JPS62222855A - サ−マルヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は感熱記録装置等に用いるサーマルヘッドの製造
方法に関する。

（従来の技術） 従来この種の技術として特開昭５６−１６４．８７６号
公報に記載されるものがある。この公報に記載されたサ
ーマルヘッドは、金属板あるいはセラミック板上にポリ
イミド膜をコーティングした基板上に発熱抵抗体および
その電力供給用電極を設けるようにしたものである。こ
のサーマルヘッドにおいては、金属板あるいはセラミッ
ク板等からなる放熱板上にポリイミド膜をコーティング
したことによりその表面が平滑化され、このポリイミド
膜上に形成される発熱抵抗体の微細パターンに欠陥（例
えばピンホール、パターン間のショート等）が生じるこ
とを防いでいる。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、ポリイミド膜上に通常の方法すなわちス
・ぐツタリングあるいは蒸着により発熱抵抗体層を形成
した場合、ポリイミド膜との密着が弱く剥離し−やずい
という欠点がある。寸だスパッタリングあるいは蒸着に
よる発熱抵抗体の形成は、高価な真空機器を用い長時間
かかるので製造コストが高く々るという欠点もある。

本発明はＩ−述の欠点を除去し、発熱抵抗体をポリイミ
ド膜上に密着良く且つ安価に形成し得る薄膜型のサーマ
ルヘッドの製造方法を提供することにある。

（問題点を解決するだめの手段） 本発明は上述の問題点を解決するためにサーマルヘッド
を製造方法として、放熱板上に、′Ｉ？リイミド膜を積
層する工程と、 前記ポリイミド膜表面を第１のアルカリ溶液で表面処理
する工ｆ′）゛と、 前記ポリイミド膜表面に付着し／Ｃアルカリ成分を除去
する工程と、 前記ポリイミド膜表面をパラジウムイオンを含む第２の
アルカリ溶液で表面処理することにより、Ｊｆポリイミ
ド膜表面パラジウムイオンを吸着させた後、還元処理す
ることにより当該パラジウムイオンを金属・やラジウム
化する工程と、 ポリイミド膜表面に吸着１〜ノへ前記金属パラ・ソウム
を触媒核として無電解１Ｖ）つき処Ｆ４１！することに
より発熱抵抗体層を形成する工程とを具（＋Ｎｉするよ
うにしたものである。

アルカリ成分を除去する前記工程は、前記ポリイミド膜
表面に付着したアルカリ成分を中和処理した後、前記ポ
リイミド膜表面の水洗処理を行なう」：うにして達成で
きる。

寸だ前記第１のアルカリ溶液としてはｐＨ１，０以上の
ものが好適であり、パラジウムイオンを含む前記第２の
アルカリ溶液としてはｐＨ８以−ヒのものが好適である
。

（作　用） 本発明によれば、ポリイミド膜の表面をアルカリ溶液（
例えばｐＨ１０以−にのもの）で表面処理することによ
り、ポリイミド膜表面の脱脂、ぬれ性の向トを図ると共
に粗面化している。

このポリイミド膜表面を・ぐラジウノ・イオンを含むア
ルカリ溶液（例えばｐｌ（Ｂ以」二のもの）で処理する
ことにより、ノやラジウムイオンをその表面に均一に吸
着させるととができる。

このパラジウムイオンを還元処理した後前述の如く粗面
化したポリイミド膜表面に無電解めっき法により発熱抵
抗体層を被着させることにより良好な層形成ができると
共にポリイミド膜と発熱抵抗体層との密着を強固なもの
とできる。

（実施例） 第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明に係るサーマルヘッドの
製造方法の第１の実施例を示す製造工程図である。

以下図を参照して詳細に説明する。

捷ず第１図（ａ）の如く、金属板あるいはセラミック板
等の放熱板１上に蓄熱層としてのポリイミド膜２を被着
して基板３とする。この放熱板１の厚さとしてはサーマ
ルヘッドの印字装置への搭載あるいはサーマルヘッドの
製造プロセスを考慮した場合０．１〜３唄程度が適当で
ある。またポリイミド膜２については、その膜厚が薄い
場合その」二の発熱抵抗体で発生した熱は放熱板Ｉ側に
伝えられやすく、一方その膜厚が厚い場合上述の熱は記
録紙側に伝えられやすい。従って印字に必要な電力のみ
を考慮するとポリイミド膜の厚さは厚い方が印字の際の
消費電力を小さくできるが、発熱抵抗体の冷却速度はポ
リイミド膜の厚さが厚い程遅くなるため、印字のための
通電を終了した後も余熱により記録紙としての感熱紙が
発色しいわゆる印字の尾側が生じることがある。このた
めポリイミド膜２の厚さは印字に必要な電力、印字品質
、印字速度等を考慮して適切々厚さとする。

