JPS62218846A - 線形配列検出器を位置ぎめする方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 発明の分野 この発明はＸ線源とＸ線検出器を整合させる方法、更に
具体的に言えば、航空機用機関のガスタービンの羽根を
評価する為の自動化ディジタル形Ｘ線検査装置で線形配
列Ｘ線検出器を整合させることに関する。

高性能で燃料効率のよい航空機用のタービン羽根を製造
する為に、羽根を冷却する為に、内部の複雑な通路及び
羽根の表面に対する開口を持つタービン羽根が開発され
る様になった。羽根の性能と寿命は、こういう内部構造
が所定の仕様の範囲内で製造されるかどうかに関係する
。機械の損傷、使命が完遂されないこと並びに人に対す
る危険の為に、羽根が破損する惧れが大きい。こういう
理由で、タービン羽根を１００９６検査することが公衆
にとって重要であり、一層高塵に自動化されたディジタ
ル形Ｘ線検査装置が長い間希望されていた。

タービン羽根を評価するＸ線検査部は、Ｘ線装置とＸ線
作像装置を持っている。Ｘ線装置が、Ｘ線放射ビームを
差向けるＸ線源、この放射を受取り、それを表わす電気
信号を発生する線形配列Ｘ線検出器、操作部品、及びＸ
線装置に対する部品の流れを制御する手段を持っている
。Ｘ線作像装置は、Ｘ線データの収集、像の発生、記録
、表示、計算及びＸ線装置の制御を行なう計算機のハー
ドウェア及びソフトウェアを持っている。この装置は生
産用自動化検査モジュールであり、ジェット機関の単独
のタービン羽根の内部のきずを検出することが出来る。

Ｘ線検査装置は手作業により又は自動的に、ガスタービ
ン機関の羽根に対するＸ線計算機式断層写真法又はディ
ジタル螢光透視法の検査を行なう。任意の羽根が捕捉装
置に装着され、その後コンベヤベルトにのせられる。羽
根と捕捉装置が部品検査部へ自動的に運ばれる。部品操
作装置が羽根及び捕捉装置をコンベヤ検査装置から取出
し、捕捉装置と羽根をＸ線ビームの中に入れる。部品操
作装置は２つの運動軸を持ち、これはＸ線ビームに対し
て垂直な垂直方向の並進と、この垂直軸線の周りの回転
運動である。ディジタル形螢光透視法による像を発生す
る為に、部品操作装置が羽根を直線的に動かす。計算機
式断層写真法を行なう為に、部品操作装置が、羽根をＸ
線ビーム内で回転させる。走査が完了した後、羽根がコ
ンベヤに戻される。羽根がコンベヤによって運ばれる時
、それが荷卸し部へ移動し、そこでオペレータによって
取外される。

この発明の目的は、Ｘ線源から差向けられたビームに対
して、線形配列Ｘ線検出器を整合させる方法を提供する
ことである。

発明の要約 Ｘ線検査装置が、指向性を持つＸ線放射ビームを発生す
るＸ線源と、放射を受取って、それを表わす電気信号を
発生する検出素子の線形配列を持つＸ線検出器とを持っ
ている。検出素子の信号を最大にする為、線形配列検出
器を指向性を持つＸ線放射ビームと整合させる。この発
明の方法は、Ｘ線源と線形配列検出器の間から如何なる
部品をも取除き、Ｘ線ビーム制限器を開き、各々の検出
素子から最大信号が得られる様に線形配列検出器を位置
ぎめし、Ｘ線ビーム制限器の開口を縮小し、各々の検出
素子からの信号を評価し、検出素子からの信号が最大に
なる様にＸ線ビーム制限器を移動し、Ｘ線ビーム制限器
を固定し、最大信号が得られる様に線形配列検出器を位
置ぎめすることを含む。

