JPS62254305A - 高誘電率磁器組成物 - Google Patents

高誘電率磁器組成物

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JPS62254305A
JPS62254305A JP61089649A JP8964986A JPS62254305A JP S62254305 A JPS62254305 A JP S62254305A JP 61089649 A JP61089649 A JP 61089649A JP 8964986 A JP8964986 A JP 8964986A JP S62254305 A JPS62254305 A JP S62254305A
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dielectric
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insulation resistance
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洋八 山下
稲垣 勝実
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] 本発明は高誘電率磁器組成物に係り、特にpb(Zn 
  Nb   )Oを主体とした誘電重湯度係数(T、
C,C)が小さく信頼性に優れた高誘電率磁器組成物に
関する。
[発明の技術的背景とその問題点] 従来、誘電率が3000を越えるような高誘電率磁器材
料としては、チタン酸バリウム(BaTi03)系材料
が主体として用いられている。
今日ではこの材料をもちいて、誘電体厚み20〜30μ
m、積層数20〜80層の積層セラミックコンデンサ(
MLC)が実用化されている。しかしながら、この材料
をもちいて積層セラミックコンデンサを作成した場合に
は種々の問題点が現れてきている。誘電体厚みのi1層
化に伴い、誘電体厚みあたりに対する電圧が増加し誘電
体のDCバイアス依存性、すなわち定格電圧が印加され
た時の実効容量の大幅な低下がそのひとつである。例え
ば定格25V、1.0μFのF特性MLCにおいては誘
電率を10000.誘電体厚みを25μmとすると定格
電圧の印加時には約70%の容量の低下があり得られる
審議は0.3μFにすぎない。更に誘電率温度係数(T
、C,C)を考慮すると定格電圧の印加時に最低でも1
.0μFの容量を必要とする回路では3.3μF以上の
M[Cを使用しなくてはならないことになる。
また誘電体厚みの薄層化においてはその大きな結晶粒子
径が問題となる。通常の固相反応によるB a T +
 03の結晶粒子系は4〜10μmである。
大官量化をはかるため誘電体厚みを20μm以下にする
と居間の粒子数が少なくなり耐電圧の低下の原因となる
。さらに、チタン酸バリウム系材料の焼成温度は130
0〜1400℃と高温であり同時焼成される内部電極材
料は必然的にパラジウムpdや白金Ptなどの高温で酸
化されない高価な貴金属材料を用いなければならず、コ
スト窩の原因となる。このチタン酸バリウム系材料の問
題点を解決すべく鉛を含む複合ペロブスカイl−化合物
の研究が広く行なわれている。例えば、鉄ニオブ酸鉛P
b(Fe   Nb   )Oを主体トシたちの(特開
昭57−57204号)、マグネジ1/3  2/3 
)03を ラムニオブ酸鉛Pb(MQ   Nb 主体としたもの(特開昭55−51758号)マグネシ
ウムタングステン酸鉛Pb(Mc+1/2  W1/2
)03を主体としたもの(特開昭52−21699 号
)等が知られている。鉄ニオブ酸鉛を主体としたものは
結晶粒子径及び絶縁抵抗の焼成温度による変化が大きく
、85℃以上における絶縁抵抗の低下が大ぎく高温での
信頼性に問題があるマグネシウムニオブ酸鉛を主体とし
たものは焼成温度が比較的に高く、ペロブスカイト単一
組を得にくいという問題点がある。またマグネシウムタ
ングステン酸鉛を主体としたものは絶縁抵抗が大きいと
誘電率が小さく誘電率が大きいと絶縁抵抗が小さいとい
う問題点があった。更にこれ等の材料を用いて作成した
積層セラミックコンデンサの耐湿負荷テストの結果はチ
タン酸バリウムを用いたものと比較すると不十分であっ
た。
[発明の目的] 本発明は以上の点を考慮してなされたもので誘電率が大
きく、かつその温度係数が小さく1100℃以下の低温
で焼成でき、積層セラミックコンデンサとしたときの耐
湿負荷テストに優れた高誘電率磁器組成物を提供するこ
とを目的とする。
[発明の概要] 本発明は、一般式 %式%( とき、それぞれの成分を頂点とする三元図のa  (x
=0.50.  Y=O,OO,z=0.50) b  (x=1.oo、  Y=0.00.  z=0
.00) C(x=0.20.  V=0.80.  z=0.0
0) d   (x−0,05,V=0.90.   z=0
.05) で示される各点を結ぶ線内の組成のpbの一部を1〜3
5mo1%のBa及びSrの少なくとも一種で置換した
ことを特徴とした高誘電率磁器組成物に対して重諸比で
0.01〜1.0重量%の酸化銀AΩ20.酸化パラジ
ウムPdO及び酸化白銀PtOの少なくとも一種を含む
ことを特徴とした高誘電率磁器組成物である。従来から
誘電体材料として各種の複合ペロブスカイト化合物が検
討されているが、亜鉛ニオブ酸鉛は磁器としてはペロブ
スカイト構造を取りにくり、誘電体材料どしては適さな
いと考えられていた(NECRe5earch  & 
 [)evelopment  N(129April
  1973  p、15〜21参照)。本発明者等の
研究によれば亜鉛ニオブ酸鉛の鉛の一部をバリウム又は
ストロンチウムで適;d置換することにより磁器で安定
なペロブスカイト構造を形成できることが分かった。更
にこのような磁器組成物は、非常に高い誘電率及び絶縁
抵抗を示し、かつ、その温度特性も極めて良好であるこ
とがわかった。更に研究を進めた結果、この亜鉛ニオブ
酸鉛にマグネシウムニオブ酸鉛及びチタン酸鉛とを組合
せることにより、更に高い誘電率と絶縁抵抗を合せ持つ
高誘電率磁器組成物が得られることを見出したのである
。この材料に重量化で0.01〜1.0重量%の酸化銀
AQ20、酸化パラジウムPdO及び酸化白金PtOの
少なくとも一種を含むことにより積層セラミックコンデ
ンサの耐湿負荷テストの結果を大幅に向上できることを
見出した。
以下に本発明の組成物の組成範囲について説明する。M
e=3a、3rは上記した一般式のペロブスカイト構造
を形成するための必要な元素であり、1m01%以下だ
と、パイロクロア構造が混在し高い誘電率及び高い絶縁
抵抗を示さない。35n+o1%以上では誘電率が10
00程度以下と小さくなってしまったり、焼成温度が1
100℃以上と高くなったりしてしまう。よって、Me
酸成分置換量は、(Pbl−a Mea )と表したと
き0.01≦a≦0.35とする。
誘電体材料においては常温における容量を高くするため
、誘電率が最大になるキュリ一温度が常温付近(0〜3
0℃)にくるようにする。本発明のMe酸成分上述した
ようにペロブスカイト構造を形成するための必須成分で
あるが、また、本発明磁器組成物のキュリ一温度を下げ
るシフターの働きがある。さらに、絶縁抵抗を著しく増
加させ、機械的強度も向上させる。
Me酸成分よるpbの置換量はキュリ一温度等を考慮し
て適当に選定することが可能であるが、亜鉛ニオブ酸鉛
及びチタン酸鉛の多い領域(X>0、5. z>0.1
 ) rハ10+ol %以上ff1lEマしく、マグ
ネシウムニオブ酸鉛の多い領域(y>0、6. z <
0.05 ) rハ1 mol %以上テ充分その置換
の効果を発揮する。
第1図に本発明磁器組成物の組成範囲を示す。
線分adの外側では焼成温度が1100’C以上と高く
なってしまい、また絶縁抵抗も低下し高い信頼性を得る
ことができない。
また線分cdの外側ではキュリ一温度がもともと常温付
近にあるため、Me酸成分よる置換でキュリ一温度が大
幅に低温側に移動して、常温における誘電率が大幅に低
下してしまう。また、添加物である酸化IAq20.F
li化パラジウムPdO及び酸化白金PtOの少なくと
も一種を0.01重石%から1重量%とじたのは0.0
1重量%未満では積層セラミックコンデンサとしたとき
の耐湿負荷テストの結果を大幅に向上できる効果がほと
んど期待できず1重量%以上では誘電率が大幅に低下す
るためである。
つぎに、本発明の組成物の製造方法について表明する。
出発原料としてPb、3a、3r、 Zn。
Nb、Ti、MC1,AQ、Pd、Ptの酸化物もしく
は焼成により酸化物になる炭酸塩、しゆう酸塩等の塩類
、水酸化物、有機化合物などを所定の割合で秤吊し、充
分混合した後に仮焼する。この仮焼は700〜850℃
程度で行う。余り仮焼塩が低いと焼結密度が低下し、ま
た、あまり高いとやはり焼結密度が低下し、絶縁抵抗が
低下する。
つぎに仮焼物を粉砕し原料粉末を製造する。平均粒径は
0.5〜2μm程度が好ましく、あまり大きいと焼結密
度が低下し、小さいと成型性が低下する。このような原
料粉末を用い所望の形状に成型した後、焼成することに
より、高誘電率磁器を得る。本発明の組成物を用いるこ
とにより焼成は1100℃以下、950〜1080℃程
度と比較的低温で行うことができる。
積層タイプの素子を製造する場合は、前述の原料粉末に
バインダー、溶剤等を加えスラリー化して、グリーンシ
ートを形成し、このグリーンシート上に内部電極を印刷
した後、所定の枚数を積層。
圧着し焼成することにより’!!J造する。このとき、
本発明の誘電体材料は低温で焼成できるため、内部電極
材料として例えば銀主体の安価で抵抗率の低い材料を用
いることができる。
また、このように低温で焼成が可能であることから、回
路基板上等に印刷・焼成する厚膜誘電体ペーストの材料
としても有効である。
このような本発明磁器組成物は、従来まで鉛ぺロブスカ
イト複合化合物の欠点であったm1fflt=ラミツク
コンデンサとしたときの耐湿負荷テストに優れ、高い絶
縁抵抗、低い誘電損失、DCバイアス特性が良好である
。またCR値も大きく、特に高温でも充分な値を有し、
高温での信頼性に優れている。
T、C,Cの小さいことは本発明の大きな特徴であり、
これは、K≧10000のごとくの大きな誘電率の場合
、特に顕著である。このように誘電率の大きい場合には
、(誘電率)/(温度変化率の絶対値)の大きいことが
要求される。本発明ではこの点に関しても非常に優れて
いる。
さらに、誘電率バイアス電界依存性も従来のチタン酸鉛
系の材料と比較して優れており、誘電率の変化率が4k
V/am+でも10%以下程度の材料を得ることもでき
る。したがって、高圧用の材料として有効である。また
誘電損失が小さく、交流用、高周波用としても有効であ
る。
さらに、前述のこと<T、C,C,が小さいため、電歪
素子へ応用した場合でも変位置の温度変化の小さい素子
を得ることができる。
さらに、焼成時のグレインサイズも1〜3μmと均一化
されるため耐圧性にも優れている。
以上電気的特性について述べたが、機械的強度も充分に
優れたものである。
[発明の効果] 以上説明したように本発明によれば、重量比で0.01
〜i、o重量%の酸化銀Ag2 o、酸化パラジウムP
dO及び酸化白金pt○の少なくとも一種を含むことに
より積m tラミックコンデンサとしたときの耐湿負荷
テストに優れ、高い絶縁抵抗、低い誘電損失、優れたT
、C,C,及びDCバイアス特性が良好である高読電率
磁器組成物を得ることができる。特に、このような各種
特性に優れた磁器組成物は低温焼成で得ることができる
ため、低コストの積層セラミックコンデンサ、積層型セ
ラミック変位発生素子等のfa層タイプのセラミック素
子への応用に適している。
[発明の実施例] 以下に本発明の詳細な説明する。
Pb、Ba、Sr、Zn、Nb、Ti、MO。
AQ、Pd、Ptの酸化物などの出発原料をボールミル
などで混合し、700〜850℃で仮焼する。ついでこ
の仮焼体をボールミルなどで粉砕し乾燥の後、バインダ
ーを加え造粒し、プレスして直径17m、厚さ約2tt
xの円板状素体を形成した。
混合、粉砕用のボールは、不純物の混入を防止するため
部分安定化ジルコニアボール等の硬度が大きく、かつ靭
性の高いボールを用いることが好ましい。
この素体を空気中980〜1080℃、2時間の条件で
焼結し、両生面に銀電極を焼付は各特性を測定した。誘
電損失、容量は、1kHz、IVrms、25℃の条件
でのデジタルLCRメータによる測定値であり、この値
から誘電率を算出した。また、絶縁抵抗は、i ooo
vの電圧を2分間印加した後、絶縁抵抗計を用いて測定
した値から算出した。なお、T、C,C,は、25℃の
値を基準とし、−25℃、85℃、での変化率で表した
。容量抵抗積は、25℃および125℃での(誘電率)
×(絶縁抵抗)×(真空の誘電率)から求めた。絶縁抵
抗の測定は、空気中の湿気の効果を除くためシリコーン
オイル中で行った。その結果を第1表に示す。
以  下  余  白 積層セラミックコンデンサは以下の方法で作成した。ま
ず、このような組成を有する仮焼粉にバインダー、有機
溶剤を加えてスラリー化した後ドクターブレード型キャ
スターを用いて45μmのグリーンシートを作成した。
このグリーンシート上に70Ao/30Pdの電極ペー
ストを所定のパターンで印刷し、このような電極パター
ンを有するシートを20層積層圧着した。その後、所定
の形状に切断し、脱脂を行い1040℃2hの条件で焼
成を行った。焼結後、外部電極としてAgペーストを焼
付け、積層セラミックコンデンサを製造した。第2図は
上記の手段によって得た積層セラミックコンデンサを示
すもので、第2表は、第1表に示す実施例4の組成物を
用い第2図に示すように構成した積層セラミックコンデ
ンサの電気的特性を示すものである。第2図中1は誘電
体、2は内部電極、3は外部電極である。
第2表 第3表に実施例1.2.4および参考例1,3の組成を
用いて作成した積層セラミックコンデンサにおける絶縁
抵抗(ΩF)の耐湿負荷テストの結果を示す。
第3表 試験条件は40℃、95%RH,5ov印加。
2000時間で行った。数通は各ロット100個である
。判定は試験後に500ΩF以下となったものを不良と
した。第3表から明らかであるように、添加物の含まれ
ない材料を用いた積層セラミックコンデンサでは試験後
の絶縁抵抗が低下するものが5〜6/100個見られる
のに対して、本発明による酸化物のAQ、Pd、Ptの
少なくとも一種を0.01〜1wt%含む材料を用いて
作成した積層セラミックコンデンサは耐湿負荷テストに
おける絶縁抵抗の低下が全く見られない。
このように、本発明による高誘電率磁器組成物は、各種
特性に優れており、特に積層セラミックコンデンサ用の
材料として有効である。
なお、上記説明では添加物であるAQ、Pd。
Ptを酸化物の形態で添加したが、金属粉末および塩化
物、硝酸化物として加えても同等の特性が得られ、これ
等の方法も本発明の範囲に含まれることは明らかである
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の組成範囲を示す組成図、第2図は、
積層セラミックコンデンサの一部切欠断面斜視図である
。 1・・・・・・誘電体       2・・・・・・内
部電極3・・・・・・外部電極 特  許  出  願  人 マルコン電子株式会社 本発明の組成範囲を示す組成図 第1図 1誘電体 積層セラミックコンデンサの一部切欠断面斜視図第2図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 一般式 xPb(Zn_1_/_3Nb_2_/_3)O_3−
    yPb(Mg_1_/_3Nb_2_/_3)O_3−
    zPbTiO_3で表したとき、それぞれの成分を頂点
    とする三元図の a(x=0.50、y=0.00、z=0.50)b(
    x=1.00、y=0.00、z=0.00)c(x=
    0.20、y=0.80、z=0.00)d(x=0.
    05、y=0.90、z=0.05)で示される各点を
    結ぶ線内の組成のPbの一部を1〜35mol%のBa
    及びSrの少なくとも一種で置換したことを特徴とした
    高誘電率磁器組成物に対して重量比で0.01〜1.0
    重量%の酸化銀Ag_2O、酸化パラジウムPdO及び
    酸化白金PtOの少なくとも一種を含むことを特徴とし
    た高誘電率磁器組成物。
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