JPS62271423A - 荷電ビ−ム偏向制御方法 - Google Patents
荷電ビ−ム偏向制御方法Info
- Publication number
- JPS62271423A JPS62271423A JP11371486A JP11371486A JPS62271423A JP S62271423 A JPS62271423 A JP S62271423A JP 11371486 A JP11371486 A JP 11371486A JP 11371486 A JP11371486 A JP 11371486A JP S62271423 A JPS62271423 A JP S62271423A
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- JP
- Japan
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- deflector
- time
- latch
- settling time
- charged beam
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 title abstract 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 9
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明はベクタ・ショット型荷電ビーム露光装置の偏向
制御方法に関する。
制御方法に関する。
（従来の技術）
荷電ビームを偏向する偏向器のセットリング時間は荷電
ビームの移動する距離に関係なく一定の時間が設定され
ていた。偏向器のセットリング時間が一定の時間に設定
されるとそのセットリング時間は荷電ビームが移動する
最大距離に応じた時間に設定せざるを得ない、このため
荷電ビームが移動する距離が小さくても荷電ビームが移
動する最大距離のセットリング時間が偏向器のセットリ
ング時間となり荷電ビームを偏向する偏向器のセットリ
ング時間が長くなっていた。
ビームの移動する距離に関係なく一定の時間が設定され
ていた。偏向器のセットリング時間が一定の時間に設定
されるとそのセットリング時間は荷電ビームが移動する
最大距離に応じた時間に設定せざるを得ない、このため
荷電ビームが移動する距離が小さくても荷電ビームが移
動する最大距離のセットリング時間が偏向器のセットリ
ング時間となり荷電ビームを偏向する偏向器のセットリ
ング時間が長くなっていた。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は上述した事情に鑑みてなされもので。
その目的は荷電ビームの移動する距離に応じて偏向器の
セットリング時間を決定することによりセットリング時
間を短縮化するものである。
セットリング時間を決定することによりセットリング時
間を短縮化するものである。
（問題点を解決するための手段）
電子（荷電）ビーム露光装置で偏向器のセットリング時
間は描画しない無駄時間であるので出来るだけ少ない方
が良い、そこで本発明では、荷電ビームの移動する距離
に応じて偏向器のセットリング時間を決定し、描画をし
ない無駄時間である偏向器のセットリング時間を出来る
だけ少くした。
間は描画しない無駄時間であるので出来るだけ少ない方
が良い、そこで本発明では、荷電ビームの移動する距離
に応じて偏向器のセットリング時間を決定し、描画をし
ない無駄時間である偏向器のセットリング時間を出来る
だけ少くした。
（作 用）
本発明によれば、ベクタ・ショット型荷電ビーム露光装
置の偏向器のセットリング時間を荷電ビームの移動する
距離に応じて設定することにより短縮し、ベクタ・ショ
ット型荷電ビーム露光装置の描画速度を向上させること
ができる。
置の偏向器のセットリング時間を荷電ビームの移動する
距離に応じて設定することにより短縮し、ベクタ・ショ
ット型荷電ビーム露光装置の描画速度を向上させること
ができる。
（実 施 例）
ベクタ・シ５ット型電子（荷電）ビーム露光装置の偏向
器の構成を第３図に示す、第３図の偏向器のセットリン
グ時間は偏向器の出力誤差がＤ／Ａコンバータ１の分解
能の１／２になるまでの時間を言う、即ちＤ／Ａコンバ
ータ１にデータがセットされてからアンプ２の出力誤差
がＤ／Ａコンバータ１の分解能の１／２になるまでの時
間が偏向器のセットリング時間である。アンプ２の周波
数特性が一次遅れ系の場合、アンプ２の電圧利得Ａ（ｓ
）は次の式であられされる。
器の構成を第３図に示す、第３図の偏向器のセットリン
グ時間は偏向器の出力誤差がＤ／Ａコンバータ１の分解
能の１／２になるまでの時間を言う、即ちＤ／Ａコンバ
ータ１にデータがセットされてからアンプ２の出力誤差
がＤ／Ａコンバータ１の分解能の１／２になるまでの時
間が偏向器のセットリング時間である。アンプ２の周波
数特性が一次遅れ系の場合、アンプ２の電圧利得Ａ（ｓ
）は次の式であられされる。
Ａ （ｓ）：Ａ ｏ ／ （１＋５Ｔ）Ａｏ：アンプ２