次に基板３をアルカリ溶液に浸漬してポリイミド膜２表
面のアルカリ処理を行う。このアルカリ処理のｆｌ的（
−１，ポリイミド膜２表面の脱脂及び表面の溶液に苅す
るぬれ性の向トを図ると共に、ポリイミド膜２上２表面
を化学エツチングしてその表面を粗［Ｈ１化１７後述の
工程においてン１？リイミド膜２」−へ１１り成する発
熱抵抗体の密着を良くするために行うものである。アル
カリ溶液としては種々実験の結果［−述の如き処理内容
のためにはｐＨ（ベーハー）１０以十のアルカリ溶液、
例えばＰＩｔ　ｌ　Ｑの苛性ソーダ溶液等を用いること
ができる。

このアルカリ処理後、必要に応じてその中和処理を行な
う。との中和処理柑アルカリ処理により（＝１着したア
ルカリ成分をポリイミド膜２表面から水洗除去するだめ
の前処理である。中和処理液と１７でしＬアルカリを十
分中和できるようにＰＴ−１１程度の酸、例えばｐＨ１
の塩酸等を用いるととができる。

続いて基板３表面の水洗処理を行う。なお十二分な時間
並びに水量で水洗処理を行なえる々らば、前述の中和処
理は省くことも可能である。

次に第１図（Ｉ））に示すように、ポリイミド膜２表面
にパラジウム４を吸着させる。このノやラジウム４に１
無電解めっき膜を析出させるための触媒核である。絶縁
物に・ぐラジウノ、の触媒（へを吸着させる方法として
は、蒸着、ス・ぐツタリングなどによる方法と溶液に浸
漬させる方法とがあるが、単時間に均一に吸着させるた
めには後者の方が有利である。本発明によるサーマルヘ
ッドの製造方法の特徴は、ポリイミド膜２表面にパラジ
ウム４を強く吸着させた点にある。ポリイミド膜２表面
にパラジウム４を強く吸着させるためには、パラジウム
イオンを含む溶液のＰＨ値が重要であり、種々検討した
結果ＰＨ値が８以上のアルカリ溶液でなければならない
。この理由はアルカリ溶液のＰＩｔ値が８以−にの場合
、パラジウムイオンを含むこのアルカリ溶液とポリイミ
ド膜との親和性が良く、そのためポリイミド膜２表面に
パラジウム４の吸着が十分に行なわれるためである。」
二記条件を満すアルカリ溶液としては、）（ラジウムを
錯体化したｐＨＢ以上のアルカリ溶液であれば良く、例
えばアクチベータネオガンｌ−８３４（商品名、シェー
リング社製）等を用いることができる。このように基板
３を・ぐラジウノ・イオンを含むアルカリ溶液に浸漬す
ることにより、基板３のポリイミド膜２表面にパラジウ
ムイオンが吸着する。

続イて、この基板３をツメチルアミンポラン（ＣＨ３）
２ＮＴ（ＢＨ３等の還元剤溶液に浸漬して還元処理する
ことにより、ポリイミド膜２上のパラジウムイオンが金
属パラジウムとなる。

次に第１図（ｃ）の如く、ポリイミド膜２」−にノやラ
ジウノ、４を触媒核として無電解めっき法により発熱抵
抗体層５を形成した後、この発熱抵抗体層５を所定の形
状にパターン化するために発熱抵抗体層５土にフォトレ
ジスト６を設け、フォトレジス１□　６を選択的に除去
してレジストパターンを形成する。なお、−４−記発熱
抵抗体層５はＮｉ　−Ｐ　、Ｎｉ　−Ｗ−Ｐ　。

Ｎｉ　−Ｂ　、Ｎｉ　−Ｗ−Ｂ　、Ｎｉ　−Ｍｏ　−Ｐ
　、Ｎ’＋　−Ｍｏ−Ｂ等のニッケル合金あるいは、Ｃ
ｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｗ−Ｐ、Ｃｏ−Ｂ、Ｃｏ−Ｗ−Ｂ、Ｃｏ
　−Ｍｏ−Ｐ。

