JPS62260733A - 封着用組成物 - Google Patents

封着用組成物

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JPS62260733A
JPS62260733A JP61101060A JP10106086A JPS62260733A JP S62260733 A JPS62260733 A JP S62260733A JP 61101060 A JP61101060 A JP 61101060A JP 10106086 A JP10106086 A JP 10106086A JP S62260733 A JPS62260733 A JP S62260733A
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JP
Japan
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composition
oxidizing agent
glass powder
low
fired body
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JP61101060A
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Jiro Chiba
次郎 千葉
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AGC Inc
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Asahi Glass Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、封着用組成物に関する。
[従来の技術] PbO−B2O3−ZnO系低融点ガラ°ス粉末は、C
RTの気密封止あるいはアルミナ製ICパッケージシー
ル用として使用され、その際該ガラス粉末は有機パイン
グーとの混合し、スラリー法あるいは印刷法等により塗
布形成され焼成される。
ここで、通常有機バイングーはアクリル樹脂、ニトロセ
ルロース、エチルセルロース等をブチルカルビトールア
セテート、酢酸インアミルあるいはα−テルピネオール
等の溶剤に溶かして用いる。
しかしながら、この有機バインダーの空気中における分
解温度は350℃〜500℃前後であり、低融点ガラス
粉末の軟化点は340〜480℃と同等であるため、焼
成の際未分解有機物の存在下でガラスの軟化が生じ、ガ
ラスと反応し発泡したり、黒化したり、濡れ性あるいは
電気特性の低下を生するという問題点があった。
さらに、アルミナ類のICパッケージのシールの如く電
極材等に使用される金属と同時に焼成する場合には、そ
の材料の酸化防止上、酸素偏度をより低く、(例えば1
00ppH以下−02濃度)する必要があり、その場合
には有機/へインターの除去は一層困難となっている。
[発明の解決しようとする問題点] 本発明は、空気中は勿論のこと低酸素濃度においても低
温度で焼成することにより前述の問題点を生じない封着
用組成物の提供を目的とする。
[問題点を解決するための手段] 本発明は、重量%で低融点ガラス粉末80〜100%と
耐大物フィラー0〜40%とからなる素機成分に酸化剤
を添加してなる封着用組成物を提供する。
本発明において、fA加する酸化剤は、焼成の際、有機
バインダーを酸化する作用があれば特に限定せず、有機
の過酸化物、sIaの過酸化物、多価原子の酸化物等が
広く使用される。中でも取扱い入手が容易な面からジ−
クミルパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイド
、t−ブチルハイドロパーオキサイドCaO2、BaO
2+TiO2,CeO2,>InO2,V2O5、Cr
2O3,Co2O3,MOO3および11I03が特に
望ましい。
荊記酸化剤は単独で使用しても良く、2種以上併用して
も良い、これら酸化剤の添加量は、低融点ガラス粉末お
よび耐火物フィラー総量である無機成分100重量部に
対し0.05〜5重量部添加するのが好ましい、酸化剤
の添加量が0.05重量部未満では添力口による効果が
少なく、他方5重量部を越えると低融点ガラス粉末の基
本的特性(軟化点、結晶化特性等〕が変化するので好ま
しくない。酸化剤の添加量は、上記範囲中0.1〜3重
量部の範囲がより望ましい。
本発明においては、上記酸化剤を除く金種成分が重量%
表示で低融点ガラス粉末60〜lOO%と耐大物フィラ
ー0〜40%とからなる。低融点ガラス粗末が80%未
満では気密性が損なわれたり接着強度が低下するので目
的とするM着を行なうことは難しい。一方耐火物フィラ
ーは必須成分ではないが、添加することにより、封着部
自体の強度を向上したり、熱膨張係を調整することがで
きる。か−る耐大物フィラーとしては、ジルコンコージ
ェライト、α−アルミナ、α−石英等が使用される。
一方、上記低融点ガラス粉末としては重量%表示で実質
的に Pb0      85〜85 B2O3       5〜13 Zn0            1−13Sio2  