の直流利得 Ｔ ：アンプ２の時定数 アンプ２のステップ応答は Ａ （ｓ） ＝Ａｏ／ （ｓ （１＋５Ｔ））Ａ（ｔ）
＝Ａｏ （１−ｅｘｐ（−ｔ／Ｔ））Ｄ／Ａコンバータ
１の出力ｅがアンプ２の入力に入ればアンプ２の出力Ｅ
は Ｅ （ｔ） ＝ ｅ ＊ Ａｏ（１−８ＩＸＰ（−ｔ
／ Ｔ））Ｄ／Ａコンバータ１の分解能の１／２の誤差
をｅ′とすればセットリング時間Ｔｓは （ｅ−ｅ’ ）Ａ ｏ ＝ｅ 傘Ａｏ（１−ａｘｐ（−
Ｔｓ／Ｔ）Ｔｓ＝Ｔ＊ Ｉｎ （ａ／ｅ’ ） 例えばＤ／Ａコンバータ１がＮビットの場合、誤差は分
解能の１／２、即ち、ａ’＝１／２．偏向器が以前にセ
ットされた値をａ ＝Ｎ１．現在の値ををａ＝Ｎ２とし
た時のセットリング時間Ｔｓｄは、Ｔ ｓ ｄ ＝ Ｔ
串１ｎｌ（Ｎ２−Ｎｌ）串２１Ｎビット、偏向器がフル
スイングした時は、（Ｎ２−Ｎｌ） 串２ ＝２１−”
であるからセットリング時間Ｔ ｓ ｆは Ｔｓｆ＝Ｔ傘０．６７３ ＊ （Ｎ＋１）偏向器が最小
単位でスイングした時のセットリング時間Ｔｓｓは Ｔｓｓ＝Ｔ傘０．６７３傘２ 偏向器のセットリング時間Ｔｓは偏向器の入力データに
より最大（Ｔｓｆ−Ｔｓｓ）のばらつきがある。
の直流利得 Ｔ ：アンプ２の時定数 アンプ２のステップ応答は Ａ （ｓ） ＝Ａｏ／ （ｓ （１＋５Ｔ））Ａ（ｔ）
＝Ａｏ （１−ｅｘｐ（−ｔ／Ｔ））Ｄ／Ａコンバータ
１の出力ｅがアンプ２の入力に入ればアンプ２の出力Ｅ
は Ｅ （ｔ） ＝ ｅ ＊ Ａｏ（１−８ＩＸＰ（−ｔ
／ Ｔ））Ｄ／Ａコンバータ１の分解能の１／２の誤差
をｅ′とすればセットリング時間Ｔｓは （ｅ−ｅ’ ）Ａ ｏ ＝ｅ 傘Ａｏ（１−ａｘｐ（−
Ｔｓ／Ｔ）Ｔｓ＝Ｔ＊ Ｉｎ （ａ／ｅ’ ） 例えばＤ／Ａコンバータ１がＮビットの場合、誤差は分
解能の１／２、即ち、ａ’＝１／２．偏向器が以前にセ
ットされた値をａ ＝Ｎ１．現在の値ををａ＝Ｎ２とし
た時のセットリング時間Ｔｓｄは、Ｔ ｓ ｄ ＝ Ｔ
串１ｎｌ（Ｎ２−Ｎｌ）串２１Ｎビット、偏向器がフル
スイングした時は、（Ｎ２−Ｎｌ） 串２ ＝２１−”
であるからセットリング時間Ｔ ｓ ｆは Ｔｓｆ＝Ｔ傘０．６７３ ＊ （Ｎ＋１）偏向器が最小
単位でスイングした時のセットリング時間Ｔｓｓは Ｔｓｓ＝Ｔ傘０．６７３傘２ 偏向器のセットリング時間Ｔｓは偏向器の入力データに
より最大（Ｔｓｆ−Ｔｓｓ）のばらつきがある。
本発明の実施例で用いる制御系を第１図に示す。
偏向器の入力データ１０により偏向器のセットリング時
間Ｔｓを分解能の１／２になる様に制御するものである
。
間Ｔｓを分解能の１／２になる様に制御するものである
。
偏向器の入力データ１０は電子ビーム照射終了毎にＬＡ
ＴＣＨＡ３．ＬＡＴＣＨＢ４に記憶される。
ＴＣＨＡ３．ＬＡＴＣＨＢ４に記憶される。
ＬＡＴＣＨＡ３．ＬＡＴＣＨＢ４の各出力は減算器５で
ＬＡＴＣＨＡ３からＬＡＴＣＨＢ４を減算し、その減算
結果を絶対値演算器５で絶対値をとり、その絶対値を一
次式演算器５によりセットリング時間Ｔｓを計算する。
ＬＡＴＣＨＡ３からＬＡＴＣＨＢ４を減算し、その減算
結果を絶対値演算器５で絶対値をとり、その絶対値を一
次式演算器５によりセットリング時間Ｔｓを計算する。
一方、電子ビーム照射終了はＣ０ＵＮＴＥＲ制御６に送
られ、クロックパルスＣＰ？：Ｃ０ＵＮＴＥＲ７を送り
、Ｃ０ＵＮＴＥＲ７を動作させる。
られ、クロックパルスＣＰ？：Ｃ０ＵＮＴＥＲ７を送り
、Ｃ０ＵＮＴＥＲ７を動作させる。
Ｃ０ＵＮＴＥＲ７の値と一次式演算器５により計算した
セットリング時間Ｔｓとを比較器８で比較し、双方が一
致した時、電子ビーム照射開始を出力する。
セットリング時間Ｔｓとを比較器８で比較し、双方が一
致した時、電子ビーム照射開始を出力する。
例えばＬＡＴＣＨＡ３．ＬＡＴＣＨＢ４の各出力値がＮ
２．Ｎｌである時、減算器５、絶対値演算器５により１
Ｎ２−Ｎｉｌを得る。−次式の係数にと定数Ｋを一次式
演算器５に与え、Ｔｓ＝に傘１２Ｎ Ｎ１１＋Ｋ を計算し、その計算値に成るまでＣ：０ＵＮＴＥＲ７を
動作させ、偏向器のセットリング時間を制御する。
２．Ｎｌである時、減算器５、絶対値演算器５により１
Ｎ２−Ｎｉｌを得る。−次式の係数にと定数Ｋを一次式
演算器５に与え、Ｔｓ＝に傘１２Ｎ Ｎ１１＋Ｋ を計算し、その計算値に成るまでＣ：０ＵＮＴＥＲ７を
動作させ、偏向器のセットリング時間を制御する。
第２図に電子ビーム照射終了、電子ビーム照射開始タイ
ミングと偏向器のセットリング時間、電子ビーム照射期
間との関係をタイミングチャートに示す。
ミングと偏向器のセットリング時間、電子ビーム照射期
間との関係をタイミングチャートに示す。
本発明によれば偏向器のセットリング時間を短縮するこ
とができる。
とができる。
第１図は本発明の一実施例による偏向器のセットリング
時間制御系の構成図、第２図は偏向器のセットリング時
間制御信号を示す波形図、第３図は偏向器の構成図であ
る。 １・・・Ｄ／Ａコンバータ、 ２・・・アンプ、 ３・・・ＬＡＴＣＨＡ、 ４・・・ＬＡＴＣＨＢ。 ５・・・減算器、絶対値演算器、−次式演算器、６・・
・Ｃ０ＵＮＴＥＲ制御、 ７・・・Ｃ０ＵＮＴＥＲ１ ８・・・比較器。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 ０Ａ口ンべ−ＥＮ８ （’を子Ｍ−ｂ鰻今Ｙパ≦了）第