実施例の記載 （全般的な説明） 第１図はＸ線検査装置２の基本的な部品を示している。

Ｘ線検査装置２がＸ線装置４及びＸ線作像装置６を含む
。Ｘ線装置４はＸ線源１２、Ｘ線検出器１４、部品操作
装置１６、プログラム可能な制御装置２０、工業用制御
装置２１．６軸可動台３０及びコンベヤベルト装置２２
で構成されている。Ｘ線作像装置６がデータ収集装置（
ＤＡＳ）２４、像発生装置２６、計算機装置２８、オペ
レータ・コンソール１９、オペレータ表示装置１８、キ
ーボード６０１、表示処理装置２３、高分解能表示装置
３２及びバーコード読取装置３４を持っている。

航空機用機関の羽根の様な部品８が、コンベヤベルト装
置２２によってＸ線装置４の中に運び込まれる。以下こ
の発明を特に羽根の場合について説明するが、以下の説
明の冒頭にあたって、この発明の装置と方法が他の多く
の製造部品にも用いることが出来ることを承知されたい
。具体的に云えば、これに限らないが、圧縮機又はター
ビンの羽根、静翼、ノズル、熱雷対等の様に、タービン
機関の種々の部品がある。第２図に典型的な機関の羽根
を示す。第１図に戻って説明すると、オペレータが羽根
８を捕捉装置３８に装着する。捕捉装置３８は、ローラ
４２によってコンベヤ装置２２に支持されたパレット４
０により、コンベヤ２２に保持されている。

オペレータがＸ線検査装置２に羽根の部品番号と必要な
検査の種類を知らせる。同時にオペレータが開始ボタン
４１．．４３を押す。コンベヤ２２が矢印の方向で示す
様に、羽根８を１８ケ所の部位又は位置を通って検査部
４４へ前進させる。検査部４４は鉛遮蔽室（第２図に示
す）の内側にある。数値制御の部品操作装置１６が羽根
８を持っ捕捉装置３８をコンベヤ２２から取外し、それ
をＸ線源１２とＸ線検出器１４の間の指向性を持つＸ線
ビーム３６内の適当な通路に位置ぎめする。

Ｘ線作像装置６が、羽根検査計画に従って、ディジタル
螢光透視法又は計算機式断層写真法による像を発生する
。ディジタル形螢光透視法による像を以下ＤＦ像と呼ぶ
が、この場合、羽根８が一定の角度位置に保持され、部
品操作装置１６によってＸ線ビームの中を垂直方向に移
動させられる。

計算機式断層写真法による像を以下ＣＴ像と呼ぶが、こ
の場合、羽根８は一定の垂直位置に保持されると共に、
部品操作装置１６によって３６００まで回転させられる
。１／６０秒毎に、データ収集装置１１２４により、Ｘ
線検出器１４の６３６個の水平検出素子から透過したＸ
線の強度が収集される。収集されたデータがデータ収集
装置２４から像発生装置２６に送られ、そこでＸ線管の
出力の変化、チャンネルの利得及び感度・の変動に対し
て正規化される。その後データはビーム硬化に対して補
正される。羽根８が垂直方向に走査されるＤＦ像の場合
、データが計算機装置２８に貯蔵される。ＣＴ像の場合
、部品を回転させるが、ＣＴ像を求める為の畳込み積分
及び逆投影による別の処理が像発生器２６で行なわれる
。その後ＣＴ＠！が表示及び貯蔵の為、計算機装置２８
に転送される。

計算機装置２８によって全てのＤＦ像及びＣＴ像が収集
された後、部品操作装置１６が羽根部品８をコンベヤ３
６に戻す。コンベヤ２２が前進し、羽根８が最後にはＸ
線室から、３つの荷卸し部４６．４８．５０の内の１番
目へ出て来る。計算機装置２８がＤＦ像又はＣＴ像を解
析して、羽根の中の廃棄すべききずの場所を同定する。

手動モードでは、オペレータがきすの場所を決定し、き
ずを測定する。次にオペレータが部品の処分を決定し、
或いはＣＴ像の様な一層の解析が必要である場合、自動
きず解析過程が、羽根が受理し得るものであるか廃棄す
べきものであるか或いは更に検査を必要とするかどうか
を決定する。きず報告書が作成され、荷卸し部の灯を作
動して、羽根の処分をオペレータに知らせる。

