JPS62262231A - 磁気記録媒体の作製法 - Google Patents
磁気記録媒体の作製法Info
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- JPS62262231A JPS62262231A JP10375886A JP10375886A JPS62262231A JP S62262231 A JPS62262231 A JP S62262231A JP 10375886 A JP10375886 A JP 10375886A JP 10375886 A JP10375886 A JP 10375886A JP S62262231 A JPS62262231 A JP S62262231A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野］
本発明は媒体ノイズを低減し、高ＳＮ比の信号が得られ
る磁気記録媒体の作製法に関するものである。 ［従来の技術］ 磁気記録媒体の開発は高記録密度−化を目的に薄層化、
高保磁力化、高磁化化が日桁されている。このような観
点から材料を見ると、従来はγ−Ｆｅ２Ｏ３やＣｒＯ２
等の酸化物微粒子をバインダー中に分散した形態のもの
が主流であったが、この形１！；では媒体の８層化はＯ
，ａ＝■程度が限界であり、又、この媒体の磁化は材料
のバルキーな値の半分以Ｆと少なくなってしまう、この
ような欠点を克服するために、真空薄膜形成技術等の成
膜技術を応用して磁性体薄膜を形成し、磁気記録媒体に
応用する研究が近年盛んである。特に、スパッタリング
と引き続く熱処理によって形成した。 Ｆｅ３０Ａやｙ−Ｆｅ２０３等の強磁性酸化物１８ｖ膜
は、磁気ディスク媒体として用いた場合２６００ビット
／ＩＩｍ以−ヒの高密度記録特性を示すと共に、従来用
いてきたγ−Ｆｅ２０３針状微粒子塗布媒体よりも１０
ｄＢ以上高いＳＮ比を得ることができる。 （Ｓ、Ｙｏ
ｓｂｉｉ ｅｔａｌ。 Ｊ、 Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、５３，３，１９８２．ｐｐ
２５５８〜２５８０）この強磁性酸化鉄薄膜が極端に大
きなＳＮ比を示す理由は、薄膜の結晶粒径がｔｏｏｏλ
以下と微細なために媒体から発生するノイズが少ないこ
とによる。即ち、媒体を形成する結晶粒は小さい程、ノ
イズが低減する。しかしながら、従来採用してきた強磁
性酸化鉄薄膜の形成手法においては熱処理を施す必要が
あり、この過程で結晶粒が若干成長する欠点があった。
る磁気記録媒体の作製法に関するものである。 ［従来の技術］ 磁気記録媒体の開発は高記録密度−化を目的に薄層化、
高保磁力化、高磁化化が日桁されている。このような観
点から材料を見ると、従来はγ−Ｆｅ２Ｏ３やＣｒＯ２
等の酸化物微粒子をバインダー中に分散した形態のもの
が主流であったが、この形１！；では媒体の８層化はＯ
，ａ＝■程度が限界であり、又、この媒体の磁化は材料
のバルキーな値の半分以Ｆと少なくなってしまう、この
ような欠点を克服するために、真空薄膜形成技術等の成
膜技術を応用して磁性体薄膜を形成し、磁気記録媒体に
応用する研究が近年盛んである。特に、スパッタリング
と引き続く熱処理によって形成した。 Ｆｅ３０Ａやｙ−Ｆｅ２０３等の強磁性酸化物１８ｖ膜
は、磁気ディスク媒体として用いた場合２６００ビット
／ＩＩｍ以−ヒの高密度記録特性を示すと共に、従来用
いてきたγ−Ｆｅ２０３針状微粒子塗布媒体よりも１０
ｄＢ以上高いＳＮ比を得ることができる。 （Ｓ、Ｙｏ
ｓｂｉｉ ｅｔａｌ。 Ｊ、 Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、５３，３，１９８２．ｐｐ
２５５８〜２５８０）この強磁性酸化鉄薄膜が極端に大
きなＳＮ比を示す理由は、薄膜の結晶粒径がｔｏｏｏλ
以下と微細なために媒体から発生するノイズが少ないこ
