JPS62257648A - 光磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
光磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS62257648A JPS62257648A JP10012786A JP10012786A JPS62257648A JP S62257648 A JPS62257648 A JP S62257648A JP 10012786 A JP10012786 A JP 10012786A JP 10012786 A JP10012786 A JP 10012786A JP S62257648 A JPS62257648 A JP S62257648A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000002223 garnet Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052839 forsterite Inorganic materials 0.000 claims description 4
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011029 spinel Substances 0.000 claims description 4
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 2
- ZPDRQAVGXHVGTB-UHFFFAOYSA-N gallium;gadolinium(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Gd+3] ZPDRQAVGXHVGTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] Chemical compound [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（［要〕
光磁気記録媒体の製造方法の改良である。耐熱性ガラス
板等とビスマス置換ガーネット・コバルトフェライト等
光磁気記録材の薄膜との間に、それらの熱膨張係数の中
間の熱膨張係数を有するガーネットまたはセラミックス
の薄膜を介在させる光磁気記録媒体の製造方法である。
板等とビスマス置換ガーネット・コバルトフェライト等
光磁気記録材の薄膜との間に、それらの熱膨張係数の中
間の熱膨張係数を有するガーネットまたはセラミックス
の薄膜を介在させる光磁気記録媒体の製造方法である。
本発明は、光磁気記録媒体の製造方法の改良に関する。
特に、工程中に光磁気記録材が破損することを防止する
改良に関する。
改良に関する。
ビスマス置換ガーネット・コバルトフェライト等は、フ
ァラデー回転が大きく光磁気読み出しに有効゛であるか
ら、これらの材料を光磁気記録材とする光磁気記録媒体
が知られている。
ァラデー回転が大きく光磁気読み出しに有効゛であるか
ら、これらの材料を光磁気記録材とする光磁気記録媒体
が知られている。
かへる光磁気記録媒体は、単結晶板状体または耐熱性ガ
ラス板の上に、上記の光磁気記録材の薄膜を形成して製
造していた。耐熱性ガラス板は大面積とすることが容易
であり、価格も廉いので、光磁気記録媒体の材料として
は、単結晶板状体に比べて有利である。
ラス板の上に、上記の光磁気記録材の薄膜を形成して製
造していた。耐熱性ガラス板は大面積とすることが容易
であり、価格も廉いので、光磁気記録媒体の材料として
は、単結晶板状体に比べて有利である。
従来、耐熱性ガラス板上に光磁気記録材の薄膜を形成し
て光磁気記録媒体を製造するには。
て光磁気記録媒体を製造するには。
バリュウム硼珪酸ガラス、アルミ珪酸ガラス等の上に、
適当な成膜条件でスパッタ等をなしてビスマス置換ガー
ネットの非晶質膜を０．５〜ｌＩＬ層の厚さに形成し、
５００〜６００℃の空気中等で熱処理をなしてビスマ
ス置換ガーネットを結晶化させていた。
適当な成膜条件でスパッタ等をなしてビスマス置換ガー
ネットの非晶質膜を０．５〜ｌＩＬ層の厚さに形成し、
５００〜６００℃の空気中等で熱処理をなしてビスマ
ス置換ガーネットを結晶化させていた。
ところが上記の耐熱性ガラスの熱膨張係数はビスマス置
換ガーネット等の熱膨張係数より小さく、上記の結晶化
工程特に冷却工程において光？ａ気記録材の薄膜に引っ
張り力が働き、光磁気記録材の薄層にクラックが発生し
てこれが破損するという欠点がある。
換ガーネット等の熱膨張係数より小さく、上記の結晶化
工程特に冷却工程において光？ａ気記録材の薄膜に引っ
張り力が働き、光磁気記録材の薄層にクラックが発生し
てこれが破損するという欠点がある。
本発明の目的は、この欠点を解消することにあり、工程
中に、光磁気記録材の薄層が破損することのない光磁気
記録媒体の製造方法を提供することにある。
中に、光磁気記録材の薄層が破損することのない光磁気
記録媒体の製造方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために本発明が採った手段は、耐
熱性透明基板ｌ上に光磁気記録材の薄膜３を形成して光
磁気記録媒体を製造するに先立ち、熱膨張係数が耐熱性
透明基板１のそれと光磁気記録材のそれとの中間の値を
有する透明または半透明誘電体の薄１９ｉ２を形成する
ことにある。
熱性透明基板ｌ上に光磁気記録材の薄膜３を形成して光
磁気記録媒体を製造するに先立ち、熱膨張係数が耐熱性
透明基板１のそれと光磁気記録材のそれとの中間の値を
有する透明または半透明誘電体の薄１９ｉ２を形成する
ことにある。
本発明に係る光磁気記録媒体の製造方法においては、耐
熱性ガラス板と光磁気記録材の薄膜との間に、熱膨張係
数がそれらの中間である層が介在しているので、冷却工
程に発生する引っ張り力が緩和され、光磁気記録材の薄
膜が破損することはない。
熱性ガラス板と光磁気記録材の薄膜との間に、熱膨張係
数がそれらの中間である層が介在しているので、冷却工
程に発生する引っ張り力が緩和され、光磁気記録材の薄
膜が破損することはない。
以下、図面を参照しつ一１本発明の一実施例に係る光磁
気記録媒体の製造方法についてさらに説明する。
気記録媒体の製造方法についてさらに説明する。
第１図参照