Ｘ線作像装置６が部品の流れ、計算機のタスクの調整、
オペレータの認定と記録、Ｘ線のウオームアツプと記録
、羽根の作像、データ収集、きずの検出、品質管理計画
の実行、部品の像の記録、部品の流れの解析、及び部品
報告書の作成を制御する。自動モードでは、Ｘ線作像装
置６が実時間で自動的な像の解析を行なう。羽根に対す
る像データは、羽根を操作している間に実時間で得られ
る。

第３Ａ図及び第３Ｂ図は、コンベヤ２２及び鉛遮蔽室の
略図である。Ｘ線検査装置が物理的な部品であるコンベ
ヤ２２によって要求される通りに、逐次的に羽根を処理
する。Ｘ線作像装置の処理量は羽根の走査時間及び羽根
の処理時間によって制限される。羽根の走査時間は羽根
にＸ線を照射する過程、データ収集装置２４、羽根の寸
法及び走査の種類（ＤＦかＣＴ）の関数である。羽根処
理時間は、羽根の像の寸法、像に適用すべき処理、及び
羽根に対する像の数の関数である。Ｘ繰作１象装置は、
実時間動作を達成する為に、その羽根又は次の羽根に対
する走査時間の間に羽根を処理する。

Ｘ線検査装置は手動モードでも自動モードでも動作する
。手動の時、装置はオペレータが羽根の像を撮影し、像
を表示し、羽根の処分をし、必要であれば繰返すことが
出来る様にする。自動モードは自動的なきずの検出、き
ずの解析及び羽根の処分を行なう。Ｘ線検査装置につい
て更に詳しいことは、この出願と同日に出願された係属
中の米国特許出願（出願人控え番号８５−Ｐ−８６７８
）を参照されたい。

（Ｘ　線　源） 第４図はＸ線装置４の電気機械的な構成を示す。

Ｘ線源がＸ線制御装置５２、ｘｍ電源５４，７５ＫＶ逓
昇変圧器５６，２つの２１０ＫＶ高圧発生器５Ｂ、６０
．Ｘ線管１２及び油冷却器（図に示してない）を持って
いる。線路電力がＸｆｔ電源５４を介して７５ＫＶ逓昇
変圧器に供給される。各々の高圧発生器（５８，６０）
は７５ＫＶ逓昇変圧器５６から給電される。各々の高圧
発生器がその電圧をＸ線管に印加して、４２０ＫＶの電
圧を発生する。４２０ＫＶの加速電圧を発生する為に発
生器５８からの２１０ＫＶをＸ線管に印加し、発生器６
０からの２１０ＫＶをＸ線管に印加することは周知であ
る。

・Ｘ線制御装置５２がビーム電流、フィラメント電流及
びフィラメント電圧を調整する。Ｘ線制御装置ｇ５２が
安全インターロック回路を持っていて、過大温度、過大
ワット数又はＸ線装置のドアの開放が感知された場合、
Ｘ線源１２を遮断する。基本的には、Ｘ線制御装置５２
がフィラメント電圧及び電流を制御し、冷却油の温度と
流量を監視し、温度又は電流が予定の値を越えた場合に
、装置の運転を停止し、Ｘ線装置の出入ドアの開放を監
視する。油冷却器はＸ線管のタングステン・ターゲット
から熱を運び去る。油冷却器は油と空気の間の熱交換器
である。

Ｘ線管のキロボルト数レベルは手作業によって設定され
るか、又は、プログラム可能な制御装置２０からの指令
に応答して、Ｄ／Ａ変換回路により、Ｘ線電源５４内で
Ｘ線制御装置５２によって設定される。プログラム可能
な制御装置の作用について詳しいことは、後で説明する
。Ｘ線管が必要とするＸ線管キロボルト数に比例する、
Ｘ線制御装置からの電圧が、Ｘ線電源５４にあるサーボ
装置を駆動する。このサーボ装置が電源５４にあるロー
ラを適当なタップ位置へ駆動する。Ｘ線管に対する一定
電圧を求める為、電源５４内のローラを動かすモータ駆
動装置を不作動にする。モータ駆動サーボ装置は、デー
タを収集している間は不作動にする。このサーボ装置は
時定数が非常に長く、不足減衰になっている。入力線路
電圧の変化する状態に応答して、Ｘ線管の入力には、大
きな過剰補正及び不足補正の電圧の変化が起る。人力線
路の変動を最小限に抑える為、出力側に調和形フィルタ
を持つ線路安定化変圧器６２を用いる。

