JPS62252151A - 集積回路装置 - Google Patents
集積回路装置Info
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- JPS62252151A JPS62252151A JP9561586A JP9561586A JPS62252151A JP S62252151 A JPS62252151 A JP S62252151A JP 9561586 A JP9561586 A JP 9561586A JP 9561586 A JP9561586 A JP 9561586A JP S62252151 A JPS62252151 A JP S62252151A
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- electrode
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- potential
- electrodes
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Links
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
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- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
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Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はクロストーク等？生じ難くした集積回路装置
の構造に関するものである。
の構造に関するものである。
第８図、第４図は従来の集積回路装置を示す平面図とそ
のｆｆ−ｆｆ断面図であり、１１）は基板であってこ＼
では、シリコン基板、（２）はシリコンの熱酸化膜、（
３１は多結晶シリコンからなる信号配線、（ｌｌａ）は
電位変化を他に与えたり他から与えられたりする擾乱電
極兼不安定電極であって、こ＼では信号配線（３１０部
分、（４１は電極（８ａ）上をお＼う絶縁層であって、
こ＼では二酸化シリコン上積み層、（６１は絶縁層（４
１を介して信号配線（３１の上を横断するアルミニウム
からなる信号配線、（５ａ）は絶縁層］４）を介して電
極＋３１と重なり、この電極（３１と同様の擾乱電極兼
不安定電極であって、こ＼では信号配線；６１の部分で
ある。
のｆｆ−ｆｆ断面図であり、１１）は基板であってこ＼
では、シリコン基板、（２）はシリコンの熱酸化膜、（
３１は多結晶シリコンからなる信号配線、（ｌｌａ）は
電位変化を他に与えたり他から与えられたりする擾乱電
極兼不安定電極であって、こ＼では信号配線（３１０部
分、（４１は電極（８ａ）上をお＼う絶縁層であって、
こ＼では二酸化シリコン上積み層、（６１は絶縁層（４
１を介して信号配線（３１の上を横断するアルミニウム
からなる信号配線、（５ａ）は絶縁層］４）を介して電
極＋３１と重なり、この電極（３１と同様の擾乱電極兼
不安定電極であって、こ＼では信号配線；６１の部分で
ある。
従来の集積回路装置は上記の如く構成され、図のクロく
２つの信号配線：３１ 、 ＋５１が交差していても短
絡しないようになっていた。
２つの信号配線：３１ 、 ＋５１が交差していても短
絡しないようになっていた。
上記の如き従来の集積回路装置では、２つの信号配線・
Ｓｔ ｅ ｔｅｌが領域偶１で絶縁層＋４１を介して重
なり合っているので、この部分の容量結合により両者中
の電位変化を起した方が擾乱電極として従って不安定電
極となる他方の電位に変動を生じさせるこの場合クロス
トークと呼ばれる現象を引き起こすと云った問題点があ
った。
Ｓｔ ｅ ｔｅｌが領域偶１で絶縁層＋４１を介して重
なり合っているので、この部分の容量結合により両者中
の電位変化を起した方が擾乱電極として従って不安定電
極となる他方の電位に変動を生じさせるこの場合クロス
トークと呼ばれる現象を引き起こすと云った問題点があ
った。
この発明は上記の如き問題点を解決するためになされた
もので、互いに重なシ合う擾乱電極と不安定電極との間
に遮蔽電極を設けることにより前者が後者に電位変動を
与えるのを防止できる集積回路装置を提供することを目
的とする。
もので、互いに重なシ合う擾乱電極と不安定電極との間
に遮蔽電極を設けることにより前者が後者に電位変動を
与えるのを防止できる集積回路装置を提供することを目
的とする。
この発明に係る集積回路装置は、基板の主表面上に互に
重なり合うように設けられ、電位変化を他に与え得る擾
乱電極と他から与えられる恐れのある不安定電極との間
に、一定電位を与えられた遮蔽電極全絶縁層を介して介
在させたものである。
重なり合うように設けられ、電位変化を他に与え得る擾
乱電極と他から与えられる恐れのある不安定電極との間
に、一定電位を与えられた遮蔽電極全絶縁層を介して介
在させたものである。
この発明においては遮蔽電極が擾乱電極から不安定電極
に向わんとする電気力線を終端させる。
に向わんとする電気力線を終端させる。
第１図、第２図はこの発明の一実施例を示す平面図とそ
のｎ−ｎ断面図であり、１１１〜［３１，（３ａ）、（
５１および（５ａ）は従来の同一符号のものと同一また
は相当部分、（７）は２つの擾乱電極兼不安定電極（３
ａ）、（５ａ）の間に両者を遮蔽するため挿入された一
定電位この実施例では接地電位が与えられた遮蔽電極で
あって、この実施例では多結晶シリコン電極、（４ａ）
は従来の絶縁層１４１に対応するもので、遮蔽型＊ １
７＋の形成の前後２回に分けて形成された絶縁層であっ
て、この実施例では、二酸化シリコン上積み層である。
のｎ−ｎ断面図であり、１１１〜［３１，（３ａ）、（
５１および（５ａ）は従来の同一符号のものと同一また
は相当部分、（７）は２つの擾乱電極兼不安定電極（３
ａ）、（５ａ）の間に両者を遮蔽するため挿入された一
定電位この実施例では接地電位が与えられた遮蔽電極で
あって、この実施例では多結晶シリコン電極、（４ａ）
は従来の絶縁層１４１に対応するもので、遮蔽型＊ １
７＋の形成の前後２回に分けて形成された絶縁層であっ
て、この実施例では、二酸化シリコン上積み層である。
この実施例は上記のように構成したので、従来のもの同
様、この様に２つの信号配線が交差しても短絡しないよ
うになっている。
様、この様に２つの信号配線が交差しても短絡しないよ
うになっている。
一方前記問題点については、第２図から明らかなよつに
、２つの擾乱電極兼不安定電極（ｌｌａ） 。
、２つの擾乱電極兼不安定電極（ｌｌａ） 。
（５ａ）、それぞれの相手方に向う電気力線を遮蔽型＆
（７）で終端され、たとえ一方が急激な電位変化をして
も相手に影響せず、解決されることは明らかである。
（７）で終端され、たとえ一方が急激な電位変化をして
も相手に影響せず、解決されることは明らかである。
なお、上記実施例では、両信号配線＋３１ 、 ＋５１
は一方が他方に影響を与えると共に他方が一方に影響す
る双方向性である場合であったが、第５図の平面図とそ
のＷ−１、および■−■断面図である第６図、第７図に
示す如く一方向性の場合であってもよい。
は一方が他方に影響を与えると共に他方が一方に影響す
る双方向性である場合であったが、第５図の平面図とそ
のＷ−１、および■−■断面図である第６図、第７図に
示す如く一方向性の場合であってもよい。
すなわち、これらの図で基板を兼ねる不安定電＆＋１１
に擾乱電極（８１が与えようとする電位変化の影響を遮
蔽型ｆＩｋ１７１が防止するようになり、この場合、電
極ｆ８１ 、 ＋９１間の基板（ｔａ）表面のチャネル
が導通ずるか否かを擾乱電極１Ｂ）が左右するのを防ぐ
。
に擾乱電極（８１が与えようとする電位変化の影響を遮
蔽型ｆＩｋ１７１が防止するようになり、この場合、電
極ｆ８１ 、 ＋９１間の基板（ｔａ）表面のチャネル
が導通ずるか否かを擾乱電極１Ｂ）が左右するのを防ぐ
。
この発明は以上説明したとおり、擾乱電極と不安定′成
極との間に遮蔽電極を設け、前者から後者に向わんとす
る電気力線を３１！！ｉ蔽することにより、前者の゛ば
位置化によって後者の電位が変動するのを防止できる効
果がある。
極との間に遮蔽電極を設け、前者から後者に向わんとす
る電気力線を３１！！ｉ蔽することにより、前者の゛ば
位置化によって後者の電位が変動するのを防止できる効
果がある。
第１図および第２図はこの発明の一実施例を示す平面図
とその［−ｎ断面図、第８図および第４図は従来の集積
回路装置の平面図とその■−ｆｆ断面図、第５図、第６
図および第７図はこの発明の変形例を示す平面図とその
■−■および■−■断面図である。 図において、…は基板、（ｌａ）は基板兼不安定電極、
（８ａ）は擾乱電極兼不安定電極、（４ａ）は絶縁層、
（５ａ）は擾乱電極兼不安定電極、１Ｂ）は重なり合う
領域、（７）は遮蔽電極である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
とその［−ｎ断面図、第８図および第４図は従来の集積
回路装置の平面図とその■−ｆｆ断面図、第５図、第６
図および第７図はこの発明の変形例を示す平面図とその
■−■および■−■断面図である。 図において、…は基板、（ｌａ）は基板兼不安定電極、
（８ａ）は擾乱電極兼不安定電極、（４ａ）は絶縁層、
（５ａ）は擾乱電極兼不安定電極、１Ｂ）は重なり合う
領域、（７）は遮蔽電極である。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- （１）基板の主表面上に互いに重なり合うように設けら
れ、電位変化を他に与え得る擾乱電極および他から与え
られる恐れのある不安定電極と 絶縁層を介して前記両電極の間に介在する と共に、一定電位を与えられる遮蔽電極とを備えた集積
回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9561586A JPS62252151A (ja) | 1986-04-24 | 1986-04-24 | 集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9561586A JPS62252151A (ja) | 1986-04-24 | 1986-04-24 | 集積回路装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62252151A true JPS62252151A (ja) | 1987-11-02 |
Family
ID=14142455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9561586A Pending JPS62252151A (ja) | 1986-04-24 | 1986-04-24 | 集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62252151A (ja) |
-
1986
- 1986-04-24 JP JP9561586A patent/JPS62252151A/ja active Pending
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