JPS62278541A - 光重合性組成物 - Google Patents
光重合性組成物Info
- Publication number
- JPS62278541A JPS62278541A JP12011486A JP12011486A JPS62278541A JP S62278541 A JPS62278541 A JP S62278541A JP 12011486 A JP12011486 A JP 12011486A JP 12011486 A JP12011486 A JP 12011486A JP S62278541 A JPS62278541 A JP S62278541A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photopolymerizable composition
- compound
- alkyl
- amount
- ketobenzotriazine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 21
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims abstract description 9
- -1 amino, hydroxy Chemical group 0.000 claims abstract description 8
- DMSSTTLDFWKBSX-UHFFFAOYSA-N 1h-1,2,3-benzotriazin-4-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)N=NNC2=C1 DMSSTTLDFWKBSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 6
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims abstract description 5
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 claims abstract description 5
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 claims abstract description 4
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 claims abstract description 3
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims abstract description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims abstract description 3
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 4
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 abstract 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 abstract 1
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)C=C HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 2-methylanthraquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(C)=CC=C3C(=O)C2=C1 NJWGQARXZDRHCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 3
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical compound CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 2-chlorothioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC(Cl)=CC=C3SC2=C1 ZCDADJXRUCOCJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- PYGSKMBEVAICCR-UHFFFAOYSA-N hexa-1,5-diene Chemical group C=CCCC=C PYGSKMBEVAICCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N hexane-1,6-diamine Chemical compound NCCCCCCN NAQMVNRVTILPCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 2
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 2
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 2
- MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 1,2-diphenyl-2-propan-2-yloxyethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC(C)C)C(=O)C1=CC=CC=C1 MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSKPJQYAHCKJQC-UHFFFAOYSA-N 1-ethylanthracene-9,10-dione Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2CC HSKPJQYAHCKJQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=C1 HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-(7-oxabicyclo[4.1.0]hepta-1,3,5-trien-2-yl)-2-phenylethanone Chemical compound OC(C(=O)c1cccc2Oc12)c1ccccc1 NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- MGZUQDHNBYYFGF-UHFFFAOYSA-N 3-amino-1,2,3-benzotriazin-4-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)N(N)N=NC2=C1 MGZUQDHNBYYFGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004709 Chlorinated polyethylene Substances 0.000 description 1
- 206010011732 Cyst Diseases 0.000 description 1
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- 241000009298 Trigla lyra Species 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 238000012644 addition polymerization Methods 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 1
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- MIAUJDCQDVWHEV-UHFFFAOYSA-N benzene-1,2-disulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O MIAUJDCQDVWHEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- GSEZYWGNEACOIW-UHFFFAOYSA-N bis(2-aminophenyl)methanone Chemical compound NC1=CC=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1N GSEZYWGNEACOIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIPBVABVQJZSAB-UHFFFAOYSA-N bis(ethenyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OC=C PIPBVABVQJZSAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJCHRUXIDGEWDK-UHFFFAOYSA-N bis(ethenyl) butanedioate Chemical compound C=COC(=O)CCC(=O)OC=C AJCHRUXIDGEWDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JZQAAQZDDMEFGZ-UHFFFAOYSA-N bis(ethenyl) hexanedioate Chemical compound C=COC(=O)CCCCC(=O)OC=C JZQAAQZDDMEFGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N butane-1,1-diol Chemical compound CCCC(O)O CDQSJQSWAWPGKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 208000031513 cyst Diseases 0.000 description 1
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N desyl alcohol Natural products C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- ZIUHHBKFKCYYJD-UHFFFAOYSA-N n,n'-methylenebisacrylamide Chemical compound C=CC(=O)NCNC(=O)C=C ZIUHHBKFKCYYJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAAUYUMBCPRWED-UHFFFAOYSA-N n-[1-(4-methylphenyl)ethylidene]hydroxylamine Chemical compound ON=C(C)C1=CC=C(C)C=C1 XAAUYUMBCPRWED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZMHQCWXYHARLS-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,2-disulfonic acid Chemical compound C1=CC=CC2=C(S(O)(=O)=O)C(S(=O)(=O)O)=CC=C21 YZMHQCWXYHARLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 229920001289 polyvinyl ether Polymers 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N vinyl-ethylene Natural products C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は新規な光重合性組成物に関するも゛のであり、
更に詳しくは、金属との密着性(付着性または接着性)
が改善された光重合性組成物に関する。
更に詳しくは、金属との密着性(付着性または接着性)
が改善された光重合性組成物に関する。
(従来の技術)
光重合性組成物から形成された被膜と基材との間の密着
性を改善するために、従来から多くの提案がなされてい
る。即ちプリント配線板の製造において用いられるドラ
イフィルムフォトレジストは、溶液型のフォトレジスト
に比較して金属表面への密着性が弱く、エツチングある
いはメッキの際に種々の好ましくない現象が発生する。
性を改善するために、従来から多くの提案がなされてい
る。即ちプリント配線板の製造において用いられるドラ
イフィルムフォトレジストは、溶液型のフォトレジスト
に比較して金属表面への密着性が弱く、エツチングある
いはメッキの際に種々の好ましくない現象が発生する。
たとえば、エツチング液のスプレ一時におけるアンダー
カットおよびメッキ液の浸漬時によるレジスト界面への
メッキ液の浸み込み等の現象が生じ、その結果、期待す
る配線が得られないことがしばしば経験される。
カットおよびメッキ液の浸漬時によるレジスト界面への
メッキ液の浸み込み等の現象が生じ、その結果、期待す
る配線が得られないことがしばしば経験される。
これらの問題を解決するために、感光性樹・脂層中に種
々の化合物を添加することにより、密着性の改善を目的
として従来種々の提案がなされている。(例えば特公昭
50−9177号、特公昭57−49894号、特公昭
57−26285号、特公昭54−5292号、特公昭
55−22481号、特開昭51−64919号、特開
昭51−64920号、特公昭57−46053号、特
公昭57−46054号、特公昭57−21697号、
特公昭57−40500号等参照) (発明が解決しようとする問題点) しかし、これら従来提案された化合物は、特にフォトレ
ジストとして使用された場合には次のような欠点を示す
のである。例えば密着促進剤として公知であるベンズイ
ミダゾール、ベンゾトリアゾールなどの化合物を含む光
重合性組成物を用いた場合、現像後の基板の銅露出面の
赤変などが見°られ、メッキ、エツチング等の後加工に
好ましくない影響を与える。あるいは、密着促進剤の添
加量増加に伴い、感度低下を起こすなどの悪影響を与え
る。
々の化合物を添加することにより、密着性の改善を目的
として従来種々の提案がなされている。(例えば特公昭
50−9177号、特公昭57−49894号、特公昭
57−26285号、特公昭54−5292号、特公昭
55−22481号、特開昭51−64919号、特開
昭51−64920号、特公昭57−46053号、特
公昭57−46054号、特公昭57−21697号、
特公昭57−40500号等参照) (発明が解決しようとする問題点) しかし、これら従来提案された化合物は、特にフォトレ
ジストとして使用された場合には次のような欠点を示す
のである。例えば密着促進剤として公知であるベンズイ
ミダゾール、ベンゾトリアゾールなどの化合物を含む光
重合性組成物を用いた場合、現像後の基板の銅露出面の
赤変などが見°られ、メッキ、エツチング等の後加工に
好ましくない影響を与える。あるいは、密着促進剤の添
加量増加に伴い、感度低下を起こすなどの悪影響を与え
る。
また、近年プリント配線の高密度化が望まれ、そのため
に、原版の再現性が良く、高解像力であり、かつテンテ
ィングの信頼性の高いドライフィルムフォトレジストが
必要となってきており、柔軟で密着力が良く、感光した
場合のラチチュードが広く、解像力が良く、現像工程の
変動に対しても安定なものであることが望まれている。
に、原版の再現性が良く、高解像力であり、かつテンテ
ィングの信頼性の高いドライフィルムフォトレジストが
必要となってきており、柔軟で密着力が良く、感光した
場合のラチチュードが広く、解像力が良く、現像工程の
変動に対しても安定なものであることが望まれている。
本発明の目的は、光重合性組成物の被覆材に対する上記
のような問題点がなく、しかも金属面への密着性が改善
された光重合性組成物を提供することである。さらに、
本発明の目的は、原版に対する忠実な画線像を再現し、
高解像力を発現しうる光重合性組成物を提供することに
ある。
のような問題点がなく、しかも金属面への密着性が改善
された光重合性組成物を提供することである。さらに、
本発明の目的は、原版に対する忠実な画線像を再現し、
高解像力を発現しうる光重合性組成物を提供することに
ある。
(問題点を解決する為の手段)
本発明者等は、次のような光重合性組成物を用いること
でこれらの目的が達成されるととを見出し、本発明を完
成するに到った。
でこれらの目的が達成されるととを見出し、本発明を完
成するに到った。
即ち、本発明は、熱可塑性有機重合体パイ゛ンダー、分
子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和二重結合を有
する付加重合性不飽和化合物および光重合開始剤を主成
分とし、がつ下記一般式(I)で表される4−ケトベン
ゾトリアジン又はその誘導体を添加してなる光重合性組
成物。
子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和二重結合を有
する付加重合性不飽和化合物および光重合開始剤を主成
分とし、がつ下記一般式(I)で表される4−ケトベン
ゾトリアジン又はその誘導体を添加してなる光重合性組
成物。
へ
(ここで、R3、へ、へ及び八は夫々水素原子、ハロゲ
ン、アルキル基、アルキルエステル基又はアミノ基、八
は水素原子、アルキル基、アミン基、水酸基、又はアリ
ール基である。) 本発明の上記一般式(I)で表される密着性に改善を与
える化合物の具体例としては、4−ケトベンゾトリアジ
ン、3−アミノ−4−ケトベンゾトリアジン、3−フェ
ニ/L’−4−ケトベンゾトリアジン、6−メチ/l/
−4−ケトベンゾトリアジンなどが挙げられる。
ン、アルキル基、アルキルエステル基又はアミノ基、八
は水素原子、アルキル基、アミン基、水酸基、又はアリ
ール基である。) 本発明の上記一般式(I)で表される密着性に改善を与
える化合物の具体例としては、4−ケトベンゾトリアジ
ン、3−アミノ−4−ケトベンゾトリアジン、3−フェ
ニ/L’−4−ケトベンゾトリアジン、6−メチ/l/
−4−ケトベンゾトリアジンなどが挙げられる。
また、上記化合物の含有量は、光重合性組成物の全重量
(乾燥残分)基準で、好ましくはα006〜6.0重量
%であシ、さらに好ましくは0.03〜2.5重量%で
ある。
(乾燥残分)基準で、好ましくはα006〜6.0重量
%であシ、さらに好ましくは0.03〜2.5重量%で
ある。
本発明の光重合性組成物に好適に用いられる熱可塑性有
機重合体バインダーとしては、例えばポリメチルメタク
リレート、ポリスチレン、塩素化ポリエチレン、ポリ塩
化ビニル、ポリビニルアセテート、ポリビニ/I/7/
レコール 、 ポ リ ビ ニ ル フ゛ チ ラ
− ル 、 ポ リ ア り リ ル 酸等のビニ
ルモノマーの重合物及び共重合体が例示される。その使
用量としては、光重合性組成物の全重量(乾燥残分)基
準で、好ましくは0.1〜80重量%であり、さらに好
ましくは35〜70重量%である。
機重合体バインダーとしては、例えばポリメチルメタク
リレート、ポリスチレン、塩素化ポリエチレン、ポリ塩
化ビニル、ポリビニルアセテート、ポリビニ/I/7/
レコール 、 ポ リ ビ ニ ル フ゛ チ ラ
− ル 、 ポ リ ア り リ ル 酸等のビニ
ルモノマーの重合物及び共重合体が例示される。その使
用量としては、光重合性組成物の全重量(乾燥残分)基
準で、好ましくは0.1〜80重量%であり、さらに好
ましくは35〜70重量%である。
本発明の光重合性組成物に好適に用いられる付加重合性
不飽和化合物は分子中に少なくとも2個のエチレン性不
飽和二重結合を有す°−るものであり、付加重合しうる
ものであれば良く、これらは1種又は2種以上の化合物
を使用することができる。例えば、アクリル酸エステル
、メタクリル酸エヌテル、アクリルアミド、メタクリル
アミド、アリル化合物、ビニルエーテル化合物等が挙げ
られる。具体的には、アクリル酸エステル、メタクリル
酸エヌテルトしては、多価アルコールのポリアクリレー
ト及びポリメタクリレート(ここで言うポリアクリレー
ト等とはジアクリレート以上の化合物である。)であり
、多価アルコ−/しとしては、ポリエチレングリコール
、ポリプロピレングリコール、ネオベンチルグリコール
、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ブ
タンジオール、トリメチロニルエタンなどである。アク
リルアミド、メタクリルアミドとしては、メチレンビス
アクリルアミド、同メタクリルアミドの他に、エチレン
ジアミン、ヘキサメチレンジアミンなどのポリアクリル
アミド、ポリメタクリルアミドが挙げられる。アリル化
合物としては、フタル酸、アジピン酸、マロン酸等のジ
アリルエステル、ジアリルアミド、あるいはアントラキ
ノンジヌルホン酸、ベンゼンジスルホン酸、ナフタレン
ジスルホン酸のジアリルエ。
不飽和化合物は分子中に少なくとも2個のエチレン性不
飽和二重結合を有す°−るものであり、付加重合しうる
ものであれば良く、これらは1種又は2種以上の化合物
を使用することができる。例えば、アクリル酸エステル
、メタクリル酸エヌテル、アクリルアミド、メタクリル
アミド、アリル化合物、ビニルエーテル化合物等が挙げ
られる。具体的には、アクリル酸エステル、メタクリル
酸エヌテルトしては、多価アルコールのポリアクリレー
ト及びポリメタクリレート(ここで言うポリアクリレー
ト等とはジアクリレート以上の化合物である。)であり
、多価アルコ−/しとしては、ポリエチレングリコール
、ポリプロピレングリコール、ネオベンチルグリコール
、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ブ
タンジオール、トリメチロニルエタンなどである。アク
リルアミド、メタクリルアミドとしては、メチレンビス
アクリルアミド、同メタクリルアミドの他に、エチレン
ジアミン、ヘキサメチレンジアミンなどのポリアクリル
アミド、ポリメタクリルアミドが挙げられる。アリル化
合物としては、フタル酸、アジピン酸、マロン酸等のジ
アリルエステル、ジアリルアミド、あるいはアントラキ
ノンジヌルホン酸、ベンゼンジスルホン酸、ナフタレン
ジスルホン酸のジアリルエ。
ステル、ジアリルアミド等がある。ビニルエーテル化合
物としては前記多価アルコールのポリビニルエーテル、
例えばエチレングリコ−ル ジ ビ ニ ル エ −
テ ル 、ク リ セ ロ − ル ト リ ビニ
ルエーテルなどがある。ビニルエステル化合物としては
、ジビニルサクシネート、ジビニルアジペート、ジビニ
ρフタレートナトカ挙げられる。
物としては前記多価アルコールのポリビニルエーテル、
例えばエチレングリコ−ル ジ ビ ニ ル エ −
テ ル 、ク リ セ ロ − ル ト リ ビニ
ルエーテルなどがある。ビニルエステル化合物としては
、ジビニルサクシネート、ジビニルアジペート、ジビニ
ρフタレートナトカ挙げられる。
これらの中で、テトラエチレングリコールジアクリレー
ト、同メタクリレート等のグリコールエステル、ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、同メタクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、同メタクリ
レート等のアクリル系多官能性モノマーが好ましい。
ト、同メタクリレート等のグリコールエステル、ペンタ
エリスリトールトリアクリレート、同メタクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、同メタクリ
レート等のアクリル系多官能性モノマーが好ましい。
付加重合性不飽和化合物の含有量は、光重合性組成物の
全重量(乾燥残分)基準で、好ましくは約10〜90重
量%であり、さらに好ましくは約20〜55重量%であ
る。
全重量(乾燥残分)基準で、好ましくは約10〜90重
量%であり、さらに好ましくは約20〜55重量%であ
る。
本発明の組成物に好適に用いられる光重合開始剤として
は、エチレン性不飽和化合物の重合に適する開始剤が良
く、アクリル系多官能性モノマーに対しては、アントラ
キノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアント
ラキノン等のアントラキノン誘導体、ベンツイン、ベン
ゾインエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等の
ベンゾインアルキルエーテル、ベンゾフェノ吟4. )
、’ H/、y、トレンキノン、オキシムエステルア
ミノフェニルケ (トン、チオキサントン等が単独ある
いは組み合わせて使用される。
は、エチレン性不飽和化合物の重合に適する開始剤が良
く、アクリル系多官能性モノマーに対しては、アントラ
キノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアント
ラキノン等のアントラキノン誘導体、ベンツイン、ベン
ゾインエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等の
ベンゾインアルキルエーテル、ベンゾフェノ吟4. )
、’ H/、y、トレンキノン、オキシムエステルア
ミノフェニルケ (トン、チオキサントン等が単独ある
いは組み合わせて使用される。
光重合開始剤又は光重合開始剤系の含有量は好ましくは
光重合性組成物の総重量(乾燥残分)基準でα006〜
6.0重量%であり、さらに好ましくはα06〜3.0
重量%である。
光重合性組成物の総重量(乾燥残分)基準でα006〜
6.0重量%であり、さらに好ましくはα06〜3.0
重量%である。
本発明の光重合性組成物は1.上述の如く熱可塑性有機
重合体バインダー、エチレン性不飽和化合物、光重合開
始剤および密着性を改善する化合物を必須成分とするが
、必要に応じて熱重合禁止剤やレジストを確認しやすく
するために染料、顔料、可塑剤などを使用してもよい。
重合体バインダー、エチレン性不飽和化合物、光重合開
始剤および密着性を改善する化合物を必須成分とするが
、必要に応じて熱重合禁止剤やレジストを確認しやすく
するために染料、顔料、可塑剤などを使用してもよい。
本発明の光重合性組成物は、フォトレジストの形成に有
用な組成物であるが、必ずしもこの用途に限定されるも
のではなく、UVインキ、ソルダーレジスト、印刷版、
紫外線硬化塗料、紫外線硬化接着剤などにも応用できる
。
用な組成物であるが、必ずしもこの用途に限定されるも
のではなく、UVインキ、ソルダーレジスト、印刷版、
紫外線硬化塗料、紫外線硬化接着剤などにも応用できる
。
発明の効果)
本発明により光重合性組成物と金属との密着性を改良す
ることが出来た。
ることが出来た。
以下実施例および比較例を示して本発明の効果を更に説
明する。
明する。
(実施例)
実施例 1
下記に示す化合物を、溶媒としてメチルエチルケトンを
用い配合した。この配合液を、ポリエステルフィルム上
にアプリケーターを用い塗工し、乾燥(75℃、15m
1n )することにより厚さ50μmの光重合性組成物
を得た。
用い配合した。この配合液を、ポリエステルフィルム上
にアプリケーターを用い塗工し、乾燥(75℃、15m
1n )することにより厚さ50μmの光重合性組成物
を得た。
トリメチロールプロパントリアクリレート312重量部
テトラエチレングリコールジアクリレート25.0重量
部 p−メチルアセトフェノンオキシム−〇−アセテート aO重量部 2−クロロチオキサントン α2 mlkm4−ケト
ベンゾトリアジン 0.4重量部実施例 2 下記に示す化合物を、溶媒としてメチルエチルケトンを
用い配合した。この配合液をポリエステルフィルム上に
アプリケーターを用い塗工し乾燥(75℃1s m1n
)することにより厚さ50μmの光重合性組成物を得た
。
部 p−メチルアセトフェノンオキシム−〇−アセテート aO重量部 2−クロロチオキサントン α2 mlkm4−ケト
ベンゾトリアジン 0.4重量部実施例 2 下記に示す化合物を、溶媒としてメチルエチルケトンを
用い配合した。この配合液をポリエステルフィルム上に
アプリケーターを用い塗工し乾燥(75℃1s m1n
)することにより厚さ50μmの光重合性組成物を得た
。
100重量部
トリメチロールプロパントリアクリレート60重量部
2−クロロチオキサントン i、 o M 置部4−
ケトベンゾトリアジン 94重量部比較例 配合物に、密着促進剤を添加しない他は実施例1と同様
な手順で光重合性組成物を得た。
ケトベンゾトリアジン 94重量部比較例 配合物に、密着促進剤を添加しない他は実施例1と同様
な手順で光重合性組成物を得た。
(実施態様)
実施例および比較例において、以下の手法で解像力硬化
後の密着性評価を行った。
後の密着性評価を行った。
(解像力)
実施例の項で得た光重合性組成物を銅板に゛加圧、加熱
積層した。得られた積層体に細線パターンマスクを使用
し、超高圧水銀ランプにより、数水準の露光量で露光し
た。
積層した。得られた積層体に細線パターンマスクを使用
し、超高圧水銀ランプにより、数水準の露光量で露光し
た。
次に、クロロセン(実施例1、比較例)あるいは1%炭
酸水素ナトリウム水溶液(実施例2)で現像を行い、レ
ジストの細線が形成されたそのレジスト幅を読むことで
解像力を求めた。
酸水素ナトリウム水溶液(実施例2)で現像を行い、レ
ジストの細線が形成されたそのレジスト幅を読むことで
解像力を求めた。
(硬化後の密着性評価)
実施例の項で得た光重合性組成物を銅張り積層板に加圧
、加熱積層した。
、加熱積層した。
この積層体に細線パターンマスクを使用し、超高圧水銀
ランプにより2水準の露光量(60,100m J /
d )で露光した。次にクロロセン(実施例1、比較
例)あるいは、1%炭酸水素ナトリウム水溶液(実施例
2)で現像を行った。得られたレジストパターン基板を
水酸化カリウム水溶液(pH10,60℃)に1時間浸
漬し、風乾させた。
ランプにより2水準の露光量(60,100m J /
d )で露光した。次にクロロセン(実施例1、比較
例)あるいは、1%炭酸水素ナトリウム水溶液(実施例
2)で現像を行った。得られたレジストパターン基板を
水酸化カリウム水溶液(pH10,60℃)に1時間浸
漬し、風乾させた。
その後、し、シストパターン基板の状態変化。
(レジスト表面での色変化、形成された細線部における
水酸化カリウム水溶液の浸み込み、銅界面におけるレジ
ストのハガレ、プッ状など)を観察することで密着性の
評価を行った。
水酸化カリウム水溶液の浸み込み、銅界面におけるレジ
ストのハガレ、プッ状など)を観察することで密着性の
評価を行った。
実施例1.2、比較例で得た光重合性組成物の評価結果
を表1に示す。
を表1に示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 熱可塑性有機重合体バインダー、分子中に少なくとも2
個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性不飽
和化合物および光重合開始剤を主成分とし、かつ下記一
般式( I )で表される4−ケトベンゾトリアジン又は
その誘導体を添加してなる光重合性組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) (ここで、R_1、R_2、R_3及びR_4は夫々水
素原子、ハロゲン、アルキル基、アルキルエステル基又
はアミノ基、R_5は水素原子、アルキル基、アミノ基
、水酸基又はアリール基である。)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12011486A JPS62278541A (ja) | 1986-05-27 | 1986-05-27 | 光重合性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12011486A JPS62278541A (ja) | 1986-05-27 | 1986-05-27 | 光重合性組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62278541A true JPS62278541A (ja) | 1987-12-03 |
Family
ID=14778289
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12011486A Pending JPS62278541A (ja) | 1986-05-27 | 1986-05-27 | 光重合性組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62278541A (ja) |
-
1986
- 1986-05-27 JP JP12011486A patent/JPS62278541A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2757375B2 (ja) | 光重合性組成物 | |
EP0014012B1 (en) | Photosensitive composition containing an ethylenically unsaturated compound, initiator and sensitizer | |
US6045972A (en) | Coating method using aqueous photopolymerizable compositions | |
JP5051299B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターンの製造方法、及びプリント配線板の製造方法 | |
US4596759A (en) | Dry film resist containing two or more photosensitive strata | |
US5322762A (en) | Photopolymerizable composition | |
KR101040475B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 및 이를 이용한 감광성 엘리먼트, 레지스트 패턴의 형성 방법 및 인쇄 배선판의 제조 방법 | |
US5112721A (en) | Photopolymerizable compositions containing sensitizer mixtures | |
JPS60258539A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPH06236031A (ja) | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント | |
US4770976A (en) | Phenanthroimidazole compounds, their preparation, photopolymerizable coating and recording materials, and lithographic layers produced using these | |
JPS62180355A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPS62278541A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPS62100503A (ja) | 光重合可能な混合物及びこれを含有する光重合可能な記録材料 | |
JPS62180354A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPS62180357A (ja) | 光重合性組成物 | |
US5114831A (en) | Photopolymerizable laminating material | |
JP2982398B2 (ja) | 新規な感光性樹脂組成物 | |
JPS59818B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
JPS6357622A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPS62290702A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPS6291935A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPS6076735A (ja) | 光硬化樹脂組成物 | |
JPS62277405A (ja) | 光重合性組成物 | |
JPS62180356A (ja) | 光重合性組成物 |