線路安定化変圧器６２がＸ線管の入力に対する電圧の変
化を最小限に抑える。上に述べた工程により、Ｘ線管に
は一定の電圧が達成される。

Ｘ線検査装置は工場で使う様に開発されているものであ
るから、処理量に大きな関心がある。生産速度に合せる
為、３０秒毎に１つのＤＦ像を求める。走査線１．８０
０本の像では、この為には１７６０秒毎に像の各々の走
査線を収集する必要がある。希望によっては、装置は電
力線路周波数とデータ収集の同期が出来る様にすると共
に、装置内の雑音の影響を最小限に抑える。この装置に
使われる４２０ＫＶｐ（７）Ｘ線管テハ、１７６０秒で
妥当な信号対雑音比が達成される。更によい結果を得る
には、２回以上のデータ収集からのデータを平均するこ
とが出来る。

（Ｘ線検出器） Ａ、線形配列検出器 第４図にはＸ線装置４の走査装置も示されている。Ｘ線
源１２がＸ線源制限器６５を介してＸＵＡ検出器１４に
対し、Ｙ軸に沿った指向性を持つＸ線ビームを発生する
。Ｘ線検出器１４がビーム・コリメータ６６を持ち、こ
れは散乱放射が線形配列検出器６４に入射しない様にす
る。検出器のコリメータ６６が検出器の前に伸びていて
、出来るだけＸ線源からの背景放射を除く。線形配列検
出器６４が、水平軸Ｘに沿って整合した６４０個の個別
の検出素子を持マている。検出器１４は、高圧電源及び
電荷測定装置と共に、ガスを誘電体とする平行極板コン
デンサを含む電離室Ｘ線検出器で構成されている。入射
するＸ線が誘電体材料を電離し、発生したイオンが印加
された電界の作用で、集電極板へ掃引される。測定され
る電流は、入射するＸ線束に比例し、広い電圧範囲にわ
たって、印加電圧に比較的影響されない。電離室及び８
５０　ｇ）を参照されたい。

検出器１４は、検出器のコリメータ及び検出素子をＸ線
ビームの軸線と正確に整合させる様に、非常に精密に組
立てられている。検出器及びコリメータを組立てる方法
が係属中の同日出願の米国特許出願番号第　　　　　号
に記載されている。

Ｘ線検出器は６００個のデータ・チャンネルで構成され
る。Ｘ線検出器１４にある６００個のデータ・チャンネ
ルの他に、３６個の基準チャンネルが設けられている。

主たる配列の両側に夫々１８個の基準チャンネルがあり
、配列からは２２０ミルだけ離れている。基準検出器は
主に２つの作用を持つ。第１に、Ｘ線源の強度変動を考
慮に入れる。更に、基準チャンネルは部品の外波の外側
にあり、従ってＸ線源に対して直接的な空気通路を持っ
ている。即ち、Ｘ線源からは、羽根を通過せずに、基準
チャンネルに入射する。これらのチャンネルの信号レベ
ルに変化があれば、それは源の強度の変化に関係づけら
れる。各々のデータ収集期間の間、データ・チャンネル
は基準チャンネルの平均値に対して正規化する。

第５図にはＸ線源及び線形配列検出器６４の平面図が示
されている。全体を４７０で区切った区域が、タービン
羽根の様な部品が占める区域である。１群の基準検出索
子４７２は、部品の外波４７０の片側に於けるＸ線レベ
ルを標本化して、第１の基準レベルを決定する。別の１
群の基準検出索子４７４が部品外波の反対側に配置され
ていて、Ｘ線源の線束レベルを測定し、第２の基準レベ
ルを決定する。データ・チャンネル信号を正規化する為
、予定数の基準検出器のチャンネルを平均し、その結果
でデータ・チャンネルの値を除算する。