とによる。即ち、媒体を形成する結晶粒は小さい程、ノ
イズが低減する。しかしながら、従来採用してきた強磁
性酸化鉄薄膜の形成手法においては熱処理を施す必要が
あり、この過程で結晶粒が若干成長する欠点があった。
本売り」の目的は上述した従来の欠点を解消し。
磁性薄膜を形成する際に結晶粒を微細に保ち、この磁性
薄膜を磁気記録媒体として用いる場合に媒体ノイズを低
減する方法を提供することにある。
薄膜を磁気記録媒体として用いる場合に媒体ノイズを低
減する方法を提供することにある。
【問題点を解決するための手４２１
このような目的を達成するために、本発明の磁気記録媒
体の作製法においては１強磁性薄膜を形成する際に該強
磁性ｆ！Ｊ膜内に周期的に非磁性介在物を形成すること
により、形成された強磁性薄膜結晶粒を微細化すること
を特徴とする。 １作 用】 非磁性介在物を極〈微量、強磁性薄膜の形成過程で周期
的に混入することにより１強磁性薄膜の結晶粒の成長を
抑制し微細に保つことができる。 このような強磁性薄膜は、磁気記録媒体として用いた場
合、媒体ノイズを低減できる。
体の作製法においては１強磁性薄膜を形成する際に該強
磁性ｆ！Ｊ膜内に周期的に非磁性介在物を形成すること
により、形成された強磁性薄膜結晶粒を微細化すること
を特徴とする。 １作 用】 非磁性介在物を極〈微量、強磁性薄膜の形成過程で周期
的に混入することにより１強磁性薄膜の結晶粒の成長を
抑制し微細に保つことができる。 このような強磁性薄膜は、磁気記録媒体として用いた場
合、媒体ノイズを低減できる。
以下に本発明を実施例によって詳細に説明する。
実施例１
表−１に示す作製条件でα−Ｆｅ２０３とＡｌｚＯｚ薄
膜とが交互に各１０層堆積した薄膜をディスク基板上に
形成した。ディスク基板としては、Ａｎ合金板表面を鏡
面研庁したｌＯμ腸厚さのアルマイトで被覆したものを
用いた。第１図に薄膜の構成を示す、ｌはディスク基板
、２はａ −Ｆｅ２０３ｇ Ｎ、３は＾見２０３薄膜で
ある。α−Ｆｅ２０３１層の厚さは１７０人と一定に保
ち、 Ａｊ１２０ｚ層の厚みを２人から２０人まで変
化させた。又、比較のために１７００人厚のａ−Ｆｌ！
２０３単層膜も形成した。これらのａ−Ｆｅｚ０３’ｌ
ｌ！２は全て水をバブリングした水素気流中で３２０℃
に４時間加熱することでＦｅ５ｅｓ ＦＩＡが形成され
。 引き続き大気中で３２０℃に４時間加熱することでγ−
Ｆｅ２Ｏ３ＦＩＡとすることができた。第２図に＾１２
ｃｈ層の厚みとγ−Ｆｅ２Ｏ３膜の飽和磁化（４層Ｍ！
＋）および゛平均結晶粒径の関係を示す。 ＡｆＬ２０３層の厚さ０λはγ−Ｆ２０３単相膜を示す
。 Ａ’１２０３層の厚さが２人の時にも平均結晶粒径は５
００人となり、γ−Ｆｅ２０３単層膜に比べると半分以
下に微細化している。一方、 ４πＮｓはＡｆｆｉ２（
ｈ層の厚みが増すに従い低下するが、特に、Ａｌｚ０３
層の厚さがＩＯ人以七では急激に減少する。従って、熱
処理に伴なう結晶粒の成長を抑制しつつ、磁気特性の劣
化が起こらないへ見２０３層のＪｒｌ、みは、２人から
１０人の範囲、特に適正には５λ程度であることが明ら
かになった。 表−１スパッタ膜形成条件 実施例２ 実施例と同じく１表−１に示した作製条件でａ−Ｆｅｚ
０３ＱＩＩ！２とＡｎ２０３ｔ’Ｍ膜とが交互に各ｌＯ
層堆積した形状の薄膜をディスク基板上に形成した。 ａ −Ｆｅ２０３１層の厚さは１７０人、 ＋ＡＪ１
２０３１層の厚さは５人となるように制御した。又、比
較のために１７００人厚のα−Ｆｅ２０３層のみの膜も
形成した。 両方の１膜とも、水をバブリングしたＨ２気流中で３２
０℃に４時間加熱することで、Ｆｅ３０ｓ ＩＩ２が形
成でき、引き続き大気中で３２０℃に４時間加熱するこ
とでγ−Ｆｅ２０３膜が形成できた。多層膜と単層１模
の磁気特性、及び電子ＷＪ微鏡Ｈ寮によって測定したγ
−Ｆｅ２Ｏ３の平均結晶粒径を表−２に示す、多層化す
ることで、熱処理に伴う結晶粒の成長が抑えられること
