JPS62291718A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フロッピーディスク等の磁気ディスクに対し
て電磁変換素子部を接触させた状態で記録・再生を行う
磁気ヘッドの製造方法に関し、詳細には負圧溝の形成方
法に関する。

〔発明の概要〕

本発明は、記録再生用磁気ギャップと消去用磁気ギャッ
プを有する電磁変換素子部にマスク材が接合一体化され
、かつ磁気ディスク対接面に負圧溝が形成されでなる磁
気ヘッドを製造するに際し、予め、マスク材に溝を設け
この溝内に非磁性材を充填し、次に、得られたマスク材
を上記電磁変換素子部に合体し、その後、仔１気ディス
ク対接面を研磨して上記非磁性材を露出させ、さらに、
露出した非磁性材を工、チングにより除去して負圧溝と
することにより、 上記負圧溝を精度良く、容易に、かつ歩留まり良く形成
しようとするものである。

〔従来の技術〕

フロンピーディスク等の円磐状の磁気ディスクは、取扱
いが比較的簡単で、しかも大容量の信号が記録できるこ
とから、各種コンピュータ、ワードプロセッサ等の外部
記憶装置としての使用範囲が拡大されつつある。

上記フロッピーディスクの駆動装置には、ディスクへの
情報の書込みや、ディスクからの情報の続出しを行う電
磁変換素子部に、スライダと称されるマスク材を接合一
体化した構造の磁気ヘッドが搭載されている。

一般に上記マスク材は、電磁変換素子部の耐摩耗性等を
も１保する目的の他、磁気ヘッドと磁気ディスクとの当
たり特性を確保する作用を有している。

すなわち、上記マスク材のディスク対接面には、フロッ
ピーディスクの走行方向に負圧溝と称される略コ字状の
溝が切欠かれており、ディスクの回転とともに上記溝に
負圧、すなわち磁気ヘッドをディスクに引き付ける力が
生じ、ディスクと電磁変換素子部との当たり（摺接）を
確保している。

特に、フロッピーディスクの大容量化（高密度記録化）
を図るには、上述の当たり特性を確保することは極めて
重要な要件であり、従って精度良く負圧溝を形成する必
要がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで従来、上記負圧溝は、記録再生用磁気ギャップ
と消去用磁気ギャップを有する電磁変換素子部の両側に
マスク材を合体した後、マスク材に対してディスク走行
方向（トランク幅方向と直交する方向）に砥石加工等の
機械的手段を用いて形成している。

しかしながら、従来のように機械的手段で負圧溝を形成
した場合には、上記負圧溝のエッヂにカケが生じ昂く、
さらにはこの溝深さにバラツキが生じ易く、加工情度１
生産性５歩留まりの点で大きな問題となっている。した
がって、磁気ディスクの高密度記録化に伴い、これらの
改善が強く望まれている。

そこで本発明は、上述の実情に鑑みて提案されたもので
あり、磁気ヘッドの負圧溝を精度良く、容易に、かつ歩
留まり良く形成できる磁気ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とする。

〔問題点を解決するだめの手段〕

上述の目的を達成するために、本発明の磁気ヘッドの製
造方法は、記録再生用磁気ギャップと消去用磁気ギャッ
プを有する電磁変換素子部にマスク材が接合一体化され
、かつ６６気ディスク対接面に負圧溝が形成されてなる
６１１気ヘツドを製造するに際し、予め、マスク材に溝
を設けこの溝内に非磁性材を充填し、次に、得られたマ
スク材を上記電磁変換素子部に合体し、その後、磁気デ
ィスク対接面を研磨して上記非磁性材を露出させ、さら
に、露出した非磁性材をエツチングにより除去して負圧
溝としたこと特徴とするものである。

〔作用〕

このように、予めマスク材に形成された溝内に充填した
非磁性材をエツチングにて除去し負圧溝を形成している
ことより、上記負圧溝を形成する際にこの溝のエツジ部
に機械的応力が作用しなくなるので、負圧溝にカケを生
じる心配はない。

また、エツチング時間等の条件を適宜設定することによ
り、容易に溝深さや加エネ１！度を確保できる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する
。

本実施例により磁気ヘッドを製造するには、先ず、第１
図に示すように、チタン酸カリウムやチタン酸バリウム
等のセラミックスよりなり、断面略し字状の非磁性材を
用意し、この非磁性材に対して例えば回転砥石加工等の
機械的手段にて第１の溝（２）、第２の？Ａ（３）及び
第３の溝（４）を形成し、マスク材（１）を得る。

上記各溝（２）　、　（３）　、　（４）は、上記マス
ク材（１）における電磁変換素子部との接合面（１ａ）
に形成する。

そして、上記第２の？ｆｉ（３）及び第３の溝（４）は
、磁気ディスク対接面に相当する上面（１ｂ）の磁気デ
ィスク走行方向（第１図中Ｘ方向）と略平行となるよう
に上記接合面（１ａ）の全幅に亘って形成する。

また、上記第１の溝（２）は、上記第２の溝（３）及び
第３の溝（４）と直交するように上記接合面（１ａ）の
略中央部の全幅に亘って形成する。ここで、上記第１の
溝（２）及び第２の溝（３）が＋］↑Ｉ記負圧溝に１０
当する溝を構成する。なお、上記第２の溝（３）の形成
位置は重要であり、後述のマスク材（１）と電磁変換素
子部とを接合一体化した後のディスク対接面の研磨によ
り、磁気ヘットとして設定したデプス長が所定のデプス
長となる位置に設定されるように形成する。

次に、第２図に示すように、上記谷溝（２）　、　（３
）　。

（４）内に非磁性材（５）を溶融充填する。上記非磁性
材（５）としては、接着作用を有し且つエツチングによ
り容易に除去できる材ギ４が好ましく、例えばＰｂ、Ｎ
ａ、Ｂ　ｉ等を含有するガラスが好適である。但し、上
記非磁性材（５）にはギャップスペーサの材ｔ′ｆとの
エツチングの選択比が極めて大きいことが要求されるこ
とはいうまでもない。

次いで、第３図（Ａ）及び第３図（Ｂ）示すように、記
録再生用磁気ギャップｇ１及び消去用も；１気ギヤツプ
ｇ、を有し、ディスクに対して情報を書込んだり、ある
いはディスクから情報を読出しする電磁１変換素子部（
６）を形成し、さらにこの電磁変換素子部（６）のトラ
ック幅方向両側に一対のマスク材（１）　、　（１）を
接合一体化し、ヘッドチップを作製する。

したがって、得られるヘッドチップの磁気ディスク対接
面に相当する面には、記録再生用磁気ギャップｇ１及び
消去用磁気ギャップｇ２が露出することは勿論のこと、
第１の溝（２）内に充填された非磁性材（５）も露出し
ている。

ここで、上記接合加工は、電磁変換素子部（６）の両側
にマスク材（１）　、　（１）を接合し、加熱するごと
により容易に合体できる。すなわち、上記加熱時に谷溝
（２）　、　（３）　、　（４）内に充填された非磁性
材（５）が溶は出し、接着材として作用するためである
６また、上記電１１変！負素子部〔６）は、通常のフロ
ッピーディスク駆動装置に搭載されるものであれば如何
なるものであっても良く、さらにこの製造方法も従来公
知の製法が採用できる。具体的には、いわゆるトンネル
・イレーズ・ヘッド（バルク型またはラミネート型）、
いわゆるストラドル・イレーズ・ヘッド等が挙げられる
。本実施例では、電磁ｌ変換素子部（６）として、記録
再生用磁気ギ碕・ツブｇ１の後方両側に一対の消去用（
外気ギャップｇ２を配設してなる、いわゆるトンネル・
イレーズ・ヘッド（バルク型）を用いた。

例えば、上記電磁変換素子部（６）を作製するには、先
ず、非磁性材（１０ａ）を介して接合された棒状のセン
ターコア部（１０）の両側にそれぞれ略し字状の記録再
生コア部（１１）及び消去コア部（１２）をギヤ、プス
ベーナ（図示せず）を介して突き合ね一店記録再生用磁
気ギャノブｇ１及び消去用磁気キ′誹・ノブｇ２を有す
るフロントコア（１３）を形成する。次に、上記フロン
トコア（１３）の形状に対応して略コ字状のハックコア
（１１）を記録再生コノル（Ｉｓ）　、消去コイル（１
６）内で段重ねの状態に重ね合わせ、さらに各コイル（
１５）　、　（１６）内でそれぞれ板ハネ（１７）　、
　（１７）よって固定し作製する。

続いて、第３図（Ｂ）中Ｙ−Ｙ線で示す位置まで研磨を
施し第４図（Ａ）及び第４図（Ｂ）に示すように磁気デ
ィスク対接面（１８）を形成する。なお、上記研磨加工
は、第２の４（３）がＫ（ｋ気ディスク対接面（］８）
に露出する範囲内で、しかも何１気ヘッドとして設定し
たデプス長がｊ″：ｆられるまで行う。

したがって、磁気ディスクｔ＝＋　を妻面（１日）には
、Ｓ己録再生用磁気ギャンプｇ、及びｌｉ’ｌ去用磁気
ギヤノブｇ２の他、第１の溝（２）及び第３の溝（４）
内に充填されたフ１−磁性１才（５）が露出している。

最後に、第５図（Ａ）及び第５図（［３）に示すように
、磁気ディスク対接面（１８）に露出した非磁性材（５
）の一部または全部をエツチングうこで除去し負圧溝（
１９）を形成し磁気ヘッドを完成する。

上記エツチング加工においては、各磁気ギャップｇｚｇ
よのギ一・フプスペーサを浸食しないように才意する必
要がある。具体的な手法としては、例えば、非磁性材（
５）にＰ　ｂ　＋　Ｎ　ａ　＋　　Ｂ　ｒを含有するガ
ラスを使用し、エツチング液に弱酸を使用した、いわゆ
るウェットエツチング法が挙げられ、この手法によれば
上述の目的が達成できることが確認されている。

また、上記負圧溝（１９）の？Ｒ深さｌは、第１の溝（
２）の深さの範囲内で自由に設定され、エツチング条件
を適宜設定することにより決定される。

以上で作製された磁気ヘッドは、磁気ディスク対接面（
１日）に第１の溝（２）及び第２の溝（３）に充填され
た非磁性材（５）の一部または全部が除去され凹状の負
圧溝（１９）が露出した構造となり、この負圧１（１９
）がディスクの回転時に磁気ヘッドをディスクに引付け
る作用をする。

このように、本実施例では、ガラスボンディング技術を
発展させエツチングにて容易に負圧溝（１９）を形成し
ているので、この負圧溝（１９）形成工程で、ｎ（１９
）のエッヂ部が損傷されることがなくなり、歩留まりが
格段に向上する。また、製造工程が簡略化され、生産性
の大幅な向上が図れる。

さらに、上記負圧？ｇ（１９）は、エツチング条件を適
宜設定することにより、精度良く加工できる。

したがって、磁気ヘッドと磁気ディスクとの当たり特性
が大幅に改善され、高密度記録用の磁気ヘッドとして好
適なものが提供できる。

なお、本発明は上述の実施例に限定されるものではなく
、本発明の趣旨を逸脱することなく種々の構造が取り得
ることは言うまでもない。

例えば、先の実施例では３木の溝（２）　、　（３）　
、　（４）を形成し、それぞれ溝内に充填した非磁性材
（５）を負圧溝形成用あるいは電磁変換素子部との接合
用として形成したが、第２の溝（３）と第３の溝（４）
とを合体し１本の溝とする等、マスク材（１）に設けら
れる溝の数や形状は種々取り得る。

あるいは、第６図（Ａ）及び第６図（Ｂ）に示すように
、記録再生用磁気ギャップｇ１と消去用磁気ギャップｇ
、を囲むように負圧溝（２９）が構成されてなる磁気ヘ
ッドの製造方法にも本発明は適用される。

すなわち、上記磁気ヘッドを製造するには、先ず、非磁
性材（２２）を介して接合されたセンターコア部（２１
）の両側に断面略コ字状の記録再生コア部（２５）及び
消去コア部（２６）を突き合わせ記録再生用磁気ギャッ
プｇ１及び消去用磁気ギャップＨｚを有する電磁変換素
子部（２０）を形成する。したがって、これら磁気ギャ
ップｇ＋＋ｇｚの近傍部は略凸状に突出した構造となる
。

次に、チタン酸カリウム等の粉末セラミックスを圧粉ブ
レスの手法にて上記センターコア（２０）に対応した形
状に成形しマスク材（２８）を形成すると同時に、先の
実施例と同様の非磁性材（３０）を用いて上記マスク材
（２８）をセンターコア（２０）に接合一体化する。

さらに、磁気ギャップｇ＋＋ｆ！ｚ形成面に研磨を施し
磁気ディスク対接面（２７）を形成した後、先の実施例
と同様の手法にて磁気ディスク対接面に露出した非磁性
材（３０）を除去し所定の？ａＳさの負圧溝（２９）を
形成する。

この方法によれば、′：ｒｉ侑変換素子部（２０）とマ
スク材（２日）とを別体の構成部品として装胃本体に装
着する必要がなくヘッドの位置精度が確保できるととも
に、磁気ヘッド以外の構成部品が不要となり、信頼性や
材料コスト等の点で有利である。

〔発明の効果〕

以上の説明からも明らかなように、本発明によればガラ
スボンディング技術を発展させ、エツチングにて容易に
負圧溝を形成しているので、生産性が向上する。

また、エツチング加工で溝を形成していることより、負
圧溝のエッヂ部がカケる等の損傷の心配がなくなるので
、歩留まりの大幅な向上が図れる。

さらに、上記負圧溝の溝深さを容易に設定でき、しかも
精度良く加工できるという利点もあり、従って、高密度
記録化に好適な磁気ヘッドを安価に提供できる。

【図面の簡単な説明】 第１図ないし第５図は本発明の磁気ヘッドの製造方法を
その工程順に従って示すもので、第１図はマスク材形成
工程を示す概略斜視図、第２図は非磁性材充填工程を示
す概略斜視図、第３図（Ａ）は電磁変換素子部とマスク
材の接合工程示す概略斜視図、第３図（Ｂ）は第３図（
Ａ）ａ−ａ腺における断面図、第４図（Ａ）は研磨工程
を示す概略斜視図、第４図（Ｂ）は第４図（Ａ）ｂ−ｂ
線における断面図、第５図（Ａ）はエンチング工程を示
す概略斜視図、第５図（Ｂ）は第５図（Δ）ｃ−ｃ線に
おける断面図である。 第６図（Ａ）は本発明の製造方法により作製される磁気
ヘッドの他の例を示す概略斜視図であり、第６図（Ｂ）
は第６図（八）ｄ−ｄ線にける断面図である。 １・・・・・マスク材 ２．３．４・・・溝 ５・・・・・非磁性材 ６・・・・・電磁変換素子部 １日　　・・・・磁気ディスク対接面 １９　　・・・・負圧溝 マスク４７丑祭表１工程 第１図 非碗粧先填工掌呈 第２図 冨３図（Ａ） 第３閃ＦＡ）ａ−ａ線にと・けるｉ国 策３図ＣＢ） 第４図（Ａ） 篤４図（Ａ）ｂ−ｂε捉１坪ける針面国策４図旧） 第５図（Ａ） 第５図（Ｂ） オ郊杏ａ目１−）Ｓ刃乍表；虐る趨４気△ツドめ禮の仔
り第６図（Ａ） 纂る図（Ａ）ｄ−ｄ様１＝トげる１テ面図第６図（３）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 記録再生用磁気ギャップと消去用磁気ギャップを有する
   電磁変換素子部にマスク材が接合一体化され、かつ磁気
   ディスク対接面に負圧溝が形成されてなる磁気ヘッドを
   製造するに際し、 予め、マスク材に溝を設けこの溝内に非磁性材を充填し
   、 次に、得られたマスク材を上記電磁変換素子部に合体し
   、 その後、磁気ディスク対接面を研磨して上記非磁性材を
   露出させ、 さらに、露出した非磁性材をエッチングにより除去して
   負圧溝としたこと特徴とする磁気ヘッドの製造方法。