JPS62290870A - 被覆硬質部材の製造法 - Google Patents
被覆硬質部材の製造法Info
- Publication number
- JPS62290870A JPS62290870A JP9554587A JP9554587A JPS62290870A JP S62290870 A JPS62290870 A JP S62290870A JP 9554587 A JP9554587 A JP 9554587A JP 9554587 A JP9554587 A JP 9554587A JP S62290870 A JPS62290870 A JP S62290870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating layer
- coated
- hard member
- wear resistance
- base material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims abstract description 19
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000011195 cermet Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 21
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 17
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract 1
- -1 nitrides Chemical class 0.000 abstract 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 abstract 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 9
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- BYFGZMCJNACEKR-UHFFFAOYSA-N aluminium(i) oxide Chemical compound [Al]O[Al] BYFGZMCJNACEKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 241001226779 Royena whyteana Species 0.000 description 1
- 235000018723 Terminalia ivorensis Nutrition 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔技術の背景〕
超硬合金の表面により耐摩耗性の侵れたＴｉＣ。
ＴｉＮ、 ＡｌｚＯｓなどの硬質物質を１種又は２秤以
上の単層又は２層以上被覆した被覆超硬合金は既に実用
化されている。その中でもＡ（ｌｘＬを外層とした２重
被覆超硬合金工具はａＬＯ，のもっ耐熱性、耐酸化性等
のため優れた耐摩耗性を示すことが知られている。しか
し＾βｚＯｓ自体は脆性材料であり靭性が劣るという欠
点があり、コーチングする母材としては靭性の高い超硬
合金を用いる必要があった。
上の単層又は２層以上被覆した被覆超硬合金は既に実用
化されている。その中でもＡ（ｌｘＬを外層とした２重
被覆超硬合金工具はａＬＯ，のもっ耐熱性、耐酸化性等
のため優れた耐摩耗性を示すことが知られている。しか
し＾βｚＯｓ自体は脆性材料であり靭性が劣るという欠
点があり、コーチングする母材としては靭性の高い超硬
合金を用いる必要があった。
一方切削工具に要求される切削条件は年々苛酷になって
きており切削速度も ２００ｍ ／ ｍｉｉから３００
ｍ／ｍｉｎを越える場合も多くなっており、より高靭性
、耐摩耗性の高い切削工具用合金が要求されており、従
来のＡＩ２．０．外層（その多くは結晶化α−ＡＩ２２
０．である）の２重被覆超硬合金でも寿命が短くなって
いる。
きており切削速度も ２００ｍ ／ ｍｉｉから３００
ｍ／ｍｉｎを越える場合も多くなっており、より高靭性
、耐摩耗性の高い切削工具用合金が要求されており、従
来のＡＩ２．０．外層（その多くは結晶化α−ＡＩ２２
０．である）の２重被覆超硬合金でも寿命が短くなって
いる。
本発明の目的の一つは上述の要求に答えてより耐摩耗性
、靭性の優れた被覆硬質部材とその製造法を提供するこ
とにあり、また他の目的は超硬合金以外でも被覆母材と
して使用し得る広範囲の用途に適応し得る安価な被覆硬
質部材とその製造法を提供することにある。そしてこの
被覆硬質部材は切削工具は勿論、耐摩耗性を要求される
各種部材に応用しつるものである。
、靭性の優れた被覆硬質部材とその製造法を提供するこ
とにあり、また他の目的は超硬合金以外でも被覆母材と
して使用し得る広範囲の用途に適応し得る安価な被覆硬
質部材とその製造法を提供することにある。そしてこの
被覆硬質部材は切削工具は勿論、耐摩耗性を要求される
各種部材に応用しつるものである。
本発明の特徴は従来のＡｌ、０．被ｍ層の脆性を改良す
るものであり、被覆層がＡｆｆ２０．を主成分としこの
Ａｌ、０．５０〜９９．９容１％に、’ｊｉＣ，ＴｉＮ
、ＵＮ。
るものであり、被覆層がＡｆｆ２０．を主成分としこの
Ａｌ、０．５０〜９９．９容１％に、’ｊｉＣ，ＴｉＮ
、ＵＮ。
ＺｒＮ、 ５ｉｓＮ４、Ｔｉｅ、 Ｚｒ０ｚから選ばれ
た１種又はそれ以上から構成され、その厚みは１〜２０
μｍであり、更に被覆する母材表面に隣接する５μ以内
の層のＭ２Ｏ，含有量が０．１〜２０容量％であること
である。
た１種又はそれ以上から構成され、その厚みは１〜２０
μｍであり、更に被覆する母材表面に隣接する５μ以内
の層のＭ２Ｏ，含有量が０．１〜２０容量％であること
である。
そして上記の被覆層をプラズマ化学蒸着法に形成するこ
とにより靭性の高い被覆層が得られることを見出したも
のである。
とにより靭性の高い被覆層が得られることを見出したも
のである。
この靭性の高い被覆層であれば母材（基体）として超硬
合金に比較して靭性の低いＡＬＯ，等のセラミック、Ｔ
ｉＣ−Ｎｉ等のサーメット等も使用でき実用に供し得る
靭性と耐摩耗性の優れた被覆超硬合金及び被覆硬質部材
が得られる。
合金に比較して靭性の低いＡＬＯ，等のセラミック、Ｔ
ｉＣ−Ｎｉ等のサーメット等も使用でき実用に供し得る
靭性と耐摩耗性の優れた被覆超硬合金及び被覆硬質部材
が得られる。
上記被覆層中のＡｌｘＯｓの含有量は耐摩耗性の観点か
らは５０〜９９．９％が好ましい。被覆層の厚みが１μ
ｍ以下では耐摩耗性向上の効果がなく、２０μｍを越え
ると靭性低下が大きくなるので好ましくない。又この被
覆居中、基体表面に最隣接する５μ以内の層のＡｌ２Ｏ
５含有量が０．１〜２０％に押えることが望ましい。２
０％以上ＡＬＬｆｆｉが増えると基体と被覆層界面の強
度が低くなるため剥離しやすくなって好ましくない。又
基体が超硬合金の場合は耐酸化性が低いため基体最隣接
層のＭ、０．含有量は１０５以内にするのが好ましい。
らは５０〜９９．９％が好ましい。被覆層の厚みが１μ
ｍ以下では耐摩耗性向上の効果がなく、２０μｍを越え
ると靭性低下が大きくなるので好ましくない。又この被
覆居中、基体表面に最隣接する５μ以内の層のＡｌ２Ｏ
５含有量が０．１〜２０％に押えることが望ましい。２
０％以上ＡＬＬｆｆｉが増えると基体と被覆層界面の強
度が低くなるため剥離しやすくなって好ましくない。又
基体が超硬合金の場合は耐酸化性が低いため基体最隣接
層のＭ、０．含有量は１０５以内にするのが好ましい。
しかし０．１％以下であると彼四層の耐熱性に乏しい。
Ａｌ２０．量の少い層が５μｍを越えるとコーチング膜
の耐熱性が低下するため好ましくない。
の耐熱性が低下するため好ましくない。
本発明の靭性と耐摩耗性に優れる被覆層の形成手段とし
ては、化学蒸着法、イオンブレーティング法、スパッタ
リング法などがあるが、イオンブレーティング法などの
物理蒸着法では接着強度が低いため余り好ましい方法で
ない。又通常の化学蒸着法では、Ａｌ２Ｎ、Ｓｉ、Ｎ４
の生成温度が高いため超硬合金を母材とする場合、母材
の変質が生じるため好ましくなく、又ＴｉＮ、ＴｉＣ等
は酸化性雰囲気中で容易に酸化物に変化しやすく、粒生
長、ボア生成などによって被覆膜の強度低下を起してし
まう。このような欠点はプラズマ化学蒸着法で解決する
ことができる。このプラズマ化学蒸着法を用いれば通常
の化学蒸着法では高温でないと生成し得ないものが１０
００℃以下の低温で生成できる。
ては、化学蒸着法、イオンブレーティング法、スパッタ
リング法などがあるが、イオンブレーティング法などの
物理蒸着法では接着強度が低いため余り好ましい方法で
ない。又通常の化学蒸着法では、Ａｌ２Ｎ、Ｓｉ、Ｎ４
の生成温度が高いため超硬合金を母材とする場合、母材
の変質が生じるため好ましくなく、又ＴｉＮ、ＴｉＣ等
は酸化性雰囲気中で容易に酸化物に変化しやすく、粒生
長、ボア生成などによって被覆膜の強度低下を起してし
まう。このような欠点はプラズマ化学蒸着法で解決する
ことができる。このプラズマ化学蒸着法を用いれば通常
の化学蒸着法では高温でないと生成し得ないものが１０
００℃以下の低温で生成できる。
特にＡＬＯｔは６００〜８００℃でもＴｉＣ、ＴｉＮ等
と同等以上の生成速度をもち、しかも酸化性雰囲気が緩
やかなためＴｉＣ，ＴｉＮ等の酸化反応が殆ど生じない
ため数密な膜質が得られる。なお、プラズマを発生させ
る方法としては、１３．５μ七や２３．４５ Ｇ ｌｌ
ｚの高周波電力、直流電源を用いる。
と同等以上の生成速度をもち、しかも酸化性雰囲気が緩
やかなためＴｉＣ，ＴｉＮ等の酸化反応が殆ど生じない
ため数密な膜質が得られる。なお、プラズマを発生させ
る方法としては、１３．５μ七や２３．４５ Ｇ ｌｌ
ｚの高周波電力、直流電源を用いる。
又本発明の破口層中のＡｌ２２０＊は結晶化α−Ａβ２
０゜のほか非晶質又は結晶化Ａρ２０’Ｊと非晶質ＡＬ
Ｏｓの混合体でも本発明の効果は同じである。低温で被
覆するほど、非晶質ｘＬＯｓの量が増える傾向にある。
０゜のほか非晶質又は結晶化Ａρ２０’Ｊと非晶質ＡＬ
Ｏｓの混合体でも本発明の効果は同じである。低温で被
覆するほど、非晶質ｘＬＯｓの量が増える傾向にある。
さらに又、ｈ１２０ｓ生戊中に微量のＮ３等の気体を通
じＡｌＮ等が形成せしめることもできる。
じＡｌＮ等が形成せしめることもできる。
次に実施例により詳細に説明する。
実施例ｌ
ｌ５ＯＭＩＯ超硬合金を母材として（イ）５％Ｔｉ（Ｊ
、、１０％Ｃ１，，８５％Ｈ２の混合ガス及び（ロ）５
％ＡｌＣ１３，２％Ｃ０２：９３％Ｈ３の混合ガスを用
いて、１３．５Ｍｌヒの高周波電力を用いたプラズマ化
学蒸着法で反応温度９００℃にて、上記混合ガス（イ）
：（ロ）がに〇で１時間及び１５時間、引き続いてガス
比１：５で反応温度８００℃で１時間、２時間、４時間
被覆した。これで被覆した被覆層中のＡｌ２Ｏ３含有量
をＸ線回折とオージェ分光分析から計算した値を第１表
に示す。又比較のため通常の化学蒸着法にて３μｍ、５
μｍＡＬＬを外層に、５μｍのＴｉＣを内層に同一超硬
合金母材にｍ１ｌＨしたチップと共に下記条件にて切削
テストを行った。その結果を第１表に示す。
、、１０％Ｃ１，，８５％Ｈ２の混合ガス及び（ロ）５
％ＡｌＣ１３，２％Ｃ０２：９３％Ｈ３の混合ガスを用
いて、１３．５Ｍｌヒの高周波電力を用いたプラズマ化
学蒸着法で反応温度９００℃にて、上記混合ガス（イ）
：（ロ）がに〇で１時間及び１５時間、引き続いてガス
比１：５で反応温度８００℃で１時間、２時間、４時間
被覆した。これで被覆した被覆層中のＡｌ２Ｏ３含有量
をＸ線回折とオージェ分光分析から計算した値を第１表
に示す。又比較のため通常の化学蒸着法にて３μｍ、５
μｍＡＬＬを外層に、５μｍのＴｉＣを内層に同一超硬
合金母材にｍ１ｌＨしたチップと共に下記条件にて切削
テストを行った。その結果を第１表に示す。
切削条件：
被削材：ＦＣ２５
切削速度 ： ３００ｍ／ｍｉｎ
送 リ ： ０，５ｍｍ／ ｒｅｖ
切込み： １．５＋ｎｍ ＠１表 実施例２ ８０％ＴｉＣ−５％ ＭＯ２Ｃ７，５％Ｎｉ−７，５％
ＣＯの組成のサーメットを母材とし、（ハ）５％ＴｉＣ
β４．２％ＣＯ２，９３％Ｈ３の混合ガス及び混合ガス
（ロ）を用いて、混合ガス比（ハ）：（Ｕ）が５：１で
８５０℃で１時間プラズマ蒸着法で被覆し、引き続き混
合ガス比２：１．１：１．１：１０の比率で８５０℃で
２時間被覆した。
切込み： １．５＋ｎｍ ＠１表 実施例２ ８０％ＴｉＣ−５％ ＭＯ２Ｃ７，５％Ｎｉ−７，５％
ＣＯの組成のサーメットを母材とし、（ハ）５％ＴｉＣ
β４．２％ＣＯ２，９３％Ｈ３の混合ガス及び混合ガス
（ロ）を用いて、混合ガス比（ハ）：（Ｕ）が５：１で
８５０℃で１時間プラズマ蒸着法で被覆し、引き続き混
合ガス比２：１．１：１．１：１０の比率で８５０℃で
２時間被覆した。
又比較のため、通常の化学蒸着法にて内層に３μｍのＴ
ｉＣ、外層に５μｍコーチングしたチップと共に次の切
削条件にて切削テストを行った。その結果を第２表に示
す。
ｉＣ、外層に５μｍコーチングしたチップと共に次の切
削条件にて切削テストを行った。その結果を第２表に示
す。
切削条件：
被削材：ＳＣＭ４３５
切削速度 ： ３５０ｍ ／ ｍｉｎ
送 リ ： ０．２ｍｍ／ ｒｅｖ
切込み： １．５ｍｍ 第 ２ 表 実施例３ ９５％Ａｌ２２０．−５％ＴｉＣの組成のセラミ・ソク
チ・ノブく形状Ｓ Ｎ Ｇ ４３２）ＴｉＣｊ！ 、及
びＡβＣｊ２．を含む実施例１と同組成の混合ガス（イ
）、（ロ）を混合比１：０．１：３．１：１の各比率で
８００℃１時間コーチングしたのち、混合比１：１０で
２時間コーチングした。
切込み： １．５ｍｍ 第 ２ 表 実施例３ ９５％Ａｌ２２０．−５％ＴｉＣの組成のセラミ・ソク
チ・ノブく形状Ｓ Ｎ Ｇ ４３２）ＴｉＣｊ！ 、及
びＡβＣｊ２．を含む実施例１と同組成の混合ガス（イ
）、（ロ）を混合比１：０．１：３．１：１の各比率で
８００℃１時間コーチングしたのち、混合比１：１０で
２時間コーチングした。
比較のため市販の９５％以上ＡＬＬを含むセラミック工
具と共に次の条件で切削テストを行った。
具と共に次の条件で切削テストを行った。
切削条件：
被削材：ＦＣ２５（黒皮）
切削速度 ： ５００ｍ／ｍｉｎ
送 リ ： ０．２５ｍｍ／ ｒｅｖ
切込み： ２．５ｍｍ そのテスト結果を本発明品の被覆層の！戊と厚みと共に
第３表に示す。
切込み： ２．５ｍｍ そのテスト結果を本発明品の被覆層の！戊と厚みと共に
第３表に示す。
第 ３ 表
実施例４
実施例１と同様にして、超硬合金を母材としてＡ群（Ｔ
ｉｃ／！ 、、 ＡｌＩＣ１−、ＺｒＣｌ２４． Ｓ
ｊＣｌ 、）とＢ群（Ｎ、。
ｉｃ／！ 、、 ＡｌＩＣ１−、ＺｒＣｌ２４． Ｓ
ｊＣｌ 、）とＢ群（Ｎ、。
Ｎｏ、Ｃ０２）及びＮ２からなる気体から這択した混合
ガス（Ａ群を５％、Ｂ群５％、残Ｈ７の組成）を用いて
第４表に示す被覆層を形成した。実施例１と同じ条件で
切削テストを行い第４表に示す結果を得た。
ガス（Ａ群を５％、Ｂ群５％、残Ｈ７の組成）を用いて
第４表に示す被覆層を形成した。実施例１と同じ条件で
切削テストを行い第４表に示す結果を得た。
第 ４ｊｃ
実施例５
ＩＳＯＭＩＯ超硬合金（形状Ｓ Ｎ Ｇ ４３２）を母
材とし、８００℃、 ４０ｔｏｎの雰囲気中で、当初の
１時間はＡβＣＩ！、５％、 ＴｉＣβ４５％、Ｃｏ、
１％、Ｎ２４０％、残Ｈ２の混合ガスを２３．４５０
ｌ（ｚの高周波電力を用いて、９５％ＴｉＮ −５％Ａ
ｌ２Ｏ５の混合体層２μｍ、引き続いてＡｆｌＣ１３５
％、 ＴｉＣβ４５％、Ｃ０，１０％。
材とし、８００℃、 ４０ｔｏｎの雰囲気中で、当初の
１時間はＡβＣＩ！、５％、 ＴｉＣβ４５％、Ｃｏ、
１％、Ｎ２４０％、残Ｈ２の混合ガスを２３．４５０
ｌ（ｚの高周波電力を用いて、９５％ＴｉＮ −５％Ａ
ｌ２Ｏ５の混合体層２μｍ、引き続いてＡｆｌＣ１３５
％、 ＴｉＣβ４５％、Ｃ０，１０％。
Ｎ、１０％、残Ｈ７の混合ガス中で、同様に２３．４’
５ＧＨｚの高周波電力を用いて７５０℃、 ４０Ｔｏｒ
ｒ中で、９６％ａＬＬ−４％ＴｉＮ ６ μｍを被覆し
た。得られた酸化アルミニウムは非晶質のものと結晶質
のものが混合したものであった。
５ＧＨｚの高周波電力を用いて７５０℃、 ４０Ｔｏｒ
ｒ中で、９６％ａＬＬ−４％ＴｉＮ ６ μｍを被覆し
た。得られた酸化アルミニウムは非晶質のものと結晶質
のものが混合したものであった。
これを実施例２と同様の切削条件で切削したところ、５
０ケ／切刃まで切削できた。
０ケ／切刃まで切削できた。
実施例６
ＩＳＯＭＩＯ超硬合金を母材とし、これを陰極とし、対
抗する平行平板を陽極とし、かかる電極間に２００■の
直流電源を付加する真空装置内に、当初１時間は、ＡＲ
Ｃｌ、５％、 ＺｒＣ（２４５％、ＣＯ２１％。
抗する平行平板を陽極とし、かかる電極間に２００■の
直流電源を付加する真空装置内に、当初１時間は、ＡＲ
Ｃｌ、５％、 ＺｒＣ（２４５％、ＣＯ２１％。
Ｎ、５０％、残トＩ、の混合ガスを７００℃、ＩＴｏｒ
ｒ下で反応させ、９０％ＺｒＮ −１０％Ｍ２０．の混
合体層３μｍ、引き続いて、Ａｌ２Ｃｆ、 ５％、 Ｚ
ｒ＋Ｊ、 ５％、Ｃ０２１０％、Ｎ２５％、残Ｈ２の混
合ガスを同温度でＩＴｏｒｒ下で反応させ、９５％非晶
質Ａｆｆ２０！−５％ＺｒＮの混合体層を５μｍ被覆し
た。これを実施例２と同じ切削条件でテストしたところ
、４７ケ／切刃まで切削できた。
ｒ下で反応させ、９０％ＺｒＮ −１０％Ｍ２０．の混
合体層３μｍ、引き続いて、Ａｌ２Ｃｆ、 ５％、 Ｚ
ｒ＋Ｊ、 ５％、Ｃ０２１０％、Ｎ２５％、残Ｈ２の混
合ガスを同温度でＩＴｏｒｒ下で反応させ、９５％非晶
質Ａｆｆ２０！−５％ＺｒＮの混合体層を５μｍ被覆し
た。これを実施例２と同じ切削条件でテストしたところ
、４７ケ／切刃まで切削できた。
Claims (2)
- （１）超硬合金、サーメット、セラミックを基体として
該基体表面上にＡｌ＿２Ｏ＿３とＴｉＣ、ＴｉＮ、Ａｌ
Ｎ、ＺｒＮ、Ｓｉ＿３Ｎ＿４、ＴｉＯ、ＺｒＯ＿２から
選ばれる１種又はそれ以上からなる厚み１〜２０μｍの
被覆層を有する被覆硬質部材において、まず基体から５
μｍ以内にＡｌ＿２Ｏ＿３を０．１〜２０重量％含有す
る被覆層をプラズマＣＶＤ法で形成せしめ、さらにその
上にプラズマＣＶＤ法で被覆層を形成せしめ、被覆層中
のＡｌ＿２Ｏ＿３含有量が全体の５０〜９９．９重量％
となるよう被覆することを特徴とする被覆硬質部材の製
造法。 - （２）特許請求の範囲第（１）項において、被覆層中の
Ａｌ＿２Ｏ＿３の一部または全部が非晶質であることを
特徴とする被覆硬質部材の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9554587A JPS62290870A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 被覆硬質部材の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9554587A JPS62290870A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 被覆硬質部材の製造法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13544282A Division JPS5925972A (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 被覆硬質部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62290870A true JPS62290870A (ja) | 1987-12-17 |
Family
ID=14140539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9554587A Pending JPS62290870A (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | 被覆硬質部材の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62290870A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4925346A (en) * | 1987-12-21 | 1990-05-15 | Ford Motor Company | Method of increasing useful life of tool steel cutting tools |
| EP0924014A1 (de) * | 1997-12-22 | 1999-06-23 | August Beck GmbH & Co. | Bohrwerkzeug |
| WO2000017416A1 (de) * | 1998-09-24 | 2000-03-30 | Widia Gmbh | Verbundwerkstoff-überzug und verfahren zu seiner herstellung |
| WO2005010225A1 (en) * | 2003-07-25 | 2005-02-03 | Antoine Bittar | Solar selective surface coatings, materials for use therein and a method of producing same |
-
1987
- 1987-04-17 JP JP9554587A patent/JPS62290870A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4925346A (en) * | 1987-12-21 | 1990-05-15 | Ford Motor Company | Method of increasing useful life of tool steel cutting tools |
| EP0924014A1 (de) * | 1997-12-22 | 1999-06-23 | August Beck GmbH & Co. | Bohrwerkzeug |
| WO2000017416A1 (de) * | 1998-09-24 | 2000-03-30 | Widia Gmbh | Verbundwerkstoff-überzug und verfahren zu seiner herstellung |
| US6660371B1 (en) | 1998-09-24 | 2003-12-09 | Widia Gmbh | Composite material coating and a method for the production thereof |
| WO2005010225A1 (en) * | 2003-07-25 | 2005-02-03 | Antoine Bittar | Solar selective surface coatings, materials for use therein and a method of producing same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0446375B1 (en) | Surface-coated hard member for cutting and abrasion-resistant tools | |
| JPH068008A (ja) | 耐チッピング性にすぐれた表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 | |
| JPS6353269A (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具チツプ | |
| JPH0568548B2 (ja) | ||
| JPS62290870A (ja) | 被覆硬質部材の製造法 | |
| JP3282592B2 (ja) | 高速切削ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 | |
| JPS5925972A (ja) | 被覆硬質部材 | |
| JPH08118105A (ja) | 硬質被覆層がすぐれた層間密着性を有する表面被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具 | |
| JP2926883B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた表面被覆硬質部材 | |
| JPS6229507B2 (ja) | ||
| JPH05295517A (ja) | 結晶配向の多層被覆焼結合金 | |
| JPH0364469A (ja) | 被覆超硬質合金工具 | |
| JPH08199338A (ja) | 被覆硬質合金 | |
| JPH08257808A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP2650427B2 (ja) | 耐摩耗性のすぐれた表面被覆切削工具部材 | |
| JPH01180980A (ja) | 被覆工具材料 | |
| JPH0515786B2 (ja) | ||
| JPH04275805A (ja) | 気相合成ダイヤモンド被覆切削工具 | |
| JPH03122280A (ja) | 被覆超硬質合金工具 | |
| JPH0234733B2 (ja) | ||
| JP3265910B2 (ja) | 表面被覆切削工具の製造方法 | |
| JPH03219078A (ja) | ダイヤモンド被覆切削工具およびその製造法 | |
| JP2002239813A (ja) | 被覆超硬合金工具及びその製造方法 | |
| JPS5925971A (ja) | 被覆超硬合金とその製造法 | |
| JPS6345372A (ja) | ダイヤモンド被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具チツプ |