３ 図
時間制御系の構成図、第２図は偏向器のセットリング時
間制御信号を示す波形図、第３図は偏向器の構成図であ
る。 １・・・Ｄ／Ａコンバータ、 ２・・・アンプ、 ３・・・ＬＡＴＣＨＡ、 ４・・・ＬＡＴＣＨＢ。 ５・・・減算器、絶対値演算器、−次式演算器、６・・
・Ｃ０ＵＮＴＥＲ制御、 ７・・・Ｃ０ＵＮＴＥＲ１ ８・・・比較器。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 竹 花 喜久男 ０Ａ口ンべ−ＥＮ８ （’を子Ｍ−ｂ鰻今Ｙパ≦了）第
３ 図
Claims (1)
- 定められた位置に荷電ビームを偏向器で偏向する偏向手
段と、荷電ビームの現在位置と次の偏向位置との差を計
算する差位置計算手段と、該差位置計算手段で計算され
た値を入力する対数又はＮ次（Ｎ＝１、２、３、・・・
）の関数で偏向器のセットリング時間を計算するセット
リング時間計算手段と、該セットリング時間計算手段で
計算された時間の後に荷電ビームを定められた時間だけ
照射する荷電ビーム照射手段とを備え、荷電ビームの移
動する距離に応じて偏向器のセットリング時間を決定す
ることを特徴とする荷電ビーム偏向制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11371486A JPS62271423A (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | 荷電ビ−ム偏向制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11371486A JPS62271423A (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | 荷電ビ−ム偏向制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62271423A true JPS62271423A (ja) | 1987-11-25 |
Family
ID=14619289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11371486A Pending JPS62271423A (ja) | 1986-05-20 | 1986-05-20 | 荷電ビ−ム偏向制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62271423A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008071986A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Nuflare Technology Inc | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画装置の評価方法 |
| JP2010267842A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画の主偏向セトリング時間の決定方法、荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60236224A (ja) * | 1984-05-09 | 1985-11-25 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビ−ム描画装置 |
-
1986
- 1986-05-20 JP JP11371486A patent/JPS62271423A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60236224A (ja) * | 1984-05-09 | 1985-11-25 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビ−ム描画装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008071986A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Nuflare Technology Inc | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画装置の評価方法 |
| JP2010267842A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Nuflare Technology Inc | 荷電粒子ビーム描画の主偏向セトリング時間の決定方法、荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
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