DE3705423A1 - Verfahren zum ausrichten eines roentgenstrahlendetektors mit einem linearen feld - Google Patents
Verfahren zum ausrichten eines roentgenstrahlendetektors mit einem linearen feldInfo
- Publication number
- DE3705423A1 DE3705423A1 DE19873705423 DE3705423A DE3705423A1 DE 3705423 A1 DE3705423 A1 DE 3705423A1 DE 19873705423 DE19873705423 DE 19873705423 DE 3705423 A DE3705423 A DE 3705423A DE 3705423 A1 DE3705423 A1 DE 3705423A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- ray
- detector
- blade
- limiter
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/28—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures
- G01B7/285—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring contours or curvatures of propellers or turbine blades
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/04—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring contours or curvatures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich allgemein auf ein Verfahren zum Aus
richten einer Röntgenstrahlenquelle und eines Röntgenstrahlen
detektors und insbesondere auf ein Verfahren zum Ausrichten
eines ein lineares Feld (Array) aufweisenden Röntgenstrahlen
detektors in einem automatisierten, digitalen Röntgenstrahlen
inspektionssystem zum prüfen von Gasturbinenschaufeln.
Die Fertigung von hochleistungsfähigen, brennstoffeffizienten
Flugzeugturbinenschaufeln hat zu der Entwicklung von Turbinen
schaufeln geführt, die komplexe Innenkanäle und Öffnungen zur
Schaufeloberfläche zur Schaufelkühlung aufweisen. Leistungs
fähigkeit und Lebensdauer der Schaufeln hängen von der Ferti
gung dieser inneren Strukturen innerhalb von Spezifikationen
ab. Es besteht eine große Wahrscheinlichkeit für Schaufelfehler
durch Maschinenbeschädigungen, Unvollständigkeit der Mission
und Gefahr für personen. Aus diesen Gründen ist eine 100%ige
lnspektion der Turbinenschaufeln wichtig für die Öffentlichkeit
und es besteht seit langem ein Bedürfnis für ein stärker auto
matisiertes digitales Röntgenstrahlen-Insektionssystem.
Eine Röntgenstrahlen-Inspektionsstation zum Prüfen der Turbinen
schaufeln weist eine Röntgenmaschine und ein Röntgenbildsystem
auf. Die Röntgenmaschine enthält eine Röntgenstrahlenquelle zum
Richten eines Röntgenstrahlenbündels, einen Röntgendetektor mit
einem linearen Feld (Array) zum Empfangen der Strahlung und zum
Erzeugen von die Strahlung darstellender elektrischer Signale,
Manipulierungsteile und Mittel auf zum Steuern der Zuführung der
Teile zu der Röntgenmaschine. Das Röntgenabbildungssystem ent
hält Computer-Hardware und Software zum Erfassen von Röntgenda
ten, Bilderzeugung, Speicherung, Anzeige, Durchführung von
Rechnungen und Steuerung der Röntgenmaschine. Das System ist ein
produktionsartiges, automatisiertes Inspektionsmodul, das interne
Risse in einzelnen Turbinenschaufeln eines Strahltriebwerks de
tektieren kann. Das Röntgeninspektionssystem ist geeignet für
eine manuelle oder automatische Röntgen-Computertomographie
(CT) oder digitale Durchleuchtungsinspektion von Gasturbinen
schaufeln. Jede Schaufel wird in einen Greifer geladen und dann
auf einem Transportband angeordnet. Die Schaufel und der Greifer
werden dann automatisch zu einer Teile-Inspektionsstation trans
portiert. Ein Teile-Manipulator bewegt die Schaufel und den Grei
fer von dem Transportinspektionssystem und bewegt den Greifer
und die Schaufel in das Röntgenstrahlenbündel. Der Teile-Manipu
lator besitzt zwei Bewegungsachsen, die vertikale Translation
senkrecht zu dem Röntgenstrahlenbündel und eine Drehbewegung um
die senkrechte Achse. Der Teile-Manipulator bewegt die Schaufel
geradlinig zum Erzeugen eines digitalen Durchleuchtungsbildes.
Der Teile-Manipulator dreht die Schaufel in dem Röntgenstrahlen
bündel zum Erzeugen eines Computertomographiebildes. Nachdem die
Abtastung (Scan) abgeschlossen ist, wird die Schaufel auf die
Transporteinrichtung zurückgebracht. Wenn die Schaufeln durch die
Transporteinrichtung wegbewegt sind, werden sie zu einer Entnah
mestation transportiert, wo sie von einem Operator abgenommen
werden.
Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zum Ausrichten des
ein lineares Feld aufweisenden Röntgendetektors mit dem gerich
teten Bündel aus der Röntgenstrahlenquelle zu schaffen.
Das Röntgen-Inspektionssystem weist eine Röntgenstrahlenquelle
zum Erzeugen eines gerichteten Röntgenstrahlungsbündels und einen
Röntgendetektor mit einem linearen Feld von Detektorelementen
auf zum Empfangen von Strahlung und zum Generieren elektrischer
Signale, die die Strahlung darstellen. Für maximale Detektor
elementsignale wird der Detektor mit dem gerichteten Röntgenstrah
lungsbündel ausgerichtet. Das Verfahren beinhaltet, daß jedes
Teil zwischen der Röntgenquelle und dem linearen Felddetektor
beseitigt wird, ein Röntgenstrahlenbegrenzer geöffnet wird, der
lineare Felddetektor für ein maximales Signal von jedem Detektor
element positioniert wird, die Röntgenstrahlenbegrenzeröffnung
verkleinert wird, das Signal von jedem Detektorelement ausgewer
tet wird, der Röntgenstrahlenbegrenzer für maximale Detektor
elementsignale bewegt wird, der Röntgenstrahlenbegrenzer befe
stigt wird und der lineare Felddetektor für ein maximales Signal
positioniert wird.
Die Erfindung wird nun mit weiteren Merkmalen und Vorteilen an
hand der Beschreibung und Zeichnung von Ausführungsbeispielen
näher erläutert.
Fig. 1 - zeigt die Hauptkomponenten des Röntgen-Inspektions
systems.
Fig. 2 - zeigt eine Turbinenschaufel.
Fig. 3A-B - zeigen eine schematische Darstellung des Transport
systems und der abgeschirmten Bleikammer.
Fig. 4 - zeigt die elektromechanische Einrichtung der Röntgen
maschine.
Fig. 5 - zeigt eine Darstellung der Röntgenquelle, des Röntgen
detektors und des Teilumrisses.
Fig. 6 - zeigt in einem Fließbild ein Verfahren zum Ausrichten
des Detektors und der Röntgenstrahlenquelle.
Fig. 1 stellt die Hauptkomponenten des Röntgen-Inspektionssystems
2 dar. Das Röntgen-Inspektionssystem 2 weist eine Röntgenmaschi
ne 4 und ein Röntgenbildsystem 6 auf. Die Röntgenmaschine 4
enthält eine Röntgenstrahlenquelle 12, einen Röntgendetektor 14,
einen Teile-Manipulator 16, einen programmierbaren Regler 20,
einen industriellen Regler 21, eine um sechs Achsen bewegbare
Plattform 30 und ein Transportbandsystem 22. Das Röntgenbild
system 6 enthält ein Datenerfassungssystem 24, ein Bildgenera
tionssystem 26, ein Computersystem 28, eine Operator-Konsole 19,
eine Operator-Anzeige 18, ein Tastenfeld 601, einen Anzeigepro
zessor 23, eine Anzeige 32 mit hohem Auflösungsvermögen und einen
Balkencodeleser 34.
Teile 8, wie beispielsweise Triebwerksschaufeln, werden durch
das Transportbandsystem 22 in die Röntgenmaschine 4 eingeführt.
Zwar wird die Erfindung unter Bezugnahme von Schaufeln näher be
schrieben, es sei jedoch darauf hingewiesen, daß die Einrichtung
und das Verfahren gemäß der Erfindung auf zahlreiche andere ge
fertigte Gegenstände angewendet werden können. Hierzu gehören
beispielsweise Kompressor- oder Turbinenschaufeln, Leitschaufeln,
Düsen, Thermoelemente usw. Fig. 2 zeigt eine typische Trieb
werksschaufel. Bei der Einrichtung gemäß Fig. 1 lädt ein Opera
tor eine Schaufel 8 in einen Greifer 38, der auf dem Transport
band 22 durch einen Träger 40 gehalten ist, der auf dem Trans
portband 22 durch Rollen 42 abgestützt ist.
Der Operator informiert das Röntgen-Inspektionssystem 2 über die
Teile-Nummer der Schaufel und die erforderliche Inspektionsart.
Der Operator drückt gleichzeitig die Startknöpfe 41 und 43. Das
Transportband 22 transportiert die Schaufel 8 in der durch den
Pfeil gezeigten Richtung durch 18 Stationen oder positionen zu
einer Inspektionsstation 44. Die Inspektionsstation 44 befindet
sich innerhalb einer abgeschirmten Bleikammer (in Fig. 3 ge
zeigt). Der numerisch gesteuerte Teile-Manipulator 16 nimmt den
Greifer 38 mit der Schaufel 8 von dem Transportband 16 und posi
tioniert sie in einer geeigneten Form in einem gerichteten
Röntgenstrahlenbündel 36 zwischen der Röntgenquelle 12 und dem
Röntgendetektor 16.
Das Röntgenbildsystem 6 erzeugt nach einem Schaufelinspektions
plan ein digitales Durchleuchtungsbild oder ein Computertomo
graphiebild. Für digitale Durchleuchtungsbilder wird die Schau
fel 8 in einer konstanten Winkelstellung gehalten und durch den
Teile-Manipulator 16 vertikal durch das Röntgenstrahlenbündel
bewegt. Für Computertomographiebilder wird die Schaufel 8 in
einer konstanten vertikalen Stellung gehalten und durch den Teile-
Manipulator 16 bis zu 360° gedreht. Zu jedem sechzigsten Teil
einer Sekunde wird die Intensität der durchgelassenen Röntgen
strahlen von 636 horizontalen Detektorelementen des Röntgende
tektors 14 durch das Datenerfassungssystem 24 gesammelt. Die ge
sammelten Daten werden von dem Datenerfassungssystem 24 zum Bild
erzeugungssystem 26 geleitet, wo sie normalisiert werden im Hin
blick auf Änderungen in der Ausgangsgröße der Röntgenröhre, der
Kanalverstärkung und Empfindlichkeitsänderungen. Die Daten wer
den dann korrigiert für eine Bündelhärtung. Im Falle eines Durch
leuchtungsbildes, bei dem die Schaufel 8 vertikal abgetastet
wird, werden die Daten in einem Computersystem 28 gespeichert.
Im Falle von Computertomographiebildern (CT-Bilder), bei denen
das Teil gedreht wird, erfolgt eine weitere Bearbeitung durch
Faltung und Rückprojektion zum Erhalten des CT-Bildes in dem Bild
generator 26. Das CT-Bild wird dann zum Computersystem 28 zurück
transportiert für eine Anzeige und Speicherung. Nachdem alle
Durchleuchtungsbilder und CT-Bilder durch das Computersystem 28
gesammelt sind, transportiert der Teile-Manipulator 16 die Schau
fel 8 zurück zum Transportband 22. Das Transportband 22 bewegt
sich weiter, und eine Schaufel 8 tritt dann aus der Röntgenstrah
lenkammer in die erste von drei Entnahmestationen 46,48 und 50
aus. Das Computersystem 28 analysiert das Durchleuchtungsbild
oder das CT-Bild zum Identifizieren der Lage von unzulässigen
Rissen in der Schaufel. Im manuellen Betrieb ermittelt der Opera
tor die Risslage und mißt die Risse. Der Operator bestimmt dann
die Disposition des Teils, oder/wenn eine weitere Analyse, bei
spielsweise wenn ein CT-Bild erforderlich ist, ermittelt ein
automatischer Rißanalyseprozeß, ob die Schaufel akzeptabel ist
oder zurückgewiesen werden muß oder eine weitere Inspektion er
fordert. Es wird ein Rißreport erzeugt, und Lichter auf der
Entnahmestation werden aktiviert, um den Operator über die
Schaufeldisposition zu informieren.
Das Röntgenbildsystem 6 steuert die Teilebewegung, Computerauf
gabenkoordination, Operatorbestätigung und Protokollierung,
Röntgenaufwärmung und Protokollierung, Schaufelabbildung, Daten
erfassung, Rißabtastung, Qualitätsausführungsplan, Teilebild
speicherung, Teilebewegungsanalyse und Teilereportgeneration.
Im automatischen Betrieb führt das Röntgenbildsystem 6 eine auto
matische Bildanalyse in Echtzeit durch. Die Bilddaten für eine
Schaufel werden in Echtzeit erhalten, während die Schaufel ge
handhabt bzw. manipuliert wird.
Fig. 3A-B zeigen eine schematische Darstellung der Transport
einrichtung 22 und der abgeschirmten Bleikammer. Das Röntgen-
Inspektionssystem verarbeitet Schaufeln in einer Reihenfolge,
die durch das Teiletransportband 22 diktiert wird. Der Durchsatz
des Röntgenbildsystems ist durch die Abtastzeit der Schaufel und
die Bearbeitungszeit der Schaufel begrenzt. Die Schaufelabtast
zeit ist eine Funktion der physikalischen Eigenschaften der Rönt
genbestrahlung der Schaufel, des Datenerfassungssystems 24 der
Größe der Schaufel und der Art der Abtastung (Durchleuchtung oder
Computertomographie). Die Schaufelbearbeitungszeit ist eine Funk
tion der Größe des Schaufelbildes, der Bearbeitung, die an dem
Bild vorzunehmen ist, und der Anzahl von Bildern für die Schau
fel. Das Röntgenbildsystem bearbeitet eine Schaufel während der
Abtastzeit der Schaufel oder der nächsten Schaufel, um einen
Echtzeitbetrieb zu erreichen.
Das Röntgen-Inspektionssystem arbeitet entweder in einem manuellen
oder automatischen Betrieb. Im manuellen Betrieb gestattet das
System dem Operator, ein Schaufelbild, eine Anzeige des Bildes,
eine Schaufeldisposition zu machen und zu wiederholen, falls es
erforderlich ist. Der automatische Betrieb führt automatische
Rißdetektion, Rißanalyse und Schaufeldisposition durch.
Fig. 4 zeigt die elektromechanische Einrichtung der Röntgen
maschine 4. Die Röntgenquelle enthält eine Röntgen-Steuereinheit
52, eine Röntgennetzeinspeisung 54, einen 75KV Aufwärtstransfor
mator 56, zwei 210KV Hochspannungsgeneratoren 58 und 60, die
Röntgenröhre 12 und einen Ölkühler (nicht gezeigt). Die Netzlei
stung wird dem 75KV Aufwärtstransformator über die Röntgenein
speisung 54 zugeführt. Jeder Hochspannungsgenerator 58, 60 wird
aus dem 75KV Aufwärtstransformator 56 gespeist. Jeder Hochspan
nungsgenerator legt seine Spannung an die Röhre an, um eine
420KV Spannung zu erzeugen. Die Anlegung von 210KV vom Generator
58 an die Röhre und von 210KV vom Generator 60 an die Röhr zum
Erzeugen einer Beschleunigungsspannung von 420KV ist allgemein
bekannt.
Der Röntgenregler 52 regelt den Strahlstrom, den Fadenstrom und
die Fadenspannung. Der Röntgenregler 52 hat eine Sicherheitsver
riegelungsschaltung zum Abschalten der Röntgenquelle 12, wenn
Übertemperatur, Überleistung oder ein Öffnen der Röntgenmaschinen
tür abgetastet wird. Im Grunde regelt der Röntgenregler 52 die
Fadenspannung und -strom, überwacht die Temperatur und die Strö
mung des Kühlöls, schaltet das System ab, wenn Temperatur oder
Strom vorbestimmte Werte überschreiten, und überwacht das Öffnen
der Zugangstür zur Röntgenmaschine. Der Ölkühler zieht die Wärme
von dem Wolframtarget in der Röntgenröhre ab. Der Ölkühler ist
ein Öl/Luft-Wärmetauscher.
Eine Hochspannung für die Röntgenröhre wird manuell oder durch
den Röntgenregler 52 in der Röntgeneinspeisung 54 durch einen
Digital/Analog-Wandler bei Befehlen von einem programmierbaren
Regler 20 eingestellt. Die Spannung von dem Röntgenregler, pro
portional zur Hochspannung, die von der Röntgenröhre gefordert
wird, steuert ein Servosystem in der Röntgeneinspeisung 54. Das
Servosystem steuert eine Rolle in der Einspeisung 54 auf einen
entsprechenden Abzapfpunkt. Um eine konstante Spannung an der
Röntgenröhre zu erhalten, wird ein Motorantrieb abgeschaltet,
der die Rolle in der Leistungseinspeisung 54 bewegt. Das Motor
antriebs-Servosystem ist abgeschaltet, während Daten empfangen
werden. Das Servosystem hat eine sehr lange Zeitkonstante und
ist ungedämpft. Bei sich ändernden Netzeingangsspannungen treten
große Überkorrektur- und Unterkorrektur-Spannungsschwingungen
am Eingang zur Röntgenröhre auf. Um diese Änderungen auf der
Eingangsleistung möglichst klein zu halten, wird ein Netzstabili
sierungstransformator 62 mit einem harmonischen Filter am Aus
gang verwendet.Der Netzstabilisierungstransformator 62 minimiert
Spannungsänderungen am Eingang zur Röntgenröhre. Diese Maßnahmen
sorgen für eine konstante Spannung an den Röntgenröhren.
Da das Röntgen-Inspektionssystem für eine fabrikmäßige Benutzung
entwickelt ist, ist der Durchsatz ein wesentlicher Faktor. Um
mit Produktionsraten Schritt zu halten, wird ein Durchleuchtungs
bild in jeweils 30 Sekunden erhalten. Für ein 1800 Zeilen auf
weisendes Bild erfordert dies, daß jede Zeile des Bildes in ein
sechzigstel Sekunden erhalten wird. Auf Wunsch gestattet das
System eine Synchronisation der Datenerfassung durch die Netz
frequenz, um die Wirkungen von Rauschen im System möglichst klein
zu halten. Für die 420KV-Röntgenröhre, wie sie in diesem System
verwendet wird, wird ein vernünftiges Signal/Rauschverhältnis
in 1/60 Sekunde erreicht. Für bessere Ergebnisse können die Daten
von mehr als einer Datenerfassung gemittelt werden.
In Fig. 4 ist auch die Abtasteinrichtung der Röntgenmaschine 4
gezeigt. Die Röntgenquelle 12 erzeugt ein gerichtetes Röntgen
strahlenbündel entlang der Y-Achse durch einen Röntgenquellen
begrenzer 65 auf einen Röntgendetektor 14. Der Röntgendetektor 14
weist einen Bündelkollimator 66 auf, der verhindert, daß Beu
gungsstrahlung auf einen linearen Array-Detektor 64 auftrifft.
Der Detektorkollimator 66 erstreckt sich von dem Detektor nach
vorne, um möglichst viel Hintergrundstrahlung von der Röntgen
quelle zu eliminieren. Der lineare Array-Detektor 64 weist 640
einzelne Detektorelemente auf, die entlang der horizontalen
Y-Achse ausgerichtet sind. Der Detektor 14 besteht aus einem
Ionisationskammer-Röntgendetektor, der einen aus parallelen
Platten bestehenden Kondensator mit einem gasförmigen Dielek
trikum zusammen mit einer Hochspannungseinspeisung und einer
Ladungsmeßvorrichtung aufweist. Auftreffende Röntgenstrahlen
ionisieren das dielektrische Material, und die gebildeten Ionen
werden unter dem Einfluß eines angelegten elektrischen Feldes
zu den Kollektorplatten geschwämmt. Der gemessene Strom ist pro
portional zu dem auftreffenden Röntgenfluß und ist relativ unab
hängig von der angelegten Spannung über einen breiten Spannungs
bereich.
Der Detektor 14 wird sehr präzise zusammengebaut, um den Detek
torkollimator und die Detektorelemente exakt mit der Röntgen
bündelachse auszurichten.
Der Röntgendetektor besteht aus 600 Datenkanälen. Zusätzlich zu
den 600 Datenkanälen in dem Röntgendetektor 64 sind 36 Referenz
kanäle vorgesehen. Es gibt 18 Referenzkanäle auf jeder Seite des
Hauptfeldes und von diesen durch 5,5 mm (220/1000 Zoll) ge
trennt. Die Referenzdetektoren haben zwei Hauptfunktionen. Der
erste ist, Intensitätsschwankungen in der Röntgenquelle zu be
rücksichtigen. Zusätzlich sind die Referenzkanäle außerhalb des
Teileumrisses und liegen somit in einer direkten Luftbahn zur
Quelle. Das bedeutet, daß die Röntgenstrahlen auf die Referenzka
näle auftreffen, ohne durch die Schaufel hindurchzutreten. Jede
Signaländerung in diesen Kanälen steht in Beziehung zu Änderun
gen in der Quellen-Intensität. Die Datenkanäle sind während je
des Datenerfassungsintervalls auf den Mittelwert in dem Referenz
kanal normiert.
In Fig. 5 ist eine Draufsicht auf die Röntgenquelle und den li
nearen Array-Detektor 64 gezeigt. Der mit 470 bezeichnete Be
reich wird durch ein Teil, beispielsweise eine Turbinenschaufel,
eingenommen. Eine Bank von Referenzdetektoren 472 sampeln den
Röntgenwert auf einer ersten Seite des Teileumrisses 74, um einen
ersten Referenzpegel zu ermitteln. Eine andere Bank aus Referenz
detektoren 474 ist auf der gegenüberliegenden Seite des Teile
umrisses angeordnet, um den Flußpegel der Röntgenquelle zu messen,
um einen zweiten Referenzpegel zu ermitteln. Um die Datenkanal
signale zu normieren, wird eine vorbestimmte Anzahl von Referenz
detektorkanälen gemittelt und die Ergebnisse durch die Datenka
nalwerte dividiert.
Die zweite Funktion der Referenzdetektoren besteht darin, kleine
Unterschiede in dem Datenerfassungs-Intervall von Periode zu
Periode zu berücksichtigen. Bei dem 6OHz-Netz als Referenztakt
68 ist dieser Effekt recht klein für den größten Teil, obwohl
in einer Fabrikumgebung die Netzleistungsperiode um einige zehn
Mikrosekunden von ihrer nominellen Rate abweichen kann. Änderun
gen in der vertikalen Schrittgröße für eine Durchleuchtungs-
Datenerfassung treten auf, wenn der 6OHz-Takt 68 verwendet wird.
Dies hat variable Pixelgrößen im Bild zur Folge, die Schwierig
keiten bei der Interpretation verursachen können. Obwohl dieser
Effekt recht klein ist, wird es gelegentlich vorgezogen, sicher
zustellen, daß die Schrittgröße für alle Schritte gleich ist
(beispielsweise in Messungen mit vertikaler Auflösung). Die exak
te Größe des Inkrements ist nicht wichtig. Wichtig dagegen ist
die Tatsache, daß das Inkrement immer das gleiche ist. Deshalb
ist es nützlich, eine andere Frequenzreferenz als die Netz
frequenz 68 zu verwenden. Der Teile-Manipulator zum Positio
nieren des Teils bewegt sich mit nahezu konstanter Geschwindig
keit. Ein Codier-Impuls 70 wird durch den Teile-Manipulator immer
dann generiert, wenn die Schaufel etwa 0,125 mm (5/1000 Zoll)
bewegt wird. Der Codier-Impuls 70 wird dem programmierbaren Reg
ler 20 zugeführt, der ein Codier-Taktsignal 72 generiert, das
einem Schalter 74 zugeführt wird. Der Schalter 74 wird durch
den industriellen Regler 21 gesteuert. Der Schalter 74 gestattet,
daß entweder der Codier-Takt 72 oder der 60 Hz-Takt 68 an den
Bildgenerator 26 angelegt wird, der das Taktsignal für das Daten
erfassungssystem liefert. Wenn der Takt für das Datenerfassungs
system von dem Codier-Takt 72 kommt, können ebenfalls leichte
Änderungen in der Datenerfassungszeit auftreten. Dies hat selbst
verständlich Änderungen in der Amplitude des Referenzsignals zur
Folge. Diese Änderungen werden durch Normierung der Datenkanäle
in dem Röntgendetektor mit den Referenzdetektoren berücksichtigt
bzw. ausgeglichen. Somit kompensieren die Referenzdetektoren
jede Änderung im Signalpegel von der Röntgenquelle und alle
Änderungen, die durch Abweichungen entweder in dem 60 Hz-Takt
68 oder dem Codier-Takt 72 hervorgerufen werden.
Um eine räumliche Auflösung in der Größenordnung von 0,25 mm
(10/1000 Zoll) zu erreichen, erfordert das Sampling-Theorem
Messungen auf der Basis von 0,125 mm (5/1000 Zoll) Mittelab
ständen. Da alle Daten über der Breite der Schaufel durch den
linearen Array-Detektor gleichzeitig genommen werden, erfordert
dies, daß die einzelnen Detektorelemente mit ihren Mittelpunkten
im Abstand von 0,125 mm (5/1000 Zoll) angeordnet sind. Um eine
vergleichbare Auflösung der vertikalen Auflösung des Durchleuch
tungsbildes zu erreichen, ist wiederum eine Auflösung von 0,25
mm erforderlich, wobei die Daten in Schritten von 0,125 mm ent
nommen werden. Die räumliche Auflösung wird durch den Bündel
kollimator 66 erreicht, der zwei Wolframblöcke aufweist, die
dick genug sind, um das auftreffende Bündel um einen Faktor von
1000 zu dämpfen, und sie sind im Abstand von 0,38 mm zueinander
vor der Ionisationskammer angeordnet (vertikaler Abstand auf
grund der Geometrie des Abbildungssystems). Die Platten des Kon
densators, die den Detektor bilden, sind im Abstand zueinander
angeordnet, um zu verhindern, daß Röntgenstrahlen direkt auf die
Sammlerplatten auftreten. Dieser Abstand bestimmt die erforder
liche Detektorspannung, um die gewünschte Detektoransprechzeit
zu erreichen. Die Erfordernisse hinsichtlich der räumlichen Auf
lösung bestimmen den Abstand der einzelnen Detektorelemente und
die Größe des vertikalen Bewegungsinkrements.
Die maximale Schaufelgröße bestimmt die Gesamtabmessungen des
Detektors 14, die erforderliche Anzahl einzelner Elemente und
die Anzahl von Schritten bei der vertikalen Abtastung, um ein
volles Durchleuchtungsbild zu erreichen. Eine übliche Turbinen
schaufel paßt in einen Teileumriß 470, der etwa 7,5 cm breit
und etwa 22,5 cm hoch ist. Bei einem 7,5 cm breiten Detektor
mit Elementen, die im Abstand von jeweils 0,125 mm angeordnet
sind, sind 600 Detektor-Elemente erforderlich.
Der Detektor 14 kann in jeder von sechs Achsen durch die Platt
form 30 bewegt werden. Die Plattform 30 bewegt sich in üblicher
Weise in den X-, Y- und Z-Richtungen oder dreht sich um eine
der Achsen.
Bevor die Röntgenmaschine benutzt wird, wird der ein lineares
Feld (Array) aufweisende Detektor 64 mit der Röntgenquelle 12
ausgerichtet. Der lineare Array-Detektor 64 weist 640 einzelne
Detektor-Elemente auf, die entlang der horizontalen Achse X
ausgerichtet sind. Bei einem praktischen Ausführungsbeispiel
sind 600 Detektor-Elemente Datenkanäle, 36 Detektor-Elemente
sind Referenzkanäle und 4 Kanäle sind reserviert. Das Signal
von jedem Kanal wird der horizontalen Achse eines Oszilloskops
zugeführt zur Anzeige der Intensität, die durch jeden Kanal von
der Röntgenquelle empfangen wird. Die vertikale Achse auf dem
Oszilloskop stellt die Intensität dar. Wenn jedes Detektor-Ele
ment die gleiche Intensität von der Röntgenquelle mißt, er
scheint ein konstanter Pegel auf dem Oszilloskop. Der Bündel
begrenzer 65 weist zwei Wolframblöcke auf, die im Abstand zuein
ander von etwa 1,25 bis 1,5 mm (50 bis 60/1000 Zoll) angeordnet
ist. Eine Sechs-Achsen-Plattform 30 bewegt sich in den Z-, X-
und Y-Richtungen und dreht sich um jede Achse, um den Array-De
tektor 64 zu positionieren. Fig. 6 ist ein Fließbild und stellt
das Verfahren zum Ausrichten des Röntgendetektors 14 dar.
Zunächst wird eine ungehinderte Bahn zwischen der Quelle und dem
Detektor hergestellt (Kästchen 100). Um das Ausrichtverfahren
zu beginnen, ist der Röntgenbündelbegrenzer 65 geöffnet, um eine
Dämpfung auf dem Detektorfeld 64 zu verhindern (Kästchen 102).
Die Sechs-Achsen-Plattform 30 positioniert dann den linearen
Array-Detektor 64 für ein maximales Signal von jedem Detektor
kanal, wobei versucht wird, daß das Detektorfeld so horizontal
wie möglich ist (Kästchen 104). Wenn das maximale Signal von je
dem Detektorkanal erhalten wird, wird die Öffnung des Röntgen
bündelbegrenzers auf die Hälfte verkleinert (Kästchen 106). Wenn
die Intensität der Röntgenquelle nicht abfällt, wird die Breite
des Röntgenbündelbegrenzers 65 verkleinert, bis eine Einwirkung
mit dem Signal durch den Begrenzer 65 von den Detektor-Elementen
detektiert wird (Kästchen 108). Der Begrenzer 65 wird dann ver
tikal bewegt und um die X-Achse verschoben, um eine Nichtein
wirkung von dem Begrenzer 65 zu erreichen (Kästchen 110 und
112). Wenn der Begrenzer 65 nun unterschiedlich nach oben und
unten bewegt wird für ein maximales Signal, dann wird der Begren
zer 65 symmetrisch um das Röntgenstrahlenbündel zentriert. Die
Aufgabe des Bündelbegrenzers 65 besteht darin, den Betrag an
Fremdstrahlung zu verkleinern, die auf eine Schaufel auftrifft.
Durch Verkleinern der Größe der auf die Schaufel auftreffenden
Fremdstrahlung wird die Größe von Streustrahlung von der Schau
fel vermindert, die in den Röntgendetektor 14 eintritt. Der
Röntgenbündelbegrenzer 65 wird dann in dieser Position fixiert
(Kästchen 114). Da der Detektorkollimator an dem Röntgendetektor
14 fest angebracht ist, bewegen sich der Kollimator 66 und der
Detektor 14 als eine Einheit. Die Tiefe 67 des Kollimators 66
in der Y-Richtung beträgt etwa 1,8 cm (3/4 Zoll). Die Öffnung
69 beträgt etwa 0,3 mm (12/1000 Zoll). Diese Abmessungen ver
kleinern die Größe von Streustrahlung, die in den Detektor 14
eintritt. Die Tiefe 67 und die Höhe 69 des Kollimators 66 ver
kleinern den Winkel, durch den Streustrahlung ungedämpft in den
Detektor eintreten kann. Das Verkleinern des Betrages an in
den Detektor 14 eintretender Streustrahlung durch Vergrößern der
Höhe des Kollimators 66 und durch Verkleinern der Öffnung 69
erzeugt ein Bild mit höherer Qualität als dies bisher möglich
war. Das Vergrößern der Tiefe 67 und das Verkleinern der Öffnung
69 gestattet, daß nur Strahlung parallel zur Y-Achse in den De
tektor eintritt. Der Detektor 14 und der Kollimator 66 werden
durch die Sechs-Achsen-Plattform 30 bewegt, um ein maximales
Signal zu erzeugen (Kästchen 116). Das Detektorfeld 64 und die
Röntgenquelle 12 sind nun für ein maximales Signal ausgerichtet.
Einer der kritischsten Abschnitte beim Ausrichten des Detektors
besteht darin, die Mitte des Detektorfeldes kollinear mit der
geraden Linie zu machen, die zwischen dem Röntgenbrennpunkt durch
die Achse der Drehung um die Z-Achse des Teile-Manipulatordorns
gezogen wird. Diese Funktion wird dadurch ausgeführt, daß ein
Greifer mit einem Verlängerungsflansch in dem Röntgenbündel
gedreht wird. Fig. 4 zeigt einen Greifer 38 mit einem Verlän
gerungsflansch. Dort ist die mittlere Drehachse des
Greifers 38 die gleiche wie die mittlere Drehachse des Teile-
Manipulatordorns 76. Der Greifer 38 ist sicher befestigt und
zentriert auf dem Teile-Manipulatordorn 76 durch den Stößel 86,
der in eine selbstzentrierende Kammer 90 gedrückt wird.
Die Oszilloskopspur wird so justiert, daß die Datendetektoren die
gesamte Oszilloskopfläche überspannen. Der Greifer 38 wird auf
dem Teile-Manipulatordorn 76 gehalten und gedreht, um den Ver
längerungsflansch auf dem einen Rand des Detektorfeldes anzuord
nen, und dann nach oben in das Röntgenstrahlenbündel 13 bewegt,
damit nur der Verlängerungsflansch das Bündel 13 zwischen
der Röntgenquelle 12 und dem Detektor 14 schneidet. Die Detektor
kanäle, die durch den Schnitt des Flansches beeinflußt sind,
erscheinen auf dem Oszilloskop mit einem verkleinerten Signalwert
im Vergleich zur Mehrheit der anderen Elemente. Von dem Rand
des Flansches wird ein erstes Randelement des Detektors von
dem Oszilloskop genau ermittelt. Der Greifer 38 wird dann um 180°
gedreht. Dann wird ein zweites Meßkanten-Detektorelement ermit
telt. Der lineare Array-Detektor 64 wird entweder nach rechts
oder nach links bewegt, damit die ersten und zweiten Randelemente
des Detektors die gleiche relative Position von jedem Rand des
Oszilloskopschirms haben. Dies wird durch Drehen des Greifers
um 180° überprüft, wobei die Position des ersten Randdetektors
notiert, der Greifer um 180° gedreht und die Position der zweiten
Randdetektoren notiert wird. Auf diese iterative Weise wird der
lineare Array-Detektor 64 so justiert, daß die Mitte des Detektor
feldes nahezu koinzident mit der Drehachse um die Z-Achse des
Teile-Manipulators ist.
Dann wird ein Präzisionszylinder aus Messing auf dem Greifer an
geordnet. Der Messingzylinder bildet eine Oberfläche zum Messen
des Abstandes von dem Brennpunkt der Röntgenquelle zur Mitte
der Drehachse des Teile-Manipulators (Y 1) und des Abstandes
zwischen dem linearen Array-Detektor 64 und der Mitte der Dreh
achse des Teile-Manipulators (Y 2). Mit den Parametern Y 1 und Y 2
wird die Vergrößerung des Röntgensystems ermittelt. Die Vergrö
ßerung beträgt (Y 1+Y2)/Y1. Das Ausrichten des Detektors ver
hindert eine Verschlechterung der Röntgenbilder durch Streustrah
lung, sorgt für ein Bild mit höherer Auflösung und verbessert
das Signal/Rauschverhältnis.
Claims (1)
- Verfahren zum zerstörungsfreien Messen und prüfen von gefertigten Teilen mit einem Computer-gestützten System, wobei eine Röntgenquelle ein Bündel aus Rönt genstrahlen liefert, ein Bündelbegrenzer das Röntgen strahlenbündel richtet und ein ein lineares Feld (Array) aufweisender Röntgendetektor mit Detektor- Elementen empfangene Röntgenstrahlung in entsprechen de elektrische Signale umwandelt, dadurch gekennzeichnet, daß
- a) der Spalt des Bündelbegrenzers geöffnet wird zum Bestrahlen jedes Detektor-Elements,
- b) der lineare Array-Detektor positioniert wird zum Erzeugen eines Signals von jedem Detektor-Element,
- c) der Spalt des Bündelbegrenzers verkleinert wird,
- d) das Signal von jedem Detektor-Element ausgewertet wird zum Herbeiführen eines maximalen Signals von jedem Detektor-Element, indem der Bündelbegrenzer in verschiedene Stellungen gebracht wird,
- e) der lineare Array-Detektor positioniert wird zum Erzeugen eines maximalen Signals.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/832,973 US4809314A (en) | 1986-02-25 | 1986-02-25 | Method of aligning a linear array X-ray detector |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3705423A1 true DE3705423A1 (de) | 1987-08-27 |
Family
ID=25263083
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873705423 Withdrawn DE3705423A1 (de) | 1986-02-25 | 1987-02-20 | Verfahren zum ausrichten eines roentgenstrahlendetektors mit einem linearen feld |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4809314A (de) |
JP (1) | JPS62218846A (de) |
DE (1) | DE3705423A1 (de) |
FR (1) | FR2597614A1 (de) |
GB (1) | GB2187370B (de) |
IT (1) | IT1203508B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3737159A1 (de) * | 1987-11-02 | 1989-05-11 | Steffel Gmbh Spezialmaschbau | Vorrichtung zur allseitigen roentgenpruefung eines drehbar abgestuetzten kraftfahrzeugreifens waehrend einer reifenumdrehung |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5242007A (en) * | 1992-04-10 | 1993-09-07 | United Technologies Corporation | X-ray detection of residual ceramic material inside hollow metal articles |
EP1063537A3 (de) † | 1995-11-24 | 2005-09-14 | Swissray International Inc. | Optische Anordnung und Verfahren zum elektronischen Erfassen eines Röntgenbilds |
US7369114B2 (en) * | 2000-09-12 | 2008-05-06 | Fujifilm Corporation | Image display apparatus |
JP4315798B2 (ja) * | 2001-06-01 | 2009-08-19 | パナリティカル ビー ヴィ | コリメータ及びx線検出器及び分光計 |
JP4184701B2 (ja) * | 2002-04-19 | 2008-11-19 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 放射線検出器 |
US6996206B2 (en) * | 2004-04-12 | 2006-02-07 | General Electric Company | Method, system and storage medium for reference normalization for blocked reference channels |
US7399119B2 (en) * | 2005-09-19 | 2008-07-15 | General Electric Company | Method and system for measuring an alignment of a detector |
US7341376B2 (en) * | 2006-03-23 | 2008-03-11 | General Electric Company | Method for aligning radiographic inspection system |
US8208711B2 (en) * | 2007-09-07 | 2012-06-26 | General Electric Company | Method for automatic identification of defects in turbine engine blades |
DK2282050T3 (en) * | 2009-06-30 | 2016-06-06 | Siemens Ag | Method for inspecting a wind turbine blade |