基準検出素子の２番目の作用は、データ収集期間中のサ
イクル毎の小さな差を考慮に入れることである。６０１
１ｚの電力線路を基準クロック６８とすると、この影響
は大抵の部品では割合小さいが、工場の環境では、電力
線路の周期は公称速度から１０マイクロ秒も変化するこ
とがある。６０１１ｚのクロック６８を使う場合、ＤＦ
データ収集では垂直の階段形の寸法の変動が起る。これ
によって、像の画素寸法が可変になり、それが解釈に困
難さを招く。その影響は比較的小さいが、場合によって
は、全ての段（例゛えは、垂直方向の分解能の測定）に
対して段の寸法が同じであることを保証することが好ま
しい。増分の正確な寸法は重要ではない。重要なのは、
増分が常に同じことである。

従って、電力線路周波数６８以外の周波数基準を使うこ
とが役に立つ。特に、部品を位置ぎめする。

部品操作装置は殆んど一定の速度で動く。羽根を約５ミ
ル動かす度に、部品操作装置によってエンコーダ・パル
ス７０が発生される。エンコーダ・パルス７０をプログ
ラム可能な制御装置２０に送り、４れがスイッチ７４に
供給されるエンコーダ・クロック信号７２を発生する。

スイッチ７４が工業用制御装置２１によって制御される
。スイッチ７４はエンコーダ・クロック７２又は６０１
１ｚのクロック６８を像発生器２６に印加することが出
来る様にし、これがデータ収集装置に対するクロック信
号になる。データ収集装置に対するクロックがエンコー
ダ・クロック７２から来る場合、データ収集時間の若干
の変動が起り得る。勿論、これによって基準信号の振幅
に変化が起る。Ｘ線検出器のデータ・チャンネルを基準
検出素子を用いて正規化することにより、こういう変化
を考慮に入れる。この為、基準検出素子は、ＸｇＡ源か
らの信号レベルの変化、並びに６０１１ｚのクロック６
８又はエンコーダ・クロック７２の変動による変化があ
っても、それを補償する。

１０ミル程度の空間的な分解能を達成する為に、標本化
には、中心間５ミルで測定することが必要である。羽根
の幅にわたる全てのデータが、線形配列検出器によつて
同時に求められるから、この為には、個々の検出素子を
中心間５ミルに隔てることが必要である。ＤＦ作像の垂
直方向の分解能と比肩し得る分解能を達成する為には、
やはり５ミルの段階をおいてデータを求めて、１０ミル
の分解能が必要である。空間的な分解能がビーム・コリ
メータ６６によって達成される。このコリメータは、入
射ビームを１／１，０００に減衰させる位に厚手の２つ
のタングステン・ブロックを含んでいて、これらが電離
室の前で１１．５ミル離れている（作像装置の形状によ
る垂直方向の間隔）。検出素子を形成するコンデンサの
極板は、収集極板に直接的に入射するＸ線を避ける為に
、相隔て＼ある。この間隔が、検出素子の所望の応答時
間を達成するのに必要な検出素子の電圧を決定する。空
間的な分解能の条件により、個々の検出素子の間隔及び
垂直移動の増分の大きさが定まる。

羽根の最大寸法が、検出器１４の全体的な寸法、個々の
素子の必要な数、及び完全なりＦ像を完成する為に垂直
方向の走査に於ける段階の数を決定する。典型的なター
ビン羽根は幅３吋、高さ９吋の部品外波４７０内に収ま
る。幅３吋の検出器で、素子の間隔が５ミルである場合
、６００個の検出素子が必要である。

検出器１４は台３０により、６つの軸の内の任意の１つ
の方向に動かすことが出来る。台３０はｘ、　ｙ、　　
ｚ方向に移動するか、又は任意の１つの軸の周りに回転
するが、これは周知である。

