JPS62294164A - 蒸着方法及び蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野］ 本願の発明は、蒸着材料を加熱蒸発させてこの蒸着材料
を被蒸着材に付着させる蒸着方法及び蒸着装置に関する
ものである。

〔発明の概要〕

本願の発明は、上記の様な蒸着方法及び蒸着装置におい
て、透光性の基板の第１の面に配されている蒸着材料に
被蒸着材の被蒸着面を対向させ、基板の第１の面とは反
対側の第２の面に加熱用の光を照射することによって、
均一な蒸着と高いスループットとを得ることができる様
にしたものである。

〔従来の技術〕

７着方法としては、点状の蒸着材料を高真空中で加熱し
て蒸発させる方法が一般的である。そしてこの場合、多
数の被蒸着材に対して均一な蒸着を行うために、平均自
由行路を長くする方法が一般的である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところが、被蒸着面が凹凸状の被蒸着材に対して蒸着を
行う場合、平均自由行路が長いと、被蒸着面の凹部には
蒸着材料が付着しに＜＜、均一な蒸着を行うことができ
ない。

また、各被蒸着材の被蒸着面の面積が大きくなると、一
度に蒸着を行える被蒸着材の個数が少なくなり、スルー
ブツトが低下する。

Ｃ問題点を解決するための手段〕 本願の発明による蒸着方法は、透光性の材質から成って
おり第１の面１１ａに蒸着材料１２が配されている基板
１１を用意する工程と、被蒸着材１４の被蒸着面１４ａ
を前記蒸着材料１２に対向させる工程と、前記基板１１
の前記第１の面１１ａとは反対側の第２の面１１ｂに光
１５を照射して前記蒸着材料１２を加熱することによっ
てこの蒸着材料１２を前記被蒸着面１４ａに蒸着させる
工程とを夫々具備している。

また、本願の発明による蒸着装置は、透光性の材質から
成っており第１の面１１ａに蒸着材料１２が配されてい
る基板１１と、被蒸着材１４の被蒸着面１４ａを前記蒸
着材料１２に対向させた状態で前記被蒸着材１４を支持
する支持機構と、前記基板１１の前記第１の面１１ａと
は反対側の第２の面１１ｂに加熱用の光１５を照射する
光源とを夫々具備している。

〔作用〕

本願の発明による蒸着方法及び１着装置では、基板１１
の面１１ａに配されている蒸着材料１２で蒸着を行うの
で、蒸着源が点状ではなく面状であり、被蒸着面１４ａ
のアスペクト比が高くてもこの被蒸着面１４ａに略所定
の角度で到達する蒸着材料１２の割合が高い。

また、蒸着源が面状であるので、被蒸着面１４ａを蒸着
材料１２に対向させつつ基板１１や光源を被蒸着材１４
に対して相対的に基板１１の面１１ａ方向へ移動させれ
ば、床面積の小さな蒸着装置でも、被蒸着面１４ａの面
積が大きい複数の被蒸着材１４を連続的に蒸着すること
ができる。

また、基板１１のうちで被蒸着材１４の被蒸着面１４ａ
が対向している第１の面１１ａとは反対側の第２の而１
１ｂを加熱用の光１５で照射する様にしでいるので、蒸
着材料１２と被蒸着面１４ａとを近接させて蒸着を行う
ことができる。

〔実施例〕

以下、本願の発明の一実施例を図面を参照しながら説明
する。

本実施例では、第１の面１１ａに蒸着材料１２が予め蒸
着されている石英基板１１を真空容器１３内に配すると
共に、この真空容器１３内で被蒸着材１４の被蒸着面１
４ａを蒸着ｔ、４料１２に対向させる。

この場合、蒸着によって被蒸着面１４ａに形成すべき膜
厚が０．４μｍ程度とすれば、蒸着材料１２と被蒸着面
１４ａとの間隔は５〜１０μｍ程度であるのが好適であ
る。

そして、石英基板１１の第１の面１１ａとは反対側の第
２の面１１ｂに、レーザ光源（図示せず）からレーザ光
１５を照射する。石英基板１１はレーザ光１５に対して
透過性を有しているので、レーザ光１５は石英基板１１
を透過して蒸着材料１２のみを選択的に加熱する。する
と、この加熱によって蒸着材料１２が蒸発して、蒸発し
た蒸着材料１２が被蒸着面１４ａに付着する。

