JPS6227719A - 液晶表示素子 - Google Patents

液晶表示素子

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Publication number
JPS6227719A
JPS6227719A JP60167209A JP16720985A JPS6227719A JP S6227719 A JPS6227719 A JP S6227719A JP 60167209 A JP60167209 A JP 60167209A JP 16720985 A JP16720985 A JP 16720985A JP S6227719 A JPS6227719 A JP S6227719A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
org
liquid crystal
electrode
insulating film
crystal display
Prior art date
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Pending
Application number
JP60167209A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshizo Tashiro
田代 美三
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
Priority to JP60167209A priority Critical patent/JPS6227719A/ja
Publication of JPS6227719A publication Critical patent/JPS6227719A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、液晶表示素子に関し、特に、電極基板のガラ
ス基板と電極膜との間に形成される絶縁被膜に関する。
「従来の技術」 第1図に示すように、液晶表示素子は、ガラス基板11
上に一様に形成された絶縁被膜12と、この絶縁被膜1
2上に表示パターンに応じた形状に形成された電極膜1
3と、上面が平坦面となるように電極膜13と絶縁被膜
12とを被覆する配向膜14とからなる一対の電極基板
15を備えている。これらの電極基板15.15は、シ
ール材16を介して所定ギャップとなるように貼り合わ
され、内部に液晶17が封入されている。なお、ツイス
トネマティック型の液晶表示素子などにおいては、電極
基板15.15の外側に偏光板18.18が貼り付けら
れている。
従来の液晶表示素子において、ガラス基板11と電極膜
13との間に介在する絶縁被膜12は、真空蒸着法また
は化学スプレー法を用いて、主として二酸化シリコン(
S;O2) 、二酸化チタン(TiO2)などで形成さ
れていた。
「発明が解決しようとする問題点」 絶縁被膜12の形成に際して、真空蒸着法は、優れた特
性の絶縁被膜が得られるが、量産性の点で問題があった
また、化学スプレー法は、得られた絶縁被膜の特性が劣
ると共に、材料の無駄が生じやすいという問題点があっ
た。
一方、スクリーン印刷法を使用することも考えられるが
、量産性の点で問題がある。
上記の各種方法に比べて、浸漬法は、数多くの電極基板
を同時に処理できると共に材料の無駄が生ぜず、量産に
適しているという特徴がある。
しかし、浸漬法によって5iQ2のみで絶縁被膜12を
形成すると、その屈折率がインジウム−スズ(In−3
n)酸化物からなる電極膜13の屈折率より小さくなる
ため、液晶表示素子の非駆動時に電極パターンが目立つ
という問題点があった。
また、絶縁被膜12の屈折率を上げるために。
TiQ2を2層に重ねることも行なわれているが、工程
が増えてコスト高になるという問題点があった。
さらに、絶縁被膜12としてTiQ2を単層だけ設ける
と、ガラス基板11から液晶17へのナトリウムイオン
(Na” )等のアルカリイオンの溶出が生じ、信頼性
テストにおいて表示パターンのにじみが生じるという問
題点があった。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解消するため
に、アルカリイオンの液晶への溶出を防止すると共に、
絶縁被膜の屈折率を電極膜のそれに近づけることにより
電極パターンを見えにくくし、よって信頼性および表示
品位奢向上させるようにした液晶表示素子を提供するこ
とにある。
「問題点を解決するための手段」 本発明の液晶表示素子は、ガラス基板と電極膜との間に
介在する絶縁被膜をSiO、、〜ZrO□−B2O3の
混合膜で形成した電極基板を備えていることを特徴とす
る。
「作用」 本発明による液晶表示素子においては、5iQ2−Zr
O□−B2O3の混合膜からなる絶縁被膜がガラス基板
から液晶へのNa+等のアルカリイオンの溶出を防+h
すると共に、絶縁被膜の屈折率が電極膜のそれに近づき
、電極パターンを見えに〈<シて液晶表示素子の視認性
を高める。
「発明の実施例」 本発明の液晶表示素子の一実施例においては、S i0
2  ZrQ2−8203の混合膜からなる絶縁被膜を
浸漬法により形成する。すなわち、有機溶剤に可溶なケ
イ素(Si)の有機金属化合物、ジルコニウム(Z「)
の有機金属化合物およびポロン(B)の有機金属化合物
を有機溶剤に溶解させて相互に反応させると共に、溶液
の安定化のためにキレート生成物を添加して、生成され
た反応生成物を均一に含有する溶液とし、この溶液にガ
ラス基板を浸ffl塗布した後、焼成しテ5io2zr
o2  B2O3(’)混合膜からなる絶縁被膜を形成
する。
上記S1の有機金属化合物としては、テトラメトキシシ
ラン(Si(OCt(+ >a ) 、テトラエトキシ
シラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン
等の有機シラン化合物が好ましく使用できる。
また、上記Zrの有機金属化合物としては、テトラエト
キシジルコニウム、テトライソプロポキシジルコニウム
(Zr(OC+ H7)4) 、テトラアセチルアセト
ナートジルコニウム等が好ましく使用できる。
さらに、上記Bの有機金属化合物としては、ホウ酸、ト
リエトキシポロン、トリイソプロポキシポロン、トリn
ブトキシポロ7 (B(OC4H9)3 ) 、  ト
リスアセチルアセトナートポロン等が好ましく使用でき
る。
これらの有機金属化合物を溶解させる有機溶剤としては
、メチルエチルケトン(MEK) 、酢酸エチル、エタ
ノール、メタノール等カ好ましく使用できる。
また、溶剤の安定化剤としては、アセチルアセトン、ト
リエタノールアミン等が好ましく使用できる。
これらを混合して作成された溶液を浸漬液として使用し
、これにガラス基板を浸漬して塗布した後に、400〜
500℃程度の温度で焼成すると、5i02−2r02
  B2O3の混合膜からなる絶縁被膜が形成される。
浸漬液中に含有されるSi、 Zr、 Bの量、浸漬液
の粘度8ガラス基板の浸漬液中からの引き上げ速度等を
調整することにより、膜厚が5000Å以下程度の絶縁
被膜を自由に形成することができる。
なお、こうして形成された絶縁被膜の各成分の含有量は
、SiO2: 20〜50重量%、−ZrOz : 4
0〜80fi量%、 8203 : 2〜15重量%と
なるようにすることが好ましい。5iQ2が20重量%
未満では成膜性が悪くなるという問題が生じ、SiO□
が50重量%を超えると電極パターンが見えやすくなる
という問題が生じる。また、ZrQ2が40重量%未満
では屈折率が低くなるという問題が生じ、ZrO2が8
0重量%を超えるとクラックが入りやすくなるという問
題が生じる。さらに、B2O3が2重量%未満では電極
パターンににじみが発生しやすくなるという問題が生じ
、 B2O3が15重量%を超えると耐水性が悪くなる
という問題が生じる。
実施例: 攪拌器および還流冷却器を備えた3首フラスコを攪拌さ
せながら、窒素ガス(N2)の導入下で、まず、 ■エタノール+アセチルアセトン ■B (Oc、 t(9)1 を順次フラスコに加える0次に、これらを還流させなが
ら煮沸してから、 @S i (OCR* )a ■Zr (oc、 N7 )4 を、 (+) C7N5 OH に溶解しフラスコに加える。
この溶液は、酸化物濃度として、SiO□: 34.8
重量%、ZrQ、 : 51.7重量%、B2O3: 
 8.1重量%有するように作成した。
この溶液を浸漬液として用い、同液にガラス基板を浸漬
してから、ガラス基板を毎分Hctmの引き上げ速度で
引き上げ、400〜500℃の温度範囲で30〜60分
間焼成した。この結果、ガラス基板上に膜厚が約100
0人の絶縁被膜が形成された。
第1図に示すように、絶縁被膜12が形成されたガラス
基板11上に、スパッタリングにより電極膜13を形成
し、バターニングする。さらに、ポリイミド膜をコート
してラビングすることにより配向膜14を形成する。こ
うして電極基板15を得ることができる。
次に、2枚の電極基板15をシール材1Bを介してセル
ギャップが101L11となるように貼り合わせ、内部
に例えばネマティック液晶17を封入し、各電極基板1
5の外側に偏光板18.19を貼り付けることにより、
ツイストネマティック型の液晶表示素子を作成すること
ができる。
このようにして作成された液晶表示素子は、5i02−
−ZrO2− B2O3の混合膜からなる絶縁被膜を有
するので、Zrの含有量に応じて絶縁被膜の屈折率を1
.6〜1.75の範囲で調整可能である。このため、屈
折率1,52のSiO□単層の絶縁被膜を用いた場合に
比べると、非駆動時に電極パターンが見えることが少な
くなり、液晶表示素子としての視認性が向上する。
また、この液晶表示素子においては、アルカリイオンが
溶出してきたどうかの判定の基準となる駆動時の表示パ
ターンのくずれ、いわゆるにじみ現象が起こりにくい。
例えば80℃、90%の耐湿加速試験下において、にじ
み現象の発生時間は。
5i02単層の絶縁被膜を用いた場合に比べて、約30
%長くなる。したがって、長寿命の液晶表示素子を製造
することができる。
「発明の効果」 以上説明したように、本発明によれば、 ZrおよびB
の成分によりNa+等のアルカリイオンの溶出防止性能
を向上させることができるという効果が得られる。
また、Zrの含有量に応じて絶縁被膜の屈折率を変化さ
せることができるので、絶縁被膜の屈折率を電極膜のそ
れに近づけることにより非駆動時に電極パターンを見え
にくくすることができるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は液晶表示素子の一般的な構成を示す断面図であ
る。 図中、 11はガラス基板、12は絶縁被膜、13は電
極膜、14は配向膜、15は電極基板、17は液晶であ
る。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ガラス基板と電極膜との間に介在する絶縁被膜が
    SiO_2−ZrO_2−B_2O_3の混合膜で形成
    された電極基板を備えていることを特徴とする液晶表示
    素子。
  2. (2)特許請求の範囲第1項において、前記絶縁被膜は
    、SiO_2:20〜50重量%、ZrO_2:40〜
    80重量%、B_2O_3:2〜15重量%の混合膜で
    形成されている液晶表示素子。
JP60167209A 1985-07-29 1985-07-29 液晶表示素子 Pending JPS6227719A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6446039B1 (en) 1998-09-08 2002-09-03 Seiko Epson Corporation Speech recognition method, speech recognition device, and recording medium on which is recorded a speech recognition processing program

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5240354A (en) * 1975-09-26 1977-03-29 Nippon Kogaku Kk <Nikon> Display unit in which electrooptical fluid is filled
JPS5662224A (en) * 1979-10-25 1981-05-28 Seiko Epson Corp Construction of display panel
JPS56116015A (en) * 1980-02-20 1981-09-11 Seiko Epson Corp Manufacture of liquid crystal panel

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