Ｂ、検出器を整合させる方法 Ｘ線装置を使う前に、線形配列検出器６４をＸ線源１２
と整合させる。線形配列検出器６４が、水平軸Ｘと整合
した６４０個の個々の検出素子を持っている。実際に使
う場合、６００個の検出索子がデータ・チャンネルであ
り、３６個の検出素子が基準チャンネルであり、４個の
チャンネルは予備である。各チャンネルからの信号をオ
ッシロスコープの水平軸に供給して、Ｘ線源から各チャ
ンネルが受取った強度を表示する。オッシロスコープの
縦軸が強度を表わす。各々の検出素子がＸ線源からの同
じ強度を測定した場合、オッシロスコープを横切って一
定のレベルが現われる。ビーム制限器６５は、互いに約
５０乃至６０ミル隔てた２つのタングステン・ブロック
で構成されている。６軸台３０がＺ、Ｘ及びＹ方向に移
動すると共に、各々の軸の周りに回転し、線形配列検出
器６４を位置ぎめする。第５図はＸ線検出器１４を整合
させる過程を示すフローチャートである。

最初に、ブロック１００で、Ｘ線源と検出器の間のじゃ
まのない通路を設定する。整合手順の初めに、Ｘ線源の
制限器６５を開放して、ブロック１０２に示す様に、検
出器配列６４での減衰を防止する。その後、ブロック１
０４で示す様に、６軸台３０が、各々の検出チャンネル
から最大信号が得られる様に、線形配列検出器６４を位
置ぎめし、検出器の配列を出来るだけ水平にしようとす
る。各々の検出チャンネルからの最大信号が達成された
時、Ｘ線ビーム制限器の開口をブロック１０６で示す様
に半分に縮小する。Ｘ線源の強度が下がらなければ、ブ
ロック１０８で示す様に、検出素子によって制限器６５
と信号の干渉が検出されるまで、Ｘ線源のビーム制限器
６５の幅を縮小する。その後、制限器６５を垂直方向に
動かし、Ｘ軸の周りに移動して、制限器６５の干渉がな
い様にする（ブロック１１０及び１１２）。制限器６５
を最大信号が得られる様に差別的に上下に動かすことに
より、制限器６５がＸＬ’Ａ源のビームに対して対称的
に中心合せされる。ビーム制限器６５の目的は、羽根に
あたる外来放射の量を減らすことである。羽根にあたる
外来放射の量を減少すれば、Ｘ線検出器１４に入る様な
、羽根からの散乱放射の量が減少する。その後、ブロッ
ク１１４゛　　で示す様に、Ｘ線ビーム制限器６５をこ
の位置に。

固定する。検出器のコリメータ６６がＸ線検出器１４に
しっかりと結合されているから、コリメータ６６及び検
出器１４は一体となって動く。Ｙ方向のコリメータ６６
の奥行６丁は約７５０ミルである。開口６９は約１２ミ
ルである。こういう寸法により、検出器１４に入る散乱
放射の量が減少する。コリメータの奥行６７及び高さ６
９が、散乱放射が減衰なしに検出器に入り得る角度を小
さくする。コリメータ６６の高さを増加すると共に開口
６９を減少することによって、検出器１４に入る散乱放
射の量を減少することにより、従来可能であったよりも
一層品質のよい像が得られる。

奥行６７を増加すると共に開口６９を減少することによ
り、Ｙ軸と平行な放射だけが検出器に入ることが出来る
。検出器１４及びコリメータ６６を６軸台３０によって
移動し、最大信号が発生される様にする（ブロック１１
６）。検出器配列６４及びＸ線源１２は、この時最木信
号が得られる様に整合している。

検出器を整合させる時の最も重要な部分の１つは、検出
器配列の中心を、部品操作装置の心棒のＺ軸の周りの回
転軸線とＸ線焦点スポットの間に引いた直線と同一直線
上にすることである。この機能が、延長フランジを持つ
捕捉装置をＸ線ビーム内で回転させることによって行な
われる。第６図は延長フランジ７５を持つ捕捉装置３９
を示している。第４図に戻って説明すると、捕捉装置３
９の中心回転軸線は、部品操作装置の心棒７６の中心回
転軸線と同じである。捕捉装置３９が、プランジャ８６
を自動心合せ空所９０に押込むことにより、部品操作装
置の心棒７６にしっかりと結合され且つ心合せされてい
る。捕捉装置３９及び部品操作装置の心棒７６の機能的
な協働関係と部品について詳しいことは、第９Ａ図乃至
第９Ｃ図を参照されたい。