Ｃｏ−Ｍｏ−Ｂ等のコバルト合金等で形成される。

次に第１図（ｄ）の如く、レジストパターン６をママク
として発熱抵抗体層５を選択的にエツチングしてパター
ン化した後、第１図（ｅ）の如くレジスト６を除去する
。

続いて第１図（ｆ）の如く、発熱抵抗体層・ぐターンの
発熱部以外の部分−にに電気めっきにより銅、金。

半田等を被着させ給電体層７を形成した後、発熱部上を
覆う如くシリコンカーバイト、五酸化タンタル等の保護
膜８を被着させる。このようにしてサーマルヘッドが完
成する。

次に第２図（ａ）〜（ｆ）に示す製造工程図を用いて本
発明に係るサーマルヘッドの製造方法の第２の実施例に
ついて以下に説明する。

第２図（ａ）　ｌ　（ｂ）工程は第１図（ａ）　ｔ　（
ｂ）ｏ工８　ト同様であり放熱板１上にポリイミドゝ膜
２を被着させて基板３を構成し、ｐＨ１０以上のアルカ
リ溶液によるアルカリ処理後、必要に応じその中和処理
を行ない、続いて水洗処理を行なう。そして基板３をパ
ラジウムイオンを含むＰＨ８以上のアルカリ溶液に浸漬
してポリイミド膜２表面にパラジウムイオンを吸着させ
た後、還元処理して吸着したパラジウムイオンを金属・
ぐラジウムとする。

次に第２図（ｃ）の如く、ポリイミド膜２上の発熱抵抗
体層形成部以外の部分に選択的にフォトレジスト６を設
ける。

そして第２図（ｄ）の如く、無電解めっきを行ない発熱
抵抗体層５を被着させた後、第２図（ｅ）の如くフォト
レジストを除去する。

そして第２図（ｆ）の工程において、第１図（ｆ）の工
程と同様にして給電体層７及び保護膜８を被着させる。

（発明の効果） 以上説明したように本発明によるサーマルヘッドの製造
方法は、蓄熱層にポリイミド膜を用いる基材−■−に無
電解めっきの触媒核を強く吸着させついで無電解めっき
にて発熱抵抗体を形成しているので、ポリイミド膜上に
密着力の強い抵抗体皮膜を形成するととが可能になる。

さらに、真空機器を用いることなく無電解めっきにて発
熱抵抗体を形成しているので量産性に優れた安価なサー
マルヘッドを製造することが可能に々る。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明の第１の実施例の製造工
程図、第２図（ａ）〜（ｆ）は本発明の第２の実施例の
製造工程図である。 Ｉ・・・放熱板、２・・・ポリイミド膜、３・・・基板
、４・・・・ぐラジウム、５・・・発熱抵抗体層、６・
・・フォトレジスト、７・・・給電体層、８・・・保護
膜。 特許出願人　　沖電気工業株式会社 （ａ） （ｂ） （ｃ） （ｄ） 不発日月にイ糸るサーマルへ゛ソト 第１図 （ｅ） の製柴工程図 手続補正書（的） □オ。ヶ６２・Ａ・１５□

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）放熱板上にポリイミド膜を積層する工程と、前記
   ポリイミド膜表面を第１のアルカリ溶液で表面処理する
   工程と、 前記ポリイミド膜表面に付着したアルカリ成分を除去す
   る工程と、 前記ポリイミド膜表面をパラジウムイオンを含む第２の
   アルカリ溶液で表面処理することによりポリイミド膜表
   面にパラジウムイオンを吸着させた後、還元処理するこ
   とにより当該パラジウムイオンを金属パラジウム化する
   工程と、 ポリイミド膜表面に吸着した前記金属パラジウムを触媒
   核として無電解めっき処理することにより発熱抵抗体層
   を形成する工程とを具備することを特徴とするサーマル
   ヘッドの製造方法。
2. （２）アルカリ成分を除去する前記工程が、前記ポリイ
   ミド膜表面に付着したアルカリ成分を中和処理した後、
   前記ポリイミド膜表面の水洗処理を行なうものであるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のサーマ
   ルヘッドの製造方法。
3. （３）前記第１のアルカリ溶液がｐＨ１０以上のもので
   あり、パラジウムイオンを含む前記第２のアルカリ溶液
   がｐＨ８以上のものであることを特徴とする特許請求の
   範囲第（１）項、または第（２）項に記載のサーマルヘ
   ッドの製造方法。