       0.3〜341203        
  0〜5BaO+CaO+NgO     0〜10
Cu0           0〜2 からなる組成のものが好ましい、その理由は次の通りで
ある。
PbLl15%未満では、ガラス軟化温度が高くなり過
ぎ所望の400〜450’Qで列置できない。−刀85
%より多いとガラスの化学的耐久性が著しく低下するの
で、 好ましくない、望ましくは88〜82wt%。
82Q3 : 596木満では軟化温度が高くなる過ぎ
ル、 一方13%より多いとガラスの化学的耐久性が低
ドするので好ましくな い。望ましくは7〜11wt%。
ZnO:1%未満では結晶化特性が発現されず、熟的9
機械的特性で好ましくな い。一方13%より多いと逆にガラス溶融過程で矢透し
好ましくない。望まし く は2〜12wt%。
5i02 : 0.3%未満ではガラスの結晶化が速く
なり過ぎ、緻密な焼結層が得られな い、一方3%より多いとガラスの軟化 温度が高くなり過ぎ好ましくない、望 ましく0.5〜2.8wt%。
Al2O3:必須成分ではないが、化学的耐久性向上用
として、 5%まで導入可能。
BaO,CaO,MgO:必須成分ではないが、 Al
2O3同様化学的耐久性および結晶化速 度調整用として使用する。
その量は10%までが限度。
CuO:必須成分ではないが、ガラスとの反応性up、
結晶化特性の調整用として使用する。2%までが限度。
使用に当っては、本発明の組成物は上記成分に有機バイ
ンダーを添加し、使用し易い粘度に調整される。この有
機バインダーとしては特に限定されず、例えばアクリル
樹脂、ニトロセルロース、エチルセルロースをブチルカ
ルピトールアセテートあるいはα−テルピネオールに溶
解したものが使用される。
[実施例] 重量%表示でPbO75、ZnO11,5、B2O39
,5゜5i022. BaO2からなる低融点ガラス粉
末と耐火物フィラーと通常使用されているニトロセルロ
ース、ブチルカルビノールアセテート系のビヒクルと酸
化剤とを所定割合によるよう調合した0次いでこれを、
ライカイ機及び3木ローラーにより十分混練しスクリー
ン印刷用のペーストを得た0表−1に耐火物フィラー、
酸化剤及びこれらを低融点ガラス粉末との混合割合を示
す0表中低融点ガラス粉末と耐火物フィラーとの数値は
それぞれの重量%を示し、酸化剤の数値は低融点ガラス
粉末と耐火物フィラーとの総量100重量部に対する重
量部である。
次いでこれらペーストを用い、 200メツシユ、総厚
 105gmのスクリーンを用い印刷し、 150℃、
30分乾燥後450℃1時間の焼成を行なった。焼成雰
囲気中の酸素濃度は300℃まで20%、 300℃以
上および冷却工程での酸素濃度は70ppHと酸素濃度
を二段切り換えを施した。印刷層の厚みは、乾燥時点で
200±201Lmであった。
表−1より明らかな如く、本発明による組成物は、電気
特性に優れ、且つ黒化は大巾に低減できる良好なもので
ある。比較例として酸化剤舌療加のものについても同様
なテストを行なったので併せて表−1に示す、なお各特
性の評価方法は次のとおりである。
し特性評価法」 ・体積抵抗率  タケグ理研製振動容量型微微小電流電
位計により、100VDC 印加時の体積抵抗を測定した。
なお、評価基準として、lOgIQ ρν値が、13.0以上であること が電気的寿命特性上要求される。
なお、誘電率が小さくなる 原因は焼成体中にVoidが多発し 空気層の効果が出ることによる と思われる。
・黒化の度合  焼成体の色調を目視判足し、黒色、グ
レー色、白(乳白9色 の3段階に分類し評価した。
し発明の効果」 本発明によれば、低温度で焼成しても黒化を防止・抑制
し電気特性に優れた焼成体を形成することができる。特
に極めて酸素濃度の低い雰囲気中でも上記特性の焼成体
を形成できるので、電極等酸化され易い金属の封着等に
好適である。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)重量%で低融点ガラス粉末60〜100%と耐火
    物フィラー0〜40%とからなる無機 成分に酸化剤を添加してなる封着用組成物。
  2. (2)前記酸化剤の添加量は、無機成分100重量部に
    対し0.05〜5重量部である特許請求の範囲第1項記
    載の組成物。
  3. (3)前記酸化剤は、ジ−クミルパーオキサイド、ジ−
    t−ブチルパーオキサイド、t−ブチルハイドロパーオ
    キサイド、CaO_2、BaO_2、TiO_2、Ce
    O_2、MnO_2、V_2O_5、Cr_2O_3、
    Co_2O_3、MoO_3又はWO_3である特許請
    求の範囲第2項記載の組成物。
  4. (4)前記低融点ガラス粉末は重量%表示で実質的に PbO        65〜85 B_2O_3      5〜13 ZnO         1〜13 SiO_2     0.3〜3 Al_2O_3     0〜5 BaO+CaO+NgO 0〜10 CuO         0〜2 からなる特許請求の範囲第3項記載の組成物。
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