がＩＴＪらかになった。 表−２γ−Ｆｅ２Ｏ３膜の磁気特性及び平均結晶粒径 次に、この２種類の磁気ディスクの記録再生特性を評価
した。用いた磁気ヘッドはＭｎ−Ｚｎフェライトリング
ヘッドであり、その仕様を表−３に示す、又、測定条件
と測定結果を表−４に示す、記録密度（０５０） 、
孤立波再生出力等は両媒体共はぼ一定の値を示している
が、ＳＮ比は多層媒体の方が約１０ｄＢも単相媒体より
高く、当初の目的通りＳＮ比の向上が図られた。 表−３Ｍｎ−２ｎフエライトリングヘツドの仕様表−４
記録１１ハ特性測定条件及び測定結果ＳＮ比向北のため
に、熱処理に伴う結晶粒Ｉｊｉ、長を抑制する方法とし
ては上述したＡｉｚ０３以外にＳｉ、Ｃａ、Ｌａ、Ｙ、
Ｉｌｌ：ａ等の少なくとも１種類以上の金属の酸化物を
用いても、 Ａ２２０３層を用いた時と同様の効果が得
られた。 ［発明の効果］ 以上説明したように、非磁性介在物を極〈微Ｉ、１：、
強磁性鈎膜の形成過程で周期的に混入することにより、
強磁性ｆ匁膜の結晶粒の成長を抑制し微細に保つことが
できる。このような強磁性薄膜は、磁気記録媒体として
用いた場合、媒体ノイズを低減できるという利点がある
。
膜とが交互に各１０層堆積した薄膜をディスク基板上に
形成した。ディスク基板としては、Ａｎ合金板表面を鏡
面研庁したｌＯμ腸厚さのアルマイトで被覆したものを
用いた。第１図に薄膜の構成を示す、ｌはディスク基板
、２はａ −Ｆｅ２０３ｇ Ｎ、３は＾見２０３薄膜で
ある。α−Ｆｅ２０３１層の厚さは１７０人と一定に保
ち、 Ａｊ１２０ｚ層の厚みを２人から２０人まで変
化させた。又、比較のために１７００人厚のａ−Ｆｌ！
２０３単層膜も形成した。これらのａ−Ｆｅｚ０３’ｌ
ｌ！２は全て水をバブリングした水素気流中で３２０℃
に４時間加熱することでＦｅ５ｅｓ ＦＩＡが形成され
。 引き続き大気中で３２０℃に４時間加熱することでγ−
Ｆｅ２Ｏ３ＦＩＡとすることができた。第２図に＾１２
ｃｈ層の厚みとγ−Ｆｅ２Ｏ３膜の飽和磁化（４層Ｍ！
＋）および゛平均結晶粒径の関係を示す。 ＡｆＬ２０３層の厚さ０λはγ−Ｆ２０３単相膜を示す
。 Ａ’１２０３層の厚さが２人の時にも平均結晶粒径は５
００人となり、γ−Ｆｅ２０３単層膜に比べると半分以
下に微細化している。一方、 ４πＮｓはＡｆｆｉ２（
ｈ層の厚みが増すに従い低下するが、特に、Ａｌｚ０３
層の厚さがＩＯ人以七では急激に減少する。従って、熱
処理に伴なう結晶粒の成長を抑制しつつ、磁気特性の劣
化が起こらないへ見２０３層のＪｒｌ、みは、２人から
１０人の範囲、特に適正には５λ程度であることが明ら
かになった。 表−１スパッタ膜形成条件 実施例２ 実施例と同じく１表−１に示した作製条件でａ−Ｆｅｚ
０３ＱＩＩ！２とＡｎ２０３ｔ’Ｍ膜とが交互に各ｌＯ
層堆積した形状の薄膜をディスク基板上に形成した。 ａ −Ｆｅ２０３１層の厚さは１７０人、 ＋ＡＪ１
２０３１層の厚さは５人となるように制御した。又、比
較のために１７００人厚のα−Ｆｅ２０３層のみの膜も
形成した。 両方の１膜とも、水をバブリングしたＨ２気流中で３２
０℃に４時間加熱することで、Ｆｅ３０ｓ ＩＩ２が形
成でき、引き続き大気中で３２０℃に４時間加熱するこ
とでγ−Ｆｅ２０３膜が形成できた。多層膜と単層１模
の磁気特性、及び電子ＷＪ微鏡Ｈ寮によって測定したγ
−Ｆｅ２Ｏ３の平均結晶粒径を表−２に示す、多層化す
ることで、熱処理に伴う結晶粒の成長が抑えられること
がＩＴＪらかになった。 表−２γ−Ｆｅ２Ｏ３膜の磁気特性及び平均結晶粒径 次に、この２種類の磁気ディスクの記録再生特性を評価
した。用いた磁気ヘッドはＭｎ−Ｚｎフェライトリング
ヘッドであり、その仕様を表−３に示す、又、測定条件
と測定結果を表−４に示す、記録密度（０５０） 、
孤立波再生出力等は両媒体共はぼ一定の値を示している
が、ＳＮ比は多層媒体の方が約１０ｄＢも単相媒体より
