JPS62293612A - 熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 産業上の利用分野 本発明は、半導体工業において使用される熱処理装置、
特に、石英ボートを熱処理炉内に挿入あるいは熱処理炉
内から引き出すための石英フォークに関する。

従来の技術 従来、この種の石英フォークは第２図に示すようなもの
で、石英ボートを熱処理炉内に挿入あるいは熱処理炉内
から引き出す時点で、石英ボートにガスを吹きつける装
置は有していなかった。第２図において、１は石英フォ
ーク、２は石英ボート、３はウェハ、４は発熱体、６は
石英テ１、−プ、８はチューブへのガス入口を示す。

発明が解決しようとする問題点 第２図に示す熱処理装置では、石英ボート２を石英チュ
ーブ６に挿入あるいは石英チューブ６から引き出す時点
での大気の巻き込みへの対策が取られていない。その結
果、ウニ、ハ３の表面が汚れた大気によって酸化される
ため、特にゲート酸化時などではデバイスの電気特性が
劣化する。

本発明は、石英ボート２の挿入あるいは引き出し時点で
の大気の巻き込みによるウェハ３表面の汚染と酸化を防
止する石英フォーク１の提供を目的とするものである。

問題点を解決するだめの手段 本発明の石英フォーク１の特徴は、第１図に示すように
石英ボート２が設置される部分にフォーク（ｉ１１ガス
出ロアを有することである。第１図において、らはフォ
ーク側ガス入口、７はフォーク側ガス出口を示す。

作用 石英ボート２を石英チューブ５に挿入あるいは石英チュ
ーブ６から引き出す時点で、フォーク側ガス出ロアより
Ｎ２や人ｒといったガスを石英ボート２に吹きつけるこ
とで、大気の巻き込みによるウェハ３の汚染と酸化を防
止する。

実施例 以下、本発明の一実施例について第１図とともに説明す
る。第１図において、第２図と同一構成部分には同一番
号をなして詳細な説明を省略する。

第１図において、９は石英フォーク１の下部に配された
ガス導入管で、その一端、ガス人口６からガスが導入さ
れ、他端近傍上部に配した複数のガス出ロアからガスが
上方に向は噴出されるようになっている。すなわち、石
英ボート２を石英チューブ５に挿入あるいは石英チュー
ブ５から引き出す時点で、フォーク側ガス人口６よりＮ
２や人ｒといった不活性ガスを導入してフォーク側ガス
出ロアから石英ボート２上のウェハ３に吹きつける。

発明の効果 以上のように、本発明の石英フォークを使用することで
、石英ボートの挿入あるいは引き出し時でのウェハの大
気による汚染と酸化を防止できる。

特に、ゲート酸化時における本発明の効果は大きく、高
品質なゲート酸化膜を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の熱処理装置の概略構成図、
第２図は従来の熱処理装置の概略構成図である。 １・・・Ｊ・・石英フォーク、２・・・・・・石英ボー
ト、３・・・・・・ウェハ、４・・・・・・発熱体、６
・・・・・・石英チューブ、６・・・・・・フォーク側
ガス入口、７・・・・・・フォーク側ガス出口、８・・
・・・・チューブ側ガス入口、９・・・・・・ガス導入
管。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 石英ボートを熱処理炉内に挿入あるいは熱処理炉内から
   引き出す時点で、石英ボートにガスを吹きつける手段を
   有する熱処理装置。