検出を行なわせ、ま
た消去用光照射でパネルの再活性化を図るようにするた
めにパネルの処理が煩雑で、装置全体が人形化してしま
うことが避けられない。
また従来、基板上に形成したＸ線検知のための非晶質半
導体層の上に蛍光層を塗布し、Ｘ線を可視光に変換して
放射線像を得るようにした半導体Ｘ線検出器が開発され
ているが（特開昭６０−９３３７２号公報参照）、それ
によってもＸ線を光学的に検知しているためにデータの
ファイル化などを図るようにするには装置が大形化して
しまうという問題がある。
導体層の上に蛍光層を塗布し、Ｘ線を可視光に変換して
放射線像を得るようにした半導体Ｘ線検出器が開発され
ているが（特開昭６０−９３３７２号公報参照）、それ
によってもＸ線を光学的に検知しているためにデータの
ファイル化などを図るようにするには装置が大形化して
しまうという問題がある。
１Ｌ的一
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、簡単な構
成によりＸ線を電気的にかつ迅速に検出してデータファ
イル化などを容易に図ることができるようにしたＸ線セ
ンサを提供するものである。
成によりＸ線を電気的にかつ迅速に検出してデータファ
イル化などを容易に図ることができるようにしたＸ線セ
ンサを提供するものである。
Ｗ威
本発明はそのｌ］的達成のため、Ｘ線吸収の少ない基板
上にＸ線検知のための非晶質層を薄膜トランジスタ部と
ともに形成し、そのトランジスタ部の駆動回路によって
１）ＩＩ記非晶質層のＸ線検知による出力を外部へ読み
出すようにしている。
上にＸ線検知のための非晶質層を薄膜トランジスタ部と
ともに形成し、そのトランジスタ部の駆動回路によって
１）ＩＩ記非晶質層のＸ線検知による出力を外部へ読み
出すようにしている。
以下、添付図面を参照して本発明の一実施例について詳
述する。
述する。
本発明によるＸ線センサにあっては、第１図に示すよう
に、Ｘ線吸収の少ない石英などからなる基板１上にＰ
−ｃ Ｖ Ｉ）法によって堆積した非晶質シリコンまた
はカーボンからなるＸ線検出のための非晶質層２がＸ、
Ｙ方向にマトリクス状に配列されるように形成するとと
もに、その各非晶質層２によるＸ線検出の出力をＸ方向
シフトレジスタ４およびＹ方向シフトレジスタ５の１１
動制御下でマトリクス的に順次読み出すことができるよ
うに、Ｌ Ｐ ＣＶ Ｄ法により生成したｐｏｌｙ−８
Ｊ層からなる薄膜トランジスタ部３を形成することによ
って構成されている。図中、Ａ、 Ｍ Ｐは出刃増輻器
である。
に、Ｘ線吸収の少ない石英などからなる基板１上にＰ
−ｃ Ｖ Ｉ）法によって堆積した非晶質シリコンまた
はカーボンからなるＸ線検出のための非晶質層２がＸ、
Ｙ方向にマトリクス状に配列されるように形成するとと
もに、その各非晶質層２によるＸ線検出の出力をＸ方向
シフトレジスタ４およびＹ方向シフトレジスタ５の１１
動制御下でマトリクス的に順次読み出すことができるよ
うに、Ｌ Ｐ ＣＶ Ｄ法により生成したｐｏｌｙ−８
Ｊ層からなる薄膜トランジスタ部３を形成することによ
って構成されている。図中、Ａ、 Ｍ Ｐは出刃増輻器
である。
第２図（ａ）、（ｂ）に薄膜デバイスの構造を示してい
る。第２図（ａ）において、その右側１３部分がセンサ
部分を、左側Ａ部分がＦ Ｅ １部分をそれぞれ示して
いる。すなわち、センサ部分としては、非晶質シリコン
またはカーボンからなる非晶質層２１およびＡＱ電極２
２がらなっている。
る。第２図（ａ）において、その右側１３部分がセンサ
部分を、左側Ａ部分がＦ Ｅ １部分をそれぞれ示して
いる。すなわち、センサ部分としては、非晶質シリコン
またはカーボンからなる非晶質層２１およびＡＱ電極２
２がらなっている。
またＦＥＴ部分において、２３はＭｏ層でＦ Ｅ １部
分のＸ線による擾乱防御として作用するようになってい
る。そのＭｏ層２３の」二にはＩ） Ｏ］、 ｙ −８
３層２４が形成され、それにｎ＋領領域設けられている
。さらにｐｏｌｙ−８ｉ層２４の上にそれぞれ絶縁層（
Ｓｉ０２層）２５を介してＦ Ｅ Ｔのソース電極２６
．ゲート電極２７および！（レイン電極２８が形成され
ている。
分のＸ線による擾乱防御として作用するようになってい
る。そのＭｏ層２３の」二にはＩ） Ｏ］、 ｙ −８
３層２４が形成され、それにｎ＋領領域設けられている
。さらにｐｏｌｙ−８ｉ層２４の上にそれぞれ絶縁層（
Ｓｉ０２層）２５を介してＦ Ｅ Ｔのソース電極２６
．ゲート電極２７および！（レイン電極２８が形成され
ている。
一３＝
第３図（ａ）、（ｂ）に、Ｘ＠源として市販の医療用Ｘ
線源（Ｗのにα線）を用いたときの非晶質層の特性をそ
れぞれ示している。同図（、）はＸ線加速電圧１５０Ｋ
Ｖで非晶質カーボンの膜厚依存性を調べたもので、非晶
質層２１の膜厚が厚いほど大きなＸ線検知の相対出力が
得られることがわかる。また同図（ｂ）は非晶質層２１
の膜厚を１００μｍにしたときのＸ線の相対強度依存性
を示しており、その相対出力が照射されるＸ線の相対強
度に比例していることがわかる。
線源（Ｗのにα線）を用いたときの非晶質層の特性をそ