高く、当初の目的通りＳＮ比の向上が図られた。 表−３Ｍｎ−２ｎフエライトリングヘツドの仕様表−４
記録１１ハ特性測定条件及び測定結果ＳＮ比向北のため
に、熱処理に伴う結晶粒Ｉｊｉ、長を抑制する方法とし
ては上述したＡｉｚ０３以外にＳｉ、Ｃａ、Ｌａ、Ｙ、
Ｉｌｌ：ａ等の少なくとも１種類以上の金属の酸化物を
用いても、 Ａ２２０３層を用いた時と同様の効果が得
られた。 ［発明の効果］ 以上説明したように、非磁性介在物を極〈微Ｉ、１：、
強磁性鈎膜の形成過程で周期的に混入することにより、
強磁性ｆ匁膜の結晶粒の成長を抑制し微細に保つことが
できる。このような強磁性薄膜は、磁気記録媒体として
用いた場合、媒体ノイズを低減できるという利点がある
。
第１図はα−Ｆｅ２０３とＡ又２０３ 多層膜の構造を
示す断面図、 第２図はα−Ｆｅ２０３とＡｆＬｚ０３ 多層膜の磁気
特性及びγ−Ｆｅ２０：＋結晶粒径と７１４２（ｈ
１層の厚みとの関係を示す特性図である ｌ・・・ディスク基板。 ２−・−ａ−Ｆｅｚｅ３層。 ３・・・Ａ５Ｌ２０３層。 特許出願人 日本電信電話株式会社 代 理 人 弁理士 谷 義 − Ａ１２０ａ眉の厚み（Ｘ） 第２図
示す断面図、 第２図はα−Ｆｅ２０３とＡｆＬｚ０３ 多層膜の磁気
特性及びγ−Ｆｅ２０：＋結晶粒径と７１４２（ｈ
１層の厚みとの関係を示す特性図である ｌ・・・ディスク基板。 ２−・−ａ−Ｆｅｚｅ３層。 ３・・・Ａ５Ｌ２０３層。 特許出願人 日本電信電話株式会社 代 理 人 弁理士 谷 義 − Ａ１２０ａ眉の厚み（Ｘ） 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）強磁性薄膜を形成する際に該強磁性薄膜内に周期的
に非磁性介在物を形成することにより、形成された強磁
性薄膜結晶粒を微細化することを特徴とする磁気記録媒
体の作製法。 ２）前記強磁性薄膜が酸化鉄を主成分とする磁性薄膜で
あり、前記非磁性介在物が、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｌａ、
Ｙ、Ｃｅの内の少なくとも一種類以上の金属元素の酸化
物被膜であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の磁気記録媒体の作製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10375886A JPS62262231A (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 磁気記録媒体の作製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10375886A JPS62262231A (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 磁気記録媒体の作製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62262231A true JPS62262231A (ja) | 1987-11-14 |
Family
ID=14362426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10375886A Pending JPS62262231A (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 磁気記録媒体の作製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62262231A (ja) |
-
1986
- 1986-05-08 JP JP10375886A patent/JPS62262231A/ja active Pending
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