バリュウム硼珪酸ガラス（コーニング社７０５９）、ア
ルミ珪酸ガラス（ＨＯＹＡ社ＮＡ４０）硼珪酸ガラス（
パイレクス）等の耐熱性ガラス板（厚さ ０．５ｍ１）
１上に、スパッタ法を使用して。
ルミ珪酸ガラス（ＨＯＹＡ社ＮＡ４０）硼珪酸ガラス（
パイレクス）等の耐熱性ガラス板（厚さ ０．５ｍ１）
１上に、スパッタ法を使用して。
ガドリニウムガリウムガーネット等の光磁気記録材より
結晶化温度の高い非晶質ガーネットやアルミナ系、チタ
ニア系、スピネル系、フォルステライト系、ステアタイ
ト系等の非晶質セラミックスの薄膜２を約０．１ｐｍ厚
に形成する。
結晶化温度の高い非晶質ガーネットやアルミナ系、チタ
ニア系、スピネル系、フォルステライト系、ステアタイ
ト系等の非晶質セラミックスの薄膜２を約０．１ｐｍ厚
に形成する。
つＣいて、ビスマス置換ガーネットの非晶質膜３を約０
．３ｐ層厚に形成する。
．３ｐ層厚に形成する。
その後、大気中において６５０℃の温度で熱処理して、
光磁気記録材を結晶化する。
光磁気記録材を結晶化する。
非晶質ガーネットやアルミナ系、チタニア系。
スピネル系、フォルステライト系、ステアタイト系等の
非晶質セラミックスの薄膜は、上記の熱処理工程におい
ては結晶化しない、これらの結晶化温度はビスマス置換
ガーネット等の光磁気記録材の結晶化温度より高いから
である。そこで、上記の熱処理期間中、非晶質ガーネッ
トやアルミナ系、チタニア系、スピネル系、フォルステ
ライト系、ステアタイト系等の非晶質セラミックスの薄
膜は耐熱性ガラスと光磁気記録材との中間の熱膨張係数
を保持して、熱処理の影響を緩和する。
非晶質セラミックスの薄膜は、上記の熱処理工程におい
ては結晶化しない、これらの結晶化温度はビスマス置換
ガーネット等の光磁気記録材の結晶化温度より高いから
である。そこで、上記の熱処理期間中、非晶質ガーネッ
トやアルミナ系、チタニア系、スピネル系、フォルステ
ライト系、ステアタイト系等の非晶質セラミックスの薄
膜は耐熱性ガラスと光磁気記録材との中間の熱膨張係数
を保持して、熱処理の影響を緩和する。
以上説明せるとおり、本発明に係る光磁気記録媒体は、
その基板たる耐熱性ガラス板と光磁気記録材の薄膜との
間に、光磁気記録材より結晶化温度が高く、熱膨張係数
が耐熱性ガラスと光磁気記録材との中間である比品質材
の薄膜が介在しているので、その製造工程において、光
磁気記録材の薄膜が破損することはない。
その基板たる耐熱性ガラス板と光磁気記録材の薄膜との
間に、光磁気記録材より結晶化温度が高く、熱膨張係数
が耐熱性ガラスと光磁気記録材との中間である比品質材
の薄膜が介在しているので、その製造工程において、光
磁気記録材の薄膜が破損することはない。
第１図は、本発明の一実施例に係る光磁気記録媒体の製
造方法を実施して製造した光磁気記録媒体の構造図であ
る。 １・・・耐熱性ガラス板。 ２・・・耐熱性透明基板の熱膨張係数と光磁気記録材の
熱膨張係数との中間の値の 熱膨張係数を有する誘電体の薄膜、 ３・・・光磁気記録材の薄膜。 ？：工″ 本発明 第１図
造方法を実施して製造した光磁気記録媒体の構造図であ
る。 １・・・耐熱性ガラス板。 ２・・・耐熱性透明基板の熱膨張係数と光磁気記録材の
熱膨張係数との中間の値の 熱膨張係数を有する誘電体の薄膜、 ３・・・光磁気記録材の薄膜。 ？：工″ 本発明 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ［１］耐熱性透明基板（１）上に、光磁気記録材の薄膜
（３）を形成してなす光磁気記録媒体の製造方法におい
て、前記光磁気記録材の薄膜（３）の形成に先立ち、熱
膨張係数が前記耐熱性透明基板（１）のそれと前記光磁
気記録材のそれとの中間の値を有する透明または半透明
誘電体の薄膜（２）を形成することを特徴とする光磁気
記録媒体の製造方法。 ［２］前記熱膨張係数が前記耐熱性透明基板（１）のそ
れと前記光磁気記録材のそれとの中間の値を有する透明
または半透明誘電体の薄膜（２）は、その結晶化温度が
前記光磁気記録材のそれより高いガーネットの薄膜また
はアルミナ系、チタニア系、スピネル系、フォルステラ
イト系もしくはステアタイト系の非晶質セラミックスの
薄膜であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の光磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10012786A JPS62257648A (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10012786A JPS62257648A (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62257648A true JPS62257648A (ja) | 1987-11-10 |
Family
ID=14265656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10012786A Pending JPS62257648A (ja) | 1986-04-30 | 1986-04-30 | 光磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62257648A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5599605A (en) * | 1992-04-17 | 1997-02-04 | Fujitsu Limited | Magneto-optical recording medium and method for producing the same |
-
1986
- 1986-04-30 JP JP10012786A patent/JPS62257648A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5599605A (en) * | 1992-04-17 | 1997-02-04 | Fujitsu Limited | Magneto-optical recording medium and method for producing the same |
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