蒸着材料１２としては、ＡＩ、Ａｕ、　Ｗ、　Ｔ＋、　
Ｍｏ等を用いることができ、レーザ光源としては、ＹＡ
Ｇレーザ、＾ｒレーザ、エキシマレーザ等を用いること
ができる。

レーザ光１５の照射方法としては、ステップアンドリピ
ート式で照射する方法、ライン状に照射する方法、石英
基板１１の第２の面１１ｂの全面に照射する方法等があ
る。

また、レーザ光１５を反則するマスクでバクーンを形成
し、このマスクを石英基板１１の第２の面１１ｂに配す
る様にすれば、マスクのパターンで蒸着材料１２を被蒸
着面１４ａに付着させることができる。

もし、被蒸着面１４ａに形成すべき膜厚と同じ膜厚の蒸
着材料１２を石英基板１１に予め蒸着しておき、蒸着材
料１２をその融点よりも高い温度にまで急激に加熱する
様にすれば、１着が非常に短時間で行われる。

これに対して、比較的厚い膜厚の蒸着材料１２を石英基
板１１に予め蒸着しておき、蒸着材料１２をその融点付
近まで加熱して蒸発を徐々に行う様にすれば、蒸着に比
較的長時間を要するが、同一の石英基板１１で複数回の
蒸着を行うことができる。

なお、上述の実施例では蒸着材料１２を予め蒸着した石
英基板１１を用いているが、薄膜状の蒸着材料１２を石
英基板１１上に単に載置するのみでもよい。この場合で
も、石英基板１１が蒸着材料１２を支持するので、取扱
いが容易である。

また、上述の実施例では加熱用の光としてレーザ光を用
いたが、赤外線等の他の光を用いてもよい。その場合は
、これらの赤外線等に対して透過性を有している基板に
よって蒸着材料１２を支持する様にする。

〔発明の効果〕

本願の発明による蒸着方法及び蒸着装置では、被蒸着材
の被蒸着面のアスペクト比が高くてらこの被蒸着面に略
所定の角度で到達する蒸着材料の割合が高く、しかも蒸
着材料と被蒸着面とを近接させて蒸着を行うことができ
るので、被蒸着面の凹部にも蒸着を行うことができて、
均一な蒸着が可能である。

また、被蒸着面の面積が大きい複数の被蒸着材でも連続
的に蒸着することができるので、商いスループットを得
ることができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本願の発明による蒸着装置を示す概略的な側断面
図である。 なお図面に用いた符号において、 １１−・・・・−・−・・・−・石英基板１１　ａ−−
−−−−−一・−第１の面１１ｂ−・−・−−−一−−
−・−第２の面１２−−−一・・・−・−−−−一−−
・−蒸着材料１４−・−−−一−−−−−−−−−−−
被蒸着材１４　ａ−一−−−−−−・−・−被蒸着面１
５・−一−−−−−−−−−−−−−−−レーザ光であ
る。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、透光性の材質から成っており第１の面に蒸着材料が
   配されている基板を用意する工程と、被蒸着材の被蒸着
   面を前記蒸着材料に対向させる工程と、 前記基板の前記第１の面とは反対側の第２の面に光を照
   射して前記蒸着材料を加熱することによってこの蒸着材
   料を前記被蒸着面に蒸着させる工程とを夫々具備する蒸
   着方法。 ２、透光性の材質から成っており第１の面に蒸着材料が
   配されている基板と、 被蒸着材の被蒸着面を前記蒸着材料に対向させた状態で
   前記被蒸着材を支持する支持機構と、前記基板の前記第
   １の面とは反対側の第２の面に加熱用の光を照射する光
   源とを夫々具備する蒸着装置。