PL2567267T3 (pl) * | 2010-05-05 | 2019-12-31 | Nauchno-Proizvodstvennoe Chastnoe Unitarnoe Predpriyatie Adani | System kontroli ładunku i pojazdu |
US9305344B2 (en) * | 2014-04-22 | 2016-04-05 | The Boeing Company | Method for improving linear feature detectability in digital images |
US10459111B2 (en) * | 2014-05-23 | 2019-10-29 | Radiabeam Technologies, Llc | System and method for adaptive X-ray cargo inspection |
JP7338844B2 (ja) * | 2019-01-31 | 2023-09-05 | 株式会社イシダ | X線検査装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3861807A (en) * | 1972-08-17 | 1975-01-21 | Charles Lescrenier | Position locating and maintaining method and means |
US4203037A (en) * | 1977-08-01 | 1980-05-13 | University Of Pittsburgh | Collimated radiation apparatus |
GB2137453B (en) * | 1983-03-14 | 1987-01-21 | American Science & Eng Inc | Improvements in high energy computed tomography |
FR2565451B1 (fr) * | 1984-05-30 | 1986-08-22 | Thomson Cgr | Procede de controle de la position du foyer d'un tube radiogene et dispositif de controle mettant en oeuvre ce procede |
-
1986
- 1986-02-25 US US06/832,973 patent/US4809314A/en not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-02-16 JP JP62031667A patent/JPS62218846A/ja active Pending
- 1987-02-20 DE DE19873705423 patent/DE3705423A1/de not_active Withdrawn
- 1987-02-20 FR FR8702214A patent/FR2597614A1/fr not_active Withdrawn
- 1987-02-24 GB GB8704255A patent/GB2187370B/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-02-25 IT IT19487/87A patent/IT1203508B/it active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3737159A1 (de) * | 1987-11-02 | 1989-05-11 | Steffel Gmbh Spezialmaschbau | Vorrichtung zur allseitigen roentgenpruefung eines drehbar abgestuetzten kraftfahrzeugreifens waehrend einer reifenumdrehung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB8704255D0 (en) | 1987-04-01 |
FR2597614A1 (fr) | 1987-10-23 |
US4809314A (en) | 1989-02-28 |
GB2187370A (en) | 1987-09-03 |
IT8719487A0 (it) | 1987-02-25 |
GB2187370B (en) | 1990-02-14 |
IT1203508B (it) | 1989-02-15 |
JPS62218846A (ja) | 1987-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19710420C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Dicken dünner Schichten mittels Röntgenfluoreszenz | |
DE3705423A1 (de) | Verfahren zum ausrichten eines roentgenstrahlendetektors mit einem linearen feld | |
DE60019573T2 (de) | Laserkalibrierungsvorrichtung und -verfahren | |
DE60204764T2 (de) | Verfahren und vorrichtung zur messung der position, form, grösse und intensitätsverteilung eines effektiven röntgenröhrenfokus | |
DE102011112649B4 (de) | Laserspotsteuerung in MALDI-Massenspektrometern | |
EP1241470A1 (de) | Anordnung zum Messen des Impulsübertragungsspektrums von in einem Untersuchungsbereich für Behältnisse elastisch gestreuten Röntgenquanten | |
EP1580765B1 (de) | Sekundärkollimator für eine Röntgenstreuvorrichtung sowie Röntgenstreuvorrichtung | |
DE102004058483B4 (de) | Vorrichtung zur Untersuchung von Produkten auf Fehler, Messfühler-Positionierverfahren und Messfühler-Bewegungsverfahren | |
DE10142159A1 (de) | Z-Achsen-Eliminierung in einem Röntgen-Laminographi-System unter Verwendung von Bildvergrößerung zur Z-Ebenen-Einstellung | |
DE3814466A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum feststellen der relativen lage einer bezugsachse eines objekts bezueglich eines referenzstrahls, insbesondere eines laserstrahls | |
EP0466956A1 (de) | Computertomograph | |
DE102013102659B4 (de) | Proben-Vorbereitungseinrichtung und Proben-Vorbereitungsverfahren | |
DE1690575B2 (de) | Verfahren und einrichtung zur automatischen, lagemaessigen zentrierung eines elektronenstrahls | |
DE2651011A1 (de) | Geraet fuer die roentgendiagnostik | |
DE102005009817B4 (de) | Lochmaske für einen Röntgenstrahlendetektor, Computertomographiegerät, aufweisend eine Lochmaske und Verfahren zur Justierung einer Lochmaske | |
EP0057957B1 (de) | Vorrichtung zur nichtmedizinischen Untersuchung eines Körpers | |
DE112012002533T5 (de) | Tischbaugruppe und Steuerungsverfahren für eine Tischbaugruppe | |
EP3861324B1 (de) | Verfahren zur bestimmung von relativen reflexionsgraden einer messfläche | |
DE1804646A1 (de) | Korpuskularstrahl-Bearbeitungsgeraet mit einem Objekttisch und Ablenkmitteln fuer den Strahl | |
DE4229275C2 (de) | Steuerung für die Position einer Probe in einem System mit fokussiertem Ionenstrahl | |
EP0436986B1 (de) | Anordnung zur Untersuchung eines Prüfobjekts mit Gamma- oder Röntgenstrahlung | |
DE2723462A1 (de) | Roentgendiagnostikgeraet fuer transversalschichtbilder | |
DE102007023925B4 (de) | Verfahren, Vorrichtung und Anordnung zur Kompensation der Auswirkungen von Brennfleckenwanderung bei der Aufnahme von Röntgenprojektionsbildern | |
DE2731142C3 (de) | Verfahren zur Feststellung der Lage eines Elektronenstrahls in bezug auf auf einem Objekt angeordnete Ausrichtmarkierungen und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens | |
DE4027062A1 (de) | Verfahren und anordnung zum testen und reparieren einer integrierten schaltung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8128 | New person/name/address of the agent |
Representative=s name: VOIGT, R., DIPL.-ING., PAT.-ANW., 65812 BAD SODEN |
|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |