JPS62278423A - 発光装置の検査装置 - Google Patents
発光装置の検査装置Info
- Publication number
- JPS62278423A JPS62278423A JP12270486A JP12270486A JPS62278423A JP S62278423 A JPS62278423 A JP S62278423A JP 12270486 A JP12270486 A JP 12270486A JP 12270486 A JP12270486 A JP 12270486A JP S62278423 A JPS62278423 A JP S62278423A
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- JP
- Japan
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- axis
- measured
- image sensor
- cassette
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、発光装置としてたとえば半導体装置の遠視野
像（Ｆａｒ Ｆｉｅｌｄ Ｐａｔｔｅｒｎ）を測定し先
出カバターン等を検査するため等に用いて好適な発光装
置の検査装置の改良に関する。
像（Ｆａｒ Ｆｉｅｌｄ Ｐａｔｔｅｒｎ）を測定し先
出カバターン等を検査するため等に用いて好適な発光装
置の検査装置の改良に関する。
従来この種の発光装置の検査装２において、概略第４図
ないし第６図に示すような構成を有するものが知られて
いる。これを簡単に説明すると。
ないし第６図に示すような構成を有するものが知られて
いる。これを簡単に説明すると。
図中符号１は搬送レール、２はこの搬送レール１−ヒを
搬送される通電カセットで、この通電カセット２上には
、半導体装置等の被測定物３が、カセット搬送方向に所
定間隔おいて配列されてＦ＆儀されている。４は搬送レ
ール１上の測定位置にある被測定物３の先出カバターン
を測定するための光ファイバ、５はこの光ファイバ４を
Ｘ軸、Ｙ軸方向に沿った円弧面上に測定ピッチ毎に配列
して固定するための半球面状のファイバ固定カバーで、
前記搬送レール１上の測定位置を覆うようにして配設さ
れている。
搬送される通電カセットで、この通電カセット２上には
、半導体装置等の被測定物３が、カセット搬送方向に所
定間隔おいて配列されてＦ＆儀されている。４は搬送レ
ール１上の測定位置にある被測定物３の先出カバターン
を測定するための光ファイバ、５はこの光ファイバ４を
Ｘ軸、Ｙ軸方向に沿った円弧面上に測定ピッチ毎に配列
して固定するための半球面状のファイバ固定カバーで、
前記搬送レール１上の測定位置を覆うようにして配設さ
れている。
そして、このような従来構成において、搬送レール１上
を搬送されてきた通電カセット２を、その上側に搭載さ
れている被測定物３の一つが測定位置、すなわちファイ
バ固定カバー５の求心位置に対応するように位置決めし
、次で通電カセット２を通じて被測定物３に対し電流を
流すことにより被測定物３を発光させ、その光出力をフ
ァイバ固定カバー５内のＸ軸、Ｙ軸方向に配列されてい
る光ファイバ４で各測定位置における光出力を測定する
ことにより、光出カバターンの検査を行なうものであっ
た。
を搬送されてきた通電カセット２を、その上側に搭載さ
れている被測定物３の一つが測定位置、すなわちファイ
バ固定カバー５の求心位置に対応するように位置決めし
、次で通電カセット２を通じて被測定物３に対し電流を
流すことにより被測定物３を発光させ、その光出力をフ
ァイバ固定カバー５内のＸ軸、Ｙ軸方向に配列されてい
る光ファイバ４で各測定位置における光出力を測定する
ことにより、光出カバターンの検査を行なうものであっ
た。
また、通電カセット２を搬送し、検査済の被測定物３を
移送するとともに、次の被測定物３を測定位置に位置決
めして一ヒ述したと同様の操作を行なうことで、光出カ
バターンの検査を順次連続して行なえるものであった。
移送するとともに、次の被測定物３を測定位置に位置決
めして一ヒ述したと同様の操作を行なうことで、光出カ
バターンの検査を順次連続して行なえるものであった。
しかしながら、上述した構造による従来装置においては
、被測定物３のＸ、Ｙ軸方向での光出力を測定するため
に配列されている個々の光ファイバ４によって性能が異
なり、これらを一定の基準内に合わせなければならない
ため、それぞれの光ファイバ４の人、出力比を同一に調
整することが必要で、しかもファイバ固定カバー５の取
付精度や光ファイバ４の調整によって測定値が左右され
るため、７Ａ整に時間がかかり、生産性や検査精度の面
で問題となる等といった不具合があった。
、被測定物３のＸ、Ｙ軸方向での光出力を測定するため
に配列されている個々の光ファイバ４によって性能が異
なり、これらを一定の基準内に合わせなければならない
ため、それぞれの光ファイバ４の人、出力比を同一に調
整することが必要で、しかもファイバ固定カバー５の取
付精度や光ファイバ４の調整によって測定値が左右され
るため、７Ａ整に時間がかかり、生産性や検査精度の面
で問題となる等といった不具合があった。
本発明は上述した事情に鑑み、被測定物の光出力等を測
定するにあたって、従来のような面倒な調整作業等を必
要とせず、しかも測定誤差の少ない検査を行なうことが
可能となる発光袋はの検査装置を得ることを目的として
いる。
定するにあたって、従来のような面倒な調整作業等を必
要とせず、しかも測定誤差の少ない検査を行なうことが
可能となる発光袋はの検査装置を得ることを目的として
いる。
本発明に係る発光装置の検査装置は、Ｘ、Ｙ軸方向での
遠視野像を測定するそれぞれ一個のリニアイメージセン
サを、被測定物の発光点に対しそれぞれ一定の距離を保
った状態でＸ軸、Ｙ軸方向に沿って移動するように支持
され互いに干渉しない状態で回転駆動されるＸ軸検査腕
およびＹ軸検査腕に取付けるようにしたものである。
遠視野像を測定するそれぞれ一個のリニアイメージセン
サを、被測定物の発光点に対しそれぞれ一定の距離を保
った状態でＸ軸、Ｙ軸方向に沿って移動するように支持
され互いに干渉しない状態で回転駆動されるＸ軸検査腕
およびＹ軸検査腕に取付けるようにしたものである。
本発明によれば、交互に回転駆動されるＸ、 Ｙ軸検査
腕に設けたそれぞれ一個のリニアイメージセンサを、被
測定物に対しそれぞれＸ軸、Ｙ軸方向で円弧運動させる
ことにより、被測定物の遠視野像を測定するものである
。
腕に設けたそれぞれ一個のリニアイメージセンサを、被
測定物に対しそれぞれＸ軸、Ｙ軸方向で円弧運動させる
ことにより、被測定物の遠視野像を測定するものである
。
以下、本発明を図面に示した実施例を用いて詳細に説明
する。
する。
第１図ないし第３図は本発明に係る発光装置の検査装置
の一実施例を示すものであり、これらの図において前述
した第４図ないし第６図と同一または相当する部分には
、同一番号を付してその説明は省略する。
の一実施例を示すものであり、これらの図において前述
した第４図ないし第６図と同一または相当する部分には
、同一番号を付してその説明は省略する。
さて、本発明によれば、測定位置（Ｘ軸とＹ軸との交差
部分）に位置決めされた半導体装置等の被測定物３を通
電して発光させることにより、被測定物３の測定基準に
対して直交するＸ軸方向およびこれと直交するＹ軸方向
での遠視野像を測定するそれぞれ一個のリニアイメージ
センサ１０゜１１を用い、これら各リニヤイメージセン
ナ１０．１１を、被測定物３の発光点に対しそれぞれ一
定の距離を保った状態でＸ軸、Ｙ軸方向に沿って移動す
るように支持され互いに干渉しない状態で回転駆動され
るＸ軸およびＹ軸検査腕１２．１３に対し設けてなる構
成としたところに特徴を有している。
部分）に位置決めされた半導体装置等の被測定物３を通
電して発光させることにより、被測定物３の測定基準に
対して直交するＸ軸方向およびこれと直交するＹ軸方向
での遠視野像を測定するそれぞれ一個のリニアイメージ
センサ１０゜１１を用い、これら各リニヤイメージセン
ナ１０．１１を、被測定物３の発光点に対しそれぞれ一
定の距離を保った状態でＸ軸、Ｙ軸方向に沿って移動す
るように支持され互いに干渉しない状態で回転駆動され
るＸ軸およびＹ軸検査腕１２．１３に対し設けてなる構
成としたところに特徴を有している。
すなわち、前記Ｘ軸およびＹ軸検査腕１２゜１３は、そ
れぞれ測定位置にある被測定物３の発光点を通るＹ軸、
Ｘ軸（図中想像線で示す）を回転軸とする支持部材（Ｘ
軸側ではＸ軸駆動軸１４、Ｙ軸側ではＹ軸回転筒体１５
）から被測定物３側に延設されており、かつその先端部
に前記Ｘ軸、Ｙ軸すニアイメージセンサ１０ 、 ｔ
１カ３９けられている。ここで、Ｙ軸側の回転軸を筒体
１５で構成したのは、この部分を通る搬送レール１等を
避けるためである。
れぞれ測定位置にある被測定物３の発光点を通るＹ軸、
Ｘ軸（図中想像線で示す）を回転軸とする支持部材（Ｘ
軸側ではＸ軸駆動軸１４、Ｙ軸側ではＹ軸回転筒体１５
）から被測定物３側に延設されており、かつその先端部
に前記Ｘ軸、Ｙ軸すニアイメージセンサ１０ 、 ｔ
１カ３９けられている。ここで、Ｙ軸側の回転軸を筒体
１５で構成したのは、この部分を通る搬送レール１等を
避けるためである。
また、図中１６はＸ軸検査腕１２をＹ軸回りで回転させ
るためのＸ軸子歯車、１７はその回転駆動用のモータ、
１８はＸ軸操作腕１２の支え部材で、さらに１９．２０
はＹ軸検査腕１３をＸ軸回りで回転させるためのＹ軸子
歯車、２１はこれらＹ軸側の回転駆動用モータである。
るためのＸ軸子歯車、１７はその回転駆動用のモータ、
１８はＸ軸操作腕１２の支え部材で、さらに１９．２０
はＹ軸検査腕１３をＸ軸回りで回転させるためのＹ軸子
歯車、２１はこれらＹ軸側の回転駆動用モータである。
このような構成において、搬送レール１上で通電カセッ
ト２を搬送し、そのカセット２上に並設された被測定物
３の一つを、ｙＩ定位置で位置決めし、さらにこの通電
カセット２を通じて被測定物３に電流を流して発光させ
る。そして、まず、Ｘ軸側のモータ１７によりＸ軸検査
腕１２を回転させ、これにより被測定物３上を回置運動
するＸ軸すニアイメージセンサｌＯで、Ｘ軸方向の光出
力を測定し１元の位置に復帰させる０次に、Ｙ軸側も同
様に回転させて、その検査腕１３先端のＹ軸すニアイメ
ージセンサ１１によりＹ軸方向での光出力測定を行ない
、同様に元の位置に復帰させることにより、被測定物３
の遠視野像として先出カバターンを測定することができ
るものである。
ト２を搬送し、そのカセット２上に並設された被測定物
３の一つを、ｙＩ定位置で位置決めし、さらにこの通電
カセット２を通じて被測定物３に電流を流して発光させ
る。そして、まず、Ｘ軸側のモータ１７によりＸ軸検査
腕１２を回転させ、これにより被測定物３上を回置運動
するＸ軸すニアイメージセンサｌＯで、Ｘ軸方向の光出
力を測定し１元の位置に復帰させる０次に、Ｙ軸側も同
様に回転させて、その検査腕１３先端のＹ軸すニアイメ
ージセンサ１１によりＹ軸方向での光出力測定を行ない
、同様に元の位置に復帰させることにより、被測定物３
の遠視野像として先出カバターンを測定することができ
るものである。
そして、これら両軸方向での測定が完了した後、通電カ
セット２を搬送することで、次の被測定物３を測定位置
に位置合せして次の測定を行なうとよいものである。
セット２を搬送することで、次の被測定物３を測定位置
に位置合せして次の測定を行なうとよいものである。
なお、本発明は上述した実施例構造に限定されず、各部
の形状、構造等を、適宜変形、変更することは自由であ
る。たとえば上述した実施例では、被測定物３およびそ
の検査内容として、半導体装置の光出力のパターン検査
について説明したが、本発明はこれに限定されず、光出
力のパターン以外の検査や、他の発光装置の検査装置で
あっても前述した実施例と同様の効果を奏することは、
容易に理解されよう。
の形状、構造等を、適宜変形、変更することは自由であ
る。たとえば上述した実施例では、被測定物３およびそ
の検査内容として、半導体装置の光出力のパターン検査
について説明したが、本発明はこれに限定されず、光出
力のパターン以外の検査や、他の発光装置の検査装置で
あっても前述した実施例と同様の効果を奏することは、
容易に理解されよう。
以上説明したように、本発明に係る発光装置の検査装置
にｌれば、それぞれ−個のＸ！ＩＩ、 Ｙ軸すニアイ
メージセンサを、回転自在なＸ軸、Ｙ軸検査腕により回
転運動させることにより、Ｘ、Ｙ軸方向での光出力等の
測定を行なうようにしたので、簡単かつ安価な構成にも
かかわらず、従来のように多数の光フアイバ間での面倒
な調整作業等が不要となるばかりでなく、それぞれの軸
方向を一個のりニヤイメージセンナで測定することから
精度の高い測定検査を行なえるもので、生産性や検査精
度を向上させ得る等といった種々擾れた効果がある。
にｌれば、それぞれ−個のＸ！ＩＩ、 Ｙ軸すニアイ
メージセンサを、回転自在なＸ軸、Ｙ軸検査腕により回
転運動させることにより、Ｘ、Ｙ軸方向での光出力等の
測定を行なうようにしたので、簡単かつ安価な構成にも
かかわらず、従来のように多数の光フアイバ間での面倒
な調整作業等が不要となるばかりでなく、それぞれの軸
方向を一個のりニヤイメージセンナで測定することから
精度の高い測定検査を行なえるもので、生産性や検査精
度を向上させ得る等といった種々擾れた効果がある。
第１図ないし第３図は本発明に係る発光装ｄの検査装置
の一実施例を示す概略斜視図、概略平面図およびその要
部側面図、第４図ないし第６図は従来例を示す概略斜視
図、顆路平面図およびその要部側面図である。 １・・・・搬送レール、２・・・・通電力セ−／ ト、
３・・・・被測定物、１０．１１・・・・Ｘ軸、Ｙ軸す
ニヤイメージセンサ、１２．１３・・・・Ｘ軸、ＹＭ検
査腕、１４・・・・Ｘ軸駆動軸、１５・・・・Ｙ軸回転
筒体。
の一実施例を示す概略斜視図、概略平面図およびその要
部側面図、第４図ないし第６図は従来例を示す概略斜視
図、顆路平面図およびその要部側面図である。 １・・・・搬送レール、２・・・・通電力セ−／ ト、
３・・・・被測定物、１０．１１・・・・Ｘ軸、Ｙ軸す
ニヤイメージセンサ、１２．１３・・・・Ｘ軸、ＹＭ検
査腕、１４・・・・Ｘ軸駆動軸、１５・・・・Ｙ軸回転
筒体。
Claims (1)
- 測定位置に位置決めされた被測定物を発光させることに
より、被測定物の測定基準に対して直交するＸ軸方向お
よびこれと直交するＹ軸方向での遠視野像を測定するリ
ニアイメージセンサを備えてなる発光装置の検査装置に
おいて、前記被測定物の発光点に対しそれぞれ一定の距
離を保った状態でＸ軸、Ｙ軸方向に沿って移動するよう
に支持され互いに干渉しない状態で回転駆動されるＸ軸
およびＹ軸検査腕を配設するとともに、これらＸ軸およ
びＹ軸検査腕に対し、Ｘ軸、Ｙ軸方向での遠視野像を測
定するそれぞれ一個のリニアイメージセンサを設けたこ
とを特徴とする発光装置の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12270486A JPS62278423A (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 | 発光装置の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12270486A JPS62278423A (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 | 発光装置の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62278423A true JPS62278423A (ja) | 1987-12-03 |
| JPH0411812B2 JPH0411812B2 (ja) | 1992-03-02 |
Family
ID=14842545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12270486A Granted JPS62278423A (ja) | 1986-05-28 | 1986-05-28 | 発光装置の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62278423A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0415440A2 (en) * | 1989-08-31 | 1991-03-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Apparatus for measuring light output from semiconductor light emitting element |
-
1986
- 1986-05-28 JP JP12270486A patent/JPS62278423A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0415440A2 (en) * | 1989-08-31 | 1991-03-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Apparatus for measuring light output from semiconductor light emitting element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0411812B2 (ja) | 1992-03-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |