JPS62252364A - アルミナ磁器 - Google Patents
アルミナ磁器Info
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- JPS62252364A JPS62252364A JP61094657A JP9465786A JPS62252364A JP S62252364 A JPS62252364 A JP S62252364A JP 61094657 A JP61094657 A JP 61094657A JP 9465786 A JP9465786 A JP 9465786A JP S62252364 A JPS62252364 A JP S62252364A
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、電子部品として利用される基板、耐摩耗性や
剛性を利用した定盤やパイプ等に利用されるアルミナ磁
器に関する。
剛性を利用した定盤やパイプ等に利用されるアルミナ磁
器に関する。
[従来の技術]
アルミナ磁器はその特性として、電気的絶縁性、誘電体
損失角(tanδ)、曲げ強度、熱伝導率、硬度、耐摩
耗性、剛性、化学的安定性が他のセラミックス(ムライ
ト、ジルコン、フォルステライト、ステアタイト等)に
比べ総合的に優れているので、電子材料や構造部材とし
て現在最も多く使用されている信頼性の高いセラミック
スでおる。
損失角(tanδ)、曲げ強度、熱伝導率、硬度、耐摩
耗性、剛性、化学的安定性が他のセラミックス(ムライ
ト、ジルコン、フォルステライト、ステアタイト等)に
比べ総合的に優れているので、電子材料や構造部材とし
て現在最も多く使用されている信頼性の高いセラミック
スでおる。
このアルミナ磁器を単味(100%アルミナ)で焼結さ
せようとすると、アルミナの融点が約2O50℃である
ことからも分るように、1700℃以上の高温で焼結さ
せるか、またはアルミナを高純度微粉末に調整し、焼成
温度を下げるという方法がとられている。いずれにせよ
アルミナを100%近い純度で焼結させることは、一部
の用途(透明アルミナ等)を除いて、経済的コストが高
くなりすぎ実用的ではない。
せようとすると、アルミナの融点が約2O50℃である
ことからも分るように、1700℃以上の高温で焼結さ
せるか、またはアルミナを高純度微粉末に調整し、焼成
温度を下げるという方法がとられている。いずれにせよ
アルミナを100%近い純度で焼結させることは、一部
の用途(透明アルミナ等)を除いて、経済的コストが高
くなりすぎ実用的ではない。
そこで、アルミナ磁器を焼結させるためには、その用途
により要求される特性を満足するように種々の焼結助剤
が添加され実用化されている。
により要求される特性を満足するように種々の焼結助剤
が添加され実用化されている。
現在、アルミナ磁器用の焼結助剤としては、MQO,C
aO1S t O2のうち1種かそれ以上の組成の組合
せのものが最もよく利用されている。また、その他には
アルカリ金属酸化物、アルカリ土類金属酸化物(SrO
,Bad>、遷移金属酸化物、希土類酸化物等も助剤と
して使用され得ることが知られている。
aO1S t O2のうち1種かそれ以上の組成の組合
せのものが最もよく利用されている。また、その他には
アルカリ金属酸化物、アルカリ土類金属酸化物(SrO
,Bad>、遷移金属酸化物、希土類酸化物等も助剤と
して使用され得ることが知られている。
一方、最近大量の焼結助剤をガラス化またはガラスに近
い状態に仮焼したりして活性度を高めたものをアルミナ
に添加し、1000°C付近で焼結させたいわゆる低温
焼成アルミナもよく知られていることである。
い状態に仮焼したりして活性度を高めたものをアルミナ
に添加し、1000°C付近で焼結させたいわゆる低温
焼成アルミナもよく知られていることである。
[発明が解決しようとする問題点]
アルミナ磁器の焼結助剤としては前述の如く数多く存在
するが、現実に量産する場合には、MqO−cao
SiO2系が実際に有効テする。この系を助剤とした場
合の原料はタルク、石灰、ドロマイト、カオリン、珪石
等であるが、この場合アルミナ磁器の表面粗さくRa)
は0.4〜0.6μmであり、内部には数μm〜士数μ
mの気孔が散在していた。
するが、現実に量産する場合には、MqO−cao
SiO2系が実際に有効テする。この系を助剤とした場
合の原料はタルク、石灰、ドロマイト、カオリン、珪石
等であるが、この場合アルミナ磁器の表面粗さくRa)
は0.4〜0.6μmであり、内部には数μm〜士数μ
mの気孔が散在していた。
従来、電子部品用の基板としては、表面粗さくRa)0
.1μm程度のものが好まれ、ラッピングにより表面を
平滑化していた。また耐摩耗材としては大きな気孔はど
摩耗の起点となるので、気孔径の小ざいものが望まれて
いた。
.1μm程度のものが好まれ、ラッピングにより表面を
平滑化していた。また耐摩耗材としては大きな気孔はど
摩耗の起点となるので、気孔径の小ざいものが望まれて
いた。
一方、表面粗さを0.1〜0.2μmにし、内部気孔の
大きざを小ざくするためには、焼結前の原料粒子を微細
化し、平均粒径を1〜2μmにすればよいことも知られ
ている。
大きざを小ざくするためには、焼結前の原料粒子を微細
化し、平均粒径を1〜2μmにすればよいことも知られ
ている。
しかし、従来のように生原料を助剤とした場合、微粉化
領域では極めて粉砕性が悪くなるという現象がめった。
領域では極めて粉砕性が悪くなるという現象がめった。
−例を挙げればボールミルを使用して97重最%アルミ
ナを粉砕する場合、3.5μmまで粉砕の約2倍もの時
間を必要とし、経済的、技術的な立場から実用化が困難
であった。
ナを粉砕する場合、3.5μmまで粉砕の約2倍もの時
間を必要とし、経済的、技術的な立場から実用化が困難
であった。
[問題点を解決するための手段]
本発明は、アルミナ磁器の表面をざらに平滑化し、内部
閉気孔の大きさを小ざくすることにより、アルナ磁器の
高品質化を1指したもので、MCl06.7〜16.3
重量%、CaO7,0〜11.7重量%、A12O31
0〜29重量%、S ! O251,3〜66.7重量
%の組成で1500’C以下で液化、冷却して得られる
ガラス粉末を焼結助剤としてアルミナを主成分とする材
料を焼結して得られることを特徴とするアルミナ磁器で
ある。
閉気孔の大きさを小ざくすることにより、アルナ磁器の
高品質化を1指したもので、MCl06.7〜16.3
重量%、CaO7,0〜11.7重量%、A12O31
0〜29重量%、S ! O251,3〜66.7重量
%の組成で1500’C以下で液化、冷却して得られる
ガラス粉末を焼結助剤としてアルミナを主成分とする材
料を焼結して得られることを特徴とするアルミナ磁器で
ある。
本発明者らは、低温焼成アルミナを製造する際、ガラス
がアルミナと同様の粉砕性を示すので、粉砕効率が良く
、またアルミナ粒子間にガラス粒子の分散性が良いとい
う知見を得ていた。
がアルミナと同様の粉砕性を示すので、粉砕効率が良く
、またアルミナ粒子間にガラス粒子の分散性が良いとい
う知見を得ていた。
そこで焼結助剤として使われているMCl0−cao−
s!02系のガラス化の可能性について鋭意研究した結
果、アルミナ磁器の主組成であるアルミナを加えたMQ
O−CaO−Al2O23!02系において、1500
℃以下でガラス化する領域を見出し、上記本発明を完成
した。
s!02系のガラス化の可能性について鋭意研究した結
果、アルミナ磁器の主組成であるアルミナを加えたMQ
O−CaO−Al2O23!02系において、1500
℃以下でガラス化する領域を見出し、上記本発明を完成
した。
ここで、ガラス化のための溶融温度を1500’C以下
と限定したのは、1500’Cを境にして経済的コスト
の差が極めて大きくなるためである。
と限定したのは、1500’Cを境にして経済的コスト
の差が極めて大きくなるためである。
まず、本発明者らはMgO−CaO−
3!02系のカラス化を試みたが、例えば第1図(Th
e American Caramic 5ociet
yのPhaSeDiagrams for Ceram
ists [1964年版]の図598)に示されてい
るように、最低共融点は132O°Cで必り、1500
’C以下で工業的に′lA造し得る組成のものは見出し
得なかった。また、ガラス化のための溶融温度は、状態
図における液相線ヤ液相面の温度の少なくとも2O0’
C以上は必要であることが分ってきた。
e American Caramic 5ociet
yのPhaSeDiagrams for Ceram
ists [1964年版]の図598)に示されてい
るように、最低共融点は132O°Cで必り、1500
’C以下で工業的に′lA造し得る組成のものは見出し
得なかった。また、ガラス化のための溶融温度は、状態
図における液相線ヤ液相面の温度の少なくとも2O0’
C以上は必要であることが分ってきた。
そこで、アルミナ磁器の焼結過程では焼結助剤成分であ
るMgO1cao、S ! 02とA I 2O :l
の相互反応により焼結が進むことに看目し、MQOca
o 5io2− A I 2O3系を調べたところ、1500’C以下で
ガラス化する組成が得られた。その組成が前記の範囲で
おる。
るMgO1cao、S ! 02とA I 2O :l
の相互反応により焼結が進むことに看目し、MQOca
o 5io2− A I 2O3系を調べたところ、1500’C以下で
ガラス化する組成が得られた。その組成が前記の範囲で
おる。
この組成範囲を決定した理由を以下に述べる。
第2図〜第5図(The AmeriCan Cera
miC3ocietyのPhase I)iagram
s for Ceramists [1964年版]の
図899.907.909.916)はいずれも122
O°Cから1300°Cで液相化する組成を示しており
、事実1500°C以下で流動性の良い液体となり、ガ
ラス化が可能であった。
miC3ocietyのPhase I)iagram
s for Ceramists [1964年版]の
図899.907.909.916)はいずれも122
O°Cから1300°Cで液相化する組成を示しており
、事実1500°C以下で流動性の良い液体となり、ガ
ラス化が可能であった。