データ検出器がオッシロスコープの面全体にわたる様に
、オッシロスコープのトレースを調節する。捕捉装置３
９を部品操作装置の心棒７６に保持し、それを回転させ
て、延長フランジを検出器配列の一方の縁の上にのせ、
Ｘ線ビーム１３の中へと上向きに移動して、延長フラン
ジ７５だけがＸ線源１２と検出器１４の間のビーム１３
を遮る様にする。フランジ７５が交差することによって
影響を受ける検出器のチャンネルは、他の多数の素子に
較べて、信号の値が減少して、オッシロスコープに現わ
れる。フランジ７５の縁から、最初の縁の検出素子がオ
ッシロスコープから正確に決定される。その後、捕捉装
置３９を１０００回転する。２番目の縁の検出素子を決
定する。線形配列検出器６４を右又は左に移動して、第
１及び第２の縁の検出素子が、オッシロスコープのスク
リーンの夫々の縁から同じ相対位置になる様にする。

これを検査するには、捕捉装置を１８０”回転して、第
１の縁の検出素子の位置に注目し、捕捉装置を１０００
回転して、第２の縁の検出素子の位置に注目する。これ
を繰返して、検出器配列の中心が部品操作装置のＺ軸の
周りの回転軸線と殆んど一致するように、線形配列検出
器６４を調節する。

その後、精密級真鍮円筒を捕捉装置に入れる。

真鍮円筒が、Ｘ線源の焦点から部品操作装置の回転軸線
の中心までの距１！１ｔ（Ｙｌ）と、線形配列検出器６
４と部品操作装置の回転軸線の中心の間の距離（Ｙ２）
とを測定する為の面になる。パラメータＹｌ、Ｙ２を用
いて、Ｘ線装置の倍率が決定される。倍率は（Ｙ１＋Ｙ
２）／Ｙ１に等しい。

検出器を整合させることにより、散乱放射がＸ線像を乱
すことがなくなり、解像度が更に高い像が得られ、信号
対雑音比が改善される。

これまで説明したこの発明の実施例が例にすぎず、当業
者にその変更が考えられることは言うまでもない。従っ
て、この発明はニーで説明した実施例に制限されるもの
ではなく、特許請求の範囲によって限定されることを承
知されたい。

【図面の簡単な説明】

第１図はＸ線検査装置の基本的な部品を示す略図、 第２図は機関のタービン羽根を示す図、Ｔｉ３　Ａ図及
び第３Ｂ図はコンベヤ装置と鉛遮蔽室の略図、 第４図はＸ線装置の電気機械的な構成を示す図、第５図
はＸ線源、Ｘ線検出器及び部品の囲いを示す略図、 第６図は検出器をＸ線源と整合させる方法を示す工程図
である。 主な符号の説明 １２：Ｘ線源 １３：Ｘ線ビーム １４：Ｘ線検出器 ６５：制限器

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｘ線放射ビームを発生するＸ線源、Ｘ線ビームを差向け
   るビーム制限器、及び受取ったＸ線放射をそれを表わす
   電気信号に変換する検出素子を持つ線形配列Ｘ線検出器
   を持っていて、製造部品の非破壊的な測定及び試験を行
   なう計算機をベースとした装置で、線形配列検出器を位
   置ぎめする方法に於て、 ことごとくの検出素子を照射する様に前記ビーム制限器
   のすき間を開き、 各々の検出素子から信号を発生する様に線形配列検出器
   を位置ぎめし、 ビーム制限器のすき間を縮小し、 各々の検出素子からの信号を評価して、ビーム制限器の
   位置を変えることによって各々の検出素子からの最大信
   号を求め、 最大信号を発生する様に線形配列検出器を位置ぎめする
   工程を含む方法。