れぞれ示している。同図（、）はＸ線加速電圧１５０Ｋ
Ｖで非晶質カーボンの膜厚依存性を調べたもので、非晶
質層２１の膜厚が厚いほど大きなＸ線検知の相対出力が
得られることがわかる。また同図（ｂ）は非晶質層２１
の膜厚を１００μｍにしたときのＸ線の相対強度依存性
を示しており、その相対出力が照射されるＸ線の相対強
度に比例していることがわかる。
このように構成された本発明によるＸ線センサでは、そ
の二次元的なセンサ面にＸ線像を照射させなからＸ、Ｙ
方向の各シフトレジスタ４，５の駆動を行なｈせるだけ
で、その照射されたｘ＃ｌ像に応じた電気的なＸ線検知
信号を迅速に得ることができ、その検知結果のデータの
ファイル化を容易になすことができるようになる。
の二次元的なセンサ面にＸ線像を照射させなからＸ、Ｙ
方向の各シフトレジスタ４，５の駆動を行なｈせるだけ
で、その照射されたｘ＃ｌ像に応じた電気的なＸ線検知
信号を迅速に得ることができ、その検知結果のデータの
ファイル化を容易になすことができるようになる。
勉−釆−
以上、本発明によるＸ線センサにあっては、基板上に非
晶質層および非晶質薄膜トランジスタ部＝４− をそれぞれ形成し、そのトランジスタ部の駆動回路によ
って非晶質層のＸ線検知による出力を外部へ読み出すよ
うにしたもので、簡単な構成により電気的なＸ線検出を
迅速に行なわせることができるという優れた利点を有し
ている。
晶質層および非晶質薄膜トランジスタ部＝４− をそれぞれ形成し、そのトランジスタ部の駆動回路によ
って非晶質層のＸ線検知による出力を外部へ読み出すよ
うにしたもので、簡単な構成により電気的なＸ線検出を
迅速に行なわせることができるという優れた利点を有し
ている。
第１図は本発明によるＸ線センサの一実施例を示す電気
的な回路構成図、第２図（ａ）、（ｂ）は同実施例にお
ける薄膜デバイスの部分的な構造を示す正断面図および
平面図、第３図（ａ）は非晶質カーボン膜厚に対する非
晶質層の相対出力特性を示す図、同図（ｂ）はＸ線相対
強度に対する非晶質層の相対出力特性を示す図である。 ｌ・・・基板 ２・・・非晶質層 ３・・・薄膜トラン
ジスタ部 ４・・・Ｘ方向シフトレジスタ ５・・・Ｙ
方向シフトレジスタ
的な回路構成図、第２図（ａ）、（ｂ）は同実施例にお
ける薄膜デバイスの部分的な構造を示す正断面図および
平面図、第３図（ａ）は非晶質カーボン膜厚に対する非
晶質層の相対出力特性を示す図、同図（ｂ）はＸ線相対
強度に対する非晶質層の相対出力特性を示す図である。 ｌ・・・基板 ２・・・非晶質層 ３・・・薄膜トラン
ジスタ部 ４・・・Ｘ方向シフトレジスタ ５・・・Ｙ
方向シフトレジスタ
Claims (1)
- 基板上に非晶質層および薄膜トランジスタ部をそれぞれ
形成し、そのトランジスタ部の駆動回路によって前記非
晶質層のＸ線検知による出力を外部へ読み出すようにし
たＸ線センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61141041A JPS62296548A (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | Ｘ線センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61141041A JPS62296548A (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | Ｘ線センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62296548A true JPS62296548A (ja) | 1987-12-23 |
Family
ID=15282865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61141041A Pending JPS62296548A (ja) | 1986-06-17 | 1986-06-17 | Ｘ線センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62296548A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0651070A (ja) * | 1992-05-21 | 1994-02-25 | Hughes Aircraft Co | デジタルラジオグラフィ−で使用するのためのハイブリッド半導体画素検出器アレイ |
-
1986
- 1986-06-17 JP JP61141041A patent/JPS62296548A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0651070A (ja) * | 1992-05-21 | 1994-02-25 | Hughes Aircraft Co | デジタルラジオグラフィ−で使用するのためのハイブリッド半導体画素検出器アレイ |
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