上記組成範囲はAl2O3を除いて、MgO1cao、
s r 02は122O’Cから1300℃で熱力学的
に液相化する組成に含まれている。しかしこれら状態図
は4成分を完全に表現しているわけではないので、Al
2O3のみは10〜29重重%の範囲でガラス化が可能
となった。
s r 02は122O’Cから1300℃で熱力学的
に液相化する組成に含まれている。しかしこれら状態図
は4成分を完全に表現しているわけではないので、Al
2O3のみは10〜29重重%の範囲でガラス化が可能
となった。
以上のように本発明の組成範囲の限定理由は、その範囲
外では、その組成成分が多くても、少なくても1500
℃以下でガラス化ができないという実験的事実による。
外では、その組成成分が多くても、少なくても1500
℃以下でガラス化ができないという実験的事実による。
一方、このAl2O3を含む焼結助剤をガラス化し、助
剤として用いることにより、70重量%以下のA I
2O3含有量のものも、含有量が少なくなる程、低温焼
成化が可能となった。
剤として用いることにより、70重量%以下のA I
2O3含有量のものも、含有量が少なくなる程、低温焼
成化が可能となった。
特に900℃から1000℃で焼成可能なものは、現在
、銀や銅といった安価な金属を回路に使用できるいわゆ
る低温焼成セラミックスと呼ばれる基板用セラミックス
に属するもので、他の低温焼成セラミックスの助剤に比
べ、従来回路基板として使われてきたアルミナ基板<r
ra器)の助剤をガラス化したものなので、ざらに信頼
性が高いということができる。
、銀や銅といった安価な金属を回路に使用できるいわゆ
る低温焼成セラミックスと呼ばれる基板用セラミックス
に属するもので、他の低温焼成セラミックスの助剤に比
べ、従来回路基板として使われてきたアルミナ基板<r
ra器)の助剤をガラス化したものなので、ざらに信頼
性が高いということができる。
このことが可能になったのは、生原料を助剤とした場合
は、助剤が12O0〜1300℃程度で液相化するのに
比べ、いったん溶融ガラス化したものは、900〜10
00℃で軟化し、50%以上のガラスが存在すればAl
2O3粒子間を被覆することができるためである。
は、助剤が12O0〜1300℃程度で液相化するのに
比べ、いったん溶融ガラス化したものは、900〜10
00℃で軟化し、50%以上のガラスが存在すればAl
2O3粒子間を被覆することができるためである。
本発明によるアルミナ磁器をX線回折法により分析した
結果、アルミナが主結晶相であるが、焼結助剤の量が増
すにしたがいアノーサイト(CaO−AlzOx ・2
SiO2>のピークが増加している。
結果、アルミナが主結晶相であるが、焼結助剤の量が増
すにしたがいアノーサイト(CaO−AlzOx ・2
SiO2>のピークが増加している。
[実施例]
つぎに本発明の実施例について説明する。
まず、第1表に示す組成となるように原料を混合した。
原料はどのような種類の酸化物、複酸化物、炭酸塩であ
ってもさしつかえない。
ってもさしつかえない。
また、本発明に含まれる組成以外を不純物とみなした場
合、アルミナ基板用には、Na2Oのようなアルカリ金
属酸化物の混入は好ましくないが、その用途にさしつか
えなければ、不純物が含まれていてもかまわない。
合、アルミナ基板用には、Na2Oのようなアルカリ金
属酸化物の混入は好ましくないが、その用途にさしつか
えなければ、不純物が含まれていてもかまわない。
原料を混合後、粘土質の耐火ルツボに入れ、電気炉にて
1500℃で約2O〜30分間溶融し、水中に投入して
ガラス塊を得る。第1表中、比較例のものは白色ガラス
状になったのみで、ガラスとしては得られなかった。
1500℃で約2O〜30分間溶融し、水中に投入して
ガラス塊を得る。第1表中、比較例のものは白色ガラス
状になったのみで、ガラスとしては得られなかった。
第1表
得られたガラス塊1kgを3文ポットに入れ、アルミナ
ポール3kQ、水1kOとともに24時間粉砕すると、
平均粒径は3.5μmとなった。
ポール3kQ、水1kOとともに24時間粉砕すると、
平均粒径は3.5μmとなった。
このガラス粉のうち一例として実施例N0.1のガラス
組成のものをとり、これを第2表に示すアルミナ含有量
となるように混合し、粉砕して、平均粒径3〜4μmの
粉末を得た。
組成のものをとり、これを第2表に示すアルミナ含有量
となるように混合し、粉砕して、平均粒径3〜4μmの
粉末を得た。
この粉末にポリビニルアルコールを2重量%添加し、1
0001000kの圧力でプレス成形後焼成した結果を
同じく@2表に示す。
0001000kの圧力でプレス成形後焼成した結果を
同じく@2表に示す。
第2表
ざらに、99重量%アルミナにおいて、平均粒径1.8
μmまで粉砕したものについて、本発明と同組成の生原
料を助剤としたものを比較量として緒特性を試験した。
μmまで粉砕したものについて、本発明と同組成の生原
料を助剤としたものを比較量として緒特性を試験した。
結果は第3表に示す如くで、本発明品は表面平滑性にす
ぐれ、内部気孔径が小さくなっていることが分る。
ぐれ、内部気孔径が小さくなっていることが分る。
[発明の効果]
アルミナ磁器の焼結助剤を生原料からガラスにするだけ
では経済的コストが上がるだけであるが、本発明は下記
の効果により、多少の経済的負担を補って余りあるもの
である。
では経済的コストが上がるだけであるが、本発明は下記
の効果により、多少の経済的負担を補って余りあるもの
である。
1)30%から99%までの広範囲のアルミナ含有量を
有する緻密焼結体が得られる。
有する緻密焼結体が得られる。
2)粉末の微粉化が容易である。
3)表面粗さが0.5〜0.1μmと平滑性が向上する
。
。
4)内部気孔率が小さくなる。
もちろん、焼結助剤を用いない場合よりは焼成上の負担
は少ない。
は少ない。
第1図ないし第5図は本発明の組成限定の理由を説明す
るための状態図である。
るための状態図である。
Claims (1)
- MgO6.7〜16.3重量%、CaO7.0〜11
.7重量%、Al_2O_310〜29重量%、SiO
_251.3〜66.7重量%の組成で1500℃以下
で液化、冷却して得られるガラス粉末を焼結助剤として
アルミナを主成分とする材料を焼結して得られることを
特徴とするアルミナ磁器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61094657A JPS62252364A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | アルミナ磁器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61094657A JPS62252364A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | アルミナ磁器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62252364A true JPS62252364A (ja) | 1987-11-04 |
JPH0532343B2 JPH0532343B2 (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=14116323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61094657A Granted JPS62252364A (ja) | 1986-04-25 | 1986-04-25 | アルミナ磁器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62252364A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09221354A (ja) * | 1996-02-13 | 1997-08-26 | Nitsukatoo:Kk | 耐摩耗性アルミナ質セラミックス及びその製造方法 |
JP2000233986A (ja) * | 1999-02-15 | 2000-08-29 | Tocalo Co Ltd | めっき浴用部材およびその製造方法 |
CN108530041A (zh) * | 2018-04-13 | 2018-09-14 | 华南理工大学 | 一种高纯高强氧化铝陶瓷及其低温制备方法 |
JP2020175405A (ja) * | 2019-04-16 | 2020-10-29 | 日本製鉄株式会社 | 浸漬ノズルの予熱方法 |
-
1986
- 1986-04-25 JP JP61094657A patent/JPS62252364A/ja active Granted
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09221354A (ja) * | 1996-02-13 | 1997-08-26 | Nitsukatoo:Kk | 耐摩耗性アルミナ質セラミックス及びその製造方法 |
JP2000233986A (ja) * | 1999-02-15 | 2000-08-29 | Tocalo Co Ltd | めっき浴用部材およびその製造方法 |
JP4571250B2 (ja) * | 1999-02-15 | 2010-10-27 | トーカロ株式会社 | 溶融金属めっき浴用ロールおよびその製造方法 |
CN108530041A (zh) * | 2018-04-13 | 2018-09-14 | 华南理工大学 | 一种高纯高强氧化铝陶瓷及其低温制备方法 |
CN108530041B (zh) * | 2018-04-13 | 2021-08-10 | 华南理工大学 | 一种高纯高强氧化铝陶瓷及其低温制备方法 |
JP2020175405A (ja) * | 2019-04-16 | 2020-10-29 | 日本製鉄株式会社 | 浸漬ノズルの予熱方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0532343B2 (ja) | 